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RTLC システムの特長 µm Error (µm) Error plot Position mm (mm) 3400mm RTLC ±6.2µm 高精度 RTLC と RT

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Academic year: 2021

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(1)

RTLC

高精度インクリメンタルリニアスケール

• 高精度(±5µm/m)スケール。偏差 補正を行うことで更に精度を向上 できます 高性能の VIONiC および TONiC リードヘッドと併用可能 • RTLC スケールは、熱膨張率が低く (10.1 ±0.2µm/m/℃ @ 20℃)そ の熱膨張率で膨張します • FASTRACK と使用することでヒス テリシスを極めて低く抑えることが できます • FASTRACK のガイドレールは、リ ール形式で提供されており、必要な 長さにカットして使用できます 簡単な取り付け。FASTRACK によ り、スケールの交換を一層高速化 できます • 母材の軸上のどの基準点にでもス ケールを固定できます • RTLC スケールは、FASTRACK 間 に 25mm 程度のギャップがあって も取り付け可能 溶剤に対する高い耐性

レニショーの RTLC リニアエンコーダテ

ープスケールは、 ±5µm/m の精度を誇り、硬

化ステンレススチール製による頑丈さを兼ね備えて

います。テープスケールは、 両面テープを裏面に貼り付けた

RTLC-S

とレニショーの革新的な FASTRACK ™ トラックシステム

に組み込んで使用する RTLC という 2 種類のスケールを用意して

います。

高精度とスケール単体の熱伸縮が求められるアプリケーションのためにテープス ケールという便利な形態で設計された RTLC-S と RTLC は、レニショーの信頼性 に優れたコンパクトな VIONiC™ と TONiC™ シリーズのリードヘッドで読み取る ことが可能です。 RTLC-S は、両面テープで機材に貼り付けます。特許技術のアプリケーションツ ールにより、多額のコストをかけることなく、短時間で簡単に貼り付けられます。 クランプは、1 点に取り付けてスケールを機材に固定します。 RTLC(両面テープが裏面にないスケール)は FASTRACK に使用します。この場 合には、2 つの頑丈なミニガイドレールでスケールを固定します。このスケール も 1 点にクランプ固定することで、温度が変化してもスケールが独立して熱膨張 できるようにしながら、ヒステリシスを抑えることができます。スケールが損傷し た場合には、作業スペースが制限されていても、ガイドレールからスケールを外 して短時間で交換することができ、メンテナンスのための機械停止時間を短縮し ます。この機能により、分割して運搬する必要がある大型機械にも最適なリニア エンコーダシステムになります。 RTLC-S および RTLC と FASTRACK は、FPD 製造検査装置、PV(太陽電池) 製造、機材がアルミニウムのリニアモータ、 損傷の危険性のある露出した軸、 大 型三次元測定機、輸送時に取り外し、その後インストールが必要になる様々な機 械、 または単に機械の構造からスケールの熱による伸縮を独立させる必要があ るアプリケーションなど、 多くのアプリケーションに最適です。

(2)

システムの特長

高精度 RTLC と RTLC-S スケール

X 20°Cで ±5µm/m の精度(勾配とリニアリティーを含 む)2 点間補正で ±2.5µm/m のリニアリティーを実現 可能 X 硬化ステンレススチール製のため、頑丈で信頼性が高 く、傷や溶剤に対して高い耐性を備えます X 単体での熱膨張率(10.1±0.2µm/m/°C @20°C) X 極めて低いヒステリシス:例えば、中央で固定した 2m の軸では、動作温度の全範囲のヒステリシスがサブミク ロン単位です。 X 20µm スケールピッチ X 50mm ごとに光学式 IN-TRAC リファレンスマークを刻 印されておりリファレンスマークセレクターの磁石を使 用して1 つまたは複数のリファレンスマークを検出で きます X スケールは、切断機により客先で簡単に必要な長さに カットして使用していただくことができます X 新しい革新的な FASTRACK を使用したトラック固 定式のRTLC スケールまたは両面テープ固定式の RTLC-S スケール 長さ 3400mm の RTLC スケールの精度テ スト結果の例 -10 -8 -6 - 4 -2 0 2 4 6 8 10 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 3500 Position (mm) Er ro r (µm) Error plot ± 6.2µm 誤 差( µm ) 誤差のプロット 位置(mm)

VIONiC

、VIONiCplus

、TONiC リードヘッドで読み

取り可能

X オプティカルフィルター機構と自動ゲインコントロール により、高い信頼性と確実なリサジュー信号を取得 X ダイナミック信号処理で非常に低いサブディビジョナ ルエラー(SDE)を実現。 その結果として、よりスムーズなスキャニング性能を実 現 X 高い S/N 比によりジッタを抑え、位置決め安定性を最 適化 X IN-TRAC リファレンスマークにより位相調整を自動化 X 業界標準の 1 Vpp アナログ信号出力(TONiC リードヘ ッドのみ)および RS422 デジタル信号出力が可能 X クロック出力により、業界標準の様々なコントローラ向 けのあらゆる分解能に速度性能を最適化 X アナログとデジタルの同時出力を可能にする DOPデュ アルアウトプットインターフェースをご用意(TONiC リ ードヘッドのみ)

VIONiC VIONiCplus TONiC

出力 リードヘッドから分解能 5µm ∼ 20nm のデジタル信号を出力 リードヘッドから分解能 0.1µm ∼ 2.5nm のデジタル信号を出力 Ti, TD, DOP インターフェースとの接続時に、5µm ∼ 1nm の RS422 デジ タル信号と1Vppのアナログ信号の出 力が可能 SDE(平均) <±30nm <±10nm ±30nm ジッタ(RMS) 1.6nm 以下 1.6nm 以下 0.5nm 以下 最高速度 12m/s 12m/s 10m/s

(3)

RTLC

および FASTRACK キャリアと VIONiC の取り付け図

(機械式データムクランプによる方法)

詳細については、VIONiC または TONiC RTLC と FASTRACK のインストレーションガイドをご参照下さい。

VIONiC リ ー ド ヘ ッド R TLC スケー ル ( A-9705-xxxx ) FASTRA CK ( A9704 xxxx ) リ フ ァ レ ン ス マ ーク セレ ク タ ー Q リ ミ ッ ト の磁石 18 B A オ プ テ ィ カ ル セン ターラ イ ン( イ ン ク リ メ ン タル お よび リ フ ァ レン ス マ ー ク ) 斜線の部分 で FASTRA CK を 切 断し な いで 下さ い 。 2.25 ±0.5 ± 0.1 P リ ミ ッ ト の磁石 クラ ン プ の縁 最大 35 全 長( L + 12 ) スケー ル 長( L) 測定長 ML = (L-10) ( デ ュ ア ル リ ミ ッ ト 使用時は ML = (L-25) ) FASTRA CK の 長 さ( L - 24 )* 最大 10 ( ギ ャッ プ ) 1( ギ ャッ プ ) 拡大図 A 16 12 2.3 3 斜線の部分に ク ラ ン プの先端 を 配 置 しな い で く だ さい 。 IN-TRA C リ フ ァレ ン ス マ ー ク 12 25 R TLC クラ ン プ ( A-9589-0077 ) M3 x 6 ロー ヘ ッ ドネジ ( ク ラ ン プに 付属 ) † 意: 左図の よ う に F ASTRA CK リ フ ァ レ ンス マ ー ク と デ ータ ム ク ラ ン プ を 位置合 わせす る と 、機材 に 対 し て リ フ ァ レ ン ス 出力の繰 り 返 し 再現性が得 ら れ る よ う に な りま す 。 5 オ プ ショ ン の エ ン ド カ バ ー( 2 個 A-9589-0058 ) 0.1/100 0.5 F F = 移動軸 1.7 ネジ の 深さ 最低 5 ケ ール と エ ン ド カ バーに 1mm の ギ ャ ッ プ が あ る こ と 、お よ び F ASTRA CK と エ ン ド カ バ ー に ギ ャ ッ プがない こ と を 想定 し て い ま す 。 意: FASTRA CK の推奨最短長 さ = 100mm 。 † 追加の ネ ジ を ご利用いただけ ま す( 1 パ ック 25 個 入り A-9584-2047 )。 Ra 3.2 0.05 F F = 移動軸 拡大図 A 拡大図 B P リ ミッ ト の 公 称 トリ ガーポ イ ン ト ( ± 3) Q リ ミッ ト の 公 称 トリ ガーポ イ ン ト ( ± 3) 15 ± 1 寸法と公差(単位 mm)

(4)

TONiC リ ード ヘ ッ ド( T103x ) R TLC スケー ル ( A-9705-xxxx ) FASTRA CK ( A 9704-xxxx ) リ フ ァ レ ン ス マ ーク セレ ク タ ー の 磁 石 Q リ ミ ッ ト の磁石 オ プ シ ョ ン の エ ン ド カ バ ー ( 2 個 A-9589-0058 ) 18 5 B A 斜線の部分 で F ASTRA CK を 切断 し ない で下 さ い 。 2.25 ±0.5 18 ± 0.1 15 ±1 P リ ミ ッ ト の磁石 最大 35 全 長( L + 12 ) スケー ル 長( L) 測定長 ML = (L-10) ( デ ュ ア ル リ ミ ッ ト 使用時は ML = (L-25) ) 最大 10 ( ギ ャッ プ ) 最小 1( ギ ャッ プ ) 拡大図 B オ プ テ ィ カ ル セ ンタ ー ライ ン( イ ン ク リ メ ンタ ル およ び リ フ ァ レ ンス マ ー ク ) 拡大図 A Loctite® 435™ を 少量塗 布( 2 カ 所 )し て 、軸の基準 位置に 固定 意: 右図の よ う に F ASTRA CK リ フ ァ レ ン ス マ ーク と接 着 デ ー タ ム を 位置合 わせす る と 、機材 に 対 し て リ フ ァ レ ン ス 出力の繰 り 返 し 再現性が得 ら れ る よ う に な りま す 。 IN-TRA C リ フ ァレ ン ス マ ー ク 0.1/100 0.5 F F = 移動軸 0.05 F F = 移動軸 FASTRA CK の 長さ = (L - 24) * ス ケ ール と エ ン ド カ バーに 1mm の ギ ャ ッ プ が あ る こ と 、お よ び F ASTRA CK と エ ン ド カ バ ー に ギ ャ ッ プがない こ と を 想定 し て い ま す 。 意: FASTRA CK の推奨最短長 さ = 100mm 。 リ ー ドヘ ッ ドの 方 向 に 対 す る リ フ ァ レ ン スマ ー ク セ レ ク タ ー と リ ミ ッ ト ア ク チ ュ エー タ の 位 置を示 し て い ま す 。 P リ ミッ ト の 公 称 トリ ガーポ イ ン ト ( ±3) Q リ ミッ ト の 公 称 トリ ガーポ イ ン ト ( ± 3) Ra 3.2

RTLC

および FASTRACK キャリアと TONiC の取り付け図

(接着式データムクランプによる方法)

詳細については、TONiC または VIONiC RTLC と FASTRACKのインストレーションガイドをご参照下さい。

(5)

RTLC-S

と TONiC の取り付け図

(接着式データムクランプによる方法)

詳細については、TONiC または VIONiC RTLC-S のインストレールガイドをご参照下さい。 スケー ル 長( L) 全 長( L + 37 ) 測定長 (L-17) 移 動 範 囲 に お け る リ ー ドヘ ッ ドのオ プテ ィ カルデ ィ テ ク タ ー 位 置 P リ ミ ッ ト の磁石 ( A-9653-0138 ) Q リ ミ ッ ト の磁石 ( A-9653-0139 ) リ フ ァ レ ン ス マ ーク セレ ク タ ー( A-9653-0143 ) 13.5 8 C 拡大図 A 5 5 デ ー タ ム クラ ン プ ( A-9585-0028 ) オ プ シ ョ ンの エ ン ド カバ ー ( 2 個 A-9585-0035 ) A P リ ミッ ト の トリ ガ ー ポ イ ント Q リ ミッ ト の トリ ガ ー ポ イ ント オ プ テ ィ カ ル セン ターラ イ ン( イ ン ク リ メ ン タ ル およ び リ フ ァ レ ンス マ ー ク ) 23 35 D 12.1 † 4.6 † ケ ー ル表面か ら の寸法 。 意: ボル ト 固定式 リ フ ァ レ ン ス マ ー ク セ レ ク タ ー と リ ミ ッ ト を 用意 し て い ま す 。詳細に つい て は 、T ONiC T103x R TLC-S イ ン ス ト ー ル ガイ ド を参 照 し て く だ さ い。 エ ンド カ バ ー 位置決め イ ン ジ ケ ータ 拡大図 B B 拡大図 C B B 2.0 0.8 3.5 拡大図 D スケー ル読み取 り面 リ ー ドヘ ッ ドか ら スケー ルま で の クリ ア ラ ン ス 取付高 さ 2.1 ±0.15 スケー ル 厚 0.2 テ ー プの厚 み 0.2 0.05 F F = 移動軸 12.5 3.7 11.7 12 15 ± 1 Ra 3.2 寸法と公差(単位 mm)

(6)

概要 RTLC-S硬化焼戻しステンレス鋼製の高精度インクリメンタル両面テープ スケール。 RTLC FASTRACK トラックシステムと併用できる硬化焼戻しステンレス 鋼製の高精度インクリメンタルスケール(裏面に両面テープが付い ていない)。 FASTRACKスペーサを内蔵した硬化ステンレススチール製のガイドレール。簡 単に取り付けるための両側の裏面に両面テープが付いています。 形状 RTLC-S 0.4mm×8mm(高さ×幅) 両面テープを含む FASTRACK 0.4mm×18mm(高さ×幅) 両面テープを含む 精度 RTLC-S/RTLC ±5µm/m @20°C リニアリティー RTLC-S/RTLC 2 点間補正で ±2.5µm/m を実現可能 熱膨張係数 RTLC-S/RTLC 10.1 ±0.2µm/m/°C @20°C FASTRACK 10.1 ±0.2µm/m/°C @20°C 温度(システム) 保管時 −20°C∼+70°C 動作時 0°C∼+70°C 湿度(システム) 相対湿度 95%(結露なきこと)EN 60068-2-78 衝撃(システム) 非動作時 500m/s²、11ms、½ sine、3 軸 振動(システム) 動作時 300m/s2 max @ 55 ∼ 2000 Hz、3 軸 質量 RTLC-S 12.9g/m RTLC 12.2g/m FASTRACK 24g/m 最小推奨長 FASTRACK 100mm 最大提供長 RTLC-S 5m† RTLC 10m FASTRACK 25m 2m 以上の長さには、FASTRACK と RTLC が推奨されます。

RTLC-S

および RTLC/FASTRACK の仕様

スケールタイプ 長さ リファレンスマークの間隔 増加量 パーツ No.(xxxx は cm 単 位の長さです) RTLC-S 100mm∼5m 50mm 50mm A-9715-xxxx RTLC 100mm∼10m 50mm 50mm A-9705-xxxx

FASTRACK 100mm∼25m N/A 25mm* A-9704-xxxx

RTLC-S

、RTLC、FASTRACK のパーツ番号

* 注意: 下二桁が 25mm の場合の FASTRACK パーツ番号:A-9704-xxx3

(7)

使用できる製品

T103x RTLC/FASTRACK インストールガ イド M-9589-9005 TONiC DOP インストールガイド M-9653-9273 TONiC データシート L-9517-9340 TONiC DOP データシート L-9517-9414 TONiC UHV データシート L-9517-9429 VIONiC データシート L-9517-9681 VIONiC RTLC と FASTRACK インストー ルガイド M-6195-9225 (EN) T103x RTLC-S インストールガイド M-9589-9016 TONiC DOP インストールガイド M-9653-9273 TONiC データシート L-9517-9340 TONiC DOP データシート L-9517-9414 TONiC UHV データシート L-9517-9429 VIONiC データシート L-9517-9681 VIONiC RTLC-S インストールガイド M-6195-9111 RTLC/FASTRACK RTLC-S リファレンスとリミットの磁石 リファレンスマークセレクターの磁石 (両面テープ式/ボルト式) A-9653-0143/A-9653-0290 Q リミットスイッチアクチュエータの磁石 (両面テープ式/ボル ト式) A-9653-0139/A-9653-0291 P リミットスイッチアクチュエータの磁石 (両面テープ式/ボル ト式) A-9653-0138/A-9653-0292 磁石アプリケーター A-9653-0201 データムクランプ 接着式データムクランプ(RTLC-S のみ) A-9585-0028 データムクランプ用の接着剤(Loctite 435) P-AD03-0012 ボルト式データムクランプ(FASTRACK のみ) A-9589-0077 設定ゲージ RTLC 1.9mm 設定シム(黒) M-9589-0067 RTLC-S 2.1mm 設定シム(緑) M-9653-0189 セパレーターキット(FASTRACK のみ) センター(中央)セクション取り外しツール A-9589-0066 エンドカバー エンドカバーキット(FASTRACK のみ) A-9589-0058 エンドカバーキット(RTLC-S のみ) A-9585-0035 スケール / トラック切断治具 切断キット A-9589-0071

アクセサリ

レニショーでは、本書作成にあたり細心の注意を払っておりますが、誤記等により発生するいかなる損害の責任を負うものではあり ません。

RENISHAW および RENISHAW ロゴに使用されているプローブシンボルは、英国およびその他の国における Renishaw plc の登 録商標です。

apply innovation およびレニショー製品およびテクノロジーの商品名および名称は、Renishaw plc およびその子会社の商標です。

Loctite® は、Henkel Corporation の登録商標です。

*L-9517-9483-04*

参照

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