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6.1 基板材料選択の重要性

6.1.2 有限要素法による熱解析

6.1.2.2 熱解析プログラムの作成

有限要素法は,解析を行う対象物を有限個の要素に分割し,要素毎に定められた節 点変数に関する方程式を作成し,それを組み合わせて対象物全体の方程式として解く,

数値計算による解析法である.近年の有限要素法では,分割の自由度が高い四面体要 素が使用されることが多いが,ここではモデルを単純形状に限定することと,モデル の要素分割において考えやすい六面体要素を採用することにした.

図 6-3:6面体20節点アイソパラメトリック要素

解析対象となるモデルが置かれたグローバル座標を,右手系のxyz直交座標とする.6 面体要素の各辺は直線または曲線とし,各頂点と各辺の中点に節点(node)を設け,

20 個の節点とする.6 面体要素の中心を原点とし,要素内部で1に正規化されたロ ーカル座標を 座標とする.図 6-3に6面体20節点アイソパラメトリック要素と,

そのローカル節点(node)番号および面(face)の番号を示す.

このシミュレーションにおいては,矩形モデルと円板モデルの2種類を扱う.有限 要素法の原理に基づき,隣り合う要素は節点を共有する.したがって,それぞれの節 点には,ユニークなグローバル節点番号が付与される.矩形モデルにおいては,ちょ うど矩形の積み木を隙間無く積み重ねていくように,図 6-3に示す6面体要素を積み 重ね,目的とする大きさの矩形を作る.一方円板モデルにおいて,円板の中心線を含 む要素については図 6-4に示すような少々変則的形状となるが,面および節点の数に 変わりはない.さらにこれよりひとつ外側の要素との結合は,隣り合う要素の接合面 の節点は共有しなければならないから,図 6-5に示す関係になる.それぞれのモデル は,光照射する光軸に対称であるから,シミュレーション計算は1/4のみ行えば十分 である.これに基づくそれぞれのモデルの要素分割を図 6-6 (a) および (b) に示す.

(a) の矩形モデルは,モデルの1/4の基板を縦10分割,横20分割,厚み5分割に,(b) の円板モデルは,モデルの1/4の基板を半径方向10分割,θ方向12分割し,それぞ れ最上部に面方向に基板と同じ分割をした薄膜があるものとする.

図 6-4:円板の中心線を含む6面体20節点要素

図 6-5:円板の中心線を含む要素とひとつ外側の要素との結合

(a) 矩形モデル

(b) 円板モデル

図 6-6:熱伝導モデルの要素分割

後述する連立方程式を解くマトリクス計算において,ひとつの要素内のグローバル 節点番号の最大値と最小値の差が大きいと計算量が増大するため,グローバル節点番 号の付与には注意が必要である.

ひとつの要素における,各節点の形状関数をN ii

(

=1, 2,, 20

)

と定め, 座標

で表すと,

( )( )( )( )

1

1 1 1 1 2

N =8 - - + - - + -  

(6.2)

(

2

) ( )( )

2

1 1 1 1

N =4 - - +

(6.3)

( )( )( )( )

3

1 1 1 1 2

N =8 + - +    +

(6.4)

( ) (

2

) ( )

4

1 1 1 1

N =4 + - +

(6.5)

( )( )( )( )

5

1 1 1 1 2

N =8 + + +   + +

(6.6)

(

2

) ( )( )

6

1 1 1 1

N =4 - + +

(6.7)

( )( )( )( )

7

1 1 1 1 2

N =8 - + + - + + -  

(6.8)

( ) (

2

) ( )

8

1 1 1 1

N =4 - - +

(6.9)

( )( ) (

2

)

9

1 1 1 1

N =4 - - -

(6.10)

( )( ) (

2

)

10

1 1 1 1

N =4 + - -

(6.11)

( )( ) (

2

)

11

1 1 1 1

N =4 + + -

(6.12)

( )( ) (

2

)

12

1 1 1 1

N =4 - + -

(6.13)

( )( )( )( )

13

1 1 1 1 2

N =8 - + - - - - -  

(6.14)

(

2

) ( )( )

14

1 1 1 1

N =4 - - -

(6.15)

( )( )( )( )

15

1 1 1 1 2

N =8 + - -   

(6.16)

( ) (

2

) ( )

16

1 1 1 1

N =4 + - -

(6.17)

( )( )( )( )

17

1 1 1 1 2

N =8 + + -   +

(6.18)

(

2

) ( )( )

18

1 1 1 1

N =4 - + -

(6.19)

( )( )( )( )

19

1 1 1 1 2

N =8 - + - - + - -  

(6.20)

( ) (

2

) ( )

20

1 1 1 1

N =4 - - -

(6.21) となる.各節点の変数の値uiがわかっているとき,形状関数Ni

(

  , ,

)

を用いると,

要素内部の任意の点における変数値u

(

  , ,

)

は,

( ) ( )

20

1

, , i , , i

i

u    N    u

=

=

å

(6.22)

により与えられる.

発熱項を除く三次元熱伝導方程式は,

2 2 2

2 2 2

T T T T

C t x y z

¶ =æççççè¶ +¶ +¶ ÷ö÷÷÷ø (6.23)

:密度,C:比熱,T:温度,:熱伝導率,t:時間,x y z, , :座標値 となる.これを有限要素法により定式化すると,

[ ]{ } [ ]

e e e

{ }

e

{ }

e

t

+ ¶ =

K T C T F

(6.24)

[ ]

Ke

:要素の熱伝導マトリクス

{ }

Te

:要素節点の温度ベクトル

[ ]

Ce

:要素の熱容量マトリクス

{ }

Fe

:境界条件で決定される右辺ベクトル

となり,要素の熱伝導マトリクス

[ ]

Ke は,

[ ] [ ] [ ]

t

[ ] [ ]

t

[ ] [ ]

t

e V

x x y y z z dV

æçç ö÷÷

=

ò

çç ¶çè NN + ¶NN + ¶N ¶ ÷N ÷÷ø K

(6.25) 要素の熱容量マトリクス

[ ]

Ce は,

[ ]

e

[ ] [ ]

t

V

C dV

=

ò

C N N

(6.26) で与えられる.これらを局所座標に変換すると,

[ ] [ ] [ ]

t

[ ] [ ]

t

[ ] [ ]

t

e V

d d d

x x y y z z

æçç ö÷÷   

=

ò

çç ¶çè NN + ¶NN + ¶N ¶ ÷N ÷÷ø

K J

(6.27)

[ ]

e

[ ] [ ]

t

V

C d d d

   

=

ò

C N N J

(6.28) J :Jacobianマトリクスの値(det

[ ]

J

となる.ここで,JacobianマトリクスJは,

1 2

20 1 1 1

1 2

2 2 2

1

1 2

i i i

i i i

i i i

i i i

i

i i i

i i i

N N N N N

x y z

x y z

N N N N N

x y z x y z

N N N N N

x y z

    

    

 

  

=

é¶ ¶ ¶ ù é¶ ¶ ù

ê ú ê ú

ê ¶ ¶ ¶ ú ê ¶ ¶ úé ù

ê ú ê ú

ê ú

ê¶ ¶ ¶ ú ê¶ ¶ úê ú

ê ú ê ú

= êêêê¶¶ ¶¶ ¶¶ úúúú=êêêê¶¶ ¶¶ úúúúêêë úúû

ê¶ ¶ ¶ ú êë¶ ¶ úû

ë û

å

  

J

(6.29)

である.

境界条件を次に示す.

 温度固定境界

境界の温度を一定温度に固定するものであり,境界に属する各節点に任意の固 定温度を設定する.

 熱流束境界

境界から外部へ,常に一定の熱量qが流出するものとする.流出する熱量qは,

単位時間,単位面積当たりとし,単位はJ m-2s-1またはW m-2である.従って,

要素の面から流入する熱量は,

Q= -

ò

q dA (6.30)

である.但し,dAは積分面積である.

 熱伝達境界

熱伝達境界における単位面積当たりの流出熱量qは,

(

c

)

q= T T

(6.31) となる.但し,は熱伝達係数,Tは境界面温度,TCは外部温度とする.

従って,熱伝達境界から流入する熱量Qは,

(

c

)

c

Q= -

ò

q dA= -

ò

T T dA- = -

ò

T dA+

ò

T dA (6.32) で表される.

 熱放射境界

熱放射源である構造体から外部放射源に対し,熱を放射する境界をいう.熱放 射境界における単位面積当たりの流出熱量qは,

(

4 c4

)

q=kF T -T

(6.33) となる.但し,は放射率,kはボルツマン定数5.67 10 W´ -8m-2⋅K-4Fは形

状係数

( )

m2 ,Tは境界の温度

( )

K Tcは外部放射源温度

( )

K とする.

ここでは式 (6.33) の係数部分をまとめて,

[W K 4] Cr =kF

(6.34) を放射係数として使用する.従って,熱伝達境界から流入する熱量Qは,

(

4 4

) (

2 2

) ( )( )

r c r c c c

Q= -

ò

q dA= -

ò

C T -T dA= -

ò

C T +T T+T T T dA

(6.35) となって,Tの 4 次式となるため解けない.そこで未知数Tに 1 ステップ前の既

知のTを用い,係数rを,

(

2 2

)(

2

)

r C Tr Tc T Tc

 = + +

(6.36) とおいて,(6.35)式に代入し,

( )

r c r r c

Q= -

ò

T T dA- = -

ò

T dA+

ò

T dA (6.37) として近似計算を行う.

 内部発熱

内部発熱は,要素内部の単位体積・単位時間当たりの発熱量qIを設定する.要 素における発熱量は,

Q=

ò

q dVI (6.38)

となる.但し,dV は体積積分である.

以上のアルゴリズムに従い,三次元有限要素法による熱解析プログラムを作成した.

開発環境はWindows XPをOSとしたPCで,Microsoft Visual C++とDirect X 9.0 SDK を使用した.有限要素法のマトリクス計算のソルバーとして,ICCG(Incomplete Cholesky Conjugate Gradient)法[1]を採用した.ICCG法の詳細については,ここでは 省略する.

図 6-7に開発した熱解析プログラムのメインダイアログを示す.

図 6-7:開発した熱解析プログラムのメインダイアログ