／セレクタ（20 A/3 kV）
HCSMU (最大20 A)もしくはHVSMU (最大3 kV)を使用した、ウェーハ上 でのゲートチャージ測定用のアダプタです。I-V測定とゲートチャージ測 定の信号経路の自動切替用にセレクタが内蔵されています。N1258Aモ ジュール・セレクタと一緒に使用します。
ゲートチャージ測定を行うには、電流制御デバイスまたは負荷抵抗を、こ のアダプタに取り付ける必要があります。
電流制御デバイスはDUT と同様の特性を示すことが期待される3 ピン イ ンライン・パッケージのデバイスでなければなりません。もしその様なデ バイスが用意できない場合は、負荷抵抗を使用してください。この場合、
抵抗は以下の仕様を満たしていなければなりません。
抵抗 = Vr/Ir （Vr：定格電圧、Ir：定格電流）
ピーク電力 ≥ Vr × Ir × 1 ms
WARNING N1274Aは、インターロック回路が施されたシールド・ボックス内に設置し てください。
フロント・パネル
1. Input from N1258A
a. Low Force、Sense入力コネクタ
BNCコネクタ。付属の2本のBNCケーブル（B1512-61741）を用い て、N1258AのLow Force、Sense 出力コネクタに接続します。
1
a b c
2
a b c d e
High Sense Low Sense Gate Sense Force Sense
High Input From N1258A Low
Force
Relay Control Input Low Force
High Force
Signal Guard Circuit Common
Output
±3 k VMax
±3 k V Max
±10 V Max
Signal Circuit Common N1274A On-Wafer Gate Charge Measurement Adapter / Selector
b. High Force、Sense入力コネクタ
HVジャック・コネクタ。Forceには付属のHV同軸ケーブル
（N1274-61721）を、Senseには付属のHVトライアキシャル・ケーブ ル（N1274-61720）を用いて、N1258AのHigh Force、Sense 出力コネ クタに接続します。
c. Relay Control Inputコネクタ
D-sub 15ピン・コネクタ。付属のD-sub 15ピン・ケーブル
（N1274-61722）を用いて、N1258AのExternal Relay Control Output コ ネクタに接続します。
2. Output
a. High Force出力コネクタ
バナナ・ジャック。DUTのCollector/Drain端子に接続します。DUT の端子まで延長するには、バナナプラグの付いたケーブルとマニ ピュレータなどを使用します。
b. Low Force出力コネクタ
バナナ・ジャック。DUTのEmitter/Source端子に接続します。DUT の端子まで延長するには、バナナプラグの付いたケーブルとマニ ピュレータなどを使用します。
c. High Sense出力コネクタ
HVジャック・コネクタ。DUTのCollector/Drain端子に接続します。
DUTの端子まで延長するには、HVプラグ・コネクタの付いたケー ブルとマニピュレータなどを使用します。
d. Low Sense出力コネクタ
BNCコネクタ。DUTのEmitter/Source端子に接続します。DUTの端 子まで延長するには、BNC(m)コネクタの付いたケーブルとマニ ピュレータなどを使用します。
e. Gate出力コネクタ
BNCコネクタ。DUTのBase/Gate端子に接続します。DUTの端子ま で延長するには、BNC(m)コネクタの付いたケーブルとマニピュ レータなどを使用します。
DUT駆動用に接続されたMCSMU/HCSMUのHigh側が出力されま す。
リア・パネル
1. Input From B1505A
a. Current Control MCSMU Force、Sense入力コネクタ
トライアキシャル・コネクタ。16494Aトライアキシャル・ケーブル を用いて、メインフレームのMCSMUに接続します。
定電流負荷を構成するデバイスを駆動するために使用されます。
b. DUT Gate Control MCSMU/HCSMU Force、Sense入力コネクタ トライアキシャル・コネクタ。16494Aトライアキシャル・ケーブル を用いて、メインフレームのMCSMUに接続します。もしくは、
16493S HCSMUケーブルを用いて、メインフレームのHCSMUに接 続します。
DUTのBase/Gateを駆動するために使用されます。
2. フレームグランド端子
プローバ・ステーションのフレームグランドに接続します。
電流制御デバイスまたは負荷抵抗の取り付け
1. アダプタ上面の、小さいパネルを外しま す。T-10 トルクス・ドライバを用いて、
4つのネジを外します。.
Sense Force
MCSMU
Sense Force
MCSMU/HCSMU
Current Control DUT Gate Control
±30 V Max Input From B1505A
a b
1 2
2. 電流制御デバイスをソケットに、あるい は負荷抵抗をスタッドに取り付けます。
3. 取り外したパネルを取り付けます。
パネルが外れている状態で、測定を実行 してはいけません。
Table 3-19 N1274Aのコネクタと最大電圧／電流
コネクタ・ラベル 最大電圧 最大電流 Input from N1258A
High Force 3000 V 20 A High Sense 3000 V 200 mA Low Force 10 V 20 A Low Sense 10 V 20 mA Input From B1505A
Current Control MCSMU Force 30 V 1 A Current Control MCSMU Sense 30 V 1 A DUT Gate Control MCSMU/HCSMU Force 30 V 1 A DUT Gate Control MCSMU/HCSMU Sense 30 V 1 A Output
High Force 3000 V 20 A High Sense 3000 V 20 mA Low Force 10 V 20 A Low Sense 10 V 20 mA
Gate 30 V 1 A