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PVD薄膜による研削表面温度分布の測定

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Academic year: 2021

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Title

PVD薄膜による研削表面温度分布の測定( はしがき )

Author(s)

加藤, 隆雄

Report No.

平成4年度-平成5年度年度科学研究費補助金 (一般研究(C) 

課題番号04650108) 研究成果報告書

Issue Date

1993

Type

研究報告書

Version

URL

http://hdl.handle.net/20.500.12099/100

※この資料の著作権は、各資料の著者・学協会・出版社等に帰属します。

(2)

1.まえがき 研削加工法は研削砥石を高速で回転させ,その構成要素である非常に硬い微細な砥粒によって,良好な 仕上げ面や高い精度を必要とする場合に用いられる加工法である.この加工法は加工物の硬度及び強度が 高いため切削加工法では加工不可能な場合や生産効率の悪い場合に多用されている.しかしながら,単位 除去体積当たりの所要エネルギは普通の切削加工の10∼20倍以上となり,そのほとんどすべてが熟エネル ギとなって,大部分が加工物に流入する.その結果,研削面の温度が高くなることは避けられず,加工物 表面層の変質(研削焼け,研削割れ)や寸法及び形状精度の狂いなどのトラブルを起こし,製品の劣イヒに つながる. 近年,各種新素材の利用が活発化するのに伴い,一般に難削材であるこれらの材料を高能率に研削加工 したいという要請が増大する状況にあり,研削熱に伴うこのような損傷や熱変形と熱応力の発生機構を明 らかにすることがますます重要な課題になってきている. この研削温度の理論的解明は0郁W批r[1]をはじめとして多数の研究者によって精力的に進められてきた が,研削機構の複雑性の故にその解析には種々の困難を伴い,未解決の点がなお多く残されている.実験 的に研削温度を測定する試みも古くから行われてきている.代表的なものとして,加工物内部に微細な熱 電対を埋め込んで熱起電力の測定値から研削面表層の温度分布を求めたものがあげられる[2】.しかしこ の熱電対による方法は比較的容易に温度を測定できるが,応答性が十分でないこと,測定すべき本来の温 度場に乱れを与える恐れがあることなどの問題が指摘されている.研削温度のような時間的にも空間的に も著しい温度勾配をもち,容易に近づき難い部分について正確な温度を求めることは極めて困難であり, この温度測定法の開発が強く望まれている.また,信頼性のある測定法を確立することは,これまで発表 された理論の妥当性を検証するためにも重要で意義のあることである. 本研究は,新たに開発されたPVD薄膜の融解現象を利用した温度測定法を研削加工に適用し,研削表面 温度の測定を試みその安当性を検討するものである.\そのため,慣用の平面プランジ研削加工において, 加工舞件や加工物と砥石の材質を変更したとき加工物の表面温度分布がどのように変わるかを測定し,移 動熱源理論による解析結果と比較をした. 主な記号 -ト a:切り込み c:加工物の比熱 β:砥石直径

参照

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