上 下 振 動 の 影 響 を受 け ない高 精 度 粗 さ 測 定 法 (第 2 報) *
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(2) 1089. 安 達 ・三 木 ・鈴 木 ・中 井 ・川 口:上 下 振 動 の影 響 を 受 け な い高 精 度 粗 さ測 定 法 (第 2 報). Fig. 1. Fig.. 2. Schematic illustration about a cutoff effect of low spatial-frequency components due to the optical skid method : hp is the surface profile and XD is the output of the optical skid method. Fig.. 3. Arrangement of photo-detectors in a new sensor head. A lower curved surface is a sinusoidal surface model which is used to calculate the exact attenuation rate for the optical skid method. Principle of the profile measurement for the optical skid method. Q is a surface vibrating with the amplitude V (t) R is a static plane. II, (i = A, B, C, D) is the distance between them. XD is the output of the optical skid method. 本 論 文 で は第1報. で 述 ベ た「 上 下 振 動 の影 響 を受 け. な い高 精 度 粗 さ 測 定 法 一. オ プ テ ィ カ ル ス キ ッ ド法 の. 提案 」7)を断 面 形 状 の 測 定 が 可 能 な 方 法 へ と発 展 さ せ て い る.こ. の方 法 は,上. 下 振 動 の 影 響 を 受 け ず,さ. ら. に用 い る 移 動 テ ー ブル の上 下 変 動 や 傾 斜 の 変 動 に も影 響 され な い で,断 面 形 状 の 測 定 を 行 う こ とが で き る も の で あ る.実 験 で は 標 準 段 差 試 料 の 測 定 や 光 学 ミ ラ ー 面 の うね り曲 線 の 測 定 を 行 っ た.た. だ し,測. 定長は. テ ー ブル の移 動 長 と コ ン ピ ュ ー タ メ モ リー の 制 限 か ら 最大 で4mmと. な っ て い る. 2.. 第1報7)で. 断面 曲線 の測定 原理. は上下振 動 の影響 を受 けず に粗 さ曲線 を. 高精 度 に 測 定 す る た め の オ プ テ ィ カ ル ス キ ッ ド法 と呼 ぶ新 しい 方 法 を 提 案 し た.こ. の 方 法 は 図1に. 示す よう. 理 論 的 な 計 算 を 以 下 に 行 った.た. だ し,当 面 は 測 定 対. に,測 定 面 を 右 方 向 に 動 か し な が ら,測 定 領 域 の 中 心. 象 と す る 面 は 測 定 方 向 に の み 高 さ が 変 化 し,測 定 方 向. 部 の 一 点Dに. 周 辺 部 の A, B, C に お. と垂 直 方 向 に は 変 化 し て い な い 一 次 元 平 面 で あ る とす. を光 干 渉 を利 用 して光. る.こ. お け る高 さhDと. け る平 均 高 さ (hA+hB+hc)/3 セ ン サ で 測 定 し,そ. れ ら の 差 {XD=hD(hA+hB+. hc)/3} を 取 る こ と を 測 定 原 理 と し た.ゆ 法 は,図2に. る.セ. 第1報. れ を カ ッ トオ フ特 性 と呼 ぼ う.. で 用 い た セ ン サ ヘ ッ ドは 図1の. よ うに,周. 辺. 部 の 高 さ を 計 算 す るた め の hA, hB, hc の 測 定 領 域 が 測. 我 々 は 任 意 の 波 長 に 対 し こ の カ ッ トオ フ特 性 を 正 確. えた.す な わ ち,こ. ン サ ヘ ッ ドを特 定 の 形 状 に 変 え る こ と に よ り,. 最 終 的 に は この 条 件 を 取 り除 く こ と が で き る。. 示 す よ う に 実 際 の 断 面 形 状 編 に 対 し,. に求 め る こ と が で き れ ぽ,次. 験 で 用 い る セ ン サ ヘ ッ ドの 形 状 を. そ の ま ま 以 下 の 理 論 で 扱 うこ と に し た と こ ろ か ら 生 じ. え に こ の方. 測定 され る信 号 為 の 低 周 波 数 成 分 が 減 衰 す る 効 果 を 与 えた.こ. の 条 件 は,実. 定 点Dに. 対 し て 等 距 離 ・等 角 度 と な る場 合 で あ っ た.. こ の ヘ ッ ドの 形 状 の ま ま で は,断. の こ とが 可 能 に な る と考. の効果 を コン ピュー タを使用 した. 面形 状 の測 定 は難 し. くカ ヅ トオ フ特 性 の 計 算 も複 雑 に な る.そ. デ ィジ タル フ ィル タ リソ グ処 理 を 用 い て 打 ち 消 す こ と. 用 い た セ ン サ ヘ ッ ドは 製 作,計. に よ り,測 定 さ れ た 粗 さ 曲 線 為 か ら 断 面 曲 線hDを. の 構 造 に した.こ. 求 め る こ と が で き る と.. ら 求 め,hA. そ こで オ プ テ ィ カル ス キ ッ ド法 の カ ッ トオ フ 特 性 の. の 場 合,周. 辺 部 の 高 さ は hB と hc か. は hB, hc と あ わ せ て 測 定 面 と参 照 面 を 平. 行 に す る制 御7)に 用 い る だ け で あ る. 131. こで 本 報 で. 算 共 に 簡 単 に な る 図3.
(3) 1090. 精 密 工 学 会 誌56/6/1990. (a). (b) Fig. 5. Fig.. 4. The. areas. of asinusoidal. surface. photo‑detectors in the new new sensor head. 2W is the photo‑detectors them.(b) sinusoidal ψ is the β are. phase. phase. and. measured. sensor lateral. この 二 つ の 光 セ ン サ が 測 定 す る 平 均 高 さ は (HB+hc). by. head, (a) size of the. 2 で あ る.ゆ. of the. sinusoidal for. W. change.α and. 最 初 に この セ ン サ ヘ ッ ドを 用 い て,図. and. S. (3). の よ う に振 幅. 1を 持 ち 単 一 波 長 の 正 弦 波 型 変 化 を 横 方 向 に 持 つ 面 を 測 定 し た 時 の XD=hD‑(hB+hc)/2. を 計 算 し た.図. に お い て,測. 定 面 の 正 弦 波 型 変 化 の 波 長 を ん,ま. 位 置 に お け る正 弦 波 形 の 位 相 を ψ,そ. し て 四 角 形 の 大 き な 測 定 域 を 持 つ 光 セ ン サB,. 測 定 面 はEの. 方 向 に 移 動 す る と し た.そ. β=2πS/λw. を 用 い る と,図. た. と書 け る た め,T. し,. し て,XD. ま α=2πW/λw. 1‑sinα. ・cosβ/α. とす る と. (4). Cの 横. た B と C の 間 隔 を2Sと. 波 長 に よ る 影 響 を 調 べ た.い. そ こ でT (λW)=. 4. 光 セ ン サDの. 方 向 の 検 出 幅 を 2W,ま. /. え に この レ ベ ル を ゼ ロ と す る 為 は 次 式. と な る.. 2S is the space between surface of wavelength λw.. differences. A filtering function T (A) calculated from the space S = 186 pm and lateral size W = 88 tan for the photo-detectors, whose values are converted at the surface plane. ッ トオ フ特 性 を表 す 関 数)と. T (λw)に,実. 験 で 用 い る 光 セ ン サB,. ズ 2W=3.5mm,. の. (λw)は 波 長 λwに 関 す る フ ィル タ リ. ン グ 関 数(カ. 換 算 し たWとSの. 2S=7.44mmを. に お い て光 セ ンサ B が 測. あ る).こ. 定 す る 平 均 高 さ hB は次 の よ うに 計 算 で き る.. 観 測 面 上 の寸 法 に. 値 W=88μm,8=186μmを. 入 し 図 示 す る と 図5と. な らびに. な る.こ の. Cの 物 理 的 サ イ. な る(レ. の 図 に お い てx軸. 代. ン ズ の 倍 率 は 20 倍 で. は 1/S で 規 格 化 さ れ て い. る 空 間 周 波 数 で あ り, S/λwが 小 さ く な る と T(λw)は ゼ ロ に近 づ き,ま た S/λwが 大 き くな る と振 動 し な が ら 1 に近 づ く こ とが 分 か る. と こ ろ で,図5は. 測定 面が単 一波 長 の正弦波 型変化. を持 つ と し て 計 算 した フ ィル タ リン グ関 数 で あ る.一 般 に,任. 意 の 形 状 は フ ー リエ変 換 理 論 に よ る と正 弦 波. 型 変 化 の 有 限 個 も し く は 無 限 個 の 和 で 与 え ら れ る.正 弦 波 型 変 化 の 和 と な る場 合 に お い て も,式(1)で. (1) ゆ え に,Bの. た 積 分 は 和 と の交 換 法 則 を 満 た す.ゆ. 中 心部 の一 点 に おい て元 の波形 が持 つ振. 幅sin(ψ‑β)がsinα/α 同 じ く光 セ ン サCが. 用い. え に,上 記 の 議. 論 は 各 フ ー リエ 成 分 に 関 して そ の ま ま成 立 す る.こ の. 倍 に 減 衰 す る こ と が 分 か る.. た め T(λw) は 任 意 の 形 状 に 関 し,こ. 測 定 す る 高 さ 信 号 は 次 式 と な る.. の セ ンサ ヘ ッド. の カ ッ トオ フ特 性 を 正 確 に 表 す 関 数 と な る. そ こ で, T(λw). (2). を コ ン ピ ュ ー タ 内 で 発 生 させ,こ. の 関 数 の マ イ ナ ス1乗 132. と な る 関 数 を 計 算 し, FFT.
(4) 安 達 ・三 木 ・鈴 木 ・中 井 ・川 口 二上 下 振 動 の 影 響 を受 け な い 高 精 度 粗 さ測 定 法 (第 2 報). Fig. 6. 1091. A schematic block diagram for the method of obtaining the profile hp(x) from the output XD(x) of the optical skid method. (高速 フ ー リエ 変 換)を. 用 い て 得 ら れ る XD(x). リエ ス ペ ク トル に これ を 掛 け,さ. のフー. ら に 逆FFTを. 行 う. と低 周 波 数 成 分 が 回 復 で き断 面 曲線 が 得 ら れ る.こ らの 処 理 を ブロ ック 図 で 示 す と 図6に. な る.す. れ. なわ. ち,矩 形 の 凹 凸 を 有 す る hD(x) を オ プ テ ィ カ ル ス キ ッ ド法 を 用 い て 測 定 す る と,フ. ィル タ リン グ関 数. T(λw) の カ ッ トオ フ 特 性 に よ り,XD(x) 周 波 数 成 分 が 減 る.し. か し,コ. と な り,低. ン ピュー タを 用 い て. T‑1 (λw) の フ ィル タ リ ン グ を 行 う と,低. Fig.. 周波数成分. 7 Optical. this. を 回 復 で き元 の hD(x) を 得 る.. lamp. し くは 図4の. セ ンサ ヘ ッ ドの形 状. (3) piezo. specimen of. では 夕方 向 に も変 化 を持 つ 凹 凸面 の x 方 向 の断 面 曲. table,. a. center. の 理 由 は,D. The. light. (λ=546nm),(2) (4) linear. sensor. photo‑detector (2) image. instrument. lamp.. positioners,. (6) new. photo‑detectors,. 線 は 求 め る こ と が で き な い.こ. of a profiling mercury. is interference filtered. objective,. と こ ろ で,図3も. system. (1) extra‑high‑pressure. from Mirau. actuator,. (5). head. which. is composed. and. three. surrounding. plane. は y 方. 向 に広 が りを 持 た な い一 点 の 高 さの 測 定 で あ り, B, C は広 が りを持 つ 領 域 の 平 均 高 さ の 測 定 だ か ら で あ る. す な わ ち,B,. (a). Cの 測 定 値 に そ の 測 定 域 で 積 分 平 均 さ. れ て 影 響 す る y 方 向 の 変 化 の 中 に,測. 定面 が x 方 向. に沿 って S だ け 移 動 し て D の 所 に 来 た 時, D の 測 定 値 に 影 響 し な い 凹 凸 成 分 が 存 在 す る か ら.し B, Cと. か し,. して y 方 向 に D と 同 じ広 が りを 持 つ 光 セ ン サ. を 用 い れ ぽ,す べ て の セ ンサ は 完 全 に 同 じ領 域 を 測 定 し,断 面 形 状 の 測 定 は 可 能 と な る.こ. の こ とは,こ. (b). れ. まで に述 べ て きた 議 論 か ら明 らか で あ る. さ ら に,以 上 の 測 定 に お い て 入 力 デ ー タ は 測 定 点 の 高 さ と周 辺 部 の 高 さ の 差 で あ る.こ. の た め,移. Fig.. 動テー. (a) XD (x) hD (x). ブル の直 進 に伴 う上 下 の 変 動 や 傾 斜 の 変 化 は全 く影 響 しな い.す. なわ ち,移. 3.1. 実. a step. using. the. the. height. standared. optical. skid. digital. filtering. 3.2. method, of. (b). T‑1 (λw). 験. 示 す.詳. 細 は 本 報 で は 省 く.. 測 定 結 果. x方 向 に の み 大 き な変 化 を 持 つ 試 料 と し て 標 準 段 差 試 料 を 測 定 し た 時 の 結 果 を 図8に. 実 験 で 用 い た 測 定 装 置 は,ミ. ロ ウ型 対 物 レ ン ズ( 光. 干 渉 の た め の 参 照 面 を レ ン ズ の 内 部 に持 つ)を. だ し,セ. obtained. by. using. 装 置 の 概 要 図 を 図7に. 測 定 装 置. も の で,第1報7)で. Profiles measured. 動 テ ー ブル の 直 進 性 に影 響 され. な い で 超 精 密 面 の 断 面 曲 線 の 測 定 が 行 い得 る. 3.. 8. 用 いる. hD(x). 述 ベ た も の と ほ ぼ 同 じ で あ る. た. ン サ ヘ ッ ド形 状 の み が 異 な っ て い る.用. 示 す.(a)は. XD (x). で あ り,(b)は XD る (x) の 低 周 波 数 成 分 を 回 復 し た で あ る.こ. の 試 料 は ほ ぼ階 段 状 の形 状 変 化 を. 持 っ て い る8).(b)で. いた. る.ゆ 133. え に,こ. は この形 状 が ほぼ 回 復 で きて い. の 結 果 か ら断 面 曲 線 の 測 定 が 正 し く行.
(5) 1092. 精 密 工 学 会 誌 56/6/1990. Fig.. い 得 る こ とが 分 か る.と. 9. こ ろ で,階. The. waviness. profile. derived. from. proposed. method. 段 状 の形 状 変 化 は. フ ー リエ 変 換 理 論 に よ る と,空 間 波 長 が 異 な る 各 種 の 成 分 を 持 つ こ と が 知 られ て い る.そ. こ で,こ. の測定 結. 果 は 階 段 形 状 以 外 の 各 種 の 形 状 変 化 に も この 方 法 が 有 効 で あ る こ とを 示 す. 次 に,こ. の セ ン サ ヘ ッ ドの ま ま で xy 面 内 に 等 方 的. な 変 化 を 持 つ 超 精 密 試 料 の うね り曲 線 の 測 定 を 行 っ た.等. 方 的 な 変 化 を 持 つ 超 精 密 面 で は,セ. ン サ B, C. の y 方 向 の 広 が りの 範 囲 で は 凹 凸 に 大 き な 変 化 は な い と考 え られ る.こ 取 っ て も,B. の た め,測. Fig.. 10. Double scan data an optical flat. 定方 向を任 意 の方 向 に. about. a waviness. profile. of. と C が 測 定 す る 平 均 高 さ は, y 方 向 の. 輻 が非 常 に小 さい場 合 の B と C が 測定 す る高 さ と近. の 良 い こ とが こ の うね り測 定 法 で 必 要 な 条 件 と な る.. 似 的 に 同 じ と考 え られ る か ら で あ る.. 通 常 の 測 定 に お け る電 気 雑 音 に 関 し て は,熱. 光 学 ミ ラ ー面 を 測 定 し て 得 られ た 低 周 波 数 成 分 が 減 衰 した ま ま の Xd (x),な. ら び に 散 弾 雑 音10),そ. ら び に タ リス テ ッ プ を 用 い. られ て い る.こ れ ら の 中 で プ リ ッ カ雑 音 は低 周 波 数 成. て ほ ぼ 同 じ領 域 を 測 定 し て 得 られ た 断 面 曲 線 を 図 9 に. 分 が 相 対 的 に 大 き く,最. 示 す.タ. し か し,図10を. リス テ ッ プ測 定 値 に は 大 き な うね り成 分 が 見. ら れ る が, XD (x) に は あ ま り 見 ら れ な い.そ デ ィジ タ ル フ ィル タ リ ン グ 処 理 で, XD. こで. も影 響 す る よ うに 思 わ れ る.. 見 る限 り測 定 結 果 の 再 現 性 は 良 く,. あ ま り影 響 が な い よ うで あ る.そ の ほ か に影 響 が考 え. (x) の す ベ て. の 低 周 波 数 成 分 を 回 復 す る と 同 時 に200μm以. 雑 音 9)な. し て ブ リ ッカ 雑 音 11)が良 く知. られ る も の と し て は,超. 下 の周. 低 周 波 数 雑 音 の 一 種 と考 える. こ と もで き る信 号 増 幅 回 路 の ド リフ トが あ る。 この影. 期 を 持 つ 高 周 波 数 成 分 を 除 去 し て 得 ら れ る うね り曲 線. 響 は 図10の. を タ リス テ ッ プ測 定 結 果 に 重 ね て示 し た.両. しか し,超 低 ド リ フ ト仕 様 の オ ペ ア ン プ等 の 使 用 に よ. 者 は全 く. 同 じ箇 所 の 測 定 で は な い の で 細 部 が 異 な る が,う. ね り. り,こ の 種 の雑 音 は 基 本 的 に 防 げ る と考 え られ る.. 成 分 は ほ ぼ 同 じ情 報 を 持 つ と 見 る こ とが で き る. ま た,オ XD (x),な. の 影 響 を 考 え る.こ. ら び に 図9の. る干 渉 光 は,一. 度 為 (x) を 測 定 し,こ 同 じ く図10に. る.測. 次 に ミ ロ ウ 型 対 物 レ ン ズ 内 の参 照 面 の 粗 さや うね り. プ テ ィ カ ル フ ラ ッ ト面 を 測 定 して 得 ら れ た 場 合 と 同 様 な 方 法 で 為 ( x). か ら 得 られ た うね り 曲 線 を 図10に. て お り,こ. 繰 返 し測 定 に は 現 れ に く い も の で あ る.. ミ ロ ウ の 参 照 面 の 一 点 と か ら作 り出 さ れ る が,参 照 面. れ か ら 得 ら れ た うね り 曲 線 を. の 一 点 は 粗 さ 計 測 中 ず っ と同 じ部 分 が 使 わ れ る.こ の. ぼ 同 じ形 状 が 得 られ. た め,参. の測 定 法 が 再 現 性 の 良 い こ とを 示 し て い. 定 領 域 は 約 4mm 4.. 方 向 に 移 動 し変 化 す る測 定 面 の 一 点 と. 分 後 に再. 点 線 で 示 し た.ほ. 示 す.数. の 方 法 で は 光 セ ンサ D が 測 定 す. で あ る. 考. 分 が 使 わ れ る.こ. 影 響 し な い.光. セ ン サ B,. の 場 合,参. 照 面 の粗 さ は セ ン サ面 内. で の 光 路 差 の 分 布 に 影 響 す る.し か し粗 さ 計 測 に お い 察. て は, B, Cは 光 路 差 の 面 内 分 布 で は な く光 路 差 の 平. 本 章 で 用 い た デ ィジ タ ル フ ィル タ リン グ処 理 は 図 5 で 示 さ れ る T(λw) の 値 を1に. 照 面 の 粗 さ はhDに. C が 測 定 す る干 渉 光 で は参 照 面 の あ る大 き さ を 持 つ 部. 均 を 測 定 し て い る.ゆ. 戻 す 処 理 を 行 うた め,. に影 響 し に く い.参. え に,参. 照面 の粗 さは測定結果. 照 面 に うね りが あ る 場 合 は XD =. 低 い空 間 周 波 数 成 分 に 関 し て 大 き な増 幅 を 行 う.こ の. hD‑(hB+hc)/2. 結 果,低. 分 が 余 分 に 加 算 され た よ う な効 果 を 与 え る.こ の 成 分. 周 波 数 成 分 の S/N. (信 号 強 度 対 雑 音 強 度 比) 134. は測 定 域 全 体 に対 して一 定 の直 流成.
(6) 1093. 安 達 ・三 木 ・鈴 木 ・中 井 ・川 口:上 下 振 動 の影 響 を 受 け な い高 精 度 粗 さ測 定 法 (第 2 報). は逆 FFT. を 行 った 段 階 で 測 定 面 全 域 が 一 定 の 曲 率 半. 径 を有 す る か の よ うな誤 差 を 生 じ させ る.し. を 測 定 し た 場 合 の カ ッ トオ フ 特 性 を 計 算 す る方 法 を 示 した.. か し, こ. の 誤差 は 装 置 が 同 じで あ れ ば 常 に 一 定 で あ り,形 状 の. (2). こ の カ ッ トオ フ 特 性 は コ ン ピ ュ ー タ に よ る. 分 か って い る長 い試 料 を 測 定 し た 結 果 を 用 い て 補 正 す. デ ィ ジ タ ル フ ィル タ リン グ処 理 に よ っ て 回 復 で き. る こ とが 可 能 と考 え る.. る こ と を 理 論 的 に 示 した.. 最後 に セ ンサ ヘ ッ ドの 製 作 過 程 で 光 セ ンサ の 配 置 に 狂 い が 生 じ,W. (3). 合 を 考 え る.こ. れ は 真 の T(λw) が 存 在 す る が,そ. は あ らか じ め 分 か っ て い な く,コ. (4). れ. ン ピ ュー タ 内 で 真 の. T(λw) を 発 生 で き な い 場 合 に 相 当 す る.こ. x方 向 に の み 変 化 す る 試 料 の 形 状 測 定 が 上 記. の 方 法 で 実 際 に 可 能 で あ る こ と を 実 験 で 示 した.. や S が 設 計 値 と異 な っ て し ま った 場. xy方. 向 に 変 化 を 持 つ 面 に 関 し て も,そ. の面が. 超 精 密 面 で あ り変 化 が 等 方 的 で あ る な らば,う. の場 合 は. ね. り成 分 を 測 定 で き る こ とを 実 験 で 示 した.. 配 置 の 誤 差 補 正 を 目的 と し た 測 定 実 験 に よ り T(λw) を 求 め る こ とが で き る.す. な わ ち,す. 数 成 分 が ゼ ロ で な い特 定 の 試 料 を 測 定 し た 時 の 為 他 の 手 段 で 求 め たhDか. 最 後 に,本. べ て の空間 周波. 研 究 の相 当部分 は著者 の一 人 が兵庫 県 立. 工 業 試 験 場 に 勤 務 して い た 時 に 行 わ れ た も の で あ り,. と. ら T(λw) の 測 定 を 行 うの で あ. 本研 究 の遂 行 に種 々の協 力 を頂 きま した試験 場 の皆 様 に深 く感 謝 の 意 を 表 し ま す.. る. 以 上 の 議 論 か ら分 か る よ うに,こ. の方 法 を用 い る と. 参. 考. 文. 献. 完 全 な平 面 を用 い な い で 断 面 形 状 を 測 定 で き る と考 え られ る.完 全 な 形 状 計 測 を 実 現 す る た め に は 厳 密 に は. 1). 細 か い種 々 の 問 題 点 は ま だ 残 る.し. 2). か し少 な く と も,. 高 精 度 形 状 計 測 に お い て こ れ ま で 必 要 と考 え られ て き た完 全 平 面(機 条 件 が,オ. 3). 械 加 工 で は基 本 的 に 実 現 が 不 可 能) の. プ テ ィカ ル ス キ ッ ド法 と デ ー タ 処 理 を 組 み. 合 わ せ て 解 決 で き る こ とを 示 し得 た と我 々 は 考 え る. 5. 一般 に. 結. 4) 5). 言. 6). ,超 精 密 面 の 形 状 を高 精 度 に測 定 し よ うとす. る場 合 は 理 想 的 な平 面 が 必 要 と な る.し か し,そ れ ら を得 る こ と は 現 実 に は非 常 に 難 し い.こ. 7). こで述 べた方. 法 は,理 想 的 な参 照 ミ ラ ー面 を 必 要 と せ ず,さ. ら に移. 動型 試 料 テ ー ブ ル の 直 進 性 な ら び に 床 振 動 の 影 響 を 受. 8). け な い で,超. 9). 精密 面 の断面形 状 を高精 度 に測定 す る方. 法 に つ い て で あ る.内 (1). 容 を ま と め る と以 下 に な る。 10) 11). 断 面 形 状 測 定 用 の セ ン サ ヘ ッ ドを 提 案 し, こ. の ヘ ッ ドと オ プ テ ィ カ ル ス キ ッ ド法 を 用 い て 形 状. 135. 谷 田貝 豊 彦:光 干 渉計 測 法 の 最 近 の進 歩,精 密 機 械, 51, 4 (1985) 695. 例 えばIR 3 シ ステ ム,WYKO 社 製造,松 貿機 器(株)が 販 売. (株)小坂研究所 が販 売.研 究 論文 は小沢則光,河 野嗣 男, 三 井公之,武 者 徹,宮 本紘 三:非 接 触光 学式 微細 形状 測 定 ヘ ッ ド(HIPOSS‑1),精 密 工 学 会 誌 52, 12 (1986) 2080. (株)東京精 密が販売. 宮 田威男:超 精 密加工 技術 と短波 長光 学部 品 への応 用, 応用物理, 58, 6 (1989) 842. 田中 充:最 近 のナ ノ メー トル計 測技術,光 波 干渉 計 に つ いて,応 用物理, 56, 6 (1987) 734. 安 達正 明,三 木 秀 司,中 井 康秀,川 口 格:上 下 振動 の 影響 を受け ない高精度粗 さ測 定法(第1報)― オ プテ ィ カ ル スキ ッド法 の 提 案,精 密工 学 会誌 56, 1 (1990) 140. STEP HEIGHT STANDARD, VLSI Standard Incorporated, Model No. SHS-0440 A, Serial No.278-003-004 C. 玉 虫 文 一 ほ か 二理 化 学 辞 典(第3版 (1981) 998. 同 上, p. 527. 同 上, p. 1176.. 増 補 版),岩. 波書 店.
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