超 高 速 研 削 砥 石 の 開 発 とガ ラ ス の 加 工* 高
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(2) 高橋 ・上 田 ・黒部:超 高速研削砥 石の開発 とが ラスの加工. い ま,図1に 示 す 取 付 用 の 軸 穴 の 空 い た 回 転 円 盤(砥. 石)を. 考. そ こで 比 較 の た め,S45C,ア. え て み る.等. 厚 中 空 回 転 円 盤 の 最 大 円 周 応 力 σm,x,半 径 方 向 の. の3種 の 材 料 で 回 転 円 盤(砥. 変 位Uは,次. 式 で 表 され る.. の 変 形(伸. び)を. 径 φ40,厚. み2tで あ る.ま. (1>. ル ミニ ウ ム(A5052),ベ 石)を. リ リウム. 製 作 し,回 転 時 の 半径 方向 へ. 測 定 し た 。 回 転 円 盤 の 寸 法 は,外. 径 φ60,内. た,円 盤 の 回 転 は 毎 分6万 回 転とした.. 測 定 方 法 及 び 結 果 を 図2に 示 す.測 定 は 同 図2(a)に 示 す よ うに, 非 接 触 測 定 が 可 能 な レー ザ 変 位 計 を 用 い て 行 っ た.測 定 に際 し. (2>. て,円. 盤 の 取 付 誤 差 に よ って 生 じ る偏 心 振 れ の 影 響 が 小 さ くな. る よ うに,サ ン プ リ ン グ レー トを25μsと (E:ヤ. ン グ 率,v:ボ. R,:内. ア ソ ン 比,ρ:比. 半 径,R、:外. 重,ω:角. 半 径,k:R、/R1,g:重. こ こ で,式(1>のR、,ω,kの. タ を 平 均 化 す る こ と で,変 位 測 定 値 と した.ま. 力 加 速 度). で 回 転 さ せ た 時 の 伸 び の 測 定 結 果 を 図2(b>に 示 す.図2(b>から,. 各 値 が 一 定 で あ る と 仮 定 す れ ば,. 最 大 円 周 応 力 σm。。の 値 を 小 さ くす る に は,比 重 ρ の 小 さ な値 の 材 料 を 選 定 す る 必 要 が あ る こ と が 式(1>よ よ って,①. りわ か る.こ の こ と に. の 遠 心 破 壊 の 危 険 性 が 減 少 し,③ の ス ピ ン ドル の 危. 険 速 度 も向 上 す る.一 す る に は,比. 方,式(2)か. して 得 た1024個 の デー. 速 度,. ら,② の 砥 石 の 変 形 を 小 さ く. 弾 性 率 の 大 き な 材 料 を 用 い れ ば よ い こ と が わ か る.. S45C,ア. た.毎. ル ミニ ウ ム は 比 弾 性 率 が ほ ぼ 同 じ程 度 で あ る た めか,. 同 程 度 の 伸 び を 示 した.し. か し,ベ. リ リ ヴ ム は そ れ ら に比 べ,. 約1/4以 下 の 値 と な って い る. 砥 石 コ ア に ベ リ リ ウ ム を 用 い る場 合 は,め 従 来 よ り使 用 さ れ て い るSK材 そ の た め,メ に,炉. っ き等 の 処 理 も,. と 同 様 に 行 う こ と が 可 能である.. タ ル ボ ン ド砥 石 製 作 時 に お い て も こ れ まで と同様. 中 で砥 石 を 焼 成 し,同 時 に 砥 石 と コ ア の 接 合 を行 うこと. が で き る.所 要 の 強 度 も比 較 的 容 易 に 得 られ る.ま Table. 1. Physical. properties. of. metal. beryllium'). 分6万 回転. フ ァ イ ド,レ. た,ビトリ. ジ ン等 の 各 種 ボ ン ド砥 石 の 作 成 も,従 来 の 製法 を. 変 え る こ とな く 司 能 で あ る.当 然,各. 種 の 形 状 の 砥 石 の 製作 も. 容 易 で あ る. 実 験 に供 した メ タ ル ボ ン ド砥 石(図1)は,申. 心 に 穴 の あ いた. 形 状 と な って お り,高 速 回 転 に 不 向 きで あ る と 考 え られ る.し. 本 報 で は上 記 の こ と を 考 慮 し,砥 石 の ホ イ ー ル コ ア(台 に ベ リ リ ウ ム を 用 い て,新. し く研 削 砥 石 を 開 発 し た.ベ. 金) リ リウ. ム は 原 子 番 号 が 周 期 律 表 で4で あ り,比 重 が 小 さ い 金 属 材 料 で あ る.砥 石 の 作 成 に 供 した ベ リ リ ウ ム の 特 性 値 を 表1に 示 す.ベ リ リ ウ ム は 軽 量 ・高 剛 性 で あ る た め,回 っ,発. か し,取 付 け に 便 利 で あ る こ と か ら実 験 に 使 用 した.ま. た,砥. 石 の 形 状 は,応. 石部 も. 力 解 析 が 容 易 に 行 え る よ う配 慮 して,砥. 含 め 一 様 厚 さ と な っ て い る.高 速 回 転 時 の メ タ ル ボ ン ド砥石 の 応 力,ひ. ず み の 状 態 は,有. 限 要 素 法 を 用 い て 解 析 した.解 析 の. 際 に必 要 と な る砥 石 の 機 械 的 諸 性 質 は あ ら か じめ 実 測 した. メ タ ル ボ ン ド砥 石 に つ い て,そ. の 機 械 的 性 質 を 測 定 した結果,. 転 時 の 変 形 が 少 な く,か. 生 す る応 力 も低 く 破 壊 す る可 能 性 も小 さ い と 考 え ら れ る.. Fig.3. (a) Mesurement. Stress. distribution. in. cross. section. of. wheel. by laser. (b) Elongation Fig.4 Fig.2. 1792精. Elongation revolution. of. wheel. 密工 学 会誌 Vol. 60,. core. No.. during. 12,. ultra. 1994. high. speed. Relation between circumferential. elongation stress. of. wheel. and. maximum.
(3) 高橋 ・上 田 ・黒部:超 高速研削砥 石の開発 とが ラスの加 工. ヤ ン グ 率E=10DGPa,比. 重 δ=753Pa,ボ. コ ア と の 接 合 強 度 は1DOMPaで. ア ソ ン比ν=0,3の. あ る,応. は 中 空 で 回 転 し て い る と 仮 定 し,ま 慮 し て い な い.解. 析 結 果 を 図3に. 示 す.砥. 10万 回 転 時 の 値 を 示 し て い る.メ チ で あ る.図3か. た,取. こ と が わ か る.し. た が っ て,破. 石 の 応 力 状 態 は,毎. 内 周 で240MPaに. ッ. 達 してい る 度. 壊 の 可 能 性 は 少 な い と い え る.. の 伸 び と 最 大 円 周 応 力 の 解 析 結 果 を,そ ず れ の コ ア を 用 い て も,毎 分8万. る と 考 え ら れ る.し. か し,回. が 鉄 系 コ ア に 比 べ1/4程 い る と い え る.本. condition. 分. ベ リ リ ウ ム コ ア と 鉄 系 コ ア の 応 力 状 態 を 比 較 す る た め,砥. す.い. Grinding. 付 ジグの拘 束力 は考. か し,砥 石 接 合 面 で の 最 大 主 応 力 は20MPa程. と 比 較 的 小 さ い.し. 2. 石. ッ シ ュ の サ イ ズ は0.2mmピ. ら,円 周 応 力 は,最. Table. 値 を 得 た.. 力 解 析 に 際 し て は,砥. れ ぞ れ 図4に. 石. 併 載 して示. 回転 まで安 全 に使 用 で き. 転 時の伸 びは ベ リリウム コ アの方. 度 と な り,変 形 伸 び の 観 点 か ら は 優 れ て. 解 析 結 果 は,図3に. 研 削 面 の 粗 さ の 測 定 は,触 式 式 粗 さ計 を 用 い て 加 工 方 向 に ト レー ス し て 行 っ た.ま. た,シ. ェ ア モ ー ド研 削 さ れ た 表 面 の評 価. に は,光 学 式 表 面 粗 さ 計(WYKO社TOPO3D)も. 併 用 した.. 示 した レー ザ 変 位 計 に よ る. 表2に 実 験 条 件 を ま と め て 示 す. 測 定 結 果 と よ く 対 応 し て い る.. 4.. 3. 4.1. 砥 石 を 高 速 回 転 させ る た め,磁. 気 軸 受 ス ピ ン ドル を 搭 載 し た. 超 精 密NC加 工 機 を研 削 装 置 と し て 使 用 した.本 な 二 軸 直 交 テ ー ブ ル を 持 ち,レ で き る 機 構 を 有 して い る.図5に. 装 置 は,高. 精度. ー ザ 測 長 に よ り精 密 位 置 決 め が 実 験 装 置 の 模 式 図 を 示 す.. シ ェ ア モ ー ド研 削 の 可 能 性 の 検 討. 図6に,砥. 石 幅 相 当 の 溝 加 工 した 際 の 切 込 み 深 さ と表 面 粗 さ の. 関 係 を 示 す.研. 削 試 験 は,SD2000メ. 送 り 速 度fを1mm/而n,研. を 表 す.図6(a)に. 合(○. Schematic magnetic. 実 験 は,次. view bearing. of. NC grinding. machine. に 示 す2つ の 方 法 で 行 った.第1番. 印),切. ら,砥 石 周 速 度 が12000m/minと. 込 み 深 さ が 約3μmあ. の測定 値 の平 超 高 速 の場. た り まで表面 粗 さは ほぼ一. with. 目 の 実 験 は,ワ. 方 同 に送 り砥 石 幅 相 当 の 溝 加 工 を した.本. の 基 本 的 な 事 象 を 把 握 す る の に 都 合 が よ い.実. 込 み 深 さ と表 面 粗 さ の 関 係. プ ロ ッ ト し て い る 実 験 値 は,6回. (a). ー ク を取 り付 け た ス ピ ン ドル が 回 転 し な い よ うに 固 定 し た状 態 で,一. タ ル ボ ン ド砥 石 を 用 い て,. 削 速 度Vを2000,80GO,12000m/minの3. 通 り に 変 え て 行 っ た.図6(a>は,切. 均 を 表 す.図6(a>か. Fig.5. 実 験 結 果 と考 察. 研 削装 置 と実験 方法. 実 験 は,研. 削. 験 の 際 は,ワ. ー. Surface. roughness. ク を 砥 石 の 運 動 方 向 に対 し極 くわ ず か 傾 け て お き,切 込 み 深 さ が 連 続 的 に変 え られ る よ う に した. 第2番 目 の実 験 と して,平 異 な り,ワ. 面 加 工 を 行 っ た.第1番. ー ク ス ピ ン ドル に 回 転 を 与 え て,ワ. 中 央 に 同 け て 砥 石 を一 定 の 速 度 で 送 り研 削 し た.前 を 避 け る た め,所. 目の実 験 と. ー クの外周 よ り 加 工 の影響. 定 の 切 込 み で 研 削 を5回 繰 り返 し,そ の5回 目. の 値 を 実 験 値 と した.本. 実 験 で は,メ. 別 途 製 作 した レ ジ ン,レ. ジ ン メ タ ル混 合 ボ ン ド砥 石7)を 用 い て. タ ル ボ ン ド砥 石 以 外 に,. 研 削 実 験 を 行 った. 本 実 験 を 開 始 す る に あ た って 予 備 実 験 を 行 った 。 そ の 結 果, 超 高 速 領 域 で は 研 削 焼 け が 生 じや す い こ とが わ か っ た.そ. こで. 研 削 の 際 は,2本 の ノ ズ ル か ら研 削 液 を 高 圧 ポ ン プ(1MPa)で. 圧送. した.そ. の 結 果,研. 削 焼 け を 防 止 す る こ とが で き た.. Fig.6. (b). Ground. surface. Relation depth of. between cut. ground. of. glass. surface. 精密工学会誌 Vol. 60, No. 12,. roughness. 1994. and. 1793.
(4) 高橋 ・上田 ・黒部:超 高速研 削砥石の開 発とがラ スの加工. Fig.7. Ground. surface. topography. of. shear. mode Fig.8. 定(50nm以 下)の 値 とな る こ と が わ か る.そ. して,そ. 込 み 深 さ に な る と ぜ い性 破 壊 した 加 工 面 が 所 々 生 じ始 め,急 に表 面 粗 さ が 増 大 し,深 面 粗 さ:約350nm)と. さ で7〜8μmの. な る.す. 激. 所 で ほ ぼ 一 定 の 値(表. な わ ち,表 面 粗 さ は 切 込 み 深 さ と. と も に3っ の 過 程 を 経 て 変 化 す る. 砥 石 の 周 速 度 が2000,8000m/minの μmの 所 ま で,12000m/minの 以 下)と な るが,そ に増 大 す る.こ. 場 合 は,切 込 み 深 さ が 約1. 場 合 と 同 様 に ほ ぼ 一 定 の 値(50nm. れ らの 低 周 速 度 の場 合 も,表 面 粗 さ は 超 高 速 度. の場 合 と同 様 の 形 態 と な る.図6(a)の. 図 中 に示 す ①,②,③. は,. 3段 階 変 化 を 示 す 各 過 程 に お け る 表 面 粗 さの サ ン プ リ ン グ 位 置. 微 鏡 写 真(研. 削 様 態)を. の各場 所 に お ける研 削面 の光 学顕 示 す.図6(b>か. 切 込 み 深 さ に よ り延 性 領 域(同. ら,研 削 面 の 様 態 は,. 図 ①),ぜ. い 性 領 域(③),延. ・ ぜ い 性 領 域 が 混 在 す る遷 移 領 域(②)の3っ. 性. の 領 域 に分 か れ る. こ と が わ か る. 削 条 痕 が 明 り ょ う に 観 察 さ れ,延. に よ って 加 工 さ れ た こ と が わ か る.図7に,そ. 行 った.図7の. 性 モー ド. の 三 次 元 トポ グ ラ. 定 は 光 学 式 表 面 粗 さ計(WYKO社TOPO3D)を. 用いて. 立 体 観 察 か ら も,加 工 面 は 延 性 モ ー ドに よ って 創. 成 さ れ た こ と が わ か る.ま. た,図7を 仔 細 に 観 察 し て も加 工 面 に. は き 裂 は 見 られ な か った.. force. and. depth. of. cut. る こ と,す. な わ ち,砥 石 を 高 速 回 転 さ せ る こ と に よ って,容. に延 性 モ ー ドの 加 工 面 が 得 られ た もの と 思 わ れ る.逆 こ と に よ って,①. 易. に周速度. 粒 切 込 み 深 さ が そ れ だ け 大 き くな る .こ の. か ら② へ 研 削 モ ー ドが 変 化 した と 考 え られ る. 研 削 モ ー ドが ② か ら③ へ 遷 移 す る と き も,臨. 界 切 込 み 深 さが. 現 れ る.加 工 面 全 体 が ぜ い性 モ ー ドに な った と こ ろ が 臨 界 点 に 相 当 す る.ぜ. い 性 モ ー ドの 表 面 粗 さ に は,加. 工速度 の影 響が認. め られ な か っ た. 次 に,図6に. 示 した よ う な 研 削 モ ー ドが,研 削 抵 抗 との 間 に何. ら か の 相 関 関 係 が あ る の で は な い か と考 え,研 行 った.研. 削抵抗 の 測定を. 削 を 行 う と砥 石 を 介 して 磁 気 軸 受 に 負 荷 が か か る.. こ の た め,磁. 気 回 路 に 流 れ る 電 流 が 変 化 す る .こ. の電 流 変 化 を. A/D変 換 し,パ ソ コ ン に 取 り込 み 高 速 演 算 さ せ る こ と に よ って 研 定 結 果 を 図8に 示 す,加. と法 線 力 の2っ が あ る が,接. 工 抵 抗 に は,接 線 力. 線 力 に関 して は,そ の 値 は 磁 気 軸 受. の 加 工 抵 抗 測 定 シ ス テ ム の 分 解 能 よ り小 さ く,測 定 で き な か っ た.そ. の た め,法 線 力 の み に っ い て 測 定 を 行 っ た.図8は. の 測 定 結 果 を 示 す.同. 法線力. 図 に は,2000,8000,12000m/minで. 研削 し. た 結 果 を 載 せ て い る. 図8か ら,法 線 力 は 平 均 切 込 み 量 が 大 き く な る に っ れ て 直 線 的. 図6に 示 す よ うに,研 削 モ ー ドが ① か ら② へ と遷 移 す る と き の 切 込 み 深 さ は,砥. grinding. 込 み 深 さ に 相 当 す る と考 え られ る.砥 粒 切 込 み 深 さ を 小 さ くす. 削 抵 抗 を 求 め た.測. 同 図 ① の 場 合,研. フ を 示 す.測. between. が 小 さ く な る と,砥. れ よ り 切 込 み 深 さ が 増 す と,表 面 粗 さ は 急 速. を示 す.図6(b)に,①,②,③. Relation. れ以上 の切. 石 周 速 度 に よ っ て 変 わ る.そ. れ は,次. に よ る もの と 思 わ れ る.砥 石 を 高 速 回 転 す る と,砥. の理 由. 粒切 込 み深. さが 一 般 に 小 さ く な る.平 面 研 削 時 の 砥 粒 切 込 み 深 さ は 次 式 で. に 増 加 す る こ と が わ か る.ま. 速 度 が 高 い ほ ど大 き く な る.特. は8Nに も 達 した.し. 線 力 の 絶 対 値 は,砥. に,周. て 研 削 を 行 った 場 合 に は,4.5μmの. 石の周. 速 度 をv=12000m/minに. 平 均 切 込 み 深 さ で,法. か し,こ の 理 由 は 明 確 で な い.砥. ッ シ ン グ が 適 切 で あ れ ば,そ. 与 え ら れ る8).. た,法. し 線力. 石 の ドレ. の 値 は も う少 し小 さ くな っ た の で. は な い か と考 え られ る.今 後 検 討 す べ き 課 題 で あ る.. (3). ま た,図8か これ は,砥. (9m、 。:砥 粒 切 込 み 深 さ,a:連 V:砥. 石 周 速 度,ti:切. こ こ で,D,V,a,t1の さg.#xは. 続 切 れ 刃 間 隔,f:送. 込 み 深 さ,D:砥. り速 度,. 石 直 径). 値 は 一 定 値 と見 な せ る の で,砥. 粒切 込 み深. き くな れ ば,砥 粒 切 込 み 深 さ は 小 さ く な る こ と が 式(3>よ で き る. 一一 方 ,既 報 の 単 粒 モ デ ル実 験5)か ら,超 は,臨. り理 解. 高速 領域 下 に おい て. 石 に よ る研 削 の 砥 粒 切. ワ ー クの 回 転 の 影 響(平. ワ ー ク を 回 転 させ た 状 態 で,超 て 行 った.そ. の 際,切. 面 研 削). 高速 研 削実験 を ガ ラスについ. 込 み 深 さtlを10μm,送. 語 織と し,加 工 速 度vを2000〜12000m/minの っ た.図9に. 界 切 込 み 深 さ は ほ ぼ 一 定 の 値 と な る 傾 向 が 認 め られ た.. 単 粒 研 削 実 験 に お け る切 込 み 深 さ は,砥. じ,そ れ に 伴 っ て 動 圧 力 が 発 生 し た た め で は な い か と 思 われる. 4。2. 砥 石 の 周 速 度Vに 反 比 例 す る こ と に な る.周 速 度 が 大. ら,切 込 み 深 さ が ゼ ロ の 時 も負 荷 を 生 じて い る.. 石 が 高 速 回 転 す る こ と に よ り 研 削 液 の 巻 き 込 み が生. り速 度fを10mm/ 間 で 変 え て 実 験 を行. 表 面 粗 さ の 測 定 結 果 を 示 す.図9か. ら,砥 石 周 速 度. が 速 くな る に っ れ て 表 面 粗 さ は 低 下 す る.通 常 の 加 工 速 度 の値 (R。.x約2μm)に. 比 して 半 減(約1μm)す. 回 転 を 高 速 化 す る こ とに よ っ て,砥. る.こ. れ は,砥 石. 粒 切 込 み深 さ も小 さ くな っ. た た め と 思 わ れ る.し か し な が ら,加 工 面 は い ず れ の 研 削 条 件. 1791精. 密 工 学会 誌 Vol. 60,. No.. 12,. 1994.
(5) 高橋 ・上田 ・黒 部:超 高速研 削砥石 の開発とが ラスの加工. Fig.9. Influence. of. grinding. force. on. surface. roughness. Fig.11. Appearances. 5.. of. ground. 結. surface. 言. 光 学 ガ ラ ス の 高 能 率 ・高 精 度 加 工 を 目 的 と し て,超 実 験 を行 った.は した.そ. 高 速研 削. じ め に,超 高 速 研 削 加 工 に 適 し た 砥 石 を 開 発. して,光 学 ガ ラ ス(BK7)に つ い て 実 験 を 行 った 結 果,次. の こ と が 明 ら か と な った. (1) ベ リ リ ウ ム コ ア 砥 石 を 開 発 した 。 軽 量 で 高 剛 性 で あ るた め,高. 速 回 転 時 の 発 生 応 力 が 小 さ く,変 形 が 非 常 に少 な. い と い う結 果 が 得 ら れ た. (2) 研 削 モ ー ドは,切. 込 み 深 さ に よ っ て 変 化 し,延 性 モ ード,. 延 性 ・ぜ い 性 モ ー ド,ぜ い 性 モ ー ドの3様 態 を 示 す. (3) 加 工 抵 抗 の 法 線 力 は,高 速 に な る に つ れ て 増 大 す る. (4) 表 面 粗 さ は,通. 常 の 研 削 の 場 合 よ り も超 高 速 研 削 の 方 が. 小 さ くな る.. Fig.10. Relation between ground and grinding speed. の場 合 で も,ぜ そ こ で,砥. surface. 参. roughness. い 性 破 壊 が 支 配 的 な 加 工 面 と な っ た.. 1) G.Wright. 石 の 切 込 み 深 さを も う少 し小 さ くす る こ と に よ っ. Large Optical. タ ル ボ ン ド砥 石 の ほ か に,レ. 25, 9, (1986) 1021.. 混 合 ボ ン ド砥 石 を 用 い て 実 験 を 行 った.加 込 み 深 さt1を1μm,送. り速 度fを1,3,5mm/minと. 表 面 粗 さ の 測 定 結 果 を 図10に,加 測 定 は,試. 工 条 件 と して は,切. り速 度 が 大 き. くな る と若 干 表 面 粗 さ が 増 す 傾 向 が 見 ら れ る.粗. さ の 値 はRmax. 場 合 は,表 0.05μm)と. 後 の値 と な って い る.一. 4) M.Takahashi, Grinding. 方,レ ジ ン ボ ン ド砥 石 の. の 砥 石 と は 著 し く異 な った 結 果 が. タ ル ボ ン ドと メ タ ル ・レ ジ ン混 合 ボ ン ド砥. 6). ド砥 石 の 場 合 に は,シ. ェ ア モ ー ド研 削 面 とな った.こ. ジ ン ボ ン ド砥 石 の 場 合 は,砥. Conf. , Soc. Manuf.. S. Ueda and T. Kurobe:Ultra. with a Single. Point. High Speed. Diamond, Int. J. JSPE. , 27,2,. (1993) 140. 5). い 性 モ ー ドの 研 削 面 と な っ た が,レ. in High Efficiency. Grind.. Eng. , (1988) MR88-588.. 高 橋 正 行,上. 田 修 治,黒. ラ ス の 超 高 速 研 削,精. 図11を 見 る と,メ. Tool,Opt.Eng.,. 子 部 品 ・光 学 部 品 の 超 精 密 加 工,機. Deep Grinding(HEDG), 3rd Int.. 得 ら れ た.. 石 の 場 合 に は,ぜ. 田 邦 夫:電. Diamond Crushing. with a Small-area. 械 の 研 究,41,10(1989)1085.. 面 粗 さ は 送 り速 度 に 依 存 せ ず ほ ぼ 一 定 の 値(Rmax な っ た.前2者. Method of Producing. 3) G. Werner and T. Tawakoli :Advances. ら,メ タ ル. ボ ン ドと メ タ ル ・ レ ジ ン混 合 ボ ン ド砥 石 で は,送. by Polishing. 上 田 修 治,中. し た.. 工 面 の 写 真 を 図11に 示 す.. 料 中 心 か ら4mm隔 て た 所 で 行 っ た.図10か. で ほ ぼ1μm前. 2). 献. Mirror:Single-point. Followed. ジ ン ・メタル. 文. and J.B.Bryan:Proposed. て,延 性 モ ー ドの 研 削 面 が 得 ら れ な い か ど う か を 検 討 し た.メ ジ ン ボ ン ド砥 石,レ. 考. ジ ンボ ン. 7)大. れ は,レ. 8). 日 本 ガ イ シ:カ. イ ヤ モ ン ド単 粒 に よ る ガ. 密 工 学 会 誌,60,9(1994)1294.. タ ロ グ.. 阪 ダ イ ヤ モ ン ド工 業:カ 杉 田 忠 彰 ほ か:研. 部 利 次:ダ. タ ロ グ.. 削 加 工 と 砥 粒 加 工,共. 立 出 版,(1984)24.. 石 の 弾 性 変 形 に基 づ く砥 石 の 切 込. み深 さの 低 減 が 影 響 して い る も の と考 え られ る。. 精密工学会誌 Vol. 60, No. 12,. 1994. 1795.
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