フロント・パネル
1. リストストラップ接続用端子
2. Powerインジケータ
このLEDは、テスト・フィクスチャにAC電源が供給されている時に 黄色に点灯します。また、使用可能状態にある時に緑色に点灯します。
3. Statusインジケータ
モジュール・セレクタの現在の接続パスを、緑色LEDの点灯によって 知らせます。Statusインジケータと接続パスについてはFigure 3-11と
Table 3-5を参照してください。
4. 危険電圧ステータス・インジケータ
出力チャネルが危険電圧を印加している時に赤色LEDが点灯します。
このインジケータはInterlockコネクタを介してB1505Aに接続され、
B1505AのHigh Voltageインジケータと連動します。
日本語、ドイツ語、フランス語の警告ラベルが付属されています。必要 に応じてフロントパネルに貼り付けてください。
WARNING 赤色LED点灯時は、危険電圧（最大 ± 10 kVdc）が測定端子に現れる恐れが あります。インジケータの消灯を確認してから配線に触れてください。
5. フィクスチャ・カバー
測定端子に触れることによる感電を防ぐため、またノイズや光からデバ イスを保護するために、フィクスチャ・カバーを閉じておきます。
カバーを開けた状態では、SMUの出力電圧は± 42 Vに制限され、
UHVUの出力は停止します。
WARNING テスト・フィクスチャのカバーが閉じられていると、High、Force、
Guard、Sense端子には本器の最大出力電圧が現れる恐れがあります。
1
3 2
4 5
Power SMU UHC HVSMU
Selector N1265A
Ultra High Current Expander/Fixture
WARNING The red light indicates that hazardous voltage (±10 kV Max) may appear at measurement terminals.
Check this indicator before accessing.
Shock Hazard
WARNING 測定を開始する前に、カバーがきちんと閉じられていることを確認してく ださい。カバーからワイヤがはみ出た状態で測定を実行してはいけません。
リア・パネル
WARNING アース端子には、接地されたワイヤを接続してください。
Table 3-3 SMU入力コネクタと出力信号（SMUタイプ別）
接続するSMU
1または2 3
[1]または[3] [2]または[4] [5] [6]
HP/MPSMU（非ケルビン） Force Force Force Force
HP/MPSMU（ケルビン） Force Sense Force Sense
MCSMU Force Sense Force Sense
HCSMUまたはDHCSMU 使用不可 Force Sense
11 3
2
4 1
5
7 8
10 9 6
UHV Bias Tee SMU SMU
1 2 3
±10 kV Max ±3 kV Max ±200 V Max 1 A ±200 V Max
2 A dc 40 A Pulse
To avoid electrical shock and instrument damage, do not remove the cables during operation.
High
Low Low
High
To Use HPSMU/MPSMU
Connect the N1261A-001 protection adapter between the SMU connectors and HPSMU/MPSMU to prevent damage to the SMU.
CAUTION
KCC-REM-ATi-1H-ParaINSTR
Output Input
HVSMU V ControlMCSMU/HCSMUI Control MCSMU/HCSMU
SMU
GNDU Force
Sense Force
Sense
Force
Sense Force
Sense
N10149 LINE 100 - 240 V
50/60 Hz 400 VA Max UHC Input
Interlock
Gate Digital I/O
Selector Input
±3 kV Max ±200 V Max ±40 V Max ±40 V Max
1. Input
• UHV HighおよびLowコネクタ
HighはUHVジャック・コネクタ、LowはSHVジャック・コネク タ。16493V UHVケーブルを用いて、N1268A UHVエクスパンダに 接続します。
• Bias Tee HighおよびLowコネクタ
SHVジャック・コネクタ。N1254A-518 SHVケーブルを用いて、
MFCMUに接続されたN1260A 高電圧バイアスTに接続します。
• SMU 1～3 ([1]～ [6])コネクタ
トライアキシャル・コネクタ。HP/MP/MCSMUとの接続に使用しま す。SMU 3（[5]および [6]）コネクタは、HCSMUまたはDHCSMU
（デュアルHCSMU）との接続にも使用できます。Table 3-3を参照し てください。
コネクタ[1]/[3]/[5]はForce端子との接続に、コネクタ[2]/[4]/[6]は コネクタ[1]/[3]/[5]に接続されたそれぞれの測定リソースのSense端 子との接続に使用します。
非ケルビン接続でHP/MPSMUを接続する場合、コネクタ[2]/[4]/[6]
は他SMUのForce端子との接続に使用できます。
HP/MPSMUとの接続には、N1261A-001プロテクションアダプタと
16494Aトライアキシャル・ケーブルを使用します。
MCSMUとの接続には、トライアキシャル・ケーブルを使用します。
HCSMUとの接続には、16493S HCSMUケーブル、N1254A-103 アダ プタ（Force用）、およびN1254A-517 アダプタ（Sense用）を使用し ます。
DHCSMUとの接続には、16493S-021 アダプタ、16493S HCSMU ケーブル、N1254A-103 アダプタ（Force用）、およびN1254A-517 ア ダプタ（Sense用）を使用します。
2. シリアル番号
技術サポートを受ける際に必要な番号。
3. オプション番号ラベル 4. Interlockコネクタ
WARNING テスト・フィクスチャ、プローバ・ステーションなどでInterlock端子が短 絡されると、High、Force、Guard、Sense端子には、危険電圧が出力され る恐れがあります。
5. アース端子 接地用ネジ端子。
6. Digital I/Oコネクタ
Inputコネクタは、16493Gケーブルを用いて、B1505AのDigital I/Oコ ネクタに接続します。
Outputコネクタは、16493Gケーブルを用いて、N1266A、N1268Aエク スパンダ、またはその他のアクセサリのDigital I/Oコネクタに接続しま す。
7. Selector Inputコネクタ
• HVSMUコネクタ
HVジャック・コネクタ。16493T HVSMUケーブルを用いて、
HVSMUまたはHVMCUのHigh端子に接続します。
• SMUコネクタ
ForceおよびSenseトライアキシャル・コネクタ。16494Aトライア キシャル・ケーブルを用いて、HP/MPSMUに接続します。
8. UHC Input コネクタ
トライアキシャル・コネクタ。16494Aトライアキシャル・ケーブルを 用いて、MCSMUのForceとSense端子に接続します。または、16493S HCSMUケーブル、N1254A-103（Force用）およびN1254A-517アダプ タ（Sense用）を用いて、HCSMUに接続します。
9. Gate コネクタ
トライアキシャル・コネクタ。16494Aトライアキシャル・ケーブルを 用いて、MCSMUのForceとSense端子に接続します。または、16493S HCSMUケーブル、N1254A-103（Force用）およびN1254A-517アダプ タ（Sense用）を用いて、HCSMUに接続します。HCSMUを使用する 場合は、この端子に1 Aを越える電流を流してはいけません。
10. GNDU コネクタ
GNDUトライアキシャル・コネクタ。16493L GNDUケーブルを用い て、GNDUまたはHVMCUのLow端子に接続します。
11.電源入力レセプタクルと電源スイッチ
AC電源ケーブルを接続します。電源スイッチはN1265Aの電源をオン またはオフします。Selector Output以外のパスだけを使用する場合には、
AC電源は必要ありません。
出力端子パネル
WARNING ワイヤを接続する前、または、ワイヤを外す前には、本器の出力をオフ状 態にしてください。
出力をオフするには、B1505Aフロント・パネル上のStopキーを押します。
そしてHigh Voltage（高電圧警告）インジケータの消灯を確認します。
N1268Aを使用する場合は、High Voltage Enableスイッチを押して高電圧出力 を無効にします。そして、この赤いスイッチの消灯を確認します。
Force
Guard
Force
Guard
Force
Guard
Force
Guard
Force
Guard
Force
Guard Sense
Force Force Sense Force Sense
± 200 V Max 1 A
SMU SMU
±200 V Max 2 A dc 40 A Pulse
Force
High
Low High
Low
High
Low
High
Low
±40 V Max 1 A Pulse
Guard Sense
±3 kV Max ±3 kV Max
Selector Output
Low High
1 2
K Thermocouple
±3 V Max Bias Tee
High
Low
±10 kV MaxUHV
1 2 3
Gate
1
2 6
3 4 5
Table 3-4 SMU端子と出力信号（SMUタイプ別）
1. SMU 1～3 ([1]～[6])端子
リアパネル上のSMU入力コネクタに内部接続されている出力端子。
HP/MPSMUのForce、Sense、Guard端子。またはHC/MC/DHCSMUの High側 Force、Sense端子とLow側Force、Sense端子。Table 3-4を参照 してください。
HP/MPSMUを使用する場合は、ForceをDUTの端子に接続します。
Guardは開放しておく必要があります。延長ケーブルによる漏れ電流を
低減するには、デバイスの端子近くまで延長して開放します。低抵抗お よび大電流測定に有効なケルビン接続を行うには、ForceおよびSense をDUTの端子において相互接続します。
HC/MC/DHCSMUを使用する場合は、High ForceおよびHigh Senseを DUTのハイ端子において相互接続します。そして、Low Forceおよび Low SenseをDUTのロー端子において相互接続します。また、GNDU 接続のためにSelector OutputのLow ForceおよびLow Senseをロー端子 にて相互接続します。
UHVUを用いて能動素子の測定を行う場合は、ゲート／ベース端子と チャック端子、それぞれの接続にMCSMUとN1265A-040プロテクショ ン・アダプタを使用します。このアダプタは超高電圧からMCSMUを 保護します。
接続するSMU
1または2 3
パネル上の表記
（ラベル）
[1]または[3] [2]または[4] [5] [6]
HP/MPSMU
（非ケルビン）
Force Force Force Force 青い文字
Guard Guard Guard Guard
HP/MPSMU
（ケルビン）
Force Sense Force Sense 白い四角
が示す文字
Guard Guard Guard Guard
MCSMU High Force High Sense High Force High Sense 黒い文字 Low Force Low Sense Low Force Low Sense
HCSMUまたは DHCSMU
使用不可 High Force High Sense Low Force Low Sense
2. Gate High、Low端子
リアパネル上のGate 入力コネクタに内部接続されている出力端子。
ゲート・ドライブに使用するHigh、Low端子。
Gate端子はSelector Output端子と一緒に使用します。Figure 3-11を参照 してください。HighをDUTのゲート／ベース端子に、LowをDUTの ソース／エミッタ端子に接続します。
CAUTION UHVUを用いる超高電圧測定では、Gate端子を開放してください。
3. Selector Output
Statusインジケータと接続パスについてはFigure 3-11とTable 3-5を参照 してください。プローバ・ステーションとの接続には、N1254A-524 シ ステム・ケーブルを使用します。
CAUTION UHVUを用いる超高電圧測定では、Selector Output端子を開放してくださ い。
NOTE 動作中に音を発することがありますが、異常ではありません。
a. Low Force、Low Sense出力端子
ForceおよびSenseをDUTのロー端子で相互接続します。UHCUを 使った超大電流測定には、バナナ－バナナ・ワイヤ(N1254A-522)を 使用します。
b. High Force、High Sense出力端子
ForceおよびSenseをDUTのハイ端子で相互接続します。UHCUを 使った超大電流測定には、バナナ－バナナ・ワイヤ(N1254A-522)を 使用します。
c. Guard端子
Guard（ハイレベル）は開放しておく必要があります。延長ケーブル による漏れ電流を低減するには、デバイスの端子近くまで延長して 開放します。
d. Chassis common端子
接地またはシールドに使用します。
4. Bias Tee High、Low端子
SHVプラグ－SHVプラグ・ケーブル(N1254A-512)およびSHVジャッ ク－バナナ・アダプタ(N1254A-513)を用いて、DUTのハイ端子、ロー 端子にそれぞれ接続します。
CAUTION UHVUを用いる超高電圧測定では、Bias Tee端子を開放してください。
5. K Thermocouple 1、 2端子
DUTの周辺温度をモニタするには、熱電対を接続します。 N1265A-041 熱電対は+180 °Cまで、N1254A-554熱電対は+250 °Cまでの温度モニ タに対応します。
6. UHV High、Low端子
リアパネル上のUHV HighおよびLow入力コネクタに内部接続されて いる出力端子。
ブランク・シリコン・プレートとUHV/SHV－コネクタなし ケーブル
(N1254A-520)を用いて、DUTのハイ端子、ロー端子にそれぞれ接続し
ます。「ブランク・シリコン・プレート (p. 3-48)」を参照してください。
CAUTION UHVUを用いる超高電圧測定では、Gate端子、Selector Output端子、Bias Tee 端子を開放してください。
CAUTION UHVU High端子をCircuit Common、フレーム・グランド、SMU等の他測定 リソースに接続してはいけません。接続された測定リソースにダメージを 与える可能性があります。
CAUTION 能動素子の超高電圧測定では、UHVU High端子をDUTのドレイン／コレク タ端子に接続します。そしてゲート／ベース端子とチャック端子の接続に は、MCSMUに接続されていて、かつN1265A-040プロテクション・アダ プタを取り付けている、SMU出力端子2つを使用します。このとき、1つ のHigh端子をゲート／ベース端子に、もう1つのHigh端子をチャック端 子に接続します。そして、すべてのLow端子をソース／エミッタ端子に接 続します。
それ以外の測定では、UHVU Low端子そのもの、あるいは接続されている DUT端子には、いかなる測定リソースも接続しないでください。接続する ことによって、測定リソースにダメージを与える可能性があります。