九州大学学術情報リポジトリ

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Kyushu University Institutional Repository

フェムト秒レーザによる難加工材料加工及びCMPへの 応用

王, 成武

https://doi.org/10.15017/1654868

出版情報:Kyushu University, 2015, 博士(工学), 課程博士 バージョン:

権利関係:Fulltext available.

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(様式 5‑ 2) 

氏 名 王 成 武

文 名 Femtosecond laser processing on hard‑to‑process materials and its  application to CMP process 

(フェムト秒レーザによる難加工材料加工及びCMPへの応用)

論文調査委員 主 査 九州大学 教 授 黒 河 周平

リ 査 九州大学 教 授 津田 廉士 面

リ 査 九州大学 名誉教授 土肥 俊 郎

論 文 審 査 の 結 果 の 要 旨

本 研 究 は 、 フ ェ ム ト 秒 レ ー ザ を 難 加 工 材 基 板 の 加 工 に 適 用 し 、 平 坦 化 仕 上 げ 加 工 で あ る

CMPと 併 用 す る こ と で 高 能 率 加 工 実 現 へ の 道 を 切 り 開 き 、 そ の 加 工 メ カ ニ ズ ム の 解 明 を 通 し

て こ れ ま で に な い 新 た な 知 見 を 得 た も の で あ り 、 機 械 工 学 上 価 値 あ る 業 績 と 認 め る 。

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