九州大学学術情報リポジトリ
Kyushu University Institutional Repository
フェムト秒レーザによる難加工材料加工及びCMPへの 応用
王, 成武
https://doi.org/10.15017/1654868
出版情報:Kyushu University, 2015, 博士(工学), 課程博士 バージョン:
権利関係:Fulltext available.
(様式 5‑ 2)
氏 名 王 成 武
三両ふ岡、 文 名 Femtosecond laser processing on hard‑to‑process materials and its application to CMP process
(フェムト秒レーザによる難加工材料加工及びCMPへの応用)
論文調査委員 主 査 九州大学 教 授 黒 河 周平
面
リ 査 九州大学 教 授 津田 廉士 面
リ 査 九州大学 名誉教授 土肥 俊 郎
論 文 審 査 の 結 果 の 要 旨
本 研 究 は 、 フ ェ ム ト 秒 レ ー ザ を 難 加 工 材 基 板 の 加 工 に 適 用 し 、 平 坦 化 仕 上 げ 加 工 で あ る