目次1/2
分類名 ページ番号
<スパッタ装置 ULVAC製> 4
<スパッタ装置 ULVAC製以外> 5
<蒸着装置> 6
<ＣＶＤ装置> 7
<ALＤ装置> 7
<分子線エピタキシー装置（ＭＢＥ）> 8
<アッシング装置> 8
<UV照射装置> 8
<エッチング装置 ULVAC製> 8
<エッチング装置 ULVAC製以外> 8
<WETエッチング装置> 8
<イオンミリング装置> 8
<イオン注入装置> 8
<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置> 9
<リフロー炉> 9
<ステッパー・アライナー> 9
<電子ビーム（ＥＢ）描画装置> 9
<重ね合わせ測定装置（ＯｖｅｒＲａｙ)> 9
<コーター・デベロッパー> 9
<ＣＭＰ> 10
<めっき装置> 10
<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置> 10
<膜厚測定・エリプソメーター> 10
<ＦＴ－ＩＲ> 10
<外観検査装置・３次元測定器・その他> 11
<洗浄装置・洗浄スピンドライヤー> 11
<顕微鏡> 11
<ＡＦＭ（原子間力顕微鏡> 12
<グラインダｰ・スクライバ―> 12
<後工程・実装装置・ボンダー・印刷機> 12
<ＵＶキュア装置> 12
<ディスペンサー装置> 12
<凍結乾燥装置> 12
<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品> 13
<その他> 13
<油回転真空ポンプ> 14
<油回転真空ポンプ部品> 14
<油拡散ポンプ> 14
<メカニカルブースターポンプ> 14
<クライオポンプ ULVAC製> 15
<クライオポンプ ULVAC製以外> 15
<ターボ分子ポンプ ULVAC製> 16
<ターボ分子ポンプ ULVAC製以外> 16
<ドライポンプ> 17
<イオンポンプ> 19
<排気セット> 19
<真空バルブ ULVAC製> 19
<真空バルブ ULVAC製以外> 20
<超高真空部品> 21
目次2/2 ページ番号
<ピラニ真空計> 21
<電離真空計> 22
<バラトロン真空計> 22
<キャパシタンスマノメータ > 22
<ペニング真空計> 22
<サーモカップル真空計> 22
<広帯域真空計 > 22
<成膜コントローラー> 23
<ガス分析計> 23
<Heリークディテクタ> 23
<EB電源> 23
<RF電源> 23
<DC電源> 25
<AC電源> 25
<アナライザーマグネット電源> 25
<マグネット電源> 25
<加熱電源> 26
<その他電源> 26
<マスフロ・除害設備、ガス設備> 26
<搬送ロボット> 27
<電気制御系> 27
<チラー・純水設備> 27
<スパッタ装置部品 ULVAC ＣＥＲＡＵＳ> 28
<スパッタ装置部品> 28
<蒸着装置部品・EB電源・抵抗加熱電源> 28
<イオン注入装置部品> 29
<スパッタ装置部品 AMAT Endura，CenturaPVD> 29
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置 部品 ＡＭＡＴ Ｃｅｎｔｕｒａ> 30
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置 部品 ＡＭＡＴ Ｐ－5000> 33
今月の新掲載品
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-8011 油回転ポンプ D-950DK ULVAC A07A-00088 構成：本体のみ（モーター無）。付属品：無し。状態：使用済、直結タイプ。 ☆
☆ RS16-8012 油回転ポンプ D-650DK ULVAC A03A-00506 構成：本体のみ（モーター無）。付属品：無し。状態：使用済、直結タイプ。 ☆
☆ RS16-8028 油回転ポンプ GLD-051 ULVAC 130394T 構成：一式。付属品：SMR-100 500mL缶×2缶。状態：新古品。 ☆
☆ NS-5102 油回転真空ポンプ VD151 ULVAC ☆
☆ RS16-2212 メカニカルブースターポンプ PRC-006A ULVAC A68B-00034 2012 未使用品、使用オイルR-4、インバーター付属無。 ☆
☆ RS16-8009 メカニカルブースターポンプ PMB-001C ULVAC A10A-02492 構成：一式。付属品：無し。状態：1/31確認予定。オイル：R4 ☆
☆ RS16-8013 クライオポンプ U10PU ULVAC 9109692 構成：ポンプ本体、H2VPTG。付属品：ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ(RBH-10）。状態：整備待ち。 ☆
☆ RS16-8015 クライオポンプ U10PU ULVAC 9211764 構成：ポンプ本体,H2VPTG。付属品：ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ(RBH-10）。状態：未整備。 ☆
☆ RS16-8016 クライオポンプ U10PU ULVAC 9210758 構成：ポンプ本体、H2VPTG。付属品：無し。状態：整備待ち。 ☆
☆ RS16-8017 クライオポンプ U10PU-2 ULVAC 9211763 構成：ポンプ本体（H2VPＴG）。付属品：無し。状態：整備待ち。 ☆
☆ RS16-8024 クライオポンプ U8H ULVAC 9702995D 構成：ポンプ本体（MBSTG）。付属品：無し。状態：整備待ち。 ☆
☆ RS16-8021 クライオポンプ P-086C アネルバ AF2Y092 構成：本体のみ。付属品：シンクロモーター冷凍機RD-204Z-N)。 ☆
☆ RS16-8043 スクロールポンプ DISL-101 ULVAC PE404 構成：本体・モーター。付属品：無し。状態：未使用品。動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-8019 クライオポンプ U10PU ULVAC 9309810 構成：ポンプ本体（H2VPＴG）。付属品：ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ付属(RBH-10）。状態：整備待ち。 ☆
☆ RS16-8025 クライオトラップ P-100CT 住友重機工業 - 冷凍機：住友重機工業㈱製（RD-130）。状態：美品。 ☆
☆ RS16-8041 スクロールポンプ XDS35i EDWARDS 066181986 構成：本体のみ。付属品：無し。状態：要O/H。 ☆
☆ RS16-8042 スクロールポンプ XDS35i EDWARDS 05632484 構成：本体のみ。付属品：無し。状態：要O/H。 ☆
☆ RS16-8031 スクロールポンプ XDS35i EDWARDS 66299769 構成：本体のみ。付属品：無し。 ☆
☆ NS-5103 アングルバルブ VLP-U3/4 ULVAC ☆
☆ NS-5104 アングルバルブ VLP-U1 1/2 ULVAC ☆
☆ NS-5105 アングルバルブ VLP-U2S ULVAC ☆
☆ NS-5106 アングルバルブ VLP-U3S ULVAC ☆
☆ NS-5107 アングルバルブ VLP-U4S ULVAC ☆
☆ NS-5108 アングルバルブ VULH-10CM ULVAC ☆
☆ NS-5109 アングルバルブ VULH-25CM ULVAC ☆
☆ NS-5110 アングルバルブ VULH-40CM ULVAC ☆
☆ NS-5111 アングルバルブ VULH-100CM ULVAC ☆
☆ RS16-8008 ゲートバルブ 銘板なし VAT - 構成：本体のみ。付属品：ショートストローク。状態：未整備。 ☆
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-8023 ゲートバルブ 02010-AA24-1009/0016 VAT A-219772 構成：本体のみ。付属品：無し。状態：未整備。 ☆
☆ RS16-8040 ゲートバルブ 02010-BA24-0001/0053 VAT A-223856 構成：本体のみ。付属品：無し。状態：未整備。 ☆
☆ RS16-2202 ピラニー真空計 GP-1020 ULVAC - 本体、100Vケーブル、検出器のみ。 ☆
☆ RS16-2203 ピラニー真空計 GP-1020 ULVAC - 本体、100Vケーブル、検出器のみ。 ☆
☆ RS16-2204 ピラニー真空計 GP-1020 ULVAC - 本体、100Vケーブル、検出器のみ。 ☆
☆ RS16-2205 ピラニー真空計 GP-1020 ULVAC - 本体、100Vケーブル、検出器のみ。 ☆
☆ RS16-2206 ピラニー真空計 G-TRAN ISM2 ULVAC - 本体、100Vケーブルのみ。 ☆
☆ RS16-8014 ピラニ真空計 GP-2ARY ULVAC 00503 構成：本体のみ。付属品：無し。動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-8018 ピラニ真空計 GP-2ARY ULVAC 00802 構成；本体のみ。付属品：無し。動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-8044 ピラニ真空計 GP-2ARY ULVAC 02433 構成：本体のみ。付属品：無し。動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-2197 電離真空計 GI-N7 ULVAC - 本体、100Vケーブルのみ。 ☆
☆ RS16-2198 電離真空計 GI-N7 ULVAC - 本体、100Vケーブルのみ。 ☆
☆ RS16-8004 電離真空計 GI-TL3RY ULVAC 0530 構成：本体のみ。付属品：電源ケーブル。動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-8022 電離真空計 GI-D6 ULVAC 1015 構成：本体のみ。付属品：無し。動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-8045 電離真空計 GI-D6 ULVAC 0257 構成：本体のみ。付属品：無し。動作確認；未実施。 ☆
☆ RS16-8046 電離真空計 GI-N7 ULVAC 3939 構成：本体のみ。付属品：無し。動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-2199 電離真空計 MIG-921 アネルバ - 本体、100Vケーブルのみ。 ☆
☆ RS16-2200 電離真空計 MIG-921 アネルバ - 本体、100Vケーブルのみ。 ☆
☆ RS16-2201 電離真空計 MIG-921 アネルバ - 本体、100Vケーブルのみ。 ☆
☆ RS16-4579 接触式表面形状測定器 P-40H 東朋テクノロジ－/KLA 10100556 2011 ☆
☆ RS16-4580 光干渉方式自動膜厚測定器 FE-3000 大塚電子 AV41-0629 2011 ☆
☆ RS16-4601 透過率測定器 (分光光度計) FE-12 大塚電子 HH41-0628 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-8001 RF電源 RFS-002A ULVAC 89013 構成：本体のみ。付属品：無し。動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-8047 RFコントローラ RPF-30CA ULVAC 391016 構成：本体のみ。付属品：AUTO MATCHING CONT/AMC 5AR(S/N391012)、
VDC MONIT/VDC 5D(S/N 392003) 動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-8048 RFコントローラ RFP-10CA ULVAC 389012 構成：本体のみ。付属品：AUTO MATCHING CONT/AMC 5AR(S/N390026)、
VDC MONIT/VDC 5A(S/N 395005) 動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-8049 RFコントローラ RFP-05CA ULVAC 397041 構成：本体のみ。付属品：AUTO MATCHING CONT/AMC 6D(S/N395011)、VDC
MONIT/VDC 5A(S/N 396069) 動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-8050 RF電源 RFS-02CA ULVAC 596126 構成：本体のみ。付属品：無し。動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-8051 RF電源 RFS-05C ULVAC 389005 構成：本体のみ。付属品：無し。動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-4617 オートチューニングコントローラー 102Y-2A クリエート・デザイン 10111 2014 ☆
☆ RS16-8037 ＲＦ電源 R2001 SEREN R2001-0183-R2 構成：本体のみ。付属品：無し。 ☆
☆ RS11-8188 DC電源 DCS-0052B ULVAC 299034 1999 本体のみ。 ☆
☆ RS11-8189 DC電源 DCS-0052B ULVAC 299026 1999 本体のみ。 ☆
☆ RS11-8190 DC電源 DCS-0052B ULVAC 299023 1999 本体のみ。 ☆
☆ RS11-8191 DC電源 DCS-0052B ULVAC 299019 1999 本体のみ。 ☆
☆ RS11-8192 DC電源 DCS-0052B ULVAC 299028 1999 本体のみ。 ☆
☆ RS11-8193 DC電源 DCS-0052B ULVAC 299022 1999 本体のみ。 ☆
☆ RS11-8194 DC電源 DCS-0052B ULVAC 299027 1999 本体のみ。 ☆
☆ RS16-8029 ＤＣ電源 DCS-600-1.7E Sorensen 9903B1130 構成：本体のみ。付属品：無し。 ☆
☆ RS16-8033 DC電源 SL1200 SPELLMAN C19857-104 構成：本体。付属品：出力ケーブル。電源ケーブル。状態：修理完了（2012年） ☆
☆ RS16-8035 ＤＣ電源 SL1200 SPELLMAN 81636-2-A00035 構成：本体のみ。付属品：無し。状態：2013年中古購入 ☆
☆ RS16-8002 EPD電源 HAL 301 S/3 HIDEN 3F3S-
285/PIC/71932/E
構成：本体のみ。付属品：ケーブル。動作確認：未実施。 ☆
☆ RS16-8030 イオン電源 DLM60-10 Sorensen 1323A02388 構成：本体、ケーブル。付属品：電源ケーブル。 ☆
☆ RS16-2192 スパッタリング装置 SX-400 ULVAC MA06－5003 2007
8インチ非磁性カソード 4元
RF電源 RFS-1310A 1KW （逆スパッタ兼用）
ターゲット切り替え MEX2C クライオポンプ U-12HSP
クライオコンプレッサー C30VR S/N XC1363G 積算40599.7h 油回転ポンプ EC603
MFC Ar 100sccm
基板サイズ：□70㎜×66㎜ ガラス・Si・PZT 加熱シースヒータ MAX200℃
制御：GPCS ターゲット材料：Ti.Cu.Zn.Sr
☆
☆ RS16-2193 スパッタリング装置 SH-450-C10 ULVAC MH95-5005 1996
6インチ非磁性カソード2元/強磁性1元/コンべショナル1元 RF電源 HFS020 2KW（日本高周波） （逆スパッタ兼用）
DCバイアス電源 300V－1.5A ターゲット切り替え MEX2C クライオポンプ U-10PU
クライオコンプレッサー C2W-U 積算26240h 油回転ポンプ D-950DK
MFC Ar 100sccm O2 30sccm N2 50SCCM ターゲット SiO2その他不明
☆
☆ RS16-4604 スパッタリング装置 SIV-200 ULVAC MA10-3454 2012 現行機種 ☆
☆ RS16-4597 蒸着装置 ei-7 ULVAC MA09-3179 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-4598 蒸着装置 ei-7 ULVAC MA10-5010 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-4602 蒸着装置 EBX-1000 ULVAC MA02-7011 2003 ☆
☆ RS16-4603 蒸着装置 SEC-22WAC 昭和真空 10-4029 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-1184 蒸着装置 MCS-3000S ULVAC MB92-8002 1992 Kセル×4式、EBガン×2式、EB電源/RHEED搭載機。 ☆
☆ RS16-4573 アッシング装置 NA-8000 ULVAC MA09-3472 2011 ☆
☆ RS16-1168 アッシング装置 TCA-7822S 東京応化工業 T-9804525 1998 不良部品及び不具合動作あり。仕様書あり。 ☆
☆ RS16-4570 プラズマCVD装置 PD-3800LT SAMCO 32S2725 2011 現行機種 3”6”Wafer兼用 ☆
☆ RS16-4571 プラズマCVD装置 PD-3800LT SAMCO 32A2797 2011 現行機種 3”6”Wafer兼用 ☆
☆ RS16-4572 プラズマCVD装置 PD-3800LT SAMCO 32A2798 2011 現行機種 3”6”Wafer兼用 ☆
☆ RS16-4567 プラズマエッチング装置 NE950EX ULVAC MA09-3469 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-4568 プラズマエッチング装置 NE950EX ULVAC MA10-5009 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-4569 プラズマエッチング装置 NE950EX ULVAC MA09-3470 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-2210 MO-CVD装置 BMC-606-M 大陽日酸 E-003-JAV-2 2012
・有機金属原料ガス TMGa 1系統 ハイライド循環ガスメイン PH3 1系統 ダミー 2 系統 キャリアガス 3系統（H2及びN2） 反応炉システム
・基板トレー 6インチ×6枚 フェースダウン 自公転方式
・カーボンヒーター 常用100℃～850℃ 短時間（10分） 1100℃ 成長可能圧力範 囲 67hPa～400hPa
・排気系 荏原製ドライポンプ ESA70W ターボ分子ポンプ 島津製作所 PT-150 油 回転ポンプ アルカテル 2015SD
・付属品：仕様書
☆
☆ RS16-4599 高恒温炉 - 神港精機 11100039 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-4600 高恒温炉 - 神港精機 11100040 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-4625 ホットプレート ND-1 AS ONE 11EM0278 ☆
☆ RS16-4626 ホットプレート ND-1 AS ONE 11EM0280 ☆
☆ RS16-4627 ホットプレート ND-1 AS ONE 11EM0348 ☆
☆ RS16-4628 ホットプレート ND-1 AS ONE 11EM0464 ☆
☆ RS16-4629 セラックホットプレート CHP-170D AS ONE 80500624-06 ☆
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-4613 真空ガス置換式オーブン PVC211 M ESPEC 252003445 2008 ☆
☆ RS16-4614 真空ガス置換式オーブン PVC211 M ESPEC 252003443 2008 ☆
☆ RS16-4615 真空ガス置換式オーブン PVO211 M ESPEC 252003645 2009 ☆
☆ RS16-4574 クリーンオーブン乾燥機 PVC-332 ESPEC 253000252 2011 ☆
☆ RS16-8020 ロボット Mag7 ブルックスオートメーション 0601-12671 構成：本体のみ。付属品：化粧箱入り。 ☆
☆ RS16-8026 ロボット SPR-301-X1501 ダイヘン X1501Y3975905 構成：本体、コントローラー、ケーブル。付属品：コントローラー（E4210A）、ケーブ
ル。状態：整備済。 ☆
☆ RS16-4609 カラー外観検査装置 Vi-SW200C トプコン 10712004 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-4610 カラー外観検査装置 Vi-SW200C トプコン 10912005 2012 現行機種 ☆
☆ RS16-4611 カラー外観検査装置 Vi-SW200C トプコン 10912006 2012 現行機種 ☆
☆ RS16-4612 カラー外観検査装置 Vi-SW200C トプコン 10912007 2012 現行機種 ☆
☆ RS16-4562 外観検査装置 Vi-SW200C トプコン 10902001 2011 ☆
☆ RS16-4563 外観検査装置 Vi-4202 トプコン 00274063 2007 ☆
☆ RS16-4577 欠陥検査装置 Vi-4202 トプコン 10214108 2011 ☆
☆ RS16-4596 UVキュア装置 TVC-8022 東京応化工業 V-1009132 2011 ☆
☆ RS16-4575 エキシマUV照射装置 SCQ05 日立ハイテク/エンジニアリングシステム - 2010 ☆
☆ RS16-4561 UV照射機 ISI1005 大宮工業 ISI1005-1 2011 ☆
☆ RS16-4582 リフトオフ洗浄装置 TWPS-064-TJ 高田工業 10110140-1 2011 ☆
☆ RS16-4583 有機ウェットステーション 106,IPA,ACT396. Dev 東朋テクノロジー ME11054 2011 ☆
☆ RS16-4584 マスク洗浄機 TW-200 テクノビジョン TW1007179 2011 ☆
☆ RS16-4585 有機洗浄ドラフト - 東朋テクノロジー ME11151 2011 ☆
☆ RS16-4586 酸洗浄ドラフト - 東朋テクノロジー ME11150 2011 ☆
☆ RS16-4588 酸ウェットステーション SH303,BHF 東朋テクノロジー ME11051 2011 ☆
☆ RS16-4589 酸ウェットステーション IZ0エッチ 東朋テクノロジー ME11052 2011 ☆
☆ RS16-4590 酸ウェットステーション KS3030.HF-2%aq,dev 東朋テクノロジー ME11053 2011 ☆
☆ RS16-4591 酸ドラフト IZ0エッチ 東朋テクノロジー ME11680 2012 ☆
☆ RS16-4592 リンサードライヤー 180RN 東朋テクノロジー 1010207 2011 ☆
☆ RS16-4593 ミニステッパー NES1-h4 NIKON 0900201 2010 ｈ線 現行人気機種 ☆
☆ RS16-4594 ミニステッパー NES1-h4 NIKON 1100802 2011 ｈ線 現行人気機種 ☆
☆ RS16-4578 オプティカルサーフェスアナライザー Candela CS10 KLA-Tencor 3561010 2011 ☆
☆ RS16-2189 ダイシング装置 DAD321 DISCO - 2016 高年式にて装置美品。取説有/図面有。 ☆
☆ RS16-4554 ブレーキング装置 DBM-602R ダイトロンテクノロジー A097061 2009 ☆
☆ RS16-4555 ブレーキング装置 DBM-602R ダイトロンテクノロジー A103076-01 2011 ☆
☆ RS16-4556 ブレーキング装置 DBM-602R ダイトロンテクノロジー A103076-02 2011 ☆
☆ RS16-4557 ブレーキング装置 DBM-602R ダイトロンテクノロジー A104151-01 2011 ☆
☆ RS16-4558 ブレーキング装置 DBM-602R ダイトロンテクノロジー A104151-02 2011 ☆
☆ RS16-4559 ブレーキング装置 DBM-602R ダイトロンテクノロジー A113330 2011 ☆
☆ RS16-4624 ダイヤフラムポンプ DTC-60 ULVAC 2010 ☆
☆ RS16-2188 リフロー装置 TNR15-225LH タムラ製作所 - 2012 田村製作所現行機種。高年式にて装置美品。
取説有/図面有。 ☆
☆ RS16-4618 テープマウント機 FM2248 テクノビジョン FM1404507 2014 ☆
☆ RS16-4605 チップカウンター Mp siries タカノ MP7211CC 2003 ☆
☆ RS16-4553 テープリムーバ装置 ISI1004 大宮工業 ISI1004-1 2011 ☆
☆ RS16-4560 ウェーハマウンタ装置 ISI1002 大宮工業 ISI1002-1 2011 ☆
☆ RS16-4564 ウェーハ拡張装置 TEX-218GA テクノビジョン TEX1008198 2011 ☆
☆ RS16-4620 恒温恒湿槽 TH401E 楠本化成 191009003 2010 ☆
☆ RS16-4630 デシケータービッグドライ SPB-3FN AS ONE 26444181 ☆
☆ RS16-4631 デシケータービッグドライ SPB-3FN AS ONE 26444186 ☆
☆ RS16-4632 デシケータービッグドライ SPB-3FN AS ONE 26444192 ☆
☆ RS16-4633 デシケータービッグドライ SPB-3FN AS ONE 92646152 ☆
☆ RS16-4634 デシケータービッグドライ SPB-3 AS ONE 43072714 ☆
☆ RS16-4635 デシケータービッグドライ B-3 AS ONE 196711 ☆
☆ RS16-4636 デシケータージャンボ SD-SS AS ONE - ☆
☆ RS16-4637 ガス置換デシケーター VDG-1N AS ONE 3373Z047 ☆
☆ RS16-4638 McDry超低湿度ドライボックス MCU-201 エクアールシー 10001 ☆
☆ RS16-4639 McDry超低湿度ドライボックス MCU-201 エクアールシー 10307 ☆
☆ RS16-4619 圧力画像解析装置 FPD-9210 Ver.2 富士フィルム 7A06466 2008 ☆
☆ RS16-4621 バーコードプリンター SG412R SATO - 2011 ☆
☆ RS16-4622 バーコードプリンター SG412R SATO - 2011 ☆
☆ RS16-4587 緊急シャワー設置 - NIPPON ENCON - 2011 ☆
☆ RS16-8032 Housing Weldment Fixture NIBE 038606201 Veeco - 状態：洗浄品。 ☆
☆ RS16-8039 ＫＭ用消耗部品 1式 - Veeco - 構成：部品一式。付属品：無し。 ☆
☆ RS16-2195 共集点顕微鏡システム AX10 lmgaerA1/M1 カールツァイス 1020952192 2005 接眼×10 対物×100×50×20 ☆
☆ RS16-2196 微小穴自動ファイリングシステム - OLYMPUS -
接眼×10 対物×100×50×20 顕微鏡型式 BXFM XY軸ステージ ±75㎜0.002㎜
Z軸ステージ ±120㎜±0.001㎜
17インチモニター 制御：WindowsXP
☆
☆ RS16-4606 実体顕微鏡 SMZ800 NIKON 1002460/1002391 2000 ☆
☆ RS16-4607 実体顕微鏡 SMZ800 NIKON 1002463/1002147 2000 ☆
☆ RS16-4608 実体顕微鏡 SMZ800 NIKON 1005230/1004018 2002 ☆
☆ RS16-4566 実体顕微鏡 SMZ800 NIKON 2004003 2000 ☆
<スパッタ装置 ULVAC製>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-2192 スパッタリング装置 SX-400 ULVAC MA06－5003 2007
8インチ非磁性カソード 4元
RF電源 RFS-1310A 1KW （逆スパッタ兼用）
ターゲット切り替え MEX2C クライオポンプ U-12HSP
クライオコンプレッサー C30VR S/N XC1363G 積算40599.7h 油回転ポンプ EC603
MFC Ar 100sccm
基板サイズ：□70㎜×66㎜ ガラス・Si・PZT 加熱シースヒータ MAX200℃
制御：GPCS ターゲット材料：Ti.Cu.Zn.Sr
☆
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-2193 スパッタリング装置 SH-450-C10 ULVAC MH95-5005 1996
6インチ非磁性カソード2元/強磁性1元/コンべショナル1元 RF電源 HFS020 2KW（日本高周波） （逆スパッタ兼用）
DCバイアス電源 300V－1.5A ターゲット切り替え MEX2C クライオポンプ U-10PU
クライオコンプレッサー C2W-U 積算26240h 油回転ポンプ D-950DK
MFC Ar 100sccm O2 30sccm N2 50SCCM ターゲット SiO2その他不明
☆
☆ RS16-4604 スパッタリング装置 SIV-200 ULVAC MA10-3454 2012 現行機種 ☆
RS16-1158 スパッタリング装置 Zi-1000N ULVAC ME00-1075-0 2001 生産未使用の装置。取説有/図面有。
RS15-1178 スパッタリング装置 ZX-1000 ULVAC ME99-4512-1 2000 仕様書・取説・図面なし。（C to C枚葉式）
RS15-1179 スパッタリング装置 ZX-1000 ULVAC ME98-4533 2000 仕様書・取説・図面なし。（C to C枚葉式）
RS15-1180 スパッタリング装置 ZX-1000 ULVAC SE96-9615-1 1996 仕様書・取説・図面なし。（C to C枚葉式）
RS15-1195 スパッタリング装置 ZI-1000N ULVAC ME01-1006-0 2001 【C to C（2C1E4T1H）】取説・図面あり、仕様書なし。
RS10-2807 スパッタリング装置 Z-1000 ULVAC ME00-7820
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用 2T ，基板：φ6in SP1：Metal SP2：
Metal ，加熱機構：：Infrared Lamp 制御：GPCS-300GT ，排気：TMP（旧型）
+CryoTrap，設置：階下置き仕様 ※ 拡張性有り
RS10-2808 スパッタリング装置 Z-1000 ULVAC ME00-7818
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用 2T ，基板：φ6in SP1：Metal SP2：
Metal ，加熱機構：：Infrared Lamp 制御：GPCS-300GT ，排気：TMP（旧型）
+CryoTrap，設置：階下置き仕様 ※ 拡張性有り
RS16-2146 デジタルスパッタリング装置 ULDIS-903CHL ULVAC MA04-3161 2006
枚葉式、ｽﾊﾟｯﾀ材料：Si・Nb・Al・Ta・Ti 、ｶｿｰﾄﾞ：2元 ｶﾞｽ：Ar・O2、基板ﾎﾙﾀﾞｰ：□
100×6枚（ﾌﾟﾚｰﾄ）、ｶｾｯﾄ：11段、予備品：多数、研究開発で2年間使用のみ、程 度は良好。仕様書あり、取説・図面なし。
RS15-1183 スパッタリング装置 ULDis-200UCP ULVAC MA13-5002 2013 年式新しく、状態良好。仕様書、取説、図面なし。
RS14-1118 スパッタリング装置 SRH-420MC ULVAC MA02-1038 ﾏﾙﾁﾀｰｹﾞｯﾄｘ3式、ICPｴｯﾁ室 取説・図面あり
RS15-1185 スパッタリング装置 SRH-420 ULVAC MA04-3426 2005 高年式で状態良好。仕様書、取説、図面なし。
RS11-2043 スパッタリング装置 SMR-2110E ULVAC ME58-0161 1983
RS13-2208 スパッタリング装置 SME-200LDM(LCO) ULVAC MA08-3625 2010
【枚様式】ｽﾊﾟｯﾀ成膜実験・生産用装置（金属、絶縁物等） 構成：ｶｾｯﾄ室＋搬送 室＋（ﾌﾟﾛｾｽ室×6）＋（空×1）基板：150 mmｶﾞﾗｽ基板等（200mmｳｴﾊ可能） 排 気系：ＴＭＰ＋DRY 成膜室：（P2～P6φ300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×5元、P7φ 300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元 Cu） 電源：P2～P6 RF電源 5KW P7 DC電 源 4KW成膜法：固定成膜 ｽﾊﾟｯﾀﾟｱｯﾌﾟ（P3は回転成膜）
RS13-2209 スパッタリング装置 SME-200（PME-200LE;LPO） ULVAC MA08-3536 2010
【枚様式】ｽﾊﾟｯﾀ成膜実験・生産用装置（金属、絶縁物等） 構成：ｶｾｯﾄ室＋搬送 室＋（ﾌﾟﾛｾｽ室×3）＋（空×2）基板：140 mmｶﾞﾗｽ基板等（180mm ﾄﾚｲ使用）
排気系：ＴＭＰ＋DRY 成膜室：（P3：蒸着重合、P4：蒸着％UV、P5：φ300ﾛｰﾀﾘ式 ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元） 電源：RF電源 3KW 成膜法：固定成膜 ﾃﾞﾎﾟｱｯﾌﾟ 、 PME-200LE;LPO
RS11-1021 スパッタリング装置 SIV-850 ULVAC MA06-1006 2006 【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】 実験・少量生産 ｶﾞﾗｽ基板： 850×900ｶｿｰﾄﾞ3元搭載 ｽﾊﾟｯﾀ 電源：RF 片面 縦搬送 通過成膜式排気系：CRYO+RP
RS16-2035 スパッタリング装置 SIV-200S ULVAC MA08-3840 2009 ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式 LED製造ﾗｲﾝで使用装置 仕様書・取説・図面なし。
RS15-2116 スパッタリング装置 SIV-200S ULVAC MA09-3316 2010
2012年8月頃まで稼働、欠品なし。
ﾀｰｹﾞｯﾄ ITO ｻｲｽﾞ300×375、ｶｿｰﾄﾞ1式 ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC402B 異常放電防止 A2KH-25 搬送ｷｬﾘｱ6式 基板ﾎﾙﾀﾞｰ4ｲﾝﾁ6枚ｾｯﾄ ｽﾊﾟｯﾀ有効範囲H200mm×
W300mm MFC Ar200sccm O2 2sccm H2O 5sccm 排気系：ｸﾗｲｵ U-8H、
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ ER400 制御系：GPCS-2700 仕様書あり、取説・図面なし。
RS14-2268 スパッタリング装置 SIH-1010特 ULVAC MA01-5007-0 2002
Vacuum System・・・CP［（U10PU） C15R（MBS）］ RP［D-650DK］ Vacuum Gauge・・・Ion Gauge［GI-M2］ Pirani Gauge*3［GP-1SRY（C）］ Baratｒon Gauge［MKS PRC-C-1C］ Sputtering Power Suppy・・・DC［DC］ DC［DCS- 0202B］ Heater Power［PHS-07］ Sputtering Cathode・・・1source (5in*10in*6t［Dual Cathode Remodeling OK］）←SP-UP Trace・・・ITO 仕様 書・取説・図面あり。(インターバック式）
RS15-2010 スパッタ装置 SH-450-T10 ULVAC MB03-5006 構成：CA3元
RS15-1060 スパッタ装置 SH-450-C12 ULVAC - O/H必須。Φ6ｲﾝﾁｶｿｰﾄﾞ3元、RF/DC、ｴｯﾁﾝｸﾞ機構付。
RS12-1405 スパッタリング装置 SH-450-C10 ULVAC MH61-
0502(NH8978) 1987 【ﾊﾞｯﾁ式】 実験・少量生産 φ6in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元 ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1・
RFx1 逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W) 排気系：CRYO＋RP
RS13-2204 スパッタリング装置 SH-350-D06 ULVAC MH62-5073 1988
【バッチ式】実験・少量生産 φ150mmカソード 1元 （スパッタアップ） 排気系：
拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ欠品（ULK-06A)、D-650Dスパッタ電源：ＤＣＧ－０５Ｃ ガス：２系統ｼｰ ｹﾝｻｰ：三菱製AOJ2
RS14-2292 スパッタリング装置 SBH-2306 ULVAC ME57-5034 1983
・排気ｼｽﾃﾑ：ﾒｲﾝﾎﾟﾝﾌﾟ(DP?)欠品/拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ[D-950DK(Motor;D)] ・真空計：ｲｵﾝ ｹﾞｰｼﾞ[GI-TL2RY] ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ[GP-1SRY(A)]+[GP-2DA] ・ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ電源 DC[DC-050-E特型 新電元] ・水晶成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗ[ｲﾝﾌｨｺﾝ] ・ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞｶｿｰﾄﾞ：3 源(ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝ未使用の厚膜ｶｿｰﾄﾞ)ﾃﾞﾎﾟﾀﾞｳﾝ ・ﾄﾚｰｽ：Au/AuZn/Mo
RS16-1065 ヘリコンスパッタ装置 MPS-3000 ULVAC MB96-1038 1997
RS15-2104 スパッタリング装置 MPS-2000-HC2 ULVAC MB97-5001 1997
ｶｿｰﾄﾞ：ﾍﾘｺﾝｶｿｰﾄﾞ源 2元 / ECR源 1元 電源：RF電源 / DC電源 / 加熱電源
排気系：ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ+油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ 取説・図面あり、仕様書なし。
RS15-1181 磁性薄膜成膜装置 MPS-2000-C8 ULVAC MB08-1002 2009 使用頻度低く、優良品。仕様書・取説・図面あり。
RS12-1118 スパッタリング装置 MLX-3000N ULVAC ME00-5016 2000 【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用 1E2T2C，基板：φ5in Etch：2重極 SP1：Metal SP2：Metal，加熱系：Infrared Lamp ｶｾｯﾄ室×2，排気系：CRYO＋
RP
RS13-1115 スパッタリング装置 MLX-3000N ULVAC ME96-1064 1997 【枚葉式】ﾌﾙﾓｼﾞｭｰﾙ（2C3T1E) 取説・図面あり
RS13-3127 スパッタリング装置 MLX-3000N ULVAC ME99-1017
★C1チャンバー抜取あり★【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用 1E1T1H2C 基板：φ5in Etch：2重極 SP：Metal 加熱系：赤外線ﾗﾝﾌﾟ ｶｾｯﾄ室×2 排気系：
CRYO＋RP
RS12-1227 スパッタリング装置 IBS-6000 ULVAC MB04-1012 2004 【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 ｲｵﾝﾋﾞｰﾑｽﾊﾟｯﾀ装置 動作確認済み 使用頻度少なく良好
RS15-1190 スパッタリング装置 CS-200 ULVAC MA06-1047 2008 仕様書あり、取説・図面なし。
RS13-3017 スパッタリング装置（ロードロック式） CS-200 ULVAC MA07-1009 2007
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 実験・量産 ｽﾊﾟｯﾀﾀﾞｳﾝ φ12in回転磁石型ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ(誘電 体用） 1元 SP電源：RF 3ｋWx1 排気系：TMP+DRP 基板ｻｲｽﾞφ6in 仕様書 あり、状態良好
RS15-2077 スパッタリング装置 CERAUS ZX-1000 ULVAC ME02-5001 2002
基板：200㎜
装置構成：オートローダー + 搬送室 + ﾌﾟﾛｾｽ室*1 成膜室：RF-Bias 式 DC-LTS ｽﾊﾟｯﾀ （ﾉ-ﾏﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ残留）
排気系：QDP80 + TMP-203LM/TMP-1003LM、CRYO-T4X/CRYO-T8P/C30Z
（30105hr） 仕様書・取説・図面あり。
RS15-1025 スパッタリング装置 CERAUS Z-1000 ULVAC ME95-1042（WT06-
10010A）
枚様式ｽﾊﾟｯﾀ、2C2Tﾉｰﾏﾙｶｿｰﾄﾞ搭載、S3室、6ｲﾝﾁ、S4室、8ｲﾝﾁ ﾗﾝﾌﾟ加熱仕 様、平置き、TMP（島津載せ替え済）、ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟAA-10S ※2007年ﾘﾆｭｰｱﾙ販売 している装置。仕様書・図面あり、取説なし。
RS12-1061 スパッタリング装置 CERAUS Z-1000 ULVAC ME02-8012 2002
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用 １E3T ，基板：φ6in Etch：ICP SP1
～3：Metal ，加熱機構：：Infrared Lamp 制御：GPCS-300GT ，排気：TMP（旧 型）+CryoTrap，設置：階下置き仕様 ※ ﾌﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ仕様 機能充実
RS12-1062 スパッタリング装置 CERAUS Z-1000 ULVAC ME93-5021 1994
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用 1E1T ，基板：φ6in Etch：ICP SP：
Metal ，加熱機構：：Infrared Lamp 制御：GPCS-300GT ，排気：TMP（旧型）
+CryoTrap，設置：階下置き仕様 ※ 拡張性有り
RS16-2144 スパッタリング装置 BC6643 ULVAC ZB03-5028 2003
取説・図面あり、仕様書なし。
Vacuum System ・・・TMP「OOSAKA TG450FVAB（Air cooling）」、RP「D-240DK」
Vacuum Guage ・・・Ion Guage「GI-TL2RY」 Pirani Gauge「GP-1SRY（A）」
Baratoron「MKS」
Cathod ・・・dia.100mm Power Supply ・・・RFS-10C（MBX-10EA+AMC-6D）
Gas Line ・・・Ar 50sccm「MFC STEC SEC-400MK3」
Trace・・・Metal & Ceramics
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS15-2094 巻取スパッタ装置 SPW-030 ULVAC MF04-7002 2006
実験機用途（使用頻度少）、ﾀｰｹﾞｯﾄ材料：ITO、Cu、SiO2
ﾌｨﾙﾑ幅：max300mm、ﾌｨﾙﾑﾛｰﾙ径：maxφ250、ﾌｨﾙﾑ長：max550m（50μｍ）
ｶｿｰﾄﾞ：弱磁場 AC Magnetron Cathode *2、弱磁場（400G） DC Magnetron Cathode *1
弱磁場（250G） DC Magnetron Cathode *1、電源：SP11・12用AC10KW電源、
13・14用 Pulse DC電源 仕様書、取説、図面あり。
RS14-1242 MPS-2000 準備室 - ULVAC - 2000 取説なし
<スパッタ装置 ULVAC製以外>
メーカ毎にソート中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS13-8022 スパッタリング装置 E-102 日立製作所 6127-03 1986 電源：AC100V 50/60Hz 1KVA 試料台：φ80ｍｍ RP付属（501-min) 放電電 圧印加法：自動ｽﾛｰｱｯﾌﾟ方式
RS11-1201 スパッタリング装置 HRS-521A 島津製作所 1M9062 1994 【ﾊﾞｯﾁ式】 研究用（全手動操作） φ4inｶｿｰﾄﾞ 3元 静止成膜 ｽﾊﾟｯﾀ電源：RF
逆ｽﾊﾟｯﾀ：可能 小型実験装置
RS16-1157 小型スパッタリング装置 不明 日本電子 -
RS12-1380 スパッタリング装置(インターバック式） SPH-2019F 昭和真空 02-4191 2003 【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 研究用 基板：φ3.4in ｶｿｰﾄﾞ：5inx7in MgCa 3元 ｽﾊﾟｯﾀ電源：
DC/RF切替 加熱：ｼｰｽｽﾋｰﾀｰ(インターバック式）
RS15-1002 インターバック式スパッタ装置 SPH-2500-RF 昭和真空 00-4422 CONT、ケーブル付属 仕様書あり ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式
RS16-1156 小型スパッタリング装置 SM-2110 三栄理研 -
RS12-1027 スパッタリング装置 - テクノコート - 1992 100 角基板用 ｶｿｰﾄﾞ３元 DC 拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ＋ｱﾙｶﾃﾙRP
RS16-4080 スパッタ装置 C-7730FH アネルバ EVP-38386 2003
RS16-4079 スパッタ装置 C-7730FH アネルバ EVP-38386 2003
RS16-4082 スパッタ装置 C-7730-FH アネルバ EVP-40163 2005
RS16-4084 スパッタ装置 E-730S-FH アネルバ 50263 2007
RS12-1228 スパッタリング装置 L-350S-C アネルバ EVP-30577 1996 【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 研究用 ｶｿｰﾄﾞ： 5元（DC３式＋RF２式）
ｲｵﾝ銃（ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ用）
RS15-1251 スパッタリング装置 L-410S-FHL アネルバ EVP-37440 RFスパッタ仕様 状態良好。仕様書あり、取説・図面なし。
RS16-2033 スパッタリング装置 SPC-530H アネルバ EVP-17973 1988
1988年ｱﾈﾙﾊﾞ製ﾄﾞﾗﾑ型ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 2011年 ﾛｯｸ技研によりﾘﾆｭｰｱﾙ 基板:φ100 Si基板 3枚ﾎﾙﾀﾞｰ×6面 特記事項:基板反転機構付 排気系:CP
（CAP-120+CRC-870MKⅡ）
ｶｿｰﾄﾞ:5in×15inｶｿｰﾄﾞ（Cu成膜 履歴）×2源 SP電源:DC Pinnacle AE製 6kw
（2011年製 2台） 取説・図面あり、仕様書なし。
RS11-1184 スパッタリング装置 SPC-530H アネルバ EVP-13998-1 1983 【ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ)式】 ｶｿｰﾄﾞ：5in×15in 3元 DC/RF切替 排気系：DP 2004年に ｶｿｰﾄﾞ追加・基板ﾎﾙﾀﾞｰ改造実施
RS12-2027 スパッタリング装置 SPF-540H アネルバ EVP-24622 【ﾊﾞｯﾁ式】ｶｿｰﾄﾞ：φ6in× 3元
RS16-4202 カルーセルスパッタ LLS-EVO Unaxis/Oerikon 90493Y001 2001
RS16-4201 カルーセルスパッタ LLS-EVO Unaxis/Oerikon 910247401 2000
RS16-4086 アルミナスパッタ装置 7600 JSW AFTY 008 2004
RS16-4081 アルミナスパッタ装置 AFTEX EC-7600L JSW AFTY 17 2004
RS16-4083 アルミナスパッタ装置 AFTEX-7600L JSW AFTY 20 2007
RS15-3052 Centura-PVD 150mm 2ch Centura-PVD AMAT - DC電源他、軽度の欠品はあるが、補填可能。仕様書・取説・図面なし。(RS09-
1172とRS15-3052セット販売）
<蒸着装置>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-1184 蒸着装置 MCS-3000S ULVAC MB92-8002 1992 Kセル×4式、EBガン×2式、EB電源/RHEED搭載機。 ☆
☆ RS16-4597 蒸着装置 ei-7 ULVAC MA09-3179 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-4598 蒸着装置 ei-7 ULVAC MA10-5010 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-4602 蒸着装置 EBX-1000 ULVAC MA02-7011 2003 ☆
☆ RS16-4603 蒸着装置 SEC-22WAC 昭和真空 10-4029 2011 現行機種 ☆
RS16-2173 蒸着装置 EBX-8C ULVAC MH60-5255 1986
基板：異形基板 公転平板1面
蒸発源：①EB蒸発源 EGK-3M ②R/H蒸発源 Wポート3元 排気系：CP【U-6H+C10（53,500hr）】+ RP【VD-301】
電源：EB電源（HPS-510S） RH電源（サイリスタ） 加熱電源（サイリスタ）
成膜コントローラー：CRTM-5000
RS16-2174 蒸着装置 EBX-1000C ULVAC MA04-3220 2007
基板：φ50 サファイヤ基板 公転ドーム1面
蒸発源：①EB蒸発源 EGL-206M ②R/H蒸発源 Wポート3元 スウィング式 排気系：CP【U-10PU+C15R（59,000hr）】+ RP【VD-401】
電源：EB電源（HPS-1000F） RH電源（PSE800） 加熱電源（PSH080）
成膜コントローラー：CRTM-9000 取説有/図面有。
RS16-2143 イオンビーム表面改質装置 BB3376 ULVAC MB95-5019 1995
取説・図面あり、仕様書なし。
Vacuum System ・・・DP「ULK-10A（Water cooling Trap）」、RP「D-950DK」
Vacuum Guage ・・・Ion Guage「GI-M」 Pirani Gauge「GP-1SRY（C）」
Evaporation source ・・・EB Source「EGL-35M」
Power Supply ・・・HPS-510L Depo Controller ・・・CRTM-5000 Asyst Ion Gun ・・・ECR-ION GUN Microwave Power Supply ・・・IDX 1kw
（100~1kw Changed）2450MHｚ Trace・・・Metal & Ceramics
RS16-1046 高真空蒸着装置 EX-550-C10 ULVAC MH62-5010 1987 仕様書・取説・図面なし。
RS16-1045 蒸着装置 EX-650-C16 ULVAC MH92-1065 1992 2012年改造・再生実績有、2016年7月に装置動作確認済（EB GUNﾋﾞｰﾑ出し迄）
仕様書、取説あり、図面なし。
RS16-1020 蒸着装置 EX-650-C16 ULVAC MH94-1045 1995 仕様書・取説・図面なし。
RS16-2009 蒸着装置 VPC-1100(特） ULVAC SK06-3 2006
約8年装置停止中（動作未確認） ﾊﾞｯﾁ式
・蒸発源 抵抗蒸着1元 DEPO DOWN ・排気系 TMP UTM-500（空冷） ｽｸ ﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ DIS-500
・測定系 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1S/測定子 WP-01 電離真空計 GI-TL3/測定子 WIT-G1
・ｾﾝｻｰﾍｯﾄﾞ CRTS-84 膜厚系 CRTM-6000 基板加熱 MAX 650℃ 仕様 書・取説あり、図面なし。
RS15-2124 蒸着装置 EBX-1000 ULVAC MA06-5011 2007
【前扉式】蒸発源：EB蒸発源[EGO-40M]、電源：EB電源 HPS- 1000F[31807.9hr]、
排気系：CRYO_Pump[U-16]+Rotary_Pump[VD-401]、成膜制御：CRTM- 9000/CRTS-0[Dual Sensor] 取説あり、仕様書・図面なし。
RS15-1186 蒸着装置 ei-7L ULVAC MA12-5005 2013 高年式で状態良好。仕様書、取説、図面なし。
RS15-2065 蒸着装置 ei-5t ULVAC MA09-4737 2009
基板保持機構；dia.50mm 自公転ﾌﾟﾗﾈﾀ 蒸発源；EGL-35M（10㏄*4） HPS-1000S 排気系；CRYO U-16P + LR90 加熱系；赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ 4式（750W*2*4set）
仕様書・取説あり、図面なし。
RS15-2067 蒸着装置 EBX-16C ULVAC ME59-5018 1985
EBX-16Cは生産状態で停止。EBBは、EB電源抜き取り済で部品取り用途。
EBX-16とEBBは、同時購入必須。ｲﾝﾌｨｺﾝﾃﾞｭｱﾙｾﾝｻｰとCRTM-9000のｾｯﾄ。
図面あり、仕様書・取説なし。
RS15-2068 蒸着装置 EBX-16CF ULVAC ME59-1038 1985 ｲﾝﾌｨｺﾝﾃﾞｭｱﾙｾﾝｻｰとCRTM-9000のｾｯﾄ。図面あり、仕様書・取説なし。
抵抗加熱蒸発源 8元 （電源系統 2系統）,主排気系 CP化 改造済 （CP 欠
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS15-1084 蒸着装置 SOLCIET ULVAC MH10-1019 2010 SOLCIETの特型、ﾁｬﾝﾊﾞｰが大きくEB蒸着や抵抗蒸着など、EBX-1000の代替え
装置としてL/L・G-BOXなど付属しており、状態良好。仕様書・取説・図面あり。
RS14-2266 有機EL蒸着装置 SOLCIET ULVAC MF98-5013-0 1999
Vacuum System・・・CP［U6H*2］ CP-Compressor[C10*2] TMP[TMP-403LM]
RP[D-240DK*3] Vacuum Gauge・・・Ion Gauge[GI-TL3RY*3] Pirani Gauge*5[GP-1SRY（C）]、Bias RF Power Supｐｙ・・・RF[RFS-02CA]
Trace・・・Metal&Organic material 仕様書・取説・図面あり。
RS11-3206 有機薄膜形成装置 SOLCIET ULVAC MF96-5002 有機薄膜形成装置 有機EL 研究・生産装置
RS14-1181 高真空蒸着装置 EROLA ULVAC - 抵抗３式 ｸﾗｲｵ排気+DRP L/L室付 CRTM-9000 抵抗電源ｿﾘｯﾄﾞﾀｲﾌﾟ
RS13-3016 蒸着重合装置 VEP-1000 ULVAC MF06-1008 2007 【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 研究用
RS11-1191 蒸着装置 EX-550-D10-B ULVAC MH90-1086 【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽：φ650W×800H 蒸発源：未搭
載（選択自由） 排気系：DP（LN2ﾄﾗｯﾌﾟ）＋RP
RS12-1233 高真空蒸着装置 EBX-8C ULVAC ME58-5039 1984 【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽： 500×600H 公転治具 蒸発
源：電子ﾋﾞｰﾑ （EGL-206M）膜厚計：CRTM-9000 排気系：CRYO ＋ RP
RS14-2294 蒸着装置 EBX-8C ULVAC XC03-4012 1990
・排気ｼｽﾃﾑ：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ[U-10P-U H2ﾒｰﾀｰ]+[C2W-U 15462hr]/拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ D- 330D ・真空計：ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ[GI-TL3] ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ*2[GP-1SRY(A)] ・水晶成膜ｺﾝ ﾄﾛｰﾗ*2[CRTM-1000/CRTM-5000] ・蒸発源：2源[EB EGK-3M][R/H 2Boart]
・蒸発源使用電源：[EB HP-510C][RH RS-07(400A)] ・ﾋｰﾀｰ電源：PS-07[ﾒｰ ﾀｰ 30A]ｼﾏﾃﾞﾝ製 ・ﾄﾚｰｽ：Au/AuZn/Mo
RS12-1214 蒸着装置 EBX-16C ULVAC MH89-7043 1989
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 中量生産 真空槽：φ750Wx900H 自公転治具 蒸発源：電 子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M) 電源：10ｋW(真空管） 排気系：CRYO+RP 赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱 後方排気 ﾌﾟﾗﾈﾀﾄﾞﾘｰﾑ
RS11-3014 蒸着装置 EBX-10D ULVAC SE59-1362-4 1885 【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽：φ650W×800H 治具無し 蒸
発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3） 排気系：DP ＋ RP 赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
RS12-1419 蒸着装置(バッチ式） EBX-10D ULVAC SE56-1351-3 1981
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽：φ650W×800H 治具無し 蒸 発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3） 排気系：DP ＋ RP 赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱 欠品：EBｶﾞﾝ（バッチ式）
RS10-2175 蒸着装置 EBX-10C ULVAC SE58-1359-4
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽：φ600W×800H 蒸発源:電子 ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M） 電源：10kw（真空管） 排気系：CRYO ＋ RP
RS13-1038 蒸着装置 EBS-10A特型 ULVAC XJ99-70010A 1999
【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式 ﾊﾞｯﾁ装置】 排気系：U-12HSP(C30MT予防保全済）+PMB- 003C+D-950DK 加熱源：赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ ｽﾃｰｼﾞ回転：0～10ｒｐｍ 蒸発 源：抵抗蒸発源（Wﾌｨﾗﾒﾝﾄｘ4連ｘ6点切替方式） 仕様書・取説・図面あり
RS13-2205 蒸着装置（バッチ式） EBS-10A ULVAC ME54-0003 1979
【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式 ﾊﾞｯﾁ装置】2006年ﾘﾆｭｰｱﾙ 操作系：ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ 真空動作：
AUTO/MANUAL 成膜半自動 蒸着材料：AL・In・Sn 公転ﾄﾞｰﾑ（JRA-050) ﾜｰｸ ｻｲｽﾞ：50ｍｍｘ75ｍｍ 排気系：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ：Torr8/C30V RP D-650 PMB- 003C 蒸発源：E/B EGL-35M HP1010SG 抵抗蒸発源：1元ﾎﾞﾝﾊﾞｰﾄﾞ電源付き MFC Aｒ 100ｓｃｃｍ 膜厚計CRTM-6000
RS12-1080 蒸着装置 EBH-6 ULVAC MH62-5022 2005 【ﾍﾞﾙｼﾞｬ式ﾊﾞｯﾁ装置】 研究用 全手動操作 抵抗加熱式蒸発源 （欠品：ﾍﾞﾙ
ｼﾞｬｰ）
RS14-2262 蒸着装置 IPM-100（Load Lock式） ULVAC MF03-5104 2004
Main Vacuum System：CRYO（U-10PUS)・・・H2 mater)+(C2W-U・・・99633hr) Load Lock Chamber Vacuum System：Turbo-molecular pump（UTM- 350FH/D1A)
Vacuum Control System：mks TYPE 113
Vacuum Gauge：Ion Gauge(GI-TL3RY)*2 Pirani Gauge*5（GP-1SRY(A)）
Quartz crystal deposition controller (CRTM-6000)
Deposition Source：Erectron Beam Source（EB・・・EGO-35) Power Supply・・・（EB・・・HPS-510S)
Ion Plating System・・・RFS-02CA*2 Trace・・・Mo/Cr/Al/Al2O3 取説・図面あり。
RS16-1164 蒸着装置 SEC-10D 昭和真空 11-4110 2011 使用していた期間が短く、状態良好。
RS15-1193 蒸着装置 SEC-16C 昭和真空 02-4069 2002 実機検品時、EB ON確認まで実施。取説あり、仕様書・図面なし。
RS15-1085 蒸着装置 SKF-1300 昭和真空 07-4133 2008 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟが冷却水漏れ等にて熱交換器不良、また4台中1台にHe残圧0の状態
あり。取説あり、仕様書・図面なし。
RS13-2200 蒸着装置 SGC-22SA-RF（ﾊﾞｯﾁ式） 昭和真空 00-4561 2000
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 生産用φ900ｘ1125H SUS製 後方排気 水冷ﾊﾟｲﾌﾟ巻 公 転ﾄﾞｰﾑ 蒸発源：EB蒸発源（JEOL) JEBG-102UHO 15連ﾊｰｽ 電源JST-10F
（10Kw) 排気系 RP(VS-2401)+PMB(PMB-006CM)+DP（SFD-22B・昭和）+ﾎﾟﾘ ｺﾞｰﾙﾄﾞ(PFC-550) その他： RF誘導ﾊﾞｲｱｽ（３Kw) 京三 / 光学膜制御
（SOCS-1α）昭和 / CRTM-6000(ｼﾝｸﾞﾙｾﾝｻ） / ｼｰｽﾋ-ﾀｰ加熱
RS14-1226 蒸着装置 SGC-22SA-RF 昭和真空 97-4334
RS14-1227 蒸着装置 SGC-22SA-RF 昭和真空 94-4371
RS14-2289 真空蒸着装置 特殊蒸着装置 アネルバ EE995142 2001
RS14-2280 真空蒸着装置 BMC-700 シンクロン 900073 1990
RS16-2008 蒸着装置 CM90 トッキ -（不明） 1995
ﾊﾞｯﾁ式 2006年ﾘﾆｭｰｱﾙ済 φ495/R350ﾌﾟﾗﾈﾀﾘ-ﾄﾞｰﾑ自公転 □51mm 42枚×
3 蒸発源 E/B JEOL JEBG-203UB 12ｃｃ×6 EB電源 JST-10F 排気系 ｸ ﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-20P+C30MT ｻﾌﾞEC403+PMB-003CM 制御系 ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ 加熱 赤外線ﾗﾝﾌﾟ MAX300℃常用 200℃ 750W×2×4式 電源 PSH-076 膜厚計 CRTM-9000 ｾﾝｻｰﾍｯﾄﾞ CRTM-0×2 真空計 GI-D6 GP-1SRY 蒸発材料 Au Sn 仕様書・図面あり、取説なし。
<ＣＶＤ装置>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-4570 プラズマCVD装置 PD-3800LT SAMCO 32S2725 2011 現行機種 3”6”Wafer兼用 ☆
☆ RS16-4571 プラズマCVD装置 PD-3800LT SAMCO 32A2797 2011 現行機種 3”6”Wafer兼用 ☆
☆ RS16-4572 プラズマCVD装置 PD-3800LT SAMCO 32A2798 2011 現行機種 3”6”Wafer兼用 ☆
☆ RS16-2210 MO-CVD装置 BMC-606-M 大陽日酸 E-003-JAV-2 2012
・有機金属原料ガス TMGa 1系統 ハイライド循環ガスメイン PH3 1系統 ダミー 2 系統 キャリアガス 3系統（H2及びN2） 反応炉システム
・基板トレー 6インチ×6枚 フェースダウン 自公転方式
・カーボンヒーター 常用100℃～850℃ 短時間（10分） 1100℃ 成長可能圧力範 囲 67hPa～400hPa
・排気系 荏原製ドライポンプ ESA70W ターボ分子ポンプ 島津製作所 PT-150 油 回転ポンプ アルカテル 2015SD
・付属品：仕様書
☆
RS15-2118 CVD装置 CME-400Et ULVAC MA09-3487 仕様書あり、取説・図面なし。
RS10-2769 プラズマCVD装置 DWNT成膜装置 ULVAC MB03-7002 2003 【ﾊﾞｯﾁ式】 熱CVD ｶｰﾎﾞﾝﾅﾉﾁｭｰﾌﾞ研究用 加熱系：MAX1100℃ 排気系：RP ｶﾞｽ：H2（10SLM）・Co（10SLM） 基板：200mm×600mm
RS12-1145 プラズマCVD装置 CPD-1210 ULVAC - 【ﾊﾞｯﾁ式】 研究用 ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD 基板：φ200 使用ｶﾞｽ：SiH4・・O2・N2
RS13-1031 P-CVD装置 P-CVD装置 ULVAC MH61-1112 1986 研究・開発用途
RS12-1318 CVD装置 PD-270STA SAMCO 2001 【ﾊﾞｯﾁ式】 研究用 TEOS-CVD 使用ｶﾞｽ：C2F6 Ar O2 N2
<ALＤ装置>
追加中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS16-4009 ALD Polygon8200(Pulser3000) ASM #0863400 2011
<分子線エピタキシー装置（ＭＢＥ）>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS13-1010 分子線エピキタシー装置 - Eico - 2009 【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 蒸発源ｾﾙｘ6式のMBE装置
<アッシング装置>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-4573 アッシング装置 NA-8000 ULVAC MA09-3472 2011 ☆
☆ RS16-1168 アッシング装置 TCA-7822S 東京応化工業 T-9804525 1998 不良部品及び不具合動作あり。仕様書あり。 ☆
RS13-3031 アッシング装置 VA-1000 ULVAC 2215 2001 2013/5初旬に装置停止 その後ｸﾘｰﾝﾙｰﾑにて保管 外観上問題なし 不具合な
し
RS16-4004 アッシャー TCA-7822N 東京応化工業 - 2005
RS16-4003 アッシャー TCA-7822N 東京応化工業 T-0409675 2004
RS16-4002 アッシャー TCA-3822 東京応化工業 T-0103615 2001
RS13-3123 アッシング装置 1000P GLEN TECHNOLOGIES 10271 2000 仕様書・取説あり
<UV照射装置>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS12-1379 UVショウシャキ UV-1F SAMCO 24A1643 2003
RS14-8030 オゾンUV照射装置 UV-300 SAMCO 22A1336
<エッチング装置 ULVAC製>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-4567 プラズマエッチング装置 NE950EX ULVAC MA09-3469 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-4568 プラズマエッチング装置 NE950EX ULVAC MA10-5009 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-4569 プラズマエッチング装置 NE950EX ULVAC MA09-3470 2011 現行機種 ☆
RS15-1265 エッチング装置 NLD-6000 ULVAC MV05-1204 2005 使用頻度低く優良品。2015年にO/H履歴あり。仕様書・取説・図面あり。
RS16-1049 エッチング装置 NLD-6000 ULVAC MV01-0003 2002 正常稼働確認後、客先CR内で停止・保管していた装置。
仕様書・取説・図面なし。
RS16-1048 エッチング装置 NLD-6000 ULVAC MV01-0002 2002 正常稼働確認後、客先CR内で停止・保管していた装置。
仕様書・取説・図面なし。
RS16-4212 エッチング装置 NE-7700 ULVAC MV00-1008 2011
RS16-4215 エッチング装置 NE-7200 ULVAC SB00-543 2000
RS16-4214 エッチング装置 CSE-1000 ULVAC RE92-1001 1993
RS16-1012 エッチング装置 NE-550C ULVAC MV06-8003 2007 NE-550C：PC不良、TP不良、APCﾊﾞﾙﾌﾞ故障あり。
仕様書・取説・図面なし。
RS15-1245 エッチング装置 CR-500 ULVAC MA06-1046 2007
RS14-1231 エッチング装置 NE-5000N ULVAC MV98-1002 2000 CRで停止 L/L（ｶｾｯﾄ付）ｴｯﾁﾝｸﾞ装置。 程度良好・制御系動作確認済み。 取
説・図面あり。
RS12-2047 エッチング CSE-1000 ULVAC RE92-1023
RS11-2399 ドライエッチング装置 CSE-1210 ULVAC ME60-0230 【ﾊﾞｯﾁ式】 研究用 RIE方式 電源：500W 13.56MHｚ 排気系：DP＋PMB＋RP
基板：φ200mm （平置き） ｶﾞｽ系：4系統
RS10-2784 ドライエッチング装置 CSE-1110 ULVAC MH58-0012 1983 【ﾊﾞｯﾁ式】 研究用 RIE方式 電源：500W 13.56MHｚ 排気系：ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟ ﾝﾌﾟ＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ 基板：φ200mm （平置き）
RS12-1304 ICPエッチング装置 CE-300I ULVAC MV03-1008 2004 【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 研究用 ICP方式、使用ｶﾞｽ(CF４/C3F8/SF6/He/Ar/O2)
<エッチング装置 ULVAC製以外>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS16-4210 エッチング装置/アッシャー ICP101-LC SAMCO S248 2010
RS15-1021 エッチング装置 RIE-200L SAMCO ENS990608 1999 取説あり、仕様書・図面なし。
RS15-1003 エッチング装置 RIE-200IP SAMCO 22A1347
RS16-4287 エッチング装置 E-541AW 日立製作所 12WD05701 2013
RS16-4211 エッチング装置 E-541AW 日立製作所 09MD03301 2010
RS16-4213 エッチング装置 DEA-506T アネルバ EVP-24130 2014
RS11-2028 ドライエッチング装置 L-210H-WS アネルバ EVP-35058 2000 【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 研究用 RIE方式 使用ｶﾞｽ：O2 CF4：Ａｒ CHF3 C4F8 SF8 排気系：R/P×2台 TMP×1台
RS16-4209 エッチング装置 E725SC パナソニック 076E10118 2010
RS16-4216 エッチング装置 MUC-21-098 SPP 58743 2009
RS10-2182 ドライエッチング装置 CDE-80N 芝浦 WFX0013 【枚葉式】 生産向け ｹﾐｶﾙｴｯﾁﾝｸﾞ方式、電源：ﾏｲｸﾛ波 2.45GHz 1ｋW、基板：
φ200ｍｍ （裏面ｴｯﾁﾝｸﾞ）
<WETエッチング装置>
新規カテ中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS14-4117 エッチング CVE-2014ACｓ1 クレセン CVE-2013ACｓ1 2006 12インチ用縦型ウェットエッチング装置。薬液は温調、循環ろ過され、純水リンス
への影響がありません。
RS14-4015 Ti自動エッチング装置 - サンエイ - 2008 ウェット層でTiエッチング後、純水洗い、乾燥を自動で行える装置
<イオンミリング装置>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS16-4099 ミリング IM-5-9 日立製作所 765180-1 1999
RS16-4132 ミリング IBE350 VEECO 1106-613-660PM2 2005
RS16-1155 バッチ式イオンミリング装置 MPS-3000FC 三栄理研 AA00130
<イオン注入装置>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS14-1004 イオン注入装置 IDZ-8001 ULVAC MI05-1001 2005 ※ｾｯﾄ販売品（RS14-2326～2329：ｽｷｬﾅｰ電源4台）単品販売不可。CRにて停止
中。 制御系・電源・現行機種（ﾒﾝﾃ可能） 程度良好。 欠品なし。仕様書・図面 あり。
RS07-2983 イオン注入装置 IMX-3500 ULVAC MI98-0001 中電流ｲｵﾝ注入装置 (MAX Energy 200KeV) 基板：4in 1枚仕込（ｻｲｽﾞ変更
可能） ｴﾈﾙｷﾞｰ30～200KeV 連続可変 実験用
<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-4613 真空ガス置換式オーブン PVC211 M ESPEC 252003445 2008 ☆
☆ RS16-4614 真空ガス置換式オーブン PVC211 M ESPEC 252003443 2008 ☆
☆ RS16-4615 真空ガス置換式オーブン PVO211 M ESPEC 252003645 2009 ☆
☆ RS16-4574 クリーンオーブン乾燥機 PVC-332 ESPEC 253000252 2011 ☆
☆ RS16-4625 ホットプレート ND-1 AS ONE 11EM0278 ☆
☆ RS16-4626 ホットプレート ND-1 AS ONE 11EM0280 ☆
☆ RS16-4627 ホットプレート ND-1 AS ONE 11EM0348 ☆
☆ RS16-4628 ホットプレート ND-1 AS ONE 11EM0464 ☆
☆ RS16-4629 セラックホットプレート CHP-170D AS ONE 80500624-06 ☆
☆ RS16-4599 高恒温炉 - 神港精機 11100039 2011 現行機種 ☆
☆ RS16-4600 高恒温炉 - 神港精機 11100040 2011 現行機種 ☆
RS15-3007 真空乾燥炉 QSAF-500 ULVAC - 仕様書・図面あり、取説なし。
RS15-1020 ゴールドイメージ炉 RHL-P1210CP ULVAC D87086
RS14-1228 枚葉式高速アニール装置 RTA-4000 ULVAC MR060013-0 取説・図面あり/仕様書なし
RS15-1252 横型炉 MT-8X 32-A KOYOサーモシステム 50767 状態良好。仕様書あり、取説・図面なし。
RS12-1320 電気炉 VF-2000 KOYOサーモシステム ｵｰﾄﾛｰﾀﾞ φ４X36枚 ～1200℃
RS15-2079 電気炉 206M100M30X108H 光洋リンドバーグ HI-0714 1990 基板：φ100㎜～150㎜ 加熱系：1500℃ 搬送：手動 石英管：予備1式
仕様書・取説あり、図面なし。
RS12-1316 1連式横型管状炉 A-T-H NORITAKE φ4ｲﾝﾁ ～1300℃
RS12-1315 3連式横型管状炉 A-T-H NORITAKE φ4ｲﾝﾁ ～1250℃
RS16-2038 赤外線ランプ装置 RTA-0208S アドバンス理工 - 2009 LED製造ﾗｲﾝで使用装置 仕様書・取説・図面なし。
RS16-2007 拡散炉 YPS624F0102 015175 大倉電気 299717 2011
新品同様 状態良好 部品欠品なし
仕様：横型2段式 ﾜｰｸﾍﾞﾝﾁ付 基板（156×156）410枚（ﾎﾟｰﾄ実装数） 使用ｶﾞｽ：
N2・O2 昇温 10℃/min 降温 3℃/min ﾋｰﾀｰ 3ｿﾞｰﾝ φ350 最高温度 1000℃（常用600～900℃） ﾎﾟｰﾄ 石英
仕様書・取説・図面あり。
RS12-1373 電気炉
RS12-1044 真空アニール炉 TYPE BH アユミ工業 VE-01-16 2002 【ﾊﾞｯﾁ式】 実験用 排気系：CRYO PumP ＋ RP
RS12-1338 ベーク炉 LTI-601ED EYELA 10225465 350mm内径 200℃ 大気ｵｰﾌﾞﾝ・DG82(ﾔﾏﾄ)
RS14-1003 電気マッフル炉 KL-600 ADVANTEC 097210 2007 本体のみ 付属品：真空ｵｰﾌﾞﾝ（本体のみ）/型式：DP-
43/L/N:36800179/S/N:WA2433/ﾒｰｶｰ：ﾔﾏﾄ科学
RS14-2269 遠紫外線応用装置 DUV-25ｘ4B （ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式） 日本電池 00 E 5L 2000年以前製。 ﾗﾝﾌﾟ型式：L258 物件番号：KBG711 基板ｻｲｽﾞ： 100 使用時間：3407ｈｒ 仕様書・取説・図面あり。
RS14-1229 オーミックアロイ炉 DSI-3500P ケミトロニクス - 取説・図面あり/仕様書なし
<リフロー炉>
新規カテ中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS15-3008 エコリフロー炉 SNR-615 千住金属工業 - 2007 仕様書あり、図面・取説なし。
<ステッパー・アライナー>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-4593 ミニステッパー NES1-h4 NIKON 0900201 2010 ｈ線 現行人気機種 ☆
☆ RS16-4594 ミニステッパー NES1-h4 NIKON 1100802 2011 ｈ線 現行人気機種 ☆
RS15-2078 マスクアライナー PLA-600F CANON 91120311 1991
ﾏｽｸ：φ7/6In/5In（SEMI規格）
基板：φ100㎜～150㎜
照明系：ｳｼｵ250W 超高圧水銀灯（ｇ線、h線、I線の組合せ）
露光：繰返精度±3%
ﾚﾝｽﾞ：対物10X（5X、20X）接眼10X（5X、20X）
仕様書・取説あり、図面なし。
RS14-2296 マスクアライナー Q-4000 Quintel 114 2001 ｱｲﾋﾟｰｽ：ﾆｺﾝ 038189 cfwn 10X/20 ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾃｨﾌﾞﾚﾝｽﾞ：5X/0.04 ∞ 2.3*2 / 2X/0.04 ∞ 2.3*2 ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄｻｲｽﾞ：dia.75
RS14-2278 マスクアライナー ML-300LF ルミナス - 2007
試料ｻｲｽﾞ：300ｘ300 光束：160ｍｍ 水銀ﾗﾝﾌﾟ：250W 仕様書・取説・図面あり。
RS14-3048 マスクアライナ装置 MA8/BA8 ズーズ・マイクロテック MA8BA8-001104 2008
年式新しく、程度良好。予備部品、ﾄﾞｷｭﾒﾝﾄ関係充実。照度計あり。8ｲﾝﾁの出来 るﾏｽｸｱﾗｲﾅは希少価値あり。装置ﾒｰｶｰのｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ社の立上、改造支援も 可能。8ｲﾝﾁ 立上時ﾒｰｶｰﾗｲｾﾝｽ料必要。仕様書・取説あり、図面なし
RS15-1131 ウエハ露光装置 PA-150MAD 清和光学 46102 2002 取説あり、仕様書・図面なし。
RS13-3121 ボンドアライナー装置 EVG620 EVG S020115 2003 仕様書・取説あり
<電子ビーム（ＥＢ）描画装置>
新カテ中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-1245 TFE電子ビーム描画装置 ELS7500EX ELIONIX H35-019 2008
RS15-1194 電子ビーム描画装置 ELS-7700 ELIONIX H31-001 2004 TMP要O/Hであるが、状態は良好。事前検品で通電立上げ確認済。
取説あり、仕様書・図面なし。
<重ね合わせ測定装置（ＯｖｅｒＲａｙ)>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS16-4130 重ね合わせ装置 KLA-5107XP KLA-Tencor 1406 1998
RS16-4303 重ね合せ測定装置 Archer XT+ KLA-Tencor 3656 2006
RS16-4304 重ね合せ測定装置 Overlay Q240AT Nanometrics 08-2006 2006
<コーター・デベロッパー>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS15-1248 スピンデベロッパー AD-1200 清和光学 64531 状態良好。仕様書あり、取説・図面なし。
RS15-1249 スピンデベロッパー AD-1200 清和光学 - 状態良好。仕様書あり、取説・図面なし。
RS16-2034 フィルムUVコーター - 渕上ミクロ - 2004 300mm ﾌｨﾙﾑ幅 UV塗布ｺｰﾀｰ ﾒｰｶｰ:渕上ﾐｸﾛ UV照射装置 PL1106 ｾﾝ特殊
光源 取説・図面あり、仕様書なし。
RS16-4186 Coater Litho Spin Cup 200C Litho Tech Japan - 2015
RS15-1250 スピンコーター ASS-303 エイブル AA-2023 状態良好。仕様書あり、取説・図面なし。
RS14-4034 コーターデベロッパー SK-W80B-AVP DNS 38700-6637 2コーター、2デベロッパー。 2014/11月末まで稼働。 不具合・欠品なし。 8"仕
様 （6"以下も可）
RS13-3019 レジストコーター DELTA80T2 ズーズ・マイクロテック - 2005 取説あり
<ＣＭＰ>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS16-4027 CMP AVANTI472 Novellus 282 2000
RS16-4025 CMP AVANTI472 Novellus 295 2000
RS16-4019 CMP AVANTI472 Novellus 265 2013
RS16-4021 CMP nTegnity 6DS-SP Strasbaugh 2930400 2014
RS16-4018 CMP nTrepid 6EH Strasbaugh - 2010
RS12-1376 CMP SPP600S 岡本工作機械 7039 1999
RS16-2003 ウェーハ研磨装置 MAT-BC15C MAT 14-0017 2014
CMP装置（新品同様）ﾊﾞｯﾁ式
ﾌﾟﾗﾃﾝ径・・・φ380/回転率/・・・0～100rpm/基板・・・6in/最大加圧・・・50kgf/ﾘﾝ ｽ・・・1系統手動
仕様書あり、取説・図面なし。
RS16-2004 ウェーハ研磨装置 MAT-MGR-15F MAT 15-0030 1996
2013年ﾘﾆｭｰｱﾙ中古販売品。研削装置（ﾊﾞｯﾁ式）
常磐部・・・φ380（回転数10～200rpm）/加工軸・・・2軸（使用修正ﾘﾝｸﾞ径φ160
～200mm）/ﾌｪｰｼﾝｸﾞ装置部・・・最大移動量200mm/ｽﾗﾘｰ供給部・・・噴霧方式 ｵ ﾌﾟｼｮﾝ/ﾏｸﾞﾈｯﾄｽﾀｰﾗｰ 水冷加温ﾁﾗｰ装置 定寸冶具
仕様書・取説あり、図面なし。
<めっき装置>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-2195 共集点顕微鏡システム AX10 lmgaerA1/M1 カールツァイス 1020952192 2005 接眼×10 対物×100×50×20 ☆
☆ RS16-2196 微小穴自動ファイリングシステム - OLYMPUS -
接眼×10 対物×100×50×20 顕微鏡型式 BXFM XY軸ステージ ±75㎜0.002㎜
Z軸ステージ ±120㎜±0.001㎜
17インチモニター 制御：WindowsXP
☆
☆ RS16-4606 実体顕微鏡 SMZ800 NIKON 1002460/1002391 2000 ☆
☆ RS16-4607 実体顕微鏡 SMZ800 NIKON 1002463/1002147 2000 ☆
☆ RS16-4608 実体顕微鏡 SMZ800 NIKON 1005230/1004018 2002 ☆
☆ RS16-4566 実体顕微鏡 SMZ800 NIKON 2004003 2000 ☆
RS13-1040 飛行時間型二次イオン質量分析装置 TOF-SIMS TFS-2100 ULVAC - 1997 欠品・不具合なし。取説有り、仕様書・取説無し
RS16-4077 蛍光X線分析器 3640 リガク CR41004 2006
RS16-4075 蛍光X線分析器 3272 リガク WR18005
RS16-4078 蛍光X線分析器 3640 リガク VR41009 1999
RS16-4076 蛍光X線分析器 3272 リガク YR18005 2002
RS16-4074 蛍光X線分析器 3620 リガク LR42018 1989
RS14-2282 X線解析装置 ATX-E リガク WD2876N 2002
RS14-2283 X線解析装置 ATX-E リガク UD2903N 2002
RS14-2281 X線解析装置 ATX-E リガク YD2780N 2002
RS14-3121 蛍光X線分析装置 EDX-720 島津製作所 Q23644602507AE 状態良好。
RS12-1087 ウエハ表面検査装置 WM-2500 トプコン 00110021 2001
RS13-3130 ウェーハ表面検査装置 WM-1700 トプコン 207013
RS12-1422 ウェーハ表面検査装置 WM-1500 トプコン 01250019 1997 2013/4まで稼動。特に問題なし。動作型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対応仕様書・取説
あり
RS12-1424 ウェーハ表面検査装置 WM-1500 トプコン 000370032 1997 ﾚｰｻﾞｰ管NG、ｱｰﾑﾊﾞｷｭｰﾑ用電磁弁NG、VMEｺﾝﾋﾟｭｰﾀ-PH2ﾎﾞｰﾄﾞNG、部品取り 用。型式詳細：6ｲﾝﾁ、8ｲﾝﾁ対応
RS16-4251 パーティクルカウンター WM-3 トプコン 80993097
RS14-2265 X線反射率・組織分析装置 S-MAT2000F テクノス 172R-046 2004 電気：AC200V 30A（本体）、15A（送水装置） 冷却水：25L/min 窒素：
15NL/min 真空：15NL/min 取説あり。
RS12-1322 SEM S-3000H 日立製作所 1999 電子顕微鏡（ＳＥＭ） MFG No.114H2198-01
RS12-2062 魔境検査装置 MIS-110 KOBELCO M-002 2003 魔境の原理を用いて、ｳｴｰﾊの鏡面加工された試料表面の目に見えない凹凸を
濃淡画面で表示する
RS13-3018 ウエハ異物検査装置 - タイヨー電機 - 2007
<膜厚測定・エリプソメーター>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS16-4579 接触式表面形状測定器 P-40H 東朋テクノロジ－/KLA 10100556 2011 ☆
☆ RS16-4580 光干渉方式自動膜厚測定器 FE-3000 大塚電子 AV41-0629 2011 ☆
☆ RS16-4601 透過率測定器 (分光光度計) FE-12 大塚電子 HH41-0628 2011 現行機種 ☆
NS-3016 触針式表面形状測定器 DEKTAK8 ULVAC
NS-3014 分光エリプソメータ UNECS-2000 ULVAC
RS16-4223 段差計 P-11 KLA-Tencor 09990311（P/N：
401226） 1999
RS16-4225 段差計 AS500 KLA-Tencor 0997-0430
RS16-4227 段差計 - KLA-Tencor 988-1576 1989
RS16-4231 段差計 P-11 KLA-Tencor 08970211（P/N：
401226） 2004
RS16-4230 段差計 P-11 KLA-Tencor 05990299
（P/N:401226） 2004
RS16-1052 段差計 V200-Si VEECO 16075 2001 動作確認後に客先で停止・保管していた装置。仕様書・図面・取説なし。
RS16-4163 エリプソメーター UT-300 HORIBA STEC 4095822001 2000
RS16-4162 光学式膜測定器 M6100UV Nanometrics 99120039 1999
RS14-4102 光干渉式膜厚測定装置 ﾗﾑﾀﾞｴｰｽVM-1000 DNS 60730-0304 2001 非接触式膜厚測定器、一部故障あり
RS13-3165 分光エリプソメーター GES5e Sopra(現日本セミラボ） 61H##3608 2008 CCDﾏﾙﾁﾁｬﾝﾈﾙ、DUV 190-900nm 使用履歴：2014/2月までﾌﾟﾛｾｽ評価用途で 使用 取説あり動作確認済み、メーカー補正推奨 12インチウエハ対応
<ＦＴ－ＩＲ>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS12-1404 FT-IR Nicolet4700 Thermo AFZ0400155 フーリエ変換型赤外分光光度計
