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04 半導体ダイオード

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Academic year: 2021

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(1)

半導体ダイオード 04

(pn接合:静特性・動特性)

電子デバイス工学

(2)

pn接合ダイオードの 空乏層と

ポテンシャル曲線

E C

E F E V

拡散電位

V D

このバンド図って,

理論的に描けるのか?

(3)

復習 pn接合ダイオード 熱平衡状態

E C

E F E V

E C E F

E V

イオン化アクセプタ 正孔

イオン化ドナ 電子

p形 n形

E C

E F E V

p形 n形

内部電界

空乏層

拡散電位

V D

pn接合ダイオードで電位障壁ができるのは空乏層領域だけ

 空乏層を詳しく解析する

(4)

電荷密度と電位の関係(ポアソンの方程式)

0 2 S

2

d d

ε ε

− ρ x =

V

D Dn

A Dp

0

0

qN W

x

qN x

W

+

= +

=

<

ρ ρ

W Dp

x = − 0 x =

W Dn

x = +

0 )

( , 0 ) (

Dp

Dp

Dp = − = =

= W

dx x

W dV E W

V

0 )

( , )

(

Dn

Dn D

Dn = + = =

=W

dx x

W dV E V V W

V

) 0 ( ) 0

( + = VV

0

d S

d

ε ε

= ρ x E

) 0 ( ) 0

( + = EE

pn接合ダイオード:空乏層解析 基本方程式

-W

Dp

W

Dn

x n

ドナー密度

アクセプター密度

N

D

N

A

p 形領域 n形領域

0

V

V

bi

0

qV

bi

E

C

E

V

E

F

(5)

1 0

S

A ) ) (

( x q N x C

E = − +

ε

ε W Dp x < 0

2 0

S

D ) ) (

( x q N x C

E = + +

ε

ε 0 x W Dn

Dp 0 S

1 qN A W

C = ε ε 0

) ( − W Dp = E

0 ) ( W Dn =

E Dn

0 S

2 qN D W

C = − ε ε

) (

)

( Dp

0 S

A x W

x qN

E = − +

ε ε

) (

)

( Dn

0 S

D x W

x qN

E = −

ε ε

-W Dp

W Dn x n

ドナー密度

アクセプター密度 N D

N A

p 形領域 n形領域

0

-W Dp W Dn

x 電界 E

-E m

pn 接合ダイオード空乏層解析:

電界E(x)

2010-11-10 E(x)の符号を間違っていましたので訂正しました.

(6)

-W Dp

W Dn x n

ドナー密度

アクセプター密度 N D

N A

p 形領域 n形領域

0

-W Dp W Dn

x 電界 E

-E m )

0 ( ) 0

( − = E + E

Dn D Dp

A W N W

N =

負電荷量と正電荷量は等しい

NとWは反比例

不純物密度が濃い  空乏層幅が短い 不純物密度が薄い  空乏層幅が長い

pn 接合ダイオード空乏層解析:

電界E(x)

(7)

) (

)

( Dp

0 S

A x W

qN dx

x dV

E = − = +

ε

ε ( ) S D 0 ( x W Dn )

qN dx

x dV

E = − = − − ε

ε

2 3 Dp 0

S

A ( )

) 2

( x qN x W C

V = + +

ε ε

0 ) ( − W Dp =

V C 3 = 0

Dp 2 0

S

A ( )

) 2

( x qN x W

V = +

ε ε

V V W

V ( Dn ) = D +

2 4 Dn 0

S

D ( )

) 2

( x qN x W C

V = − − +

ε ε

) (

) 2 (

)

( Dn 2 D

0 S

D x W V V

x qN

V = − − + +

ε ε

正の電荷に対するポテンシャル バンド図=電子に対するポテンシャル

pn 接合ダイオード:空乏層解析 ポテンシャルV(x)

V

V bi 0

-W Dp W Dn

qV bi E C

E V

E F

(8)

-W

Dp

W

Dn

x n

ドナー密度

アクセプター密度

N

D

N

A

p 形領域 n形領域

0

) 0 ( ) 0

( + = V

V ( )

2

2 D

2 0 Dn

S 2 D

0 Dp S

A W qN W V V

qN = − + +

ε ε ε

ε

Dn D Dp

A W N W

N =

2 / 1 D A A

D 0

Dp 2 S ( ) 1 1

 

 

+

= +

/N N qN

V

W ε ε V 1 / 2

A D D

D 0

Dn 2 S ( ) 1 1

 

 

+

= +

/N N qN

V W ε ε V

2 / 1

D A

D A

D 0 S

Dn Dp

) (

2

 

 

 + +

=

+

=

N N

N N

q

V V

W W

d

ε ε

d

pn 接合ダイオード:空乏層解析

空乏層幅

(9)

2 / 1 D D

A

D 0 A

S Dp A

) (

2 )

(

 

 

 +

= +

=

V N V

N

N q N

W qN V

Q

ε ε

2 / 1

D D A

D A 0

S 1

2 )

(

 

 

+

= +

=

V V

N N

N N q

dV V dQ

C

ε ε

) 2 (

1 D

D A

D A

0

2 S V V

N N

N N

q

C = + +

ε

ε -V 逆方向電圧 V

D

1/ C 2

pn 接合ダイオード:空乏層解析 容量電圧特性

空乏層はイオン化したドナーやアクセプタを保持している

 電荷を蓄積したコンデンサと同じ

(10)

pn接合ダイオードの IV特性

この特性って,導き出せるのか?

(11)

復習 pn接合ダイオード:バイアス時

E C

E F E V

E C

E F E V

V D -V

V D +V

V V

小数キャリア

小数キャリア

(12)

Δ E

温度 T>0 の時に, Δ E だけ高いエネルギー準位に電子を見つける確率

 

 

 ∆ −

=

kT

E E

f n ( ) exp

f f

E E E E

復習:ボルツマン分布関数

T = 0 T > 0

(13)

順方向電圧印加の効果

p形側に対して,n形側の電位が V だけ高くなる

 電子・正孔にとっての障壁の高さが V だけ減少

n形半導体側からq(VD-V)の障壁を越えてp形に移動できる電子の密度 ボルツマン因子に比例 : Φ np = K 1 exp[ - q(V D -V) / kT ]

p形半導体側からn形半導体側に移動する電子の密度 印加電圧に依存しない: Φ pn = K 2

pnに移動する正味の電子による電流は J e = q( Φ np Φ pn )

J e = q( K 1 e –q ( VD – V ) / kT – K 2 )

V=0にてJe=0であるから, K 2 = K 1 e –qVD/kT J e = K 1 e –qVD/kT ( e qV/kT – 1 )

= J 0e ( e qV/kT – 1 )

pn接合ダイオードのIV特性

q(V D - V)

qV

e - q ( V

D

- V ) / kT Φ np = K 1

Φ pn = K 2

p-Type n-Type

electron

hole

(14)

J e = J 0e ( e qV/kT - 1 ) 電子電流

正孔電流

J h = J 0h ( e qV/kT - 1 ) 全電流

J = J 0 ( e qV/kT - 1 ) J 0 = J 0e + J 0h

pn接合ダイオードのIV特性

q(V D - V)

qV

e - q ( V D - V ) / kT Φ np = K 1

Φ pn = K 2

p-Type n-Type

electron

hole

(15)

pn接合ダイオードのIV特性

(16)

ダイオードの直列抵抗と並列抵抗

理論解析時のモデル:半導体内抵抗ゼロ,漏れ電流無しを仮定

実際のダイオード: 半導体内に抵抗がある(直列抵抗)

半導体内を漏れ電流が流れる(並列抵抗)

Rs

Rp

(17)

ダイオードの直列抵抗と並列抵抗

Rp I D Rs I = I D

V = V D

V I

I RP I = I D + I RP

V = V D

I D I RP

I = I D + I RP

I = I D

V D V RP V = V D +V RP

V I

V I V D V RP

V

= V D +V RP

(18)

ダイオードに望まれる特性

V I

逆方向耐圧

順方向抵抗 による 電圧降下

逆方向に 流れにく い(当然)

大きい方がよい

順方向の抵抗は小さい方がよい なぜ? ジュール加熱で発熱してしまう 電気のON/OFFをする毎に 無用な電力を消費してしまう.

解決策は?=抵抗を小さくする

そのためには?=面積を大きくする 小さい面積のものにしたいときは どうするの?

小さくても抵抗の小さい素材

(シリコン以外)を使う

 新規開発が必要な分野

(19)

pn接合ダイオード 留意しなければ

ならないこと

(20)

R

v(t) i(t)

V

t

t I

単純なスイッチのモデルか ら予測される電流電圧波形

この部分を拡大すると

ちょっと違うことがわかる

pn接合ダイオードの過渡応答

(21)

V

t

t I

p型に注入された少数キャリア(電子)が消滅し,

静特性のときの密度になるまでには多少時間が必要

(a) 順バイアス中

(b) 逆バイアス印加直後

(c) 境界での少数キャリア密度が熱平衡値になったとき (d) 境界での少数キャリア密度の減少に従って、(c)から

(d)へと空乏層に印加されている電圧が逆方向になり,

印加された電圧に近づくために,電流が減少する.

R

v(t) i(t)

数百ps

Diffusion

Recombination Recombination

Diffusion

n p0 n p0 n p0 n p0

e-x/L

t < t1 t1 < t < t2 t = t2 t2 < t

n p n p n p n p

p-type n-type p-type n-type p-type n-type p-type n-type

x x x x

x

小数キャリアの蓄積効果

参照

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