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電子顕微鏡で何ができるのか?

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Academic year: 2021

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《セミナー》

電子顕微鏡で何ができるのか?

科学分析支援センター 徳永 誠

開催日:平成24724日(火)

ご協力:株式会社日立ハイテクノロジーズ,ブルカー・エイエックスエス株式会社 出席:87

内容:電子顕微鏡には,透過型(TEM)と走査型(SEM)の2種類がある.TEMは主として試料内部の微 細構造に関する情報が得られ,SEMは主として試料表面の微細構造に関する情報が得られる.科学分 析支援センターにはTEM 2台,SEM 4台が設置されており,X線元素分析装置(EDX)などの付属アタッ チメントも充実している.今回のセミナーでは,これらの装置を教育・研究に,より有効活用していただくた めに,TEMSEM装置及び付属アタッチメントであるEDXの原理と基礎の解説,並びに当センター所有 の装置で測定可能なアプリケーションを中心とした実例を紹介して頂いた.

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