透過型分析電子顕微鏡(TEM)

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(1)透過型分析電子軸部鏡（TEM） Transmission Electron Mcrosco e 電子顕微鏡室根岸洋一. 基本原理図. JEM−2000FX I （日本電子製）. 本機が平成3年に設置導入されてから既に14年になりますが、未だに現役として学内の多くの利用者から期待され、利用され続けています。さすがに、. 長期の使用に伴って物理的消耗による不調が時々発生するのは否めないところではありますが、メンテナンスが十分に行き届いているため、まだ本機の持つ全機能は健在で各種の要求に十分対応可能な状態にあります。本来ならば、より多くの方々にできるだけ利用していただきたいのですが、利用の仕方がわからなかったり、どんな試料をどうずれば、観察することができるか分からなかったりする方も積極的にご相談下されば、お役に立てるようご協力致します。. さて、本機は日本電子のベストセラー機種でもあり、加速電圧も200kvと高く、高分解能LaB6フィラメントを用いて、最高100万倍までの透過像が得ら. れます。加速電圧200kvの場合、電子線の試料透過能は、100kVのときの透過能の1．6倍、空間分解能は200kVで0．19 nm位です。新型機のように便利なデジタル機能などはありませんが、サイドエントリー（試料を横から導入. 4.

(2) する）式のオーソドックスなタイプでカーボンナノチューブの観察はもとより金属試料や半導体の制限視野電子回折で回折強度の分布を観たり、収束電子回. 折により結晶構造の解析を行ったり、エネルギー分散型分析装置（EDS）によ. る元素分析も可能です。EDSスペクトルは試料から放射されるX線を半導体検出器に照射し、生成する電子・正孔対の数でX線のエネルギーを測ります。軽元素は苦手ですが23Na∼285Uまでの分析が可能です。. 金明視野像. 金電子線回折像. 昨年度から高解像度Film Scannerの導入で撮影Filmのデジタル化を行うようになりましたので、発表用Digital Dataとしてご提供できるようになりました。例年、年末から年度末にかけては依頼が集中するため、できるだけ早めの申し込みをいただければ幸いです。. 試料調整用保有装置試料薄化装置（イオンシンニング）電解研磨機（テヌポール）. 真空蒸着装置（カーボン蒸着）. 親水群処理装置（日本電子製HDT・400）マイクロカッター. 電子顕微鏡室. 5.

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