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学位論文の概要及び要旨

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Academic year: 2021

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学 位 論 文 の 概 要 及 び 要 旨

氏 名 佐伯 文浩 印

題 目 照射加熱による液膜のマランゴニ不安定性に関する研究

学位論文の概要及び要旨

本論文は,光照射によって加熱される液膜に生じるマランゴニ不安定性,すなわち,表面 張力勾配によって引き起こされる界面不安定性について論じたものである.固体基板上に広 がる液体層の照射加熱は,対流,接触線近傍の流れといった基礎的な流体現象に対する実験 的研究において利用されている他,レーザー溶融による固体表面加工,コーティング膜の乾 燥・硬化処理といった工学技術にも応用されている.このような問題に対する理論的・数値 的な研究はこれまでにも行われており,モデル方程式は様々な効果を取り込む形で発展して きている.しかし,いずれも対象にしている状況が限定的であり,これまでのところ,液膜 および基板の物性,特に光吸収性に対する任意性を許容する一般的なモデルは報告されてい ない.

本研究では,照射加熱を受ける液膜に生じるマランゴニ不安定性を,広範な状況に対して 詳 細に 調べる こと を念頭 に置 き,ま ずは その基 礎と なるモ デル 方程式 の構 築を目 的と し て , 空 間2次 元の 液膜 /基板 系を 対象に ,液 面形状 と温 度場の 時間 発展問 題を 定式化 した . 液 膜 については,その厚さが横方向の変動スケールに比べて十分に小さいと仮定し,基礎方程式 系に対して薄膜近似(長波近似)を適用した.また固体基板については,厚さに対して制約 を課さない一般的な場合と,液膜と同様に薄膜近似を適用して方程式系を簡単化した場合の 2通 りの 状況 を想 定し定 式化 を行っ た. これに つい て,前 者は ,実験 およ び工学 的応 用 に お ける現実の系に配慮した定式化であり,後者は,現象を説明する際の見通しのよさに配慮し た定式化である.また,温度場の記述に関しては,照射加熱の特徴である媒質内部への光の 吸収を液膜と基板の両方に対して考慮し,さらにエネルギー反射の影響も考慮した.本研究 で採用したエネルギー反射率は膜厚の関数として表され,液膜への光吸収および液面におけ る光干渉の寄与を含む.特筆すべきは,反射率を通して光干渉効果を考慮した点であり,こ のような効果は液膜の照射加熱に関する過去の理論的・数値的な研究では考慮されてこなか った.

定式化によって得られた支配方程式系の中には,液面形状の時間発展を記述する薄膜方程 式と固体基板に対する熱方程式が含まれる.前者は空間1次元4階非線形拡散方程式の一種で あ り, 後者は 空間2次元 反応 拡散方 程式 の一種 であ る.こ れら の方程 式を 数値的 に解 く 際 ,

(2)

時間の離散化については,効率性と簡便性の観点から半陰解法と近似因数分解を組み合わせ た 手法 を採用 し, 空間の 離散 化につ いて は,保 存性 の観点 から2次精 度の 有限体 積法 を 採 用 した.数値計算法に関連して,上記のような互いに空間次元が異なる方程式を連成するとき , 各方程式に適用するスキームの組み合わせによって計算量が増大する場合があり,その回避 策として近似因数分解が有効であることを明らかにした.

また本研究では,具体的な問題として,光透過性液膜/光吸収性基板系の一様照射問題を 取り上げた.このような系の場合,光干渉の影響により,エネルギー反射率は膜厚に対して 周期的に変動する.数値シミュレーションにより,液面の安定性および不安定化した液面に 形成されるパターンが,膜厚と反射率勾配(反射率を膜厚に対してプロットした曲線の勾配 ) との関係に依存することを明らかにした.さらに,液面の安定性は線形安定性解析により裏 付けられ,非一様なパターンの発現機構は相分離問題との類似性の観点から説明できること を示した.なお,このような液面の振舞いは,マランゴニ不安定性に対して光干渉が影響を 及ぼすことによって起こるものであり,このことは,本研究によって初めて明らかにされた .

本研究で構築した支配方程式系は,液膜自身が光を吸収する場合のみならず,固体の光吸 収 に起 因する 液膜 の加熱 も含 めて, 液膜 の照射 加熱 問題を 統一 的に扱 うこ とを可 能と し た . このことは,マランゴニ不安定性による液膜の流体現象を基礎科学的な観点から解明するこ とに役立つだけではなく,照射加熱が応用されるレーザー加工技術やコーティング技術,さ らには今後応用の広がりが期待される微細構造の形成技術等においても,高精度化および新 たな技術の開拓に貢献し得る.

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