新 し い 可 視 光応 答 型 光触媒 ス パ ッ タ 薄膜 の 開 発 と 水 処 理 技 術
‑の 応 用
研 究 代 表 者 工 学 部 高橋 隆
一( 1 ) プ ロ ジェ ク ト の 背 景
・ 目 的
近 年 , し 尿 中 の 環 境 ホ ル モ ン の 生 活 環 境 中 で の 残 存 が 社 会 問 題 と な り , 水 環 境 の 汚 染 に よ る 生 殖 異 常 や 癌 化 が 報 告 さ れ , 人 類 の 生 存 基 盤 の 確 保 が 難 し く な
って き た 。 ま た , 畜産
し 尿 放 流 に よ る 河 川 の 着 色 も 大 き な 問 題 と な
って き て い る 。 人 間 の 排 せ つ 物 は 管 理 さ れ て
い る が
,畜 産 の 排 せ つ 物 の 管 理 は あ い ま い で あっ た が , 平 成 1 1 年 7 月 に 「 家 畜 排 せ つ 物 の 管 理 の 適 正 化 及 び 利 用 の 促 進 に 関す る 法律 」 が 公 布 さ れ , 同 年 1 1 月 か ら 施 行 さ れ た 。 牛
1 0 頭 以 上 豚 1 0 0 頭 以 上 の 農 家 で は , 家 畜排 せ つ 物 の 処 理 高 度 化 施 設 の 整 備 が 必 要 に な り ,
畜 ふ ん の 「 野 積 み 」 や 汚 水 の 「 た め 池 ( 素 堀 貯 蔵) 」 が 禁 止 に なっ た 。 猶 予 期 間 も 終 わ り , 昨 年 1 1 月 よ り 構 造 施 設 な ど の 管 理 基 準 が 適 用 さ れ て い る 。 特 に , 畜産 し 尿 の 処 理 は , 曝 気 処 理 や 生 物 活 性 汚 泥 で 行
っ て も 最 終 的 に 色 が 消 え ず , 養 豚 数 が 多 い 場 合 , 本 格 的 な 処 理 施 設 を 設 け る と 数 億 円 か か り , 養 豚 業 と し て は 成 り 立 た な い 」 な ど , 脱 色 が 緊 急 課 題 に な
って い る 。
本 研 究 で は , 太 陽 光 に よ る 光 触 媒 反 応 を 利 用 し て そ の 原 因 物 質 の 除 去・低 減 を 行 い , 環境
ホ ル モ ン お よ び 着 色 の 生 態 系 ‑ の 影 響 を 詳 細 に 調 べ , 人 類 の 生 存 基 盤 の 確 保 に 寄 与 す る こ と を 目 的 と す る 。 具体 的 に は , T i O
2光触 媒 に 注 目 し , そ の 反 応 を 向 上 さ せ る た め に , T i O2/ W o
ョ
お よ び Ti O
2/ F
e 20
3二 層 膜 を 反 応 性 ス パ ッ タ 法 で 形成 し , 環境 ホ ル モ ン の 分 解 実 験 お よ び 脱 色 実 験 を 行 い , T i O
2単層 と 比 べ , 可 視 光 反 応 に 関 す る 二 層 化 の 効 果 に つ い て 調 べ る 。 我 々
の メ チ ル ア ル
コ ール の 分解 実 験 か ら , そ れ ら の 光 触 媒 特 性 は 下 地 層( w o
ョ, F e 20
3) 膜 の 結 晶 化 度
・ 光 学 特 性 と T i O2 薄 膜 の 結 晶化 度
・ 表 面 微 細 構 造 に 大 き く 依 存 し , 二 層 化 に よ り そ の 分解 時 間 が 単 層 膜 に 比 べ , 約 1 / 3 に 短 縮 さ れ る と 予 想 で き る 。
薄 膜 の 結 晶化 度
・表 面 微 細 構 造 に 大 き く 依 存 し , 二 層 化 に よ り そ の 分解 時 間 が 単 層 膜 に 比 べ , 約 1 / 3 に 短 縮 さ れ る と 予 想 で き る 。
( 2 ) 研 究 成 果
対 向 タ
ーゲ ッ ト式 ス パ ッ タ 装 置 を 用 い て , T i タ ー ゲ ッ ト を A r+ 0
2混 合 ガ ス 中 で 反 応 ス パ ッ タ す る こ と で T i O
2膜 を ガ ラ ス 基 板 上 に 形 成 さ せ た 。 ガ ス 混 合 比 ( Ar : 0
2 ‑ 8:2 , 6
:4 , 5
:5 ) , ス パ
+ 0
2混 合 ガ ス 中 で 反 応 ス パ ッ タ す る こ と で T i O
2膜 を ガ ラ ス 基 板 上 に 形 成 さ せ た 。 ガ ス 混 合 比 ( Ar : 0
2 ‑ 8:2 , 6
:4 , 5
:5 ) , ス パ
2 , 6
:4 , 5
:5 ) , ス パ
ッ タ ガ ス 圧 ( 0
.2
‑0
.8 P
a) を 変 化 さ せ な が ら , 膜 形 成 速 度 , 基 板 温 度 , 形 成 膜 の 結 晶 構 造
・光 学 特 性, 等 の 変 化 を 調 べ た 。 表 1 に 膜 形 成 条件 を 示 す 。
以 下 の 結 果 が 得 ら れ た 。
膜 形 成 速 度 は ス パ ッ タ ガ ス 圧 の 上 昇 と と も
3 8
表 1 膜 形 成 条 件
タ
ーゲ ッ ト 一 基 板 間 距離
6 5
m mス パ ツ タ 時 間 1 2 0
mi
nス パ ツ タ ガ ス 圧 0
.2 P
a, 0.4 P
a
, 0 .8 P
a
ガ ス 混 合 比 8
:2 , 6
:4
, 5:5
に 著 し く 減 少 し , 膜 厚 は A
r量 が 多 く な る と 厚 く な る 。 基 板 温 度 は ス パ ッ タ ガ ス 圧 , ガ ス 混 合 比 に よ り 顕 著 に 変 化 す る こ と な く , ス パ ッ タ 開 始 1 時 間 後 で , ほ ぼ 等 し い 値( 8 0
‑l o o ℃ ) と な
った o 結 晶構 造 で は ア ナ タ
‑ゼ 型 の A ( 1 0 1 ) 面 が 優 先 配 向 し , 回 折 強 度 は 0
.2 P
aと 0
.4 P
aの と き 最 も 高 く , ガ ス 圧 が 高 く な る に つ れ 減 少 し , 膜 厚 の 厚 さ と 関 係 し た 。 紫 外 可 視 分 光 特 性 で は , ど の 混 合 比 の 場 合 で も 顕 著 な 違 い を 示 さ ず, 約 3 8 0
n m 付 近 に 光 吸 収 端 が 観 測 さ れ た o A
r :0
2‑ 9:1
, 6
:4
, 5
:5 の 場 合 は ス パ ッ タ ガ ス 圧 に よ る 違 い は み ら れ ず , 吸収 端 は ほ ぼ 等 し か
っ た 。 A
r :0
2 ‑ 8:2 , 7
:3 の 場 合 は ス パ ッ タ ガ ス 圧 が 低 く な る に つ れ 吸 収 端 が よ り 長 波 長 側 に シ フ ト し た 。
2 , 7
:3 の 場 合 は ス パ ッ タ ガ ス 圧 が 低 く な る に つ れ 吸 収 端 が よ り 長 波 長 側 に シ フ ト し た 。
今 回 , 形 成 さ れ た Ti O2 ス パ ッ タ 膜 に 光 触 媒 効 果 が あ る か 否 か を 調 べ る た め に , 有 機 化 合 物( メ チ レ ン ブ ル
ー : C
1 6H
1 8N
3S
・ C l ) を 含 む 水 の 脱 色 実 験 を 試 み た 。 メ チ レ ン ブ ル
ー 水 溶液 中 に 配 置 さ れ た T i O
2 ス パ ッ タ 膜 に 紫 外 線 を 照射 し
, 一 定 時 間 ご と に メ チ レ ン ブ ル ー 水 溶 液
水 溶 液
の 透 過 度 を 測 定 し た 。 透 過 度 の 測 定 は メ チ レ ン ブ ル
ー水 溶 液 を 通 し て 透 過 し て 来 る レ
ーザ
ー
光 の 強度 を フ ォ ト ダ イ オ ー ド で 検 出 し , そ の 電 圧 変 化 に よ
っ て 透 過 度 の 変 化 を 測 定 し た 。
図 1 に 脱 色 実 験 装 置 を 示 す 。 表 1 に 透 過 度 測 定 条 件 を 示 す 。
図 2 に ス パ ッ タ ガ ス 圧 を パ ラ メ
ータ に し た と き の 脱 色 化 の 時 間依 存 性 を 示 す 。 図 で 透 過 度 を 透 明 な 水 の 透 過 度 を 1 と し た 任 意 単位 で 示 し た 。
j' ラ
ック ラ イ ト メ チL
}1
ノブ . 1..L
‑
水主審癌
図 1 脱 色 実 験装 置
表 2 透 過 度 測 定 条 件
T i O
2薄 膜 枚 数 3 枚
紫 外 光 ‑ 薄 膜 間 距 離 1 0 0 m m
紫 外 線 強 度 2 6 m W /
c m2
W /
c m2メ チ レ ン ブ ル
ー水 溶 液
0
.0 4 %
濃 度
メ チ レ ン ブ ル
ー水 溶 液
3 1 ℃ 温 度
図 3 に ガ ス 混 合 比 を パ ラ メ
ータ に し た と き の 脱 色 化 の 時 間 依 存 性 を示 す 。 図 で 透 過 度 を 透 明 な 水 の 透 過 度 を 1 と し た 任 意 単位 で 示 し た 。
ガ ス 混 合 比 が A
r :0
2 ‑8
:2 の 時 , 最 も 脱 色 効 果 が 大 き く , 光 活 性 が 高 い 。 ス パ ッ タ ガ ス 圧 が 低 真 空 の 0
.8 P
aの 時 に 最 も 光 触 媒 効 果 が 高 く , ガ ス 圧 が 高真 空 に な る に つ れ 光 活 性 が 弱 く な り , 0
.4 P
aと 0
.2 P
aの 時 で は ほ ぼ 同 じ で あ
った 。 透 過 度 変 化 で も , 光 触 媒 効 果 が 高 い
の は 0
.8 P
a, 8 : 2 の ス パ ッ タ 薄膜 で あ る こ と が 分 か
っ た 。 効 果 が 高 い 順 は ガ ス 圧 が o
.s p
a,
0
.4 P
a,