No. 11002F643C (Kp) ろ く ま る く ん JCM-6000Plus NeoS cop e Benc htop SE M
JCM-6000Plus
〒100-0004 東京都千代田区大手町 2 丁目 1 番 1 号 大手町野村ビル 13 階 TEL：03-6262-3560 FAX：03-6262-3577 TEL : 03-6262-3567 TEL : 03-6262-3568 TEL : 03-6262-3570 TEL : 03-6262-3571 〒100-0004 東京都千代田区大手町 2 丁目 1 番 1 号 大手町野村ビル 18 階 TEL：03-6262-3580（代表） FAX：03-6262-3588 東京 SI1 グループ TEL : 03-6262-3581 東京 SI2 グループ TEL : 03-6262-3582 東京 SI3 グループ TEL : 03-6262-5586 ME 営業グループ TEL : 03-6262-3583 〒190-0012 東京都立川市曙町 2 丁目 8 番 3 号 新鈴春ビル 9 階 SE 営業部 TEL : 042-528-3491 ソリューションビジネス部 TEL : 042-526-5098 〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜 3 丁目 6 番 4 号 新横浜千歳観光ビル 6 階 TEL：045-474-2181 FAX：045-474-2180 〒060-0809 北海道札幌市北区北 9 条西 3 丁目 19 番地 ノルテプラザ 5 階 TEL：011-726-9680 FAX：011-717-7305 〒980-0021 宮城県仙台市青葉区中央 2 丁目 2 番 1 号 仙台三菱ビル 6 階 TEL：022-222-3324 FAX：022-265-0202 〒305-0033 茨城県つくば市東新井 18 番 1 TEL：029-856-3220 FAX：029-856-1639 〒450-0001 愛知県名古屋市中村区那古野 1 丁目 47 番 1 号 名古屋国際センタービル 14 階 TEL：052-581-1406 FAX：052-581-2887 〒532-0011 大阪府大阪市淀川区西中島 5 丁目 14 番 5 号 ニッセイ新大阪南口ビル 11 階 TEL：06-6304-3941 FAX：06-6304-7377 〒532-0011 大阪府大阪市淀川区西中島 5 丁目 14 番 5 号 ニッセイ新大阪南口ビル 1 階 TEL：06-6305-0121 FAX：06-6305-0105 〒730-0015 広島県広島市中区橋本町 10 番 6 号 広島 NS ビル 5 階 TEL：082-221-2500 FAX：082-221-3611 〒760-0023 香川県高松市寿町 1-1-12 パシフィックシティ高松 5 階 TEL：087-821-0053 FAX：087-822-0709 〒812-0011 福岡市博多区博多駅前 2 丁目 1 番 1 号 福岡朝日ビル 5 階 TEL：092-411-2381 FAX：092-473-1649Boston, Paris, London, Amsterdam, Stockholm, Sydney, Milan, Singapore, Munich, Beijing, Moscow, Sao Paulo ほか
東京事務所 営業企画室 EO 営業推進室 AI 営業推進室 産業機器営業部 ME ソリューション販促室 東京支店 東京第二事務所 横浜事務所 札幌支店 仙台支店 筑波支店 名古屋支店 大阪支店 西日本ソリューションセンター 広島支店 高松支店 福岡支店 海外事業所・営業所 このカタログに記載の情報、説明、製品仕様などは改良のため、予告なく変更されることがあります。 このカタログに記載した製品は、外国為替及び外国貿易法の安全輸出管理の規制品に該当する場合がありますので、輸出または日本国外へ持ち出すときは当社までお問い合わせ下さい。 本社・昭島製作所 〒196-8558 東京都昭島市武蔵野 3 丁目 1 番 2 号 TEL：042-543-1111（大代表） FAX：042-546-3353 www.jeol.co.jp ISO9001・ISO14001 認証取得
Scientific / Metrology Instruments
卓上走査電子顕微鏡
JCM-6000Plus is a full-fledged benchtop SEM with
versatile functions.
Operation via touch panel simplifies execution from
observation to analysis.
Stylish appearance, compact and lightweight allows for
installation in small spaces.
JCM-6000Plus
ろ く ま る く ん JCM-6000Plus NeoS cop e Benc htop SE MJCM-6000Plus
〒100-0004 東京都千代田区大手町 2 丁目 1 番 1 号 大手町野村ビル 13 階 TEL：03-6262-3560 FAX：03-6262-3577 TEL : 03-6262-3567 TEL : 03-6262-3568 TEL : 03-6262-3570 TEL : 03-6262-3571 〒100-0004 東京都千代田区大手町 2 丁目 1 番 1 号 大手町野村ビル 18 階 TEL：03-6262-3580（代表） FAX：03-6262-3588 東京 SI1 グループ TEL : 03-6262-3581 東京 SI2 グループ TEL : 03-6262-3582 東京 SI3 グループ TEL : 03-6262-5586 ME 営業グループ TEL : 03-6262-3583 〒190-0012 東京都立川市曙町 2 丁目 8 番 3 号 新鈴春ビル 9 階 SE 営業部 TEL : 042-528-3491 ソリューションビジネス部 TEL : 042-526-5098 〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜 3 丁目 6 番 4 号 新横浜千歳観光ビル 6 階 TEL：045-474-2181 FAX：045-474-2180 〒060-0809 北海道札幌市北区北 9 条西 3 丁目 19 番地 ノルテプラザ 5 階 TEL：011-726-9680 FAX：011-717-7305 〒980-0021 宮城県仙台市青葉区中央 2 丁目 2 番 1 号 仙台三菱ビル 6 階 TEL：022-222-3324 FAX：022-265-0202 〒305-0033 茨城県つくば市東新井 18 番 1 TEL：029-856-3220 FAX：029-856-1639 〒450-0001 愛知県名古屋市中村区那古野 1 丁目 47 番 1 号 名古屋国際センタービル 14 階 TEL：052-581-1406 FAX：052-581-2887 〒532-0011 大阪府大阪市淀川区西中島 5 丁目 14 番 5 号 ニッセイ新大阪南口ビル 11 階 TEL：06-6304-3941 FAX：06-6304-7377 〒532-0011 大阪府大阪市淀川区西中島 5 丁目 14 番 5 号 ニッセイ新大阪南口ビル 1 階 TEL：06-6305-0121 FAX：06-6305-0105 〒730-0015 広島県広島市中区橋本町 10 番 6 号 広島 NS ビル 5 階 TEL：082-221-2500 FAX：082-221-3611 〒760-0023 香川県高松市寿町 1-1-12 パシフィックシティ高松 5 階 TEL：087-821-0053 FAX：087-822-0709 〒812-0011 福岡市博多区博多駅前 2 丁目 1 番 1 号 福岡朝日ビル 5 階 TEL：092-411-2381 FAX：092-473-1649Boston, Paris, London, Amsterdam, Stockholm, Sydney, Milan, Singapore, Munich, Beijing, Moscow, Sao Paulo ほか
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Bench Top SEM の最先端
簡単操作
豊富な機能
高真空 / 低真空モード
画像検索
測長
優れたオプション
元素分析
モーター駆動ステージ
JCM-6000Plus
特長
クイックレスポンス
簡単設置 & Easy メンテナンス
試料：クモ 2Bench Top SEM の最先端
簡単操作
豊富な機能
高真空 / 低真空モード
画像検索
測長
優れたオプション
元素分析
モーター駆動ステージ
JCM-6000Plus
特長
クイックレスポンス
簡単設置 & Easy メンテナンス
試料：クモNeoScope
™ 34
タッチパネル＆マウス操作
JEOL ブランドのタッチパネルは、分かりやすい操作画面に加え、直感的な操作が可能で す。倍率調整等もスマートフォンのような感覚で行えます。 また、マウスによる操作も可能で、これにより従来のオペレーションパネルと同じ感覚の 操作ができます。より直感的な操作を実現
クイックレスポンス
Easy メンテナンス
豊富な機能
より直感的な操作を実現
クイックレスポンス
Easy メンテナンス
豊富な機能
より直感的な操作を実現
クイックレスポンス
Easy メンテナンス
豊富な機能
クイックレスポンス
周辺機器
簡単設置＆Easy メンテナンス
クイックレスポンス
優れたオプション
簡単操作
Easy メンテナンス
試料：鉄サビNeoScope
™ 5オート機能
マニュアル操作
検索画像表示
最低倍率画像表示
プリセット倍率
軸調整、フォーカス、スティグマ、コントラスト / ブライ トネスの機能別オート機能に加え、ワンタッチで画像を表 示できる全自動機能が装備されています。 操作したい項目をタッチするとその 項目がグリーンに点灯します。 調整ボタンの長押しで調整できます。 微調整はボタンをトントンとタッチ。 タッチの簡便性と従来装置のつまみ の感覚を兼ね備えた操作感です。 保存された画像を表示します。タッ チで選択し、検索画像のチェックを 入れると大きく表示して確認するこ とが出来ます。 低倍画像のチェックを押すと、真空 が引き上がった直後の最低倍率画像 を確認することが出来ます。試料の 位置関係を確認する際に便利です。 6 個のプリセット倍率を設定するこ とができます。良く使う倍率を設定 しておけば作業効率も UP! そのうち 1 個のボタンはセットを押すだけで 現在の倍率をインスタント設定する ことがで きます。6
より直感的な操作を実現
クイックレスポンス
Easy メンテナンス
豊富な機能
より直感的な操作を実現
クイックレスポンス
Easy メンテナンス
豊富な機能
より直感的な操作を実現
クイックレスポンス
Easy メンテナンス
豊富な機能
01
観る
モーター駆動ステージ
高真空モード 反射電子像
高真空モード 二次電子像
低真空モード
検索画面
印刷
観察条件の呼び出し
デュアル画面
測長
動画
EDS
定性・定量
複雑な分析をアシストします
高真空モードは二次電子像と反射電子像で観察することが 出来ます。 二次電子像は微細な表面構造が観察できます。高倍率観察 も比較的容易です。 高真空 / 低真空モードの切り替えがワンタッチで可能。 この様に、様々な試料の観察が出来ます。 試料：Si 上パターン 加速電圧：15 kV 撮影倍率：×5,000 試料 : マウスの気管 加速電圧 : 15 kV 撮影倍率 : ×10,000 試料 : 塗工紙 加速電圧 : 5 kV 撮影倍率 : ×5,000 試料 : 金属破面 加速電圧 : 15 kV 撮影倍率 : ×5,000HV
SEI
HV
SEI
HV
BEI
HV
BEI
HV
SEI
HV
BEI
LV
LV
LV
HV
SEI
HV
SEI
HV
BEI
HV
BEI
HV
SEI
HV
BEI
LV
LV
LV
HV
SEI
HV
SEI
HV
BEI
HV
BEI
HV
SEI
HV
BEI
LV
LV
LV
HV
SEI
HV
SEI
HV
BEI
HV
BEI
HV
SEI
HV
BEI
LV
LV
LV
5 μm 5 μm 2 μm 5 μmHV
SEI
HV
SEI
HV
BEI
HV
BEI
HV
SEI
HV
BEI
LV
LV
LV
試料 : ヨーグルト菌 加速電圧 : 15 kV 撮影倍率 : × 20,000 2 μmNeoScope
™ 7モーター駆動ステージ
高真空モード 反射電子像
高真空モード 二次電子像
低真空モード
検索画面
印刷
観察条件の呼び出し
デュアル画面
測長
動画
EDS
定性・定量
複雑な分析をアシストします
モーター駆動ステージ
高真空モード 反射電子像
高真空モード 二次電子像
低真空モード
検索画面
印刷
観察条件の呼び出し
デュアル画面
測長
動画
EDS
定性・定量
複雑な分析をアシストします
JCM-6000Plus に標準装備の低真空モードは、試料室の圧力 を上げ試料表面の帯電を中和し、導電性の無い試料をその まま観察することができる機能です。 また、少量の油や水分を含んでいる試料や、ガスが放出さ れコーティングの難しい試料も低真空モードにより簡単に 観察できます。 半導体反射電子検出器の採用により、組成像、凹凸像、 立体像の 3 種類の情報を検出できます。二次電子と組 み合わせることで、様々な情報を得ることが出来ます。 反射電子凹凸像 反射電子組成像 反射電子立体像 試料：花弁（アゲラタム ） 加速電圧：15 kV 撮影倍率：×100 試料 : 砂消しゴム 加速電圧 : 15 kV 撮影倍率 : ×1,500 試料 : 濾紙 加速電圧 : 15 kV 撮影倍率 : ×550HV
SEI
HV
SEI
HV
BEI
HV
BEI
HV
SEI
HV
BEI
LV
LV
LV
HV
SEI
HV
SEI
HV
BEI
HV
BEI
HV
SEI
HV
BEI
LV
LV
LV
HV
SEI
HV
SEI
HV
BEI
HV
BEI
HV
SEI
HV
BEI
LV
LV
LV
HV
SEI
HV
SEI
HV
BEI
HV
BEI
HV
SEI
HV
BEI
LV
LV
LV
HV
SEI
HV
SEI
HV
BEI
HV
BEI
HV
SEI
HV
BEI
LV
LV
LV
200 μm 20 μm 20 μm 20 μm 50 μm試料 : 毛髪 8 検索画面からデータを選んで簡単に印刷ができます。 また、保存された画像から SEM 撮影時の条件設定 ( 加速電圧、フィラメント電流、プローブ電流等 ) の再現も行えます。 検索画面で印刷したい画像にチェックを入れ、『外部出 力する』ボタンを押すだけで簡単印刷が可能です。複 数枚の画像をチェックしたときは、自動で数ページに 割り振られます。 保存された画像の観察条件を JCM-6000Plus に再現さ せることができます。観察条件を再現したい画像を チェックして『観察条件を呼び出す』を押すだけです。 ルーチンワークに便利です。
01
モーター駆動ステージ
高真空モード 反射電子像
高真空モード 二次電子像
低真空モード
検索画面
印刷
観察条件の呼び出し
デュアル画面
測長
動画
EDS
定性・定量
複雑な分析をアシストします
モーター駆動ステージ
高真空モード 反射電子像
高真空モード 二次電子像
低真空モード
検索画面
印刷
観察条件の呼び出し
デュアル画面
測長
動画
EDS
定性・定量
複雑な分析をアシストします
モーター駆動ステージ
高真空モード 反射電子像
高真空モード 二次電子像
低真空モード
検索画面
印刷
観察条件の呼び出し
デュアル画面
測長
動画
EDS
定性・定量
複雑な分析をアシストします
画像検索 & 印刷
検索画面 印刷画面 ファイル名： 撮 影 日 時： 撮影モード： 抽出モード： 加 圧 電 圧： 撮 影 倍 率： ファイル名： 撮 影 日 時： 撮影モード： 抽出モード： 加 圧 電 圧： 撮 影 倍 率： ファイル名： 撮 影 日 時： 撮影モード： 抽出モード： 加 圧 電 圧： 撮 影 倍 率： 毛髪 2012/5/24 18：30：31 High-vac. SEI PC-low 10 kV × 1,000 (49mm) 毛髪 2012/5/24 18：30：23 High-vac. SEI PC-low 10 kV × 3,000 (49mm) 毛髪 2012/5/24 17：36：00 High-vac. SEI 10 kV × 1,000 (51mm)NeoScope
™ 9 ライブ画像と保存された画像を並べて表示することができます。画像の例 では右側画面に低倍率画像や光学顕微鏡画像を表示し、左側ライブ像で拡 大画像の確認をおこなっています。このように以前に保存した画像を比較 しながら観察することができます。 JCM-6000Plus では、動画撮影ができ ます。これにより、動きを観察するこ とが可能です。 試料の経時変化の観察に便利です。 JCM-6000Plus には 2 点間測長機能が付いています。装置の測長ボタンを選択すると、オートボタンが測長用のボタ ンに切り替わります。結果を画像および csv. データで保存できます。01
01
01
モーター駆動ステージ
高真空モード 反射電子像
高真空モード 二次電子像
低真空モード
検索画面
印刷
観察条件の呼び出し
デュアル画面
測長
動画
EDS
定性・定量
複雑な分析をアシストします
モーター駆動ステージ
高真空モード 反射電子像
高真空モード 二次電子像
低真空モード
検索画面
印刷
観察条件の呼び出し
デュアル画面
測長
動画
EDS
定性・定量
複雑な分析をアシストします
モーター駆動ステージ
高真空モード 反射電子像
高真空モード 二次電子像
低真空モード
検索画面
印刷
観察条件の呼び出し
デュアル画面
測長
動画
EDS
定性・定量
複雑な分析をアシストします
比べて観る
動きを観る
測る
試料：星砂No. Length [unit] Angle[deg]
1 5.79 um 44 2 5.47 um 12 3 6.12 um 89 4 5.54 um 41 No.1 5.79 μm No.1 5.79 μm No.2 5.47 μm No.2 5.47 μm No.4 5.54 μm No.4 5.54 μm No.3 6.12 μm No.3 6.12 μm 試料 : 金属粒子
10 装置の分析ボタンを押すと、EDS 分析画面が立ち上 がります。EDS では定性・定量分析、点分析、マッ ピング ( 元素分布の確認 ) などができます。 マップボタンを押すと、観察画面の元素マッピングが始まります。 元素マッピングにより構成元素の 2 次元的な分布が分かります。 画像ボタン + 収集ボタンの 2 つで分析が開始します。 測定終了後に定量ボタンを押せば、定量結果も表示 されます。
元素分析
マッピング結果からできること
カラースケールがそのまま定量値を 示す定量マップが 作成できます。 測定終了後にデータ処理だけで追加 元素のマップを再構築できます。 マップ上の一部のエリアを指定する と、その部分のスペクトルを抽出 することが できます。 元素マップを重ねて注目する元素 が視野のどこに存在するか、どの元 素が重なって存在しているかを確認 することができます。マッピング結果からできること
カラースケールがそのまま定量値を 示す定量マップが 作成できます。 測定終了後にデータ処理だけで追加 元素のマップを再構築できます。 マップ上の一部のエリアを指定する と、その部分のスペクトルを抽出 することが できます。 元素マップを重ねて注目する元素 が視野のどこに存在するか、どの元 素が重なって存在しているかを確認 することができます。点分析
マッピング ( 元素分布 )
線分析
プローブトラッキング
E D S
定性・定量
複雑な分析をアシストします
プローブトラッキング
E D S
点分析
マッピング ( 元素分布 )
線分析
プローブトラッキング
E D S
定性・定量
複雑な分析をアシストします
プローブトラッキング
E D S
点分析
マッピング ( 元素分布 )
線分析
プローブトラッキング
E D S
定性・定量
複雑な分析をアシストします
プローブトラッキング
E D S
試料 : 黒鉱 ( 鉱物） 元素 (ke V) 質量 % 原子数 % C K 0.277 45.65 70.06 O K 0.525 1.5 1.73 Al K 1.486 0.78 0.53 Si K 1.739 26.03 17. 09 Ca K 3.69 15.38 7.07 Fe K 6.398 10.66 3.52 合計 100 100画像
収集
01
クイックレスポンス
周辺機器
簡単設置＆Easy メンテナンス
クイックレスポンス
優れたオプション
簡単操作
Easy メンテナンス
NeoScope
™ 11 画像中に複数の分析ポ イ ン ト を 設 定 す る と、 それぞれのポイントの 元素が順次自動的に分 析され、スペクトルが 表示されます。 分析終了後、これらの スペクトルの比較表示 もできます。 画像上で指定したライン上の元素量の 変化を測定します。 測定終了後に元素の変更ができます。 長時間の分析時、分析位置 を一定に保つことができま す。 分析アシストによりマッピング、線分析も容易に行えます。 分析アシスト画面から行いたい分析を選択すると、必要な作業が手順通りに表示されます。分析アシスト画面の中で 指示されたボタンを押していくだけで、複雑な分析も迷うことなく行うことができます。点分析
マッピング ( 元素分布 )
線分析
プローブトラッキング
E D S
定性・定量
複雑な分析をアシストします
プローブトラッキング
E D S
点分析
マッピング ( 元素分布 )
線分析
プローブトラッキング
E D S
定性・定量
複雑な分析をアシストします
プローブトラッキング
E D S
点分析
マッピング ( 元素分布 )
線分析
プローブトラッキング
E D S
定性・定量
複雑な分析をアシストします
プローブトラッキング
E D S
点分析
マッピング ( 元素分布 )
線分析
プローブトラッキング
E D S
定性・定量
複雑な分析をアシストします
プローブトラッキング
E D S
元素を選択 条件確認画面 分析スタート MAP を選択 画像を選択 条件を選択 1-001 1-002 1-003 30 μmマッピング取得例
12 モーター駆動ステージの装着により、 観察位置の特定や、視野移動がより簡 単になります。 操 作 画 面 上 に 試 料 ホ ル ダ ー が グ ラ フィック表示され、おおよその観察位 置を確認することが出来ます。このグ ラフィックは真空排気後必ず表示され るため、ユーザーは観察開始時に必ず 試料位置を認識することが可能です。 モーター駆動ステージはオプションです。 傾斜回転モーター駆動ホルダーを使用することで様々な角度から試料を観 察できます。試料を傾斜して観察することで試料の立体的な情報が得られ ます。 XY2 軸モーター駆動ステージに同時装着することで、4 軸モーター駆動ス テージとして使用することが可能です。 傾斜回転モーター駆動ホルダーはオプションです。 試料：時計部品 二次電子像 加速電圧 15 kV 撮影倍率 ×90 傾斜 30° 試料：時計部品 二次電子像 加速電圧 15 kV 撮影倍率 ×90 傾斜 0°
01
01
モーター駆動ステージ
様々な角度から観る
傾斜回転モーター駆動ホルダー
モーター駆動ステージ
特別なユーティリティーは不要
観察開始
高真空 / 低真空モード切換え
フィラメント
オートガンアライメント
ネオコーター
EDS 分析
コーティング装置
傾斜回転モーター駆動ホルダー
モーター駆動ステージ
特別なユーティリティーは不要
観察開始
高真空 / 低真空モード切換え
フィラメント
オートガンアライメント
ネオコーター
EDS 分析
コーティング装置
200 μm 200 μm 傾斜30
° 傾斜45
° 傾斜0
°30
傾斜° 傾斜45
° 傾斜0
°NeoScope
™ 13 真空排気開始から観察までわずか 150 秒で観察開 始 ( 低真空モード )。装置の電源を入れた 3 分後に は使用可能になります。 試料をセットして扉を閉じるだけで排気を開始しま す。排気が終了すると自動的に SEM 像が表示され ます。 高真空 / 低真空の切り替えも ワンタッチで迅速に行えます。傾斜回転モーター駆動ホルダー
モーター駆動ステージ
特別なユーティリティーは不要
観察開始
高真空 / 低真空モード切換え
フィラメント
オートガンアライメント
ネオコーター
EDS 分析
コーティング装置
傾斜回転モーター駆動ホルダー
モーター駆動ステージ
特別なユーティリティーは不要
観察開始
高真空 / 低真空モード切換え
フィラメント
オートガンアライメント
ネオコーター
EDS 分析
コーティング装置
自社製ドライ SD 検出器を採用しています。SEM 観察時は、いつでも分析が可能な状態になっています。傾斜回転モーター駆動ホルダー
モーター駆動ステージ
特別なユーティリティーは不要
観察開始
高真空 / 低真空モード切換え
フィラメント
オートガンアライメント
ネオコーター
EDS 分析
コーティング装置
クイックレスポンス
周辺機器
簡単設置＆Easy メンテナンス
クイックレスポンス
優れたオプション
簡単操作
Easy メンテナンス
14 フィラメント交換は簡単です。 従来の方式では、ウェーネルトのクリーニングが必要でしたが、JCM-6000Plus の電子銃は、フィラメントが一体となったカートリッジ方式なので、カートリッ ジの交換のみでクリーニングやフィラメントの中心合せは必要ありません。短時 間で簡単確実に行なうことができます。 フィラメントを交換した時は、アライメント調整が必要になります。アライメ ント調整がおこなわれていないと、鮮明な画像を得ることが困難になります。 JCM-6000Plusでは、このアライメント調整もオートで行われます。
JCM-6000Plus は、100 V コンセントが一個あれば稼働します。SEM 用の冷却水や EDS 用の液体窒素も不要です。 特別な設置環境を作らなくても装置を使用することができます。 絶縁物でもコーティングすることにより高真空モードでの二次電子像が観察可能にな ります。反射電子像を用いた低真空モードと比較して赤矢印部のような微細な表面構 造が観察できます。
傾斜回転モーター駆動ホルダー
モーター駆動ステージ
特別なユーティリティーは不要
観察開始
高真空 / 低真空モード切換え
フィラメント
オートガンアライメント
ネオコーター
EDS 分析
コーティング装置
傾斜回転モーター駆動ホルダー
モーター駆動ステージ
特別なユーティリティーは不要
観察開始
高真空 / 低真空モード切換え
フィラメント
オートガンアライメント
ネオコーター
EDS 分析
コーティング装置
傾斜回転モーター駆動ホルダー
モーター駆動ステージ
特別なユーティリティーは不要
観察開始
高真空 / 低真空モード切換え
フィラメント
オートガンアライメント
ネオコーター
EDS 分析
コーティング装置
傾斜回転モーター駆動ホルダー
モーター駆動ステージ
特別なユーティリティーは不要
観察開始
高真空 / 低真空モード切換え
フィラメント
オートガンアライメント
ネオコーター
EDS 分析
コーティング装置
クイックレスポンス
周辺機器
簡単設置＆Easy メンテナンス
クイックレスポンス
優れたオプション
簡単操作
Easy メンテナンス
クイックレスポンス
周辺機器
簡単設置＆Easy メンテナンス
クイックレスポンス
優れたオプション
簡単操作
Easy メンテナンス
試料 : 樹脂破面 無処理 低真空モード 反射電子像 加速電圧 : 15 kV 撮影倍率 : ×1,500 試料 : 樹脂破面 金コート 高真空モー ド 二次電子像 加速電圧 : 15 kV 撮影倍率 : ×1,500 コーティング コーティング コーティング フィラメント・ウェーネルト 一体型グリッド 20 μm 20 μmJCM-6000Plus 本体 電源 BOX 3P PC & LCD ロータリー ポンプ 写真倍率 二次電子像 ×10 ～ ×60,000 反射電子像 ×10 ～ ×30,000 （120 mm × 90 mm を表示サイズとして倍率を規定） 表示倍率 二次電子像 ×23 ～ ×141,000 反射電子像 ×23 ～ ×70,500 （282 mm × 211 mm を表示サイズとして倍率を規定） 画像モード 二次電子像、 反射電子像（組成、凹凸、立体像） 加速電圧 二次電子像 5 kV 10 kV 15 kV（3 段） 反射電子像 10 kV 15 kV（2 段） 電子銃 フィラメント・ウェーネルト一体型 グリッドの小型電子銃 バイアス電流 オートバイアス方式 （加速電圧、フィラメント電流に連動） コンデンサレンズ 電磁 2 段ズームコンデンサーレンズ方式 対物レンズ 電磁レンズ方式 倍率自動補正 試料高さ（7 mm（WD 56）～ 53 mm（WD 10）） に対する倍率補正付き プリセット倍率 6 段、ユーザー設定可 試料ステージ X-Y 手動式 X : 35 mm Y : 35 mm 最大試料寸法 70 mm 径 50 mm 高 試料交換 ステージ引出し式 画像メモリー 1,280 × 960 × 16 ビット 1 枚 画素数 640 × 480、1,280 × 960、 画像処理機能 画素積算（ピクセル）、 画面積算（リカーシブル） 自動機能 フルオートフィラメント調整 アライメント調整、フォーカス、非点 露出調整 測長機能 2 点間測長、角度測定 ファイル形式 BMP、TIFF、JPEG コンピューター デスクトップ PC OS Windows® 7 モニター 23 形ワイドモニター （タッチパネル式） 排気系 完全自動、TMP: 1 台、RP: 1 台
主な仕様
◆ 傾斜回転モーター駆動ホルダー 傾斜 : －15°～ ＋45°、回転 : 360° ◆ EDS ◆ Dll-29010SCTR Smart Coater ◆ ２軸モータ駆動ステージ主なオプション
電源 電源電圧：単相 AC 100 V （120 V, 220 V, 240 V に対応） 50/60 Hz､700 VA（AC 100 V）､ 840 VA（AC 120 V）、 880 VA（AC 220 V）、 960 VA（AC 240 V） 電圧変動 ±10% 以内アース接地 設置室 室温 15 ～ 30°C 湿度 30～60％RH（結露しないこと） 設置机 耐荷重 100 kg 以上で堅牢なもの 質量 本体：約 50 kg 電源 BOX：約 10 kg RP：約 9 kg 本体サイズ （幅） （奥行） （高さ） 325 mm × 490 mm × 430 mm設置条件
※ 外観・仕様は予告なく変更することがあります。※ Windows の正式名称は、Microsoft Windows Operating System です。 ※ Microsoft、Windows は、米国 Microsoft Corporation の米国 及びその他の国における登録商標または商標です。
