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3次元ナノ構造形成プロセス技術の開発

Ⅰ-2.マイクロ・ナノ構造形成用プロセス 主な研究設備・装置一覧|研究・産学連携|豊田工業大学

Ⅰ-2.マイクロ・ナノ構造形成用プロセス 主な研究設備・装置一覧|研究・産学連携|豊田工業大学

... 利用方法 ・サンプル固定は、メカニカルクランプ方式なので、薄いウェ ハ場合は、保持用貼り付けウェハを利用する。 ・オリジナルなレシピを導入する際には要相談。垂直性を重 視して、デポジションを多くする際には、真空ポンプにダメー ジを与える粉が発生し難いよう検討。また、プラテンパワーは 僅か5W増やすだけで、サンプルへイオン衝撃が増えてマ スク材選択比を下げるので、注意が必要。 ...

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第 1 回 三次元造形技術を核としたものづくり革命プログラム ( 次世代型産業用 3D プリンタ等技術開発 ) 研究開発プロジェクト中間評価検討会資料 5 三次元造形技術を核としたものづくり 革命プログラム ( 次世代型産業用 3D プリンタ等技術開発 ) 研究開発プロジェクトの概要 平成 28 年

第 1 回 三次元造形技術を核としたものづくり革命プログラム ( 次世代型産業用 3D プリンタ等技術開発 ) 研究開発プロジェクト中間評価検討会資料 5 三次元造形技術を核としたものづくり 革命プログラム ( 次世代型産業用 3D プリンタ等技術開発 ) 研究開発プロジェクトの概要 平成 28 年

... 1.今回プロジェクトで開発した成果を実際製造現場で活用し、製品作りに 活かしていくためには、目標は今ままで良いか。国際競争を考慮すると、ど うか。その上で、今後どの開発項目を重点的に進めるべきか。さらに、金属積 層、砂型積層が活用される製造分野としてはどのような分野が期待され、こ れに関して、プロジェクトにおいてはどのような取組が重要となるか。こうした ...

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1 研究実施の概要 本プロジェクトでは高分子ブロック共重合体が形成する デカナノスケールの周期を有するナノ 相分離構造をテンプレートとして用い 実用リソグラフィ技術及びビーム加工技術の加工下限界を 超える微細構造デバイスの創製を目的とした まず第一に ランダムに配向したグレイン構造をも つ従来のナノ

1 研究実施の概要 本プロジェクトでは高分子ブロック共重合体が形成する デカナノスケールの周期を有するナノ 相分離構造をテンプレートとして用い 実用リソグラフィ技術及びビーム加工技術の加工下限界を 超える微細構造デバイスの創製を目的とした まず第一に ランダムに配向したグレイン構造をも つ従来のナノ

... 生産性である。また、微細構造を観察すればするほど顕微鏡視野は狭まって、ナノ規則構造がど くらい広い範囲まで及んでいるかわからなくなる。自己組織化プロセスに基盤をおく以上、ミク ロ相分離構造工学的な利用ためには大量生産性と再現性は必須課題である。我々は、印 ...

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2019 年 NEDO TSC Foresight セミナー ( 第 3 回 ) TSC Foresight 金属積層造形プロセス 概要 井関隆之 2019 年 2 月 8 日国立研究開発法人新エネルギー 産業技術総合開発機構 (NEDO) 技術戦略研究センター (TSC) ナノテクノロジー 材料ユ

2019 年 NEDO TSC Foresight セミナー ( 第 3 回 ) TSC Foresight 金属積層造形プロセス 概要 井関隆之 2019 年 2 月 8 日国立研究開発法人新エネルギー 産業技術総合開発機構 (NEDO) 技術戦略研究センター (TSC) ナノテクノロジー 材料ユ

... DMG森精機 航空機、医療等(指向性エネルギー堆積方式) 多品種少量部品、複雑形状部品(粉末床溶融結合方式) レーザー溶融堆積方式+ REALIZER(ドイツ)を子会社化 切削加工複合機 ヤマザキマ ザック 補修、コーティング、ニアネットシェイプ等 指向性エネルギー堆積方式+ 切削加工複合機 アスペクト チタン、ステンレス、CoCr・鉄・アルミ等 粉末床溶融結合方式(レーザー) ...

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ナノテクノロジー・材料科学技術に関する研究開発課題の評価結果

ナノテクノロジー・材料科学技術に関する研究開発課題の評価結果

... 元素戦略プロジェクト<産学官連携型> ・・・・・・・・・・・・・・4 亜鉛に替わる溶融Al合金系めっきによる表面処理鋼板開発(東京工業大学) ・・・・・・7 アルミ陽極酸化膜を用いた次世代不揮発性メモリ開発(物質・材料研究機構) ・・・・・10 サブナノ格子物質中における水素が誘起する新機能(東北大学) ・・・・・・・・・・・・・13 ...

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ナノ粒子のサイズ・形態制御と 構造敏感型触媒プロセスへの応用

ナノ粒子のサイズ・形態制御と 構造敏感型触媒プロセスへの応用

... 害な窒素ガスと酸素ガスにします。HC、CO、N O x 3成分を同時処理する三元触媒など、反 応活性高い脱硝触媒開発が進んでいます。 すでに自動車排ガス触媒燃焼に活用されて いますが、今後はディーゼルエンジンを搭載し たトラックや船舶排ガスに含まれるNO x ...

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第 1 回 三次元造形技術を核としたものづくり革命プログラム ( 次世代型産業用 3D プリンタ等技術開発 ) 研究開発プロジェクト中間評価検討会資料 5-1 三次元造形技術を核としたものづくり 革命プログラム ( 次世代型産業用 3D プリンタ等技術開発 ) 次世代型産業用 3D プリンタ技術開発

第 1 回 三次元造形技術を核としたものづくり革命プログラム ( 次世代型産業用 3D プリンタ等技術開発 ) 研究開発プロジェクト中間評価検討会資料 5-1 三次元造形技術を核としたものづくり 革命プログラム ( 次世代型産業用 3D プリンタ等技術開発 ) 次世代型産業用 3D プリンタ技術開発

... 開発担当:三菱重工工作機械(株)、三菱重工業(株) 項 目 最終目標 現状達成値 達成度 原因分析(未達場合) 積層造形速度 250 cc/h 500 68.5 未達成 大型スキージング装置開発、流動特性を含めた粉末特性見 極めとインコネル718造形条件を見出すに時間を要し、造形速 度が55%と未達成。レーザー2台化、マルチ制御化により達成す ...

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Excitation wavelength [nm] 平成 29 年 9 月 11 日 報道機関各位 東北大学大学院工学研究科 カーボンナノチューブの新たな原子構造制御法開発 ナノチューブ電子デバイスの実用化に大きな期待 発表のポイント カーボンナノチューブの原子構造を制御する新たな合成手法を開発

Excitation wavelength [nm] 平成 29 年 9 月 11 日 報道機関各位 東北大学大学院工学研究科 カーボンナノチューブの新たな原子構造制御法開発 ナノチューブ電子デバイスの実用化に大きな期待 発表のポイント カーボンナノチューブの原子構造を制御する新たな合成手法を開発

... 注 3) により行いました。本研究では触媒表面状態を制御する目的 で、ナノチューブ合成を行う前段階において触媒を高真空下で加熱処理するプロセ スを新たに導入しました。放射光を用いた精密な構造解析等を行った結果、この触 媒前処理プロセスにおいて、微量反応性ガスを導入することで、触媒表面酸化 ...

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既存の内視鏡を使用して体内の3次元形状を精密に取得する技術を開発

既存の内視鏡を使用して体内の3次元形状を精密に取得する技術を開発

... なお、この研究開発一部は、文部科学省科学研究費「高輝度小型パターン光源を用いた 3 次元内視鏡開発と人体消化器官計測試み(平成 27~29 年度)」、JST 研究成果最適展開 支援プログラム A-step「内視鏡用 3D スキャニングシステム開発(平成 27 年度)」および、 内閣府 ...

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V-2 1-B 有機材料融合プロセス技術の開発 V-180

V-2 1-B 有機材料融合プロセス技術の開発 V-180

... 本稿では各種有機薄膜材料に対して、熱ナノインプリントプロセスを用いて ナノ構造体テンプレートが作製可能であることを示した。作製したナノ構造体テ ンプレートは有機太陽電池デバイスに応用することが可能であるが、デバイス 短絡を招きやすいという問題も露呈した。解決手法としてはまず、凹凸深さが ...

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3次元LSI集積化技術

3次元LSI集積化技術

... バンプレス接続利点は,バンプ高さを抑える ことによる熱的な構造安定性提供と,低抵抗コ ンタクト形成である。LSICu配線スケール に対して100万倍もはるかに大きな体積Cuを 使用するTSV構造ではビア近傍に,有機接着材料 (52 ppm)とSi基板(2.6 ...

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平成 22 年度 革新的な三次元映像技術による超臨場感コミュニケーション技術研究開発 の開発成果について 1. 施策の目標 人体を収容できる大きさの 3 次元音響空間についてリアルタイムに音響レンダリングできるシステム ( シリコンコンサートホール ) を 2013 年までに開発する 具体的には,

平成 22 年度 革新的な三次元映像技術による超臨場感コミュニケーション技術研究開発 の開発成果について 1. 施策の目標 人体を収容できる大きさの 3 次元音響空間についてリアルタイムに音響レンダリングできるシステム ( シリコンコンサートホール ) を 2013 年までに開発する 具体的には,

... ①音場をDHM法で細かいセルに分割し,セルを演算回路としてFPGA上にハードウェア化することで,リアルタイムに音場シミュレーションが可能 となる音響レンダリング技術開発を目指す。これにより,シリコンコンサートホール基礎技術構築が期待される。 ...

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3 次元MMIC ~ WLCSP 技術へと進化

3 次元MMIC ~ WLCSP 技術へと進化

... ンセプト発展に貢献して行った。この状況を作り出した は米国 MIMIC Program なる国家プロジェクトである ( MIMIC は Monoli-thically Integrated Microwave Integrated Circuit 略)。筆者は時期を同じくして 1983 年から MMIC 研究を始めたので、我国では初代研究者に属 する。その後 4 ...

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ナノ構造材料技術

ナノ構造材料技術

... れ 改 良 が 課 題 。 ト ッ プ ダ ウ ン 型 技 術 一 部 を 利 用 し た 新 規 ボ ト ム ア ッ プ タ イ プ ( ト ッ プ ダ ウ ン ー ボ ト ム ア ッ プ 融 合 型 ) 技 術 を 開 発 す る こ と も 1つ方向。 ② ボ ト ム ア ッ プ 技 術 と し て 原 子 ...

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ナノ粒子のサイズ・形態制御と 構造敏感型触媒プロセスへの応用

ナノ粒子のサイズ・形態制御と 構造敏感型触媒プロセスへの応用

... 害な窒素ガスと酸素ガスにします。HC、CO、N O x 3成分を同時処理する三元触媒など、反 応活性高い脱硝触媒開発が進んでいます。 すでに自動車排ガス触媒燃焼に活用されて いますが、今後はディーゼルエンジンを搭載し たトラックや船舶排ガスに含まれるNO x ...

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ナノ粒子のサイズ・形態制御と 構造敏感型触媒プロセスへの応用

ナノ粒子のサイズ・形態制御と 構造敏感型触媒プロセスへの応用

... 東北大学公開講座・先端エネルギー 材料開発に役立つ物質科学の展開 46 選択析出法 貴金属水溶液中の錯体制御 „ pHを制御して、水酸化物錯体を選択的に合成 „ たとえば、 Pt(OH) 4 錯体 100℃2日経時→前駆体生成 „ 前駆体=水酸化物 還元処理により貴金属ナノ粒子が生成 担持量=最大 20wt%, サイズ ~1nm.. 東北大学公開講座・先端エネルギー. [r] ...

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超臨界流体を利用したBi4Ti3O12強誘電体メモリ用三次元キャパシタ形成プロセスの開発

超臨界流体を利用したBi4Ti3O12強誘電体メモリ用三次元キャパシタ形成プロセスの開発

... 査 結 果 要 旨 氏 名 趙 煜 FeRAM(Ferroelectric Random Access Memory)は,読み書きに要するエ ネルギーが少なく,高速に動作する不揮発性メモリであり,非接触式 IC カード などに実装されている。さらなる微細化・高集積化要請に応えるため,高ア ...

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ナノ粒子のサイズ・形態制御と 構造敏感型触媒プロセスへの応用

ナノ粒子のサイズ・形態制御と 構造敏感型触媒プロセスへの応用

... 5 脱硝触媒といっても2種類ある ! ボイラー、自家発電装置、燃焼炉等各種 固定燃焼装置、金属エッチングなどから 発生する窒素酸化物(NOx)除去。還 元剤としてアンモニアを使用する選択的 還元法触媒。 ...

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システム開発プロセスへのデザイン技術適用の取組み~HCDからUXデザインへ~

システム開発プロセスへのデザイン技術適用の取組み~HCDからUXデザインへ~

... 本稿では,主にSIソリューション分野を中心に展開してきたデザイン技術として HCD活動を紹介する。 Abstract It is important that the practice of Human-Centered Design (HCD) is widely understood and used in sites of systems development, although it is ...

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カーボンナノチューブの振動構造

カーボンナノチューブの振動構造

... レン分子成長機構と類時点ありそうな、球状黒鉛粒子成長機構を調べる方向 へ向かった。そして球状黒鉛を探して始めて分かったことが、アーク放電法で作ら れるスス中には黒鉛粒子は見つからないということであった。しかしながらこれ らが放電用炭素電極負極側表面にに堆積されていることをつき止めた。この電 ...

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