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2022 年 5 月度在庫リスト No カテゴリー 1 カテゴリー 2 商談状況 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年 1 装置 蒸着装置 RS A 真空蒸着装置 EX-550-C10 ULVAC MH 装置 蒸着装置 商談中 RS16-217

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(1)

1 装置 蒸着装置 RS16-10460A 真空蒸着装置 EX-550-C10 ULVAC MH62-5010 1987

2 装置 蒸着装置 商談中 RS16-21730A 真空蒸着装置 EBX-8C ULVAC MH60-5255 1986

3 装置 蒸着装置 RS18-10180A 真空蒸着装置 MiniLab ULVAC MA04-1036 2005

4 装置 蒸着装置 RS18-10260A 真空蒸着装置 EBV-6DA ULVAC MH90-1026

5 装置 蒸着装置 RS18-11270A MBE装置 MBE-BC2400 ULVAC MB92-1093 1992

6 装置 蒸着装置 RS19-11500A 蒸着装置 EBX-10C ULVAC RE91-1006-0 1997

7 装置 蒸着装置 RS19-25170A 薄膜作製装置 BCS-2000 ULVAC MB90-1099 1992

8 装置 蒸着装置 商談中 RS20-10240A 蒸着装置 EBX-6D ULVAC ME57-0105 1983

9 装置 蒸着装置 商談中 SC19-10060A 蒸着装置 ei-Opt ULVAC MA09-3101-0 2010

10 装置 蒸着装置 商談中 SC19-10070A 蒸着装置 ei-Opt ULVAC MA09-3103-0 2010

11 装置 蒸着装置 SC19-10150A 真空蒸着装置 ei-7L ULVAC YO15-0901-0 2015

12 装置 蒸着装置 商談中 SC19-10040A 蒸着装置 SGC-26WA SHOWA SHINKU 00-4507 2001

13 装置 蒸着装置 商談中 SC19-10050A 蒸着装置 SGC-26WA SHOWA SHINKU 00-4508 2001

14 装置

スパッタリング装

置 商談中 RS16-22090A

マルチチャンバ型スパッ

タリング装置 ENTRON-EX W200S ULVAC ME05-5010 2006

15 装置

スパッタリング装

置 RS18-10220A

バッチ式スパッタリング

装置 SH-450特型 ULVAC MH62-5026 1988

16 装置

スパッタリング装

置 商談中 RS18-11190A

バッチ式スパッタリング

装置 SH-350H ULVAC MH63-0211 1989

17 装置

スパッタリング装

置 RS18-11470A スパッタリング装置 Utech-4543 ULVAC 1996

18 装置

スパッタリング装

置 RS18-21440A スパッタリング装置 SIV-200S ULVAC MA09-3312 2010

19 装置

スパッタリング装

置 RS18-21450A スパッタリング装置 SIV-200S ULVAC MA09-3313 2010

20 装置

スパッタリング装

置 商談中 RS19-10010A

カルーセル型スパッタリ

ング装置 SV-4540 ULVAC MH63-0301 1989

21 装置

スパッタリング装

置 RS19-10080A スパッタリング装置 MPS-4000-L4特 ULVAC MB01-7001 2002

22 装置

スパッタリング装

置 RS19-30040A スパッタリング装置 ENTRON-EX W300 ULVAC ME05-4533-0 2006

23 装置

スパッタリング装

置 商談中 SC19-10000A スパッタリング装置 SMD-1800X ULVAC MH17-4714-0 2018

24 装置

スパッタリング装

置 商談中 SC19-10030A スパッタリング装置 SCH-135A ULVAC XH12-4777 2012

25 装置

スパッタリング装

置 商談中 SC19-10080A スパッタリング装置 SCH-135T ULVAC ZR11-4730-0 2011

26 装置

スパッタリング装

置 商談中 SC19-10090A スパッタリング装置 SRH-530 ULVAC MA06-3464-0 2007

27 装置

スパッタリング装

置 商談中 SC19-10110A スパッタリング装置 STD-1500VR ULVAC MH11-1027-0 2012

28 装置

スパッタリング装

置 商談中 SC19-10140A スパッタリング装置 SDH-4550L ULVAC YO15-0896-0 2015

29 装置

スパッタリング装

置 RS18-10240A スパッタリング装置 SPF-313H CANON ANELVA EVP-18377

30 装置

スパッタリング装

置 SC20-10690A 卓上スパッタ装置 SC-701HMCⅡ SANYU ELECTRON 2017

31 装置

スパッタリング装

置 RS18-11480A

対向ターゲットスパッタ 装置

対向ターゲットスパッタ

装置 TOEI Science 2002

32 装置

マルチチャンバ型 スパッタリング装

置 商談中 SC19-10100A

マルチチャンバ型スパッ

タリング装置 ENTRON W300T ULVAC ME06-9614-0 2007

33 装置

マルチチャンバ型 スパッタリング装

置 商談中 SC20-10000A

マルチチャンバ型スパッ

タリング装置 ENTRON N300 ULVAC 2014

34 装置

マルチチャンバ型 スパッタリング装

置 商談中 SC20-10020A

マルチチャンバ型スパッ

タリング装置 ENTRON-EX2 W300 ULVAC 2015

(2)

35 装置

マルチチャンバ型 スパッタリング装

置 商談中 SC20-10030A

マルチチャンバ型スパッ

タリング装置 ENTRON N300 ULVAC 2013

36 装置

マルチチャンバ型 スパッタリング装

置 商談中 SC20-10040A

マルチチャンバ型スパッ

タリング装置 ENTRON-EX2 W300 ULVAC 2013

37 装置

ドライエッチング

装置 RS16-10120A ドライエッチング装置 NE-550C ULVAC MV06-8003 2007

38 装置

ドライエッチング

装置 RS18-42040A ドライエッチング装置 M-308FX Hitachi High Tecnologies 96C0228421 1996

39 装置

ドライエッチング

装置 RS18-42330A ドライエッチング装置 M-318 Hitachi High Tecnologies - 1995

40 装置 エッチング装置 RS19-25180A ドライエッチング装置 NE-700 ULVAC MV96-6002 1997

41 装置 エッチング装置 商談中 SC19-10020A ドライエッチング装置 NE-950EXK ULVAC MA10-3402-0 2010

42 装置 エッチング装置 商談中 SC19-10160A ドライエッチング装置 NE-5700 ULVAC MV06-1204-0 2007

43 装置 アッシング装置 商談中 RS20-10030A アッシング装置 NA-8000 ULVAC MA09-1022-0 2010

44 装置 アッシング装置 RS19-20040A 低ダメージアッシャー MAS801-HR CANON 81191 9999

45 装置 アッシング装置 RS19-20050A 低ダメージアッシャー MAS801-HR CANON 81176 9999

46 装置 凍結乾燥装置 RS18-10840A 凍結乾燥装置 DF-020H ULVAC MF95-1111 1995

47 装置 凍結乾燥装置 RS18-11510A 真空凍結乾燥装置 DFM-09A-S特型 ULVAC MF02-1002 2002

48 装置

熱処理装置

(RTP、DIFF、

LP) 商談中 SC20-10450A 抵抗加熱式真空熱処理炉 FHT-75S ULVAC 2013

49 装置 グラインダー装置 RS18-11450A 横型平面研削機 SGM-6301 SHUWA 011019

50 装置 コーター装置 RS19-11310A スピンコーター装置 1H-D2 MIKASA 5677 1989

51 装置 コーター装置 RS19-11320A スピンコーター装置 1H-D2 MIKASA 5676 1989

52 装置 コーター装置 商談中 SC20-10960A スプレーコータ― DC110 Sanmei Electronics 2009

53 装置 スクラバー装置 RS18-42250A Mジェットスクラバー ACA-001A-113A SPC ELECTRONICSU06431 1996

54 装置

スピンドライヤー

装置 RS18-11440A スピンドライヤー装置 SRD840S-1-1-E-ML Semitool 16473.1.2

55 装置 加熱装置 商談中 SC20-10240A Ta線連続熱処理炉 Ta線連続熱処理炉 ULVAC 2011

56 装置 加熱装置 商談中 SC20-10220A ロータリーキルン炉 FT-1100-250RK FULL-TECH 2011

57 装置 加熱装置 商談中 SC20-10230A 高温管状雰囲気電気炉 FTV-1600 FULL-TECH 2011

58 装置 加熱装置 商談中 SC20-10500A ロータリーキルン炉 FT-2000R-400RK FULL-TECH 2015

59 装置 加熱装置 RS18-11410A キュア炉 MSC-600 KYUSHU NISSHO 2109-0065 2010

60 装置 加熱装置 商談中 SC20-10090A 脱脂炉 BM-DWF-1013 MARUSHO DENKI 2010

61 装置 加熱装置 商談中 SC20-10100A 脱脂炉 DWF-111112 MARUSHO DENKI 2010

62 装置 加熱装置 商談中 SC20-10110A 脱脂炉 DWF-111112 MARUSHO DENKI 2010

63 装置 加熱装置 商談中 SC20-10120A 脱脂炉 DWF-111112 MARUSHO DENKI 2010

64 装置 加熱装置 商談中 SC20-10130A 脱脂炉 DWF-111112 MARUSHO DENKI 2010

65 装置 加熱装置 商談中 SC20-10140A 脱脂炉 DWF-111112 MARUSHO DENKI 2010

66 装置 加熱装置 商談中 SC20-10150A 脱脂炉 DWF-111112 MARUSHO DENKI 2010

67 装置 加熱装置 商談中 SC20-10160A 脱脂炉 DWF-111112 MARUSHO DENKI 2010

68 装置 加熱装置 商談中 SC20-10170A 脱脂炉 DWF-111112 MARUSHO DENKI 2010

69 装置 加熱装置 商談中 SC20-10320A 脱脂炉 DWF-111112 MARUSHO DENKI 2012

70 装置 加熱装置 商談中 SC19-10130A

メッシュベルト式雰囲気

加熱炉 MBK-950 NORITAKE ー 2016

71 装置 その他 商談中 SC20-10800A

触媒線評価機 テストベ ンチ

触媒線評価機テストベン

チ ULVAC 2019

72 装置 その他 商談中 SC20-11010A ECRイオン源試作機 ECRイオン源試作機 ULVAC 2016

73 装置 その他 商談中 SC20-10290A 加熱攪拌装置 加熱攪拌装置 alps engineering 2012

74 装置 その他 商談中 SC20-10490A 粉体輸送機 粉体輸送機 AMANO 2014

75 装置 その他 商談中 SC20-10200A 成形体切断機 TA-350LM-30-DIA ANDSAW 2011

76 装置 その他 商談中 SC20-10210A 成形体切断機 TA-350LM-30-DIA ANDSAW 2011

77 装置 その他 商談中 SC20-10310A ダイヤソー TA-300L-DIA改造型 ANDSAW 2012

78 装置 その他 商談中 SC20-10850A UVオゾン洗浄改質装置 ASM1101N ASUMI GIKEN 2011

79 装置 その他 商談中 SC20-10440A 中粉砕用ボールミル装置 ULVJ-500 CHUO KAKOHKI 2013

80 装置 その他 商談中 SC20-10300A 超音波振動ふるい C501C DALTON 2012

(3)

81 装置 その他 商談中 SC20-10940A

自公転式真空撹拌脱泡ミ

キサー V-mini300 EME 2010

82 装置 その他 RS18-42300A エミッション解析装置 PHEMOS-200 HAMAMATSU photonics1H0016 2001

83 装置 その他 商談中 SC20-10790A 卓上ロールプレス HSRP007 Hohsen 2018

84 装置 その他 商談中 SC20-10820A ライフタイム測定装置 LTA-1512 Kobelco Research Institute 2009

85 装置 その他 商談中 SC20-10330A 振動ふるい機 KFC-500D-1D 湿式用 KOWA KOGYOSHO 2013

86 装置 その他 商談中 SC20-10340A 振動ふるい機 KFC-500D-1D 湿式用 KOWA KOGYOSHO 2013

87 装置 その他 商談中 SC20-10350A 振動ふるい機 KFC-500D-1D 湿式用 KOWA KOGYOSHO 2013

88 装置 その他 商談中 SC20-10400A 振動ふるい機

KFC-500D-1D 100メッ

シュ KOWA KOGYOSHO 2013

89 装置 その他 商談中 SC20-10640A 接触角計 DMs-401 Kyowa Interface Science 2018

90 装置 その他 商談中 SC20-10930A 自動接触角計 DM500 Kyowa Interface Science 2007

91 装置 その他 商談中 SC20-10250A 貫流ボイラー EQS-100K NIPPON THERMOENER 2011

92 装置 その他 RS18-12400A 蛍光X線分析装置 SEA-1000A Seiko Instruments 1600257000049 2004

93 装置 その他 商談中 SC20-10410A 混合装置 混合装置(小) SEIWA KOGYO 2013

94 装置 その他 商談中 SC20-10420A 混合装置 混合装置(大) SEIWA KOGYO 2013

95 装置 その他 商談中 SC20-10430A 混合装置 混合装置(大) SEIWA KOGYO 2013

96 装置 その他 商談中 SC20-10610A 粉体成膜用装置 1148-010_911 Model (1) tecno wave 2019

97 装置 その他 RS18-42180A 表面粗さ測定装置 E-ST-VS21A-1 tokyo seimitsu A012411 2000

98 装置 その他 商談中 SC20-10600A 充放電評価装置 TOSCAT-3100 TOYO SYSTEM 2018

99 装置 その他 商談中 SC20-10580A φ100-2段圧延機 φ100-2段圧延機 unknown 2018

100 装置 その他 商談中 SC20-10650A

リモートプラズマシステ ム

リモートプラズマシステ

ム unknown 2016

101 装置 その他 商談中 SC20-10810A

スーパーソーラーシュミ

レータ WXZ-90S-L2,AM1.5GMM WACOM 2008

102 装置 その他 商談中 SC20-11170A 風力発電設備 風力発電設備 Zephyr 2010

103 装置 その他 商談中 SC20-11180A 風力発電設備 風力発電設備 Zephyr 2010

104 装置 その他 商談中 SC20-10360A 解粉砕ライン装置 FH-1型 2013

105 装置 その他 商談中 SC20-10370A 解粉砕ライン装置 FH-1型 2013

106 装置 その他 商談中 SC20-10380A 攪拌装置 攪拌装置 150リットル 2013

107 装置 その他 商談中 SC20-10390A 攪拌装置 攪拌装置 150リットル 2013

108 装置 その他 商談中 SC20-10470A

酸化インジウム粉末回収 設備

酸化インジウム粉末回収

設備 2013

109 装置 その他装置 商談中 SC20-10010A プラズマドーピング装置

ENTRON-EX2 W300

(Plasma doping) ULVAC 2015

110 装置 その他装置 RS19-12080A イオンコーター装置 IB-3 EIKO ENGINEERING007-107-09 2003

111 装置 マルチメーター 商談中 SC20-10560A

マルチチャンネルライン

電気化学測定装置 PGSTAT-302 Autolab 2006

112 装置 横型熱処理炉 商談中 SC19-10170A

熱処理装置 (RT P、D IFF、LP) 【ULVA

C】 FHH-45GH ULVAC MF16-9001 2016

113 装置 外観検査装置 RS18-42260A ウェハ外観検査装置 OST-3 NIKON 20657 1995

114 装置 外観検査装置 RS18-42270A ウェハ外観検査装置 OST-3 NIKON 205890 1994

115 装置 除害装置 RS18-80500A 除害装置 MAK-025 TOMOE SHOKAI

116 装置 貼付け装置 商談中 SC20-10590A

チャンバー式真空シール 機

チャンバー式真空シール

機 Hohsen 2018

117 装置 排気装置 RS18-10270A 排気装置 可搬型排気装置 CANON ANELVA EVP-0099A

118 コンポーネント油回転真空ポンプ RS18-12590A 油回転真空ポンプ D-330K ULVAC 1-08481

119 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10810A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190158T 2019

120 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10820A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 160199T 2016

121 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10830A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190155T 2019

122 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10840A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190160T 2019

123 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10850A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190161T 2019

(4)

124 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10860A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190159T 2019

125 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10870A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190162T 2019

126 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10880A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190156T 2019

127 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10890A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190163T 2019

128 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10900A 油回転真空ポンプ G-10DA ULVAC 85077 2019

129 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10910A 油回転真空ポンプ G-10DA ULVAC 85227 2019

130 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10920A 油回転真空ポンプ G-10DA ULVAC 85213 2019

131 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10930A 油回転真空ポンプ G-10DA ULVAC 85229 2019

132 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10940A 油回転真空ポンプ G-10DA ULVAC 85211 2019

133 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10960A 油回転真空ポンプ G-20DA ULVAC 190178T 2019

134 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10970A 油回転真空ポンプ G-20DA ULVAC 190179T 2019

135 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10980A 油回転真空ポンプ G-20DA ULVAC 180188T 2018

136 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10990A 油回転真空ポンプ G-20DA ULVAC 180011T 2018

137 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-11000A 油回転真空ポンプ G-20DA ULVAC 180010T 2018

138 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-11050A 油回転真空ポンプ G-50DA ULVAC 190208T 2019

139 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-11060A 油回転真空ポンプ G-50DA ULVAC 180363T 2018

140 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-20380A 油回転真空ポンプ PKS-016 ULVAC A30A-00748

141 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-20390A 油回転真空ポンプ PKS-016 ULVAC A30A-00749

142 コンポーネント油回転真空ポンプ 商談中 RS19-20400A 油回転真空ポンプ PKS-016 ULVAC A30A-02197

143 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-20410A 油回転真空ポンプ PKS-016 ULVAC 2-23021

144 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-20440A 油回転真空ポンプ PKS-016 ULVAC 2-02627

145 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-20460A 油回転真空ポンプ PKS-016 ULVAC A30A-01253

146 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-25120A 油回転真空ポンプ PKS-016 ULVAC 2-3239

147 コンポーネント油回転真空ポンプ RS18-11040A

913-7000コンビネーショ

ンポンプ① 913-7000 CANON ANELVA U-1872547

148 コンポーネント油回転真空ポンプ RS18-11050A

913-7001コンビネーショ

ンポンプ② 913-7001 CANON ANELVA U-0872361

149 コンポーネント油回転真空ポンプ RS18-11060A

913-7002コンビネーショ

ンポンプ③ 913-7002 CANON ANELVA U-1872534

150 コンポーネント油回転真空ポンプ RS18-11070A

913-7003コンビネーショ

ンポンプ④ 913-7003 CANON ANELVA U-3873075

151 コンポーネント油回転真空ポンプ RS20-10090A 油回転真空ポンプ GHP1300B diavac 143014

152 コンポーネント油回転真空ポンプ RS19-10060A 油回転真空ポンプ E2M-18 EDWARDS 28361

153 コンポーネント

メカニカルブース

ターポンプ 商談中 NS-3006

メカニカルブースターポ

ンプ PRC-012A-without-Inv. ULVAC ー

(5)

154 コンポーネント

メカニカルブース

ターポンプ 商談中 NS-3007

メカニカルブースターポ ンプ

PRC-012A-without-

Motor-&-Inv. ULVAC ー

155 コンポーネント

メカニカルブース

ターポンプ 商談中 NS-3009

メカニカルブースターポ

ンプ PRC-036C-T ULVAC ー

156 コンポーネント

メカニカルブース

ターポンプ 商談中 NS-3010

メカニカルブースターポ

ンプ PRC-036C-T ULVAC ー

157 コンポーネント

メカニカルブース

ターポンプ 商談中 NS-3011

メカニカルブースターポ

ンプ PRC-036C-T ULVAC ー

158 コンポーネント

メカニカルブース

ターポンプ RS18-12800A

メカニカルブースターポ

ンプ PRC-006A ULVAC A68A-02101

159 コンポーネント

メカニカルブース

ターポンプ RS18-21060A

メカニカルブースターポ

ンプ PMB-006CM ULVAC A15A-00118 1990

160 コンポーネント

メカニカルブース

ターポンプ RS18-21590A

メカニカルブースターポ

ンプ PMB-024C ULVAC A18A-01012 2008

161 コンポーネント

メカニカルブース

ターポンプ RS19-11360A

メカニカルブースターポ

ンプ PMB-006C ULVAC A14A-01629

162 コンポーネント

メカニカルブース

ターポンプ 商談中 RS19-80790A

メカニカルブースターポ

ンプ PRC-006A ULVAC A68A-00403

163 コンポーネント

メカニカルブース

ターポンプ 商談中 SC18-10000A

メカニカルブースターポ

ンプ PRC-006A ULVAC 2015

164 コンポーネント ドライポンプ 商談中 NS-1573 ドライポンプ LR3600 ULVAC ー 165 コンポーネント ドライポンプ 商談中 NS-2682 ドライポンプ LR3601-R ULVAC ー 166 コンポーネント ドライポンプ 商談中 NS-2687 ドライポンプ LR3601-R ULVAC ー 167 コンポーネント ドライポンプ 商談中 NS-6007 ドライポンプ LR3600 ULVAC ー

168 コンポーネント ドライポンプ 商談中 RS13-20420A ドライポンプ LR1800 ULVAC NK03-2990-1

169 コンポーネント ドライポンプ RS13-81430A ドライポンプ PDR-090CL ULVAC A93A-00044 1998 170 コンポーネント ドライポンプ RS15-10510A ドライポンプ PDR-090CL ULVAC A93A-00972 2002 171 コンポーネント ドライポンプ RS15-10520A ドライポンプ PDR-090CL ULVAC A93A-00975 2002 172 コンポーネント ドライポンプ RS18-12850A ドライポンプ LR1800 ULVAC A103B-00045 2013

173 コンポーネント ドライポンプ RS18-12860A ドライポンプ DYM-12RAH-18CU ULVAC

A69A-01015/A87A- 00034

174 コンポーネント ドライポンプ RS19-20080A ドライポンプ DA-241S ULVAC 1000209 2010 175 コンポーネント ドライポンプ RS18-81230A ドライポンプ AA10S Ebara SX60083 1995 176 コンポーネント ドライポンプ 商談中 RS18-81480A ドライポンプ QDP80 EDWARDS 14550

177 コンポーネント ドライポンプ RS19-20540A ドライポンプ SDE303A-032 KASHIYAMA INDUSTRIES09ZUN29048 2009 178 コンポーネント ドライポンプ 商談中 SC20-11160A ドライポンプ KCP100-V-01A ORION 2019

179 コンポーネントターボ分子ポンプ 商談中 NS-3012 ターボ分子ポンプ UTM-6300FHA ULVAC ー

180 コンポーネントターボ分子ポンプ RS13-21470A ターボ分子ポンプ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0447 2010

181 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-12510A ターボ分子ポンプ UTM-3301FW ULVAC 3301F 0252

182 コンポーネントターボ分子ポンプ RS19-10460A ターボ分子ポンプ UTM-700FW ULVAC 070F069

183 コンポーネントターボ分子ポンプ RS19-10470A

ターボ分子ポンプコント

ローラー FT-700W ULVAC

FTI-700W-T7-185U E-0652

184 コンポーネントターボ分子ポンプ 商談中 SC20-11190A ターボ分子ポンプ UTM-500 ULVAC XPD0004 2013

185 コンポーネントターボ分子ポンプ RS19-80380A ターボ分子ポンプ TG2400MVWB OSAKA VACUUM 0134/V3F05A14 2005

186 コンポーネントターボ分子ポンプ RS13-81690A タ-ボ分子ポンプ TMP-1003LMC SHIMADZU EZM021 1992

187 コンポーネントターボ分子ポンプ RS14-10100A ターボ分子ポンプ TMP-803MC SHIMADZU LZM-167 2000

188 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-11350A ターボ分子ポンプ TMP-550L SHIMADZU 6203 1989

189 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-11770A ターボ分子ポンプ TMP-V3304LM SHIMADZU ADJA1892 2018

190 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-80160A ターボ分子ポンプ TMP-803MC SHIMADZU JZM070 1997

(6)

191 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-80170A ターボ分子ポンプ TMP-2003MC SHIMADZU FZN061 2000

192 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-80180A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-203M SHIMADZU FZQ076 2000

193 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-80190A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-2003M SHIMADZU FZT056 2000

194 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-80200A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-2003M SHIMADZU FZT593 2000

195 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-80730A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-D2203MT SHIMADZU TKF014 2010

196 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-81040A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-303M SHIMADZU FZR051 1998

197 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-81050A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-303M SHIMADZU FZR042 2000

198 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-81420A ターボ分子ポンプ TMP-1002LM SHIMADZU AG80 1995

199 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-81440A ターボ分子ポンプ TMP-1002LM SHIMADZU AG78 1995

200 コンポーネントターボ分子ポンプ RS18-81450A ターボ分子ポンプ TMP-1002LM SHIMADZU BGA9 1996 201 コンポーネント クライオポンプ 商談中 RS13-81650A クライオコンプレッサー C10 ULVAC CW2015

202 コンポーネント クライオポンプ RS14-10160A クライオポンプ CRYO-U8H ULVAC 9401413D 2000 203 コンポーネント クライオポンプ 商談中 RS15-81570A クライオポンプ U8HSP ULVAC 0011054

204 コンポーネント クライオポンプ RS16-82200A クライオポンプ CRYO-U20PU ULVAC 8509107 205 コンポーネント クライオポンプ RS16-83510A クライオコンプレッサー C30V ULVAC VC5127 206 コンポーネント クライオポンプ RS17-11010A クライオポンプ CRYO-U22P/C40 ULVAC 0212004 / 021323 207 コンポーネント クライオポンプ RS18-10680A クライオポンプ CRYO-U20P ULVAC 9412225

208 コンポーネント クライオポンプ RS18-10700A

クライオポンプコンプ

レッサー C40 ULVAC 010203

209 コンポーネント クライオポンプ RS18-11940A クライオポンプ CRYO-U10PU ULVAC 0111392 210 コンポーネント クライオポンプ RS18-12190A スーパートラップ温調器 STC-P ULVAC 0911009 211 コンポーネント クライオポンプ RS18-12200A スーパートラップ温調器 STC-P ULVAC 0911010 212 コンポーネント クライオポンプ RS18-12210A スーパートラップ温調器 STC-P ULVAC 1304047 213 コンポーネント クライオポンプ 商談中 RS18-81390A クライオコンプレッサー C30Z ULVAC CJ1030 214 コンポーネント クライオポンプ RS19-11840A クライオポンプ CRYO-U10PU ULVAC 0112393 215 コンポーネント クライオポンプ RS19-11850A クライオポンプ CRYO-U10PU ULVAC 8607028 216 コンポーネント クライオポンプ RS19-80350A クライオポンプ CRYO-U10HL ULVAC 0506038 217 コンポーネント クライオポンプ RS19-80750A クライオポンプ CRYO-U12HL ULVAC 0210918 218 コンポーネント クライオポンプ RS19-80760A クライオポンプ CRYO-U12HL ULVAC 0210919 219 コンポーネント クライオポンプ RS20-10070A クライオポンプ CRYO-U10HSP ULVAC 1507647

220 コンポーネント クライオポンプ RS18-81750A ヘリウム圧縮機ユニット CRYOTEC U102CWA DAIKIN 6700073 1998 221 コンポーネント クライオポンプ 商談中 RS15-81580A クライオポンプ U-6H UCI(ULVAC) 0011328D

222 コンポーネント クライオポンプ 商談中 RS16-83500A クライオポンプ U12H UCI(ULVAC) 8408040 223 コンポーネント クライオポンプ RS18-80970A クライオポンプ U12H UCI(ULVAC) 0009390 224 コンポーネント クライオポンプ RS18-81620A クライオポンプ U-20P UCI(ULVAC) 9610239 225 コンポーネント その他ポンプ RS18-11080A アクターポンプ PST-200AXⅡ ULVAC 00-0020

226 コンポーネント ガス制御部品 RS18-12540A

マスフローコントロー

ラー FCR-7700CT Aera C160920079

227 コンポーネント ガス制御部品 RS18-12550A

マスフローコントロー

ラー FCR-7700CT Aera C160920075

228 コンポーネント ガス制御部品 商談中 RS18-81010A MFC電源 PAC-3E HORIBA STEC 2806805 2000

229 コンポーネント

イオン注入装置付

属品 RS18-80110A スキャンコントローラ SX1304_Ver.2 ULVAC

230 コンポーネント

イオン注入装置付

属品 RS18-80120A メインPC HF-W25F-40WJ-A Hitachi MFG NO:421262-1 2000

231 コンポーネント

イオン注入装置付

属品 RS18-80030A OFアライナー OFH-101A MECS

A05260910-1(共 通)

232 コンポーネント

イオン注入装置付

属品 RS18-11260A プラズマモニター EMICON PLASUS EC150601MC

(7)

233 コンポーネント

イオン注入装置付

属品 RS18-80090A ビームモニター IW-630 BEAM モニター SDS R2-002

234 コンポーネント

イオン注入装置付

属品 RS18-80070A

スキャンプロファイルモ

ニター SPM-30 TOKYO CATHODE H0680 2000

235 コンポーネント

イオン注入装置付

属品 RS18-80040A

プラテンコントローラ/Y スキャンユニット

XU-CM1900P/XU-

CM1900C/XU-AVS1900 YASKAWA Electric

S03415-22- 02/S03415-21-

02/S03415-1-02 2000

236 コンポーネント その他装置部品 RS18-80510A ホットプレート

Hot-plate(4105-1015-

100) KYUSHU NISSHO

237 コンポーネント その他バルブ RS20-10110A 12インチゲートバルブ 64250-JE52 VAT 0076

238 コンポーネント ピラニ真空計 RS16-83570A ピラニ真空計 GP-1GRY(C) ULVAC 04209G 2008 239 コンポーネント ピラニ真空計 RS18-81350A ピラニ真空計 GP-1100 ULVAC 0147

240 コンポーネント 電離真空計 RS18-10330A 電離真空計 NI-10D CANON ANELVA 516267 241 コンポーネント 電離真空計 RS18-81710A 電離真空計 MIG-831 CANON ANELVA PP984L21

242 コンポーネント DC電源 商談中 NS-6008 DC電源 DPG-20-AM ULVAC 2015

243 コンポーネント DC電源 商談中 NS-6009 DC電源 DPG-20-AM ULVAC 2015

244 コンポーネント DC電源 RS16-83690A DC電源 HPK-15ZI ULVAC WA2985 245 コンポーネント DC電源 RS16-83700A DC電源 HPK-15ZI ULVAC

246 コンポーネント DC電源 RS16-83710A DC電源 HPK-15ZI ULVAC 247 コンポーネント DC電源 RS16-83720A DC電源 HPK-15ZI ULVAC

248 コンポーネント DC電源 RS18-12330A DC電源 RPG100 ENI 356 2002

249 コンポーネント DC電源 RS18-12340A DC電源 RPG100 ENI 366 2002

250 コンポーネント DC電源 RS18-81720A DC電源 RPG-50A ENI 81 1998

251 コンポーネント その他電源 RS18-80520A イオンガン用電源 MARKⅡ CONTROLLER COMMONWEALTH SCIENTIFICCB108C0

252 コンポーネント その他電源 RS18-80210A 静電チャック電源 ESC1.5KS250 eidogiken A05201F 2005 253 コンポーネント その他電源 RS18-80050A DECEL電源 SL40N300X2895 SPELLMAN C25238-002

254 コンポーネント その他電源 RS18-80060A スキャナー電源 P0621N-H-JX TREK 117 2000 255 コンポーネント 無停電電源 RS18-80710A 無停電電源 POWLI BX50FW OMRON 68210040038018G

256 コンポーネント EB電源 RS18-80910A EBガン EGO-406M ULVAC 178000010 2000 257 コンポーネント EB電源 RS18-80950A EB電源 JST-10F JEOL BS101194-666EJ

258 コンポーネント RF電源 NS-5068 RF電源 RFS-2705A3 ULVAC

259 コンポーネント RF電源 商談中 NS-5082 RF電源 RFS-13150F ULVAC ー 260 コンポーネント RF電源 RS18-81370A RF電源コントローラ RFP-030CA ULVAC 395005

261 コンポーネント RF電源 RS19-12110A RF電源 RFS-1305A3 ULVAC 209018 2008 262 コンポーネント RF電源 RS19-12140A RF電源 RFS-1310A3 ULVAC 209010 2008 263 コンポーネント RF電源 商談中 RS19-12150A RF電源 RFS-1310A3 ULVAC 209003 2008 264 コンポーネント RF電源 RS19-12160A RF電源 RFS-1310A3 ULVAC 208023 2008 265 コンポーネント RF電源 RS19-12240A RF電源 RFS-2780A3 ULVAC 209040 2010 266 コンポーネント RF電源 RS19-12250A RF電源 RFS-2780A3 ULVAC 209041 2010 267 コンポーネント RF電源 RS19-12260A RF電源 RFS-2780A3 ULVAC 209043 2010 268 コンポーネント RF電源 RS19-12270A RF電源 RFS-2780A3 ULVAC 209044 2010 269 コンポーネント RF電源 RS16-11020A RF電源 AX-2000Ⅲ-A-12.5M ADTEC 10204400057

270 コンポーネント RF電源 RS16-11030A マッチングボックス AMVG-2000-12.5M-FV ADTEC 10204500039 271 コンポーネント RF電源 RS18-80680A RF電源 AX-2000Ⅲ ADTEC 10204400022

272 コンポーネント RF電源 RS18-81760A

マッチングコントロー

ラー RC-11 ASTECH 357

273 コンポーネント RF電源 RS18-81730A RF電源 RFPP RF-10S products S1-2815 1997

274 コンポーネントグローブボックス RS19-10320A

バキュームグローブボッ

クス MDB-1BHRK Miwa Manufacturing16041 2003

275 コンポーネントグローブボックス RS19-80020A

パージ式グローブボック

ス DBD-2BK Miwa Manufacturing17167 2005

276 コンポーネント

スパッタ装置付属

品 RS19-80230A レートコントローラー RCT-040SS ULVAC 052820-SS12 2005

277 コンポーネント

スパッタ装置付属

品 RS19-80720A 磁性体用5inカソード BC5791-016 ULVAC MB01-7001 2001

278 コンポーネント

スパッタ装置付属

品 RS19-80730A 磁性体用5inカソード BC5791-016 ULVAC MB01-7001 2001

279 コンポーネント

スパッタ装置付属

品 RS19-80740A 非磁性体用5inカソード BC5791-017 ULVAC MB01-7001 2001

(8)

280 コンポーネント

スパッタ装置付属

品 RS19-80810A 異常放電防止ユニット A2KH-50 ULVAC 002005 2002

281 コンポーネント

スパッタ装置付属

品 RS18-11130A

チタンサブリメーション

ポンプコントロール 922-9119 CANON ANELVA 773-2493-7

282 コンポーネント

スパッタ装置付属

品 RS19-80570A コスラーズゲートバルブ KVU0825-0301/1 irie koken KVU0825-0301/1 2001

283 コンポーネント

スパッタ装置付属

品 RS19-80410A スパッタユニット スパッタユニット sumitomo Heavy Industries

284 コンポーネント その他 RS19-80600A ゼロレングス覗き窓 TVU-35FZ ULVAC VP9807182 2001 285 コンポーネント その他 RS19-80620A ゼロレングス覗き窓 TVU-35FZ ULVAC VP9807185 2001 286 コンポーネント その他 RS19-80630A ゼロレングス覗き窓 TVU-35FZ ULVAC VP9807190 2001 287 コンポーネント その他 RS19-80640A ゼロレングス覗き窓 TVU-50FZ ULVAC VP0002037 2001 288 コンポーネント その他 RS19-80650A ゼロレングス覗き窓 TVU-100FZ ULVAC VP9809264 2001 289 コンポーネント その他 商談中 SC20-11120A 検体管理システム Freezer Managar V2 BRAYDY 2018 290 コンポーネント その他 RS18-11120A NEG PUMP NEG PUMP CANON ANELVA GP-PWM0005-B

291 コンポーネント その他 商談中 SC20-11030A 門型クレーン MG30-SS-40-LF-1000 EZAKI 2019 292 コンポーネント その他 商談中 SC20-10670A コロナ帯電ガンセット GC90N Green Techno 2017 293 コンポーネント その他 商談中 SC20-10620A バタフライバルブ PCW25-NWF-005 KITZ-SCT 2019 294 コンポーネント その他 商談中 SC20-10990A 防爆冷蔵庫 EP-180 Nihon Freezer 2005 295 コンポーネント その他 商談中 SC20-11110A 超低温フリーザー MDF-DU300H-PJ panasonic 2018 296 コンポーネント その他 商談中 SC20-10190A ライトクレーン ライトクレーン SHINSEI 2011 297 コンポーネント その他 商談中 SC20-10700A 高感度反射アクセサリ ReflectorⅡ Thermo 2016

298 コンポーネント その他 商談中 SC20-10710A

Siウエハ測定用アクセサ

リ Si-CheckIR Thermo 2016

299 コンポーネント その他 商談中 SC20-10660A ガス回収システム ガス回収システム unknown 2016 300 コンポーネント その他 商談中 SC20-10740A パルスジェネレータ パルスジェネレータ unknown 2006 301 コンポーネント その他 商談中 SC20-10830A H2Se供給ガス設備 H2Se供給ガス設備 unknown 2009 302 コンポーネント その他 商談中 SC20-10840A H2SEガス検知器 H2SEガス検知器 unknown 2011 303 コンポーネント その他 商談中 SC20-10860A 実験用チャンバー 実験用チャンバー unknown 2016 304 コンポーネント その他 商談中 SC20-10530A 電熱式蒸気噴射加湿器 電熱式蒸気噴射加湿器 2008

305 コンポーネント その他 商談中 SC20-10540A 昇降機 リフト 2012

306 コンポーネント その他付属品 RS18-81510A ミューポート IPC92/401 Meidensha Corporation040139

307 コンポーネント その他付属品 商談中 SC20-10480A

ビームガイダンスコン ピューター

ビームガイダンスコン

ピューター VON ARDENNE 2014

308 コンポーネント チラーユニット RS16-21340A

大型水冷インバーターチ

ラー RKE3750-VW-SP ORION 510009

309 コンポーネント チラーユニット RS16-83680A チラーユニット ITC-K18(P)

310 コンポーネント

ドラフトチャン

バー 商談中 SC20-10550A 局所排気設備 局所排気設備 ULVAC 2012

311 コンポーネントピラニ真空計本体 RS13-81520A ピラニ真空計 GP-1SRY(C) ULVAC 65561 2001

312 コンポーネントピラニ真空計本体 RS14-81220A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 53403 1999

313 コンポーネントピラニ真空計本体 RS16-81090A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 32406 1991

314 コンポーネントピラニ真空計本体 RS19-80910A ピラニ真空計 GP-1SRY-S ULVAC 52929 1998

315 コンポーネントピラニ真空計本体 RS20-10160A ピラニ真空計 TR-1DB diavac 6054202

316 コンポーネントピラニ真空計本体 RS18-81740A ピラニ真空計 917 PIRANI MKS 119006 317 コンポーネント ポンプ付属品 RS18-12150A スーパートラップ温調器 STC-2A ULVAC 0808019R 318 コンポーネント ポンプ付属品 RS18-12160A スーパートラップ温調器 STC-2A ULVAC 0808018R 319 コンポーネント ポンプ付属品 RS18-12170A スーパートラップ温調器 STC-2A ULVAC 1401187R 320 コンポーネント ポンプ付属品 RS18-12180A スーパートラップ温調器 STC-2A ULVAC 1401188R 321 コンポーネント ポンプ付属部品 RS18-12120A スーパートラップ温調器 STC-1 ULVAC 13021079R

322 コンポーネント ポンプ付属部品 商談中 SC20-10630A トラパック TU-500W-NW40 TAISEI GIKEN 2019

323 コンポーネント

マッチングボック

ス 商談中 NS-5076 マッチングボックス MBX-2705A3 ULVAC

(9)

324 コンポーネント

マッチングボック

ス 商談中 NS-5085 マッチングボックス MBX-13150F ULVAC ー

325 コンポーネント マニュピレータ RS20-10360A マニュピレータ ST1050 Eiko 326 コンポーネント マニュピレータ RS20-10370A 直線導入 直線導入 unknown

327 コンポーネント隔膜真空計測定子 RS19-80050A

バラトロンセンサーユ ニット

627B.1TBD1B/CNT:PDR-

CJ1C-BCD MKS

001760328/001774 398

328 コンポーネント隔膜真空計測定子 商談中 SC20-11020A バラトロン真空計 627F.1TBD1B MKS 2019 329 コンポーネント 隔膜真空計本体 RS19-80870A バラトロン真空計 PDR-CJ1C MKS 000750788

330 コンポーネント 隔膜真空計本体 RS18-81210A バラトロン真空計 IKR251,DN25ISO-KF PFEIFFER 44948474 2014

331 コンポーネント

広帯域真空計測定

子 RS18-80750A トランスデューサー 628D.1TDF1B MKS 017546289

332 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS18-11920A L型圧空式真空バルブ VLP-U8SR ULVAC 832175

333 コンポーネント

高真空(圧空作

動) 商談中 RS18-21170A L型圧空式真空バルブ VLP-U14 ULVAC 148251 2010

334 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS18-80320A L型圧空式真空バルブ VLP-SB016CH ULVAC

335 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS18-81670A L型圧空式真空バルブ VLP-U3S ULVAC 322190

336 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-10230A L型圧空式真空バルブ VLP-U1 ULVAC 025616

337 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-10240A L型圧空式真空バルブ VLP-U1 ULVAC 025623

338 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-10510A L型圧空式真空バルブ VLP-U14 ULVAC 147016

339 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-11160A L型圧空式真空バルブ VAP-U150 ULVAC 25001

340 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-11180A L型圧空式真空バルブ VLP-V1 ULVAC 0805A-00587

341 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-11190A L型圧空式真空バルブ VLP-V1 ULVAC 0805A-00586

342 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-80560A 圧空式ゲートバルブ VUGP-200 ULVAC P200103 2001

343 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-80580A L型圧空式真空バルブ VULP-10CM ULVAC ― 2001

344 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-80590A L型圧空式真空バルブ VULP-10CM ULVAC ― 2001

345 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-10250A

ニューマッチックバタフ

ライバルブ BV-3AXOⅡ Fujitechnology 150295

346 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-10260A

ニューマッチックバタフ

ライバルブ BV-4AXOⅡ Fujitechnology 152265

347 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-10270A

ニューマッチックバタフ

ライバルブ BV-4AXOⅡ Fujitechnology 152264

348 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-80390A コンパクトゲートバルブ 1641353 fujitecnology

1641353/MFG.No:0 00054

349 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-80400A コンパクトゲートバルブ 1641353 fujitecnology

1641353/MFG.No:0 00053

350 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-80180A 角型ゲートバルブ KOSLARZE-Ⅱ irie koken 3KF8005

351 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-80260A 角型ゲートバルブ KOSLARZE-Ⅱ irie koken 3KF8007F9

352 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-80270A 角型ゲートバルブ KOSLARZE-Ⅱ irie koken 3KF8001F9

353 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-80280A 角型ゲートバルブ KOSLARZE-Ⅱ irie koken 3KF8004

354 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-80290A 角型ゲートバルブ KOSLARZE-Ⅱ irie koken 3KF8003

355 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-80300A 角型ゲートバルブ KOSLARZE-Ⅱ irie koken 3KF8006

(10)

356 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS20-10120A エアー駆動ゲートバルブ G-J250 MIYUKI KF10007T

357 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS20-10130A

エアー駆動バタフライバ

ルブ B-J100 MIYUKI KF20005R

358 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS19-80170A 高真空L型バルブ XLC-100 SMC ―

359 コンポーネント

高真空(圧空作

動) RS18-11760A 振子式高真空バルブ IPV250 VTEX

360 コンポーネント 高真空(手動) RS20-10290A L型手動式真空バルブ 28432-GE01-0001/0189 VAT A-876458 361 コンポーネント 高真空(手動) RS20-10300A 手動式メタルバルブ 57132-GE02-0005/0158 VAT

362 コンポーネント 高真空(手動) RS20-10310A 手動式メタルバルブ 57132-GE02-0005/0158 VAT 363 コンポーネント 高真空(手動) RS20-10320A 高真空アングルバルブ 26432-KA01-0001/1959 VAT 364 コンポーネント 蒸着装置付属品 RS18-80440A 蒸発源 KCP-40 ULVAC 365 コンポーネント 蒸着装置付属品 RS18-80450A 蒸発源 KCP-40 ULVAC 366 コンポーネント 蒸着装置付属品 RS18-80460A 蒸発源 KCP-40 ULVAC 367 コンポーネント 蒸着装置付属品 RS18-80470A 蒸発源 KCP-08 ULVAC 368 コンポーネント 蒸着装置付属品 RS18-80480A 蒸発源 KCP-08 ULVAC

369 コンポーネント 蒸着装置付属品 RS18-80880A

ビームスイープコント

ロール PSG-004G ULVAC 19912042 2000

370 コンポーネント 蒸着装置付属品 RS18-80890A

ビームスイープコント

ロール PSG-004G ULVAC 19912043 2000

371 コンポーネント 蒸着装置付属品 商談中 SC20-10180A 300KWピアス電子ガン 300KW EB Gun ULVAC 2010 372 コンポーネント 蒸着装置付属品 RS20-11040A EBガン EBガン① FUJI IMVAC

373 コンポーネント 蒸着装置付属品 RS20-11050A EBガン EBガン② FUJI IMVAC 374 コンポーネント 蒸着装置付属品 RS20-11060A EBガン EBガン③ FUJI IMVAC 375 コンポーネント 蒸着装置付属品 RS20-11070A EB電源 EB電源 FUJI IMVAC

376 コンポーネント真空搬送ロボット RS19-80250A 搬送ロボット KEYTRAN-3 ULVAC K3-161

377 コンポーネント

超高真空(圧空作

動) RS18-11360A 圧空式超高真空L型バルブ VULP-100 ULVAC P950540 2016

378 コンポーネント

超高真空(圧空作

動) RS19-10520A 圧空式超高真空バルブ VUGP-100 ULVAC P100335

379 コンポーネント超高真空(手動) RS18-80840A 手動式超高真空バルブ VUGH-65 ULVAC H650316

380 コンポーネント電離真空計測定子 RS18-80380A 電離真空計測定子 WIN-N1 ULVAC

381 コンポーネント電離真空計測定子 RS18-80390A 電離真空計測定子 WIN-N1 ULVAC

382 コンポーネント 電離真空計本体 RS18-81300A 電離真空計 GI-N7 ULVAC 3007 383 コンポーネント 排気セット RS18-12580A 排気セット YH-500A ULVAC 1-03285

384 コンポーネント 搬送ロボット RS18-80010A

大気搬送ロボットユニッ ト

UTWF-5100/CS-

7100/YC900 ASYST

A04260940- 1/A04260940-

1/A04260970-1 2000

385 コンポーネント 搬送ロボット RS18-80020A

真空搬送ロボットユニッ

ト UTV-F2600W/CS-7100 ASYST

A04260910-1(共

通) 2000

386 コンポーネント 搬送ロボット RS18-81560A オートローダー RA301-512-002 RORZE A950260 1996 387 コンポーネント 搬送ロボット RS18-80690A 大気搬送ロボット S0286 TAZMO CO,LTD S02861090007 2010

388 コンポーネント 付属部品 RS18-80420A

水晶発振式成膜コント ローラ用ベーカブルセン

サ CRTS-4U ULVAC

389 コンポーネント 本体 RS18-11210A

ヘリウムリークディティ

クタ HELIOT-701 ULVAC 1841 2006

390 コンポーネント 本体 RS18-11310A

マスフィルタ型ガス分析

計 MSQ-101 ULVAC 0212

391 コンポーネント 本体 RS18-12520A 小型分圧モニタ MA-01 ULVAC 00133 392 コンポーネント 本体 RS18-12530A 小型分圧モニタ MA-01 ULVAC 00620

393 コンポーネント 本体 RS18-80430A

マスフィルタ型ガス分析

計 MSQ-101 ULVAC

394 コンポーネント 本体 RS18-80960A

水晶発振式成膜コント

ローラ CRTM-7000 ULVAC 0241

(11)

395 コンポーネント 本体 RS18-81780A

水晶発振式成膜コント

ローラ CRTM-6000 ULVAC 00423 2000

396 コンポーネント 本体 RS19-11490A 四重極型質量分析計 ST-400R ULVAC 00110

397 コンポーネント 本体 RS19-11960A Heリークディテクタ HELIOT-103 ULVAC 0129 2006 398 コンポーネント 本体 RS19-80370A ガス分析計 RG-202 ULVAC 505

399 部品 ガス制御部品 RS19-80950A

マスフローコントロー

ラー電源 PAC-D2 HORIBA STEC 1001506 1997

400 部品 ガス制御部品 RS19-80960A

マスフローコントロー

ラー電源 PAC-D2 HORIBA STEC 1001506 1998

401 部品 CVD装置部品 RS18-80700A アライナー S0297 TAZMO CO,LTD S02971080004 2010

402 部品 スパッタ装置部品 RS18-81110A 赤外線丸形ヒーター EM0867-126-02B ULVAC - 2005

403 部品 スパッタ装置部品 RS18-81120A 8型ホットプレート KH-2901 ULVAC 68310-L 1998

404 部品 スパッタ装置部品 RS19-11640A MPS-6000用準備室 MPS-6000用準備室 ULVAC NB00-0021 2000

405 部品 スパッタ装置部品 RS19-11650A MPS-6000用前処理室 MPS-6000用前処理室 ULVAC YB97-0003 1997

406 部品 スパッタ装置部品 RS19-11660A MPS-6000用成膜室 MPS-6000用成膜室 ULVAC YB97-0004 1997

407 部品 スパッタ装置部品 RS19-11670A

MPS-6000用マニホール

ド MPS-6000用マニホールド ULVAC YB97-0005 1997

408 部品 スパッタ装置部品 RS19-11680A

MPS-6000用マグネット 回転機構

MPS-6000用マグネット回

転機構(3式) ULVAC

409 部品 スパッタ装置部品 RS19-11690A

MPS-6000用上下回転機

構 MPS-6000用上下回転機構 ULVAC

410 部品 スパッタ装置部品 RS19-11700A

MPS-6000用5インチへリ コンカソード

MPS-6000用5インチへリ コンカソード(8式)(保守部

品含む) ULVAC

411 部品 スパッタ装置部品 RS19-80030A スパッタ室チャンバー SATELLA用スパッタ室チャンバー ULVAC MH04-1038 2005

412 部品 スパッタ装置部品 RS18-80240A

シリコンガラステープ

ヒーター FHS-3125H Fuji Chemical

413 部品 スパッタ装置部品 RS18-80250A

シリコンガラステープ

ヒーター FHS-3125H Fuji Chemical

414 部品 スパッタ装置部品 RS18-80260A

シリコンガラステープ

ヒーター FHS-3125H Fuji Chemical

415 部品 スパッタ装置部品 RS18-80270A

シリコンガラステープ

ヒーター FHS-3125H Fuji Chemical

416 部品 スパッタ装置部品 RS18-80280A

シリコンガラステープ

ヒーター FHS-3125H Fuji Chemical

417 部品 スパッタ装置部品 RS18-80290A

シリコンガラステープ

ヒーター FHS-3125H Fuji Chemical

418 部品 スパッタ装置部品 RS18-80300A

シリコンガラステープ

ヒーター FHS-3125H Fuji Chemical

419 部品 その他 商談中 NS-5024 アルフォイル アルフォイル ULVAC ー

420 部品 その他 商談中 NS-5029 配管継手 UFC253/114 ULVAC ー

421 部品 その他 商談中 NS-5030 メタルガスケット

UFE070GS(10 Gaskets /

set ) ULVAC ー

422 部品 その他 商談中 NS-6012 アルフォイル アルフォイル ULVAC

423 部品 その他 RS18-11370A XY機構 XY機構 ULVAC -

424 部品 その他 RS18-80330A 回転導入端子 TDU-04FM ULVAC

425 部品 その他 RS18-80340A 回転導入端子 TDU-04FM ULVAC

426 部品 その他 RS18-80800A 加熱上下機構

加熱上下機構(BB3290-

023A_MB95-8002) ULVAC MB95-8002 1996

427 部品 その他 RS18-80820A 直線導入機構 BMMG-402A ULVAC MB95-8002

428 部品 その他 RS19-11510A 直線導入機構 BMMG-402A ULVAC

429 部品 その他 RS18-81170A

デジタル表示付電子式圧

力センサー MPS-V33RC-NGAT CONVUM -

(12)

430 部品 その他 RS18-81180A

デジタル表示付電子式圧

力センサー MPS-V33RC-NGAT CONVUM -

431 部品 その他 RS18-81190A

デジタル表示付電子式圧

力センサー MPS-V33RC-NGAT CONVUM -

432 部品 その他 RS18-81200A

デジタル表示付電子式圧

力センサー MPS-V33RC-NGAT CONVUM -

433 部品 その他 RS18-11140A 搬送用モーター50W

HA-FF053G1/MR-J2-

10A mitsubishi electric -

434 部品 その他 RS18-10970A 真空配管 搬送系 TP OSAKA VACUUM -

435 部品 その他 RS18-10980A 真空配管 ICF152-1316L OSAKA VACUUM -

436 部品 その他 RS18-10990A 真空配管 ICF152-1134L OSAKA VACUUM -

437 部品 その他 RS18-11000A 真空配管 ICF152-1550L OSAKA VACUUM -

438 部品 その他 RS18-11010A 真空配管 ICF152-1200L OSAKA VACUUM -

439 部品 その他 RS18-11020A 真空配管 ICF152-1550L OSAKA VACUUM -

440 部品 その他 RS18-11030A 真空配管 ICF152-1550L OSAKA VACUUM -

441 部品 その他 RS18-11110A トロッコ基板ホルダー トロッコ基板ホルダー OSAKA VACUUM -

442 部品 その他 RS18-81130A ACサーボドライバー KD2001GBS-S80 TSUBAKI CHIN 049206367 443 部品 その他 RS18-81140A コントローラペンダント KC70001GS TSUBAKI CHIN 001301068 444 部品 その他 RS18-81150A ACサーボドライバー KD2001GBS-S80 TSUBAKI CHIN 029204180 445 部品 その他 RS18-81160A コントローラペンダント KC70001GS TSUBAKI CHIN 021301176

446 部品 その他 RS20-10340A 覗窓シャッター 覗窓シャッター ICF114 unknown

447 部品 その他 RS20-10350A 覗窓シャッター 覗窓シャッター ICF203 unknown

448 部品 その他 RS20-10410A プッシャー

搬送用プッシャー ICF070

① unknown

449 部品 その他 RS20-10420A プッシャー

搬送用プッシャー ICF070

② unknown

450 部品 その他 RS20-10880A 覗窓 覗窓 ICF-070 unknown

451 部品 その他 RS20-10930A 覗窓 覗窓 ICF-114 unknown

452 部品 その他 RS20-10940A 覗窓 覗窓 ICF-114 unknown

453 部品 その他 RS20-10950A 覗窓 覗窓 ICF-114 unknown

454 部品 その他 RS20-10970A 覗窓 覗窓 ICF-114 unknown

455 部品 その他 RS20-10980A 覗窓 覗窓 ICF-114 unknown

456 部品 その他 RS20-11000A 覗窓 覗窓 ICF-152 unknown

457 部品 その他 RS20-11010A 覗窓 覗窓 ICF-203 unknown

458 部品 その他部品 商談中 SC20-10510A

ロータリーキルン炉用Mo 製ドラム

FT-2000R-400RK付属ド

ラム FULL-TECH 2016

459 部品 その他部品 商談中 SC20-10520A

ロータリーキルン炉炉芯

管 FT-2000R-400RK炉芯管 FULL-TECH 2016

460 部品 フランジ 商談中 NS-5025 超高真空フランジ UFC306-000FT ULVAC ー

461 部品 フランジ 商談中 NS-5026 超高真空フランジ UFC253-000RH ULVAC ー

462 部品 フランジ 商談中 NS-5027 超高真空フランジ UFC306-000RH ULVAC ー

463 部品 フランジ 商談中 NS-5028 超高真空フランジ UFC306-250RH ULVAC ー

464 部品 フランジ RS20-10500A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

465 部品 フランジ RS20-10510A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

466 部品 フランジ RS20-10520A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

467 部品 フランジ RS20-10530A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

468 部品 フランジ RS20-10540A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

469 部品 フランジ RS20-10550A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

470 部品 フランジ RS20-10560A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

471 部品 フランジ RS20-10570A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

472 部品 フランジ RS20-10580A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

473 部品 フランジ RS20-10590A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

474 部品 フランジ RS20-10600A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

475 部品 フランジ RS20-10610A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

476 部品 フランジ RS20-10620A ICFフランジ 954-7051 CANON ANELVA

477 部品 フランジ RS20-10690A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

478 部品 フランジ RS20-10700A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

479 部品 フランジ RS20-10710A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

480 部品 フランジ RS20-10720A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

481 部品 フランジ RS20-10730A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

(13)

482 部品 フランジ RS20-10740A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

483 部品 フランジ RS20-10750A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

484 部品 フランジ RS20-10760A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

485 部品 フランジ RS20-10770A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

486 部品 フランジ RS20-10780A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

487 部品 フランジ RS20-10790A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

488 部品 フランジ RS20-10800A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

489 部品 フランジ RS20-10810A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

490 部品 フランジ RS20-10820A ICFフランジ 954-7052 CANON ANELVA

491 部品 フランジ RS20-10870A ICFフランジ 954-7054 CANON ANELVA

492 部品 フランジ RS20-11030A 変換フランジ 952-7031 CANON ANELVA

493 部品 加熱装置部品 商談中 SC20-10260A

FTV-1600用ヒーターユ ニット

FTV-1600用ヒーターユ

ニット FULL-TECH 2012

494 部品 加熱装置部品 商談中 SC20-10270A 高純度石英管ドラム 高純度石英管ドラム FULL-TECH 2012

495 部品 蒸着装置部品 RS18-11380A トンネルチャンバー トンネルチャンバー ULVAC -

496 部品 蒸着装置部品 RS18-11320A 蒸着 ルツボ PBN KM-13(S) Shin Etsu Chemical -

497 部品 電気制御部品 RS18-80400A 温調計 SDC-36 azbil 100428361

498 部品 電気制御部品 RS16-82360A シーケンサ Q06H CPU mitsubishi electric

499 部品 電気制御部品 RS18-10900A シーケンサ C200H-CPU02 OMRON 0461

500 部品 電気制御部品 RS18-10960A サンプル搬送系制御盤 サンプル搬送系制御盤 OSAKA VACUUM - 2002

501 部品 電気制御部品 RS18-80230A ラック ラック unknown

502 部品 配管 商談中 NS-5031 エルボ型配管 IFE114-065 ULVAC ー

503 部品 配管 商談中 NS-5032 ティー型配管 IFT152-100 ULVAC ー

504 部品 配管 商談中 NS-5033 クロス型配管 IFX114-065 ULVAC ー

参照

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