平成１９年度
特許出願技術動向調査報告書
半導体の機械加工技術
（要約版）
平成２０年４月
特 許 庁
問い合わせ先
特許庁総務部企画調査課 技術動向班
電話：０３−３５８１−１１０１（内線２１５５）
＜目次＞
第１章 半導体の機械加工技術の俯瞰. . . １ 第２章 半導体の機械加工技術に関する特許動向分析. . . ５ 第３章 半導体の機械加工技術に関する研究開発動向分析. . . ３５ 第４章 半導体産業の産業政策動向分析. . . ３８ 第５章 半導体産業の市場環境分析. . . ３９ 第６章 総合分析. . . ４１
干 第1章 半 導 体 の 機 械 加 工 技 術 の 俯 瞰
第 節 半 導 体 の 機 械 加 工 技 術 の 概 要
． 半 導 体 の 機 械 加 工 技 術 に 関 す る 技 術 の 俯 瞰
半 体 製 技 術 機 械 技 術 を モ サ エ メ ネ ゛ 技 術 薄 膜 形 成 技 術 ゠ セ ス ン エ
技 術 ゜ ア ン 注 入 技 術 洗 泵 技 術 ら い る 半 体 基 朋 ゞ ゠ デ ク
モ カ ン 先 ヘ 基 朋 イ モ ゞ ヘ 砒 素 ザ バグ モ 化 合 物 半 体 基 朋 あ る
半 体 機 械 技 術 ゞ ゠ デ 製 程 ゞ ゠ デ 処 理 程 ス セ ハ 化 程 組 立 程 各 程 い 断 ケ メ ゜ ク ン エ 研 削 メ セ ヌ ン エ フ モ セ ク ン エ 太 ･ タ 化 学 的 機 械 的 研 磨 ト セ ェ エ メ ゜ ン タ ゛ ン エ ジ ゜ ク ン エ あ る ら 周 辺 技 術
程 ゞ ゠ デ 搬 送 技 術 程 間 ト セ ェ エ メ ゜ ン タ ゛ ン エ 表 面 保 護 ゾ ヴ ハ
付 よ び ス セ ハ 化 程 る ジ ゜ ク ン エ ゾ ヴ ハ 付 よ び 含 れ
る れ れ 機 械 技 術 い 使 用 れ る 装 置 や 材 料 え 太 ･タ 技 術
る太 ･ タ装 置 終 点 検 出 機 器 ケ メ モ ヴ 砥 粒 薬 ド セ チ 洗 泵 液 あ る
半 体 機 械 技 術 る 課 題 精 度 向 坦 化 汚 染 防 極 薄 化
ゞ ゠ デ 表 面 ネ メ セ ダ ヅ ケ 向 ゞ ゠ デ 大 口 化 生 産 性 向 環 境 負 荷 減 あ ら れ る
半 体 応 用 産 業 ド サ カ ン 携 帯 電 話 液 晶光V ハ メ ゲ ブ光 V 携 帯 型 ア ヴ タ ゛ ア 機 器 自 動 車 あ り 新 い 応 用 形 態 ジ 太ィ ヴ チ チ サジ 夫シ エ ･ ゴ･ 先 先ヘ タ あ
る れ ら 応 用 後 半 体 市 場 を 牽 引 市 場 拡 大 い 想 れ る
半 体 機 械 技 術 技 術 俯 瞰 を 第干 - 干 示 第干 -干 半 体 機 械 技 術 技 術 俯 瞰
半 体の機械加工技術
ウ 製 工程
断(SLICING 研削(GRINDING 研磨LAPPING&POLISHING
ウ 処理工程 絶縁膜CMP 配線層CMP ッンン
工程
シン シンプ付 シンプ離
組立工程
実装基のシン
周辺技術
搬送技術、検査技術
ン 携帯電話 自動車
携帯型 機器
半 体の 応用産業
半 体 製 技術
ワ 砥粒 砥石
ン 液 研磨 研磨材
(砥粒 薬 )
終点検出機器 洗浄液
ン ン
樹脂金属
ン 極薄ウ
大口径ウ
極薄 メ絶縁膜層の坦Siウエの大口径等
Siウエの表面フッネス向加工精度向
薄膜形成技術、エッチン技術、洗浄技術、
ソフ技術、オン注入技術等
TV
RFID ｉ IC Ｅ 液晶TV
半 体の機械加工技術
ウ 製 工程
断(SLICING 研削(GRINDING 研磨LAPPING&POLISHING
断(SLICING 研削(GRINDING 研磨LAPPING&POLISHING
ウ 処理工程 絶縁膜CMP 配線層CMP ッンン 絶縁膜CMP 配線層CMP ッンン
工程
シン シンプ付 シンプ離 シン シンプ付 シンプ離
組立工程
実装基のシン
周辺技術
搬送技術、検査技術
ン 携帯電話 自動車
携帯型 機器
半 体の 応用産業
半 体 製 技術
ワ 砥粒 砥石
ン 液 研磨 研磨材
(砥粒 薬 )
終点検出機器 洗浄液
ン ン
樹脂金属
ン
樹脂金属
ン 極薄ウ
大口径ウ
極薄ウ 大口径ウ
極薄 メ絶縁膜層の坦Siウエの大口径等
Siウエの表面フッネス向加工精度向
薄膜形成技術、エッチン技術、洗浄技術、
ソフ技術、オン注入技術等
TV
RFID ｉ IC Ｅ 液晶TV
平
． 半 導 体 の 製 造 工 程 に お け る 機 械 加 工 技 術
半 体 機 械 技 術 研 磨 太･ タを 含 研 削 ケ メ ゜ ク ン エ ジ ゜ ク ン エ 周 辺 技 術 搬 送 ジ ゜ ク ン エ ゾ ヴ ハ 保 護 ゾ ヴ ハ 付 要 素 技 術 大 れ る 半 体 製 ハ ュ コ ケ ゞ ゠ デ 製 程 ゞ ゠ デ 処 理 程 ス セ ハ 化 程 組 立 程 大
れ る ゞ ゠ デ 処 理 程 ら ト ャ ェ 程 配 線 程 背 面 処 理 程 れ る
各 製 ハ ュ コ ケ る 半 体 機 械 技 術 い 以 明 る
ゞ ゠ デ 製 程 る 機 械 技 術
結 晶 成 長 半 体 単 結 晶 ゜ ン ガ セ ダ 外 周 を 研 削 所 定 直 成 形 後 所 定 長 断 る 次 い ゜ ン ガ セ ダ を 薄 い チ ヴ ヂ ゼ 状 盤 周 砥 粒 を 取 り 付
周 刃 い ワ ゜ ボ ヴ 砥 粒 を 絡 往 復 る ブ ャ ス ワ ゜ ボ ヴ サ ヴ よ り ケ メ ゜ ク ン エ 断 ゞ ゠ デ 形 状 る
ゞ ゠ デ 面 取 り 形 状 対 応 砥 石 ゞ ゠ デ 外 周 を 製 品 直 研 削 ザメ ヘ 事ビ ヘ 事普 端 面 を 弧 状 研 削 面 取 り る ゞ ゠ デ 面 方 を 示 ア モ ゠ ン ゾ ヴ ク ミ ン ネ メ セ ダ あ る い テ セ ス 形 成 研 削 行 う
メ セ ヌ ン エ 回 転 る メ セ ハ 定 盤 間 ゞ ゠ デ を コ セ ダ ゥ ホ モ ゚ 自 公 転 砥 粒 を 含 ん 研 磨 を ゞ ゠ デ メ セ ハ 定 盤 を り 合 わ る よ る 機 械 研 磨 法 あ る 砥 粒 ゚ ャ プ ヂ パ ヴ ケ 多 い 時 間 短 縮 高 効 率 化 要 求 応 え メ セ ヌ ン エ 精 度 を 維 持 る 新 い 法 砥 石 を 用 い る 方 法 検 討 れ い る 近 い 将 来 砥 石 改 善 進 砥 粒 を 用 い る メ セ ヌ ン エ 砥 石 研 磨 置 換 わ る 能 性 あ る
フ モ セ ク ン エ 研 磨 ド セ チ を り 付 回 転 盤 ゞ ゠ デ を 接 着 ハ ヤ ヴ ダ を 付 ケ メ モ ヴ を 供 給 行 わ れ る 鏡 面 研 磨 あ る ケ メ モ ヴ 中 薬 液 よ る 化 学 的 ゠ セ ス ン エ 作 用 砥 粒 を 研 磨 ド セ チ 付 る よ る 機 械 的 作 用 を 併 用 る 太･タ 太景 ピ ボヘ c バ争
･ ピ c 景バ 事 ヘc バ 争 タ 二 争 ヘモ 景 ヘ事 普 用 い ら れ る ゠ セ グ ジ ベ ヴ グ 割 れ や ド ヴ ゾ ゛ ェ ャ 生 原 因 る ゠ セ グ を 研 磨 る れ を ゠ セ グ フ モ セ ク ン エ い う
ゞ ゠ デ 処 理 程 る 機 械 技 術
半 体 素 子 高 集 積 化 高 化 進 展 い る 高 化 配 線 材 料 抵 化 層 間 絶 縁 膜 誘 電 率 化 平方 向 ら 検 討 れ り 太 ヤ 配 線 や争 二w - 予絶 縁 膜 開 れ い る
高 集 積 化 わ 微 化 進 展 焦 点 深 度 泶 り 高 度 ネ メ セ ダ ヅ ケ
必 要 り れ 伴 い 坦 化 い 高 い 精 度 要 求 れ る よ う り 坦 化太･ タ 技 術 開 れ 太 ･タ 技 術 化 学 応 よ る ゠ セ ス ン エ 砥 粒 ン 研 磨 ド セ チ よ る 機 械 的 研 磨 を 組 合 わ 研 磨 技 術 半 体 タ ト ゜ ケ 製 程 る 配 線 等 よ る 段 差 を 坦 化 る 用 い ら れ る 坦 化 太 ･ タ 技 術 的 課 題 ケ ェ メ セ ス ネ モ ヴ 坦 化 技 術 タ ゛ セ ク ン エ 配 線 金 属 や ゠ ュ ヴ グ ミ ン 配 線 金 属 を 含 層 間 絶 縁 膜
生 防 技 術 あ ら れ る
配 線 材 料 従 来 グ 争配 線 代 わ り よ り 抵 太ヤ配 線 入 本 格 化 い る 太ヤ 配 線 層 間 絶 縁 膜 層 中 太 ヤ 拡 散 防 ト モ ゚ ベ シ ャ 層 光バ 系 金 属 使 用 れ る 層 間 絶 縁 膜 争 二w- 予 膜 ら フ ヴ メ ケ 争二 w - 予 膜 用 い ら れ る よ う
り 脆 い 材 料 用 い ら れ る 研 磨 荷 を 抑 え る 必 要 微 真 球
粒 子 複 合 粒 子 太 ･ タ用 ケ メ モ ヴ 各 ベ ヴ ィ ヴ 開 れ い る 電 解 研 磨
年
新 い ハ ュ コ ケ 提 案 れ い る 太 ･タ 用 ド セ チ い ド セ チ 溝 形 状 行 わ れ い る
先 ヘタ 先 止 モャピ ボ ヘ 事 タバ c 予バ 普ピ やジ太ィ ヴ チ 等 用 途 最 近 ス セ ハ 化 段 階 ゞ ゠
デ 極 薄 化 要 求 れ る よ う ゞ ゠ デ を 任 意 厚 る 電 子 回 路
形 成 れ い る 表 面 保 護 ゾ ヴ ハ を り 付 ゞ ゠ デ 裏 面 を 砥 石 を 用 い 研 削 る れ を 背 面 研 削 ト セ ェ エ メ ゜ ン タ ゛ ン エ い う
ス セ ハ 化 程 る 機 械 技 術
ス セ ハ 化 程 ゞ ゠ デ 処 理 程 電 子 回 路 形 成 れ ゞ ゠ デ ら 各 タ ト ゜ ケ を 個 々 ス セ ハ り 出 程 薄 い ノ ヤ ヴ チ 外 周 刃 を 用 い ジ ゜ ク ン エ る 薄 型 半 体 タ ト
゜ ケ い ジ ゜ ク ン エ 時 ス セ ヌ ン エ や ェ メ セ ェ ス セ ハ 強 度 や 特 性 影 響 を 与 え る 特 ス セ ヌ ン エ 等 を 減 る ジ ゜ ク ン エ 技 術 求 ら れ る ジ ゜ ク ン エ 時
ゞ ゠ デ 背 面 ジ ゜ ク ン エ ゾ ヴ ハ を り 付 ゞ ゠ デ 個 々 ス セ ハ 割 れ 後 ス セ ハ ゾ ヴ ハ 保 持 れ 状 態 組 立 程 搬 送 れ る ゞ ゠ デ ら 個 々 ス セ ハ を り 出 方 法 ジ ゜ ク ン エ 法 ケ ェ メ ゜ ノ ン ノ ヤ ヴ ゥ ン エ 法 あ る 方 法 ジ ゜ ボ ペ ン チ ゼ ヴ ャ ゞ ゠ デ 表 面 碁 盤 目 状 泶 い ゥ ゲ を 後 ゞ ゠ デ 力 を ゥ ゲ 沿 ゞ ゠ デ を 割 り ス セ ハ 化 る 方 法 あ る ケ ェ メ ゜ ノ ン ノ ヤ ヴ ゥ ン エ 法 化 合 物 半 体 主 型 ス セ ハ (イ ボ ボ 角 以 ) 製 適 用 れ い る れ 以 外 半 体 タ ト ゜ ケ ス セ ハ 化 技 術 主 流 ジ ゜ ク ン エ 法 あ る
ィ 第 節 半 導 体 の 機 械 加 工 技 術 の 応 用 産 業 の 概 要
半 体 機 械 技 術 モ サ エ メ ネ ゛ 技 術 ゠ セ ス ン エ 技 術 ゜ ア ン 注 入 技 術 洗 泵 技 術 等 半 体 製 要 ハ ュ コ ケ 技 術 あ る れ ら ハ ュ コ ケ 技 術 を 集 大
成 半 体 ジ 太 ､ 先ジ を 含 製 れ る わ 半 体 機 械 技 術 応 用 産
業 一 義 的 半 体 産 業 捉 え る る 応 用 産 業 半 体 産 業
い 以 記 載 る
テ 先 光 先 テO チ ､夫 先 ゴ ･ジ 太 Oソ 夫 ツ太光 O チ 光 チ グ夫 ゴ 先光 グ 光 ジ先 光 ジ太 先 世 界 半 体 市 場 統 計 よ る 世 界 地 域 半 体 市 場 測 平0 0 ① 秋 よ れ 半 体 世 界 市 場 平 0 0 イ 約 平 ん平 可 イ億 チ ャ 平 0 0① 約 平ん ィ 可0 億 チ ャ あ り 平 0 0台 約 年ん 0 00 億 チ ャ 成 長 る 測 れ い る 産 業 米 い わ れ る 半 体 平 0 0① 平 0 0可 約エ％ 平0 0 台 約干平 ％ 成 長 平 0 0エ
ハ メ ケ 成 長 を 続 る 測 れ い る
半 体 製 品 市 場 平 0 0イ 実 績 ジ太 約台イ ％ タ ゛ ケ ェ モ ヴ ダ 約可 ％ ア ハ ダ ゠ ヤ ェ ダ ュ ッ ェ ケ 約①％ コ ン キ ヴ 約平 ％ あ 平 00 台 ジ 太 約台ィ ％ タ ゛ ケ ェ モ ヴ ダ 約①％ ア ハ ダ ゠ ヤ ェ ダ ュ ッ ェ ケ 約可 ％ コ ン キ ヴ 約年％ る 測 れ
り コ ン キ ヴ ア ハ ダ ゠ ヤ ェ ダ ュ ッ ェ ケ 伸 び る 測 あ る ジ 太 製 品 市 場 平 0 0 イ 実 績 ュ グ セ ェ 約年 0％ ･ O 先ブ ゜ ェ ュ 約平 台％ ベ ペ モ 約 平 イ％ ゚ ヂ ュ エ 約干 可％ あ 平0 0 台 ュ グ セ ェ 約平 エ％ ･ O先 ブ ゜ ェ ュ 約平 ①％ ベ ペ モ 約 平可 ％ ゚ ヂ ュ エ 約干台 ％ る 測 れ り ベ ペ モ ゚ ヂ ュ エ 伸 び る 測 あ る
主 半 体 ベ ヴ ィ ヴ 米 国 ゜ ン ゾ ャ ゾ ゥ キ ケ ゜ ン ケ ゼ ャ ベ ン ゼ 光 ジ ゚ チ ト ン ケ ダ ブ ゜ ェ ュ タ ト ゜ ケ グ ･ 夫 ネ モ ヴ ケ ォ ヴ ャ コ プ カ ン ジ ェ シ ヴ 欧 ゜ ン ネ ゛ ッ ア ン ( ジ 事 フヘ 事 ピ二 事) ゾ ェ テ ュ グ ヴ 先 光 ブ ゜ ェ ュ ゠ ヤ ェ ダ ュ ッ ェ ケ 韓 国 星 電 子 デ ゜ ッ セ ェ ケ シ 止事 ヘ ョ コ プ カ ン ジ ェ シ 日 本 東 芝 ャ ヅ キ ケ ゾ ェ テ ュ グ 日 立 菱 電 機 編V ソ ゴ太
゠ ヤ ェ ダ ュ ッ ェ ケ メ ン ゥ ン エ れ い る
イ
第 章 半 導 体 の 機 械 加 工 技 術 に 関 す る 特 許 動 向 分 析
第 節 調 査 方 法 対 象 し た 特 許
． 調 査 方 法
半 体 機 械 技 術 関 る 特 許 出 願 動 向 い 全 体 出 願 ン 録 動 向 析 技 術 動 向 析 出 願 人 明 者 動 向 析 よ び 要 特 許 析 を 行
海 外 特 許 米 国 特 許 欧 特 許 韓 国 特 許 中 国 特 許 湾 特 許 ア ヴ ケ ダ メ モ ゚ 特 許 よ び ク ン イ フ ヴ ャ 特 許 を 対 象 欧 特 許 欧 特 許 庁 出 願 ゴ タ太出 願
゜ ウ モ ケ ネ メ ン ケ チ ゜ ゼ ア メ ン ジ ゜ シ モ ゚ ケ ゜ ケ ネ ゛ ン メ ン チ ケ ゞ ゟ ヴ タ ン ア ヴ ケ ダ モ ゚ パ ャ ウ ヴ タ ン ブ ヴ ェ ケ ヒ ゜ ン ゚ ゜ ャ メ ン チ ャ ェ コ ン ノ ャ ェ フ ャ ダ イ ャ ス ゟ カ デ ン イ モ ヴ ャ ヴ ブ ッ ゚ ケ ュ ト ゥ ゚ 各 国 特 許 出 願 対 象 い る 欧 国 籍 出 願 人 記 各 国 ュ ク ゚ テ ャ ゞ ゟ ヴ 国 籍 出 願 人 を え い る
特 許 検 索 日 本 特 許 タ グ光 O ､ジ先 株 式 会 社 ド ダ モ ケ 録 商 標 海 外 特 許 夫ピ メ wピ 事 ャ テ 二 メ 争ビ タバ ャ ピ事ャ モ ジ事 ビ ピョ テタ ジ ソ 夫ゴ デ (先 光 ソ) を 用 い 検 索 優 主 張 日干 エ エ0 干暻干日
ら 平0 0 ① 干 平 暻年 干 日 特 許 出 願 を 対 象 検 索 結 果 日 本 出 願 い 平 干 ん 平平 イ件 米 国 欧 韓 国 中 国 湾 ア ヴ ケ ダ メ モ ゚ よ び ク ン イ フ ヴ ャ を 合 わ 干 イ ん 平可 ィ件 あ 録 特 許 い 優 主 張 日干 エエ 0 干暻干日 ら平0 0① 干平暻年 干
日 を 対 象 タ ヴ シ パ ヴ ケ 録 時 間 差 よ り 全 タ ヴ シ 録 れ
い る 各 国 異 り 特 平0 0 ィ 以 降 全 タ ヴ シ 取 得 れ い い 場 合 あ る
を 念 頭 い 必 要 あ る 出 願 ン 録 動 向 集 計 エ メ ネ 優 主 張
干 エエ 0 ら平 00 イ タ ヴ シ を 用 い 作 成 ら タ 太 光出 願 国 移 行 時 間 長 公 表 公 報 行 時 期 国 出 願 公 開 干 ① ヵ 暻 よ り 遅 る 情 あ る
米 国 特 許 平0 0 0 干干暻平 エ日 部 的 公 開 制 度 開 始 れ 特 れ
以 前 出 願 件 数 ィ ゞ ン ダ る 録 れ 限 ら れ る 出 願
件 数 推 移 各 国 間 出 願 件 数 比 較 米 国 る 出 願 件 数 特 公 開 制 度 以 前
時 期 い 全 件 数 い い 注 意 る 必 要 あ る 韓 国 出 願 テタ ジ
録 干 エ エ可 以 降 あ る れ 以 前 出 願 い 録 件 数 ィ ゞ ン ダ れ
い る 湾 出 願 公 開 制 度 平0 0 平 干 0暻 ら 始 れ 以 前 い
録 れ 件 数 を 出 願 件 数 湾 出 願 い テ タジ 録 遅 れ
り 特 優 主 張 平 00 イ 少 い る を 考 慮 る 必 要 あ る
録 件 数 推 移 い 特 許 出 願 ら 審 査 請 求 期 間 審 査 る 期 間
個 異 る よ び 日 本 い 従 来 出 願 ら可 間 あ 審 査 請 求
期 間 平 00 干 干 0暻 以 降 出 願 ら年 短 縮 れ り 現 れ ら 混 移 行 期
間 あ る 念 頭 い 評 価 る 必 要 あ る
特 許 動 向 析 検 索 れ 特 許 公 報 韓 国 特 許 中 国 特 許 よ び 湾 特 許 い 抄 録 容 ら 要 素 技 術 軸 研 磨ン研 削 技 術 ケ メ ゜ ク ン エンジ ゜ ク ン エ 技 術 周 辺 技 術
類 ら 用 途 程 基 朋 課 題 い う 析 軸 を 設 類
用 途 軸 ド サ カ ン 携 帯 電 話 タ グ シ ャ 家 電 液 晶 ゾ ヤ ニ 等 自 動 車 ほ ジ 太 ィ ヴ チ チサ ジ夫シ エ ･ゴ ･先 よ び 用 途
①
程 軸 ゞ ゠ デ 製 程 ゞ ゠ デ 処 理 程 ス セ ハ 化 程 よ び 組 立 程
基 朋 軸 ク モ カ ン 基 朋 化 合 物 半 体 基 朋 よ び ゠ ヌ 成 長 用 基 朋 化 合 物 半 体 基 朋 ザバ ソ 先 ヘ太 ザ バグ モ ジ 事タ よ び 化 合 物 半 体 類
課 題 軸 精 度 向 ジ ベ ヴ グ 減 坦 化太 ･ タ技 術 向 汚 染 防 ゞ
゠ デ 大 口 化 ゞ ゠ デ 極 薄 化 生 産 性 向 カ ケ ダ ジ ゞ ン 環 境 負 荷 減 年 次 元
実 装 よ び 課 題
解 決 手 段 軸 わ 要 素 技 術 軸 大 類 研 磨 ン 研 削 技 術 ケ メ ゜ ク ン エ ン ジ ゜
ク ン エ 技 術 よ び 周 辺 技 術 れ ら を ら 中 類 類
研 磨ン 研 削 技 術 太 ･ タ技 術 ゴ ･タ ん ゴ太 ･ タ技 術 メ セ ヌ ン エ 技 術 研 削 技 術 研 磨ン 研 削 制 御 技 術 鏡 面 研 磨 フ モ セ ク ン エ 技 術 対 象 物 形 状 よ び 研 磨 ン 研 削 技 術 中 類 ケ メ ゜ ク ン エ ン ジ ゜ ク ン エ 技 術 ケ メ ゜ ク ン エ ブ ャ ス ワ ゜ ボ ヴ サ ヴ 技 術 ケ メ ゜ ク ン エ 周 刃 技 術 ジ ゜ ク ン エ 技 術 ケ メ ゜ ク ン エ ン ジ ゜ ク ン エ 制 御 技 術 よ び ケ メ ゜ ク ン エ ン ジ ゜ ク ン エ 技 術 中 類 周 辺 技 術 搬 送 技 術 保 護 ゾ ヴ ハ ジ ゜ ク ン エ ゾ ヴ ハ ジ ゜ ク ン エ ン ジ ゜ ピ ン チ ゾ ヴ ハ 液 再 生 技 術 よ び
周 辺 技 術 中 類 用 途 程 基 朋 課 題 よ び 要 素 技 術 解 決 手 段 れ れ 複 数 個 記 載 れ い る 場 合 複 数 類 を 付 与
類 ン 解 析 る あ 同 一 明 を 複 数 出 願 出 願 い る 特 許 わ ネ
゙ プ モ ヴ 特 許 あ る 場 合 日 本 特 許 米 国 特 許 欧 特 許 韓 国 特 許 中 国 特 許 湾 特
許 よ び 出 願 順 優 込 対 応 る 特 許 同 一 類 結 果 を
付 与 ネ ゙ プ モ ヴ 特 許 情 報 テタジ タ ヴ シ 基 い い る
出 願 件 数 よ び 録 件 数 ィ ゞ ン ダ 各 国 ン 地 域 出 願 公 報 一 一 を 個 ィ ゞ ン ダ る 公 報 単 よ る ィ ゞ ン ダ テ タジ よ る ネ ゙ プ モ ヴ 単 ィ ゞ ン ダ る
明 単 よ る ィ ゞ ン ダ 平通 り 方 法 行 い 析 い る
技 術 類 作 業 い テ ゜ ゲ 断 れ る 特 許 出 願 析 対 象 ら 除 外
． 調 査 対 象 し た 特 許
第平 -干表 半 体 機 械 技 術 対 象 る 特 許
本 調 査 い 解 析 対 象 特 許
出 願 件 数 録 件 数 を 出 願 第 平 -干 表 示 優 主 張 干エ エ 0 ら 平0 0 ①
特 許 出 願 録 特 許 を 調 査 対 象 い る 各 国 特 許 制 度 い タ ヴ シ パ
ヴ ケ 録 遅 れ を 考 慮 出 願 ン
録 動 向 集 計 エ メ ネ 優 主 張 干 エ エ 0 ら 平 0 0 イ タ ヴ シ を 用 い 作 成 れ を 出 願 動 向 解 析 を 行
録 特 許 検 索 日 時 点 公
報 行 れ タ ヴ シ パ ヴ ケ 録 れ を 対 象 い る
出 願 件 数 日 本 特 許 米 国 特 許 韓 国 特 許 欧 特 許 湾 特 許 中 国 特 許 順 多 い 米 国 特 許 出 願 件 数 対 る 録 件 数 多 目 立 い る
出 願 先 出 願 件 数 録 件 数
日 本 1 6 , 6 4 5 2 , 9 9 0
米 国 7 , 1 4 0 5 , 1 9 6
欧 州 3 , 2 1 3 1 , 1 2 1
韓 国 3 , 5 3 0 1 , 0 2 4
中 国 1 , 4 7 5 4 3 0
台 湾 2 , 1 8 6 1 , 9 2 4
ス ト ア 6 5 1 1 4
シ ン 3 5 4 6
合 計 3 5 , 1 9 4 1 2 , 7 0 5 5 国 地 域 計 3 2 , 0 0 3 1 0 , 7 6 1
可 第 節 全 体 動 向 分 析
． 全 世 界 の 出 願 録 動 向
回 特 許 調 査 い 日 本 特 許 米 国 特 許 欧 特 許 韓 国 特 許 中 国 特 許 湾 特 許 ア ヴ ケ ダ メ モ ゚ 特 許 よ び ク ン イ フ ヴ ャ 特 許 い 調 査 い る 日 本 特 許 米 国 特 許 欧 特 許 韓 国 特 許 よ び 中 国 特 許 イィ 国 地 域 特 許 点 を 置 い 析 る
全 世 界 出 願ン 録 特 許 件 数 れ ら イィ 国 地 域 出 願ン 録 特 許 件 数 合 計 を 用 い る
出 願 動 向
第平- 平 干 エ エ0 ら 平0 0イ 日 本 米 国 欧 韓 国 よ び 中 国 イィ 国 地 域 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 推 移 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 割 合 を 示 干 エ エエ 出 願 件 数 ヌ ヴ ェ あ り 後 い ら 若 減 少 傾 向 を 示 い る 出 願 人 国 籍 日 本 国 籍 倒 的 多 約① 可％ 次 い 米 国 籍 約平 干％ 韓 国 籍 約①％ 欧 国 籍 約イ％
湾 籍 約干 ％ 中 国 籍 ク ン イ フ ヴ ャ 籍 よ び ア ヴ ケ ダ メ モ ゚ 籍 れ れ干 ％ 以 あ る
第平 -平 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 推 移 割 合 イィ 国 ン 地 域 出 願 件 数 合 計
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
ン 国籍
件
% 国籍
件
% 台 籍
件
% 中国籍
件
% 韓国籍
件
%
欧州国籍 件
% 米国籍
件
% 日本国籍
件
%
その 件
%
合計 件
注 ) 公 報 単 ィ ゞ ン ダ
録 動 向
第平- 年 干 エ エ0 ら平 0 0イ 日 本 米 国 欧 韓 国 よ び 中 国 イィ 国 地 域 出 願 人 国 籍 録 件 数 推 移 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 を 示 優 主 張 干エ エ エ
録 件 数 ヌ ヴ ェ を 示 後 減 少 傾 向 を 示 い る 録 件 数 推 移 各 国 よ り 審 査 請 求 期 間 異 る 要 素 含 ん り エ メ ネ 現 れ 増 減
議 論 る 出 来 い
出 願 人 国 籍 日 本 国 籍 最 多 約イ①％ 米 国 籍 約年 干％ 両 国 籍 多 次 い 欧 国 籍 よ び 韓 国 籍 れ れ 約 イ％ 湾 籍 約平％ 中 国 籍 ク ン イ フ ヴ ャ 籍 よ び ア ヴ ケ ダ メ モ ゚ 籍 れ れ干％ 以 あ る
台
第平 -年 出 願 人 国 籍 録 件 数 推 移 割 合 イィ 国 ン 地 域 録 件 数 合 計
優先権主張 録
件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
ン 国籍
件
% 国籍
件
% 台 籍
件
% 中国籍
件
% 韓国籍
件
%
欧州国籍 件
%
米国籍 件
%
日本国籍 件
%
その 件
%
合計 件
注 ) 公 報 単 ィ ゞ ン ダ
． 出 願 先 国 別 出 願 人 国 籍 別 出 願 録 動 向 出 願 動 向
第平- ィ バ)～ フ ) 各 国 ン 地 域 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 推 移 割 合 を 示
日 本 出 願 ( バ) 優 主 張 干エエ 0 ら 毎 増 り 干 エ エエ 干 ん① 0 0件 弱 ヌ ヴ ェ を 示 後 や 減 少 傾 向 あ る 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 割 合 日 本 国 籍 約エ 0％ 倒 的 多 い 次 い 米 国 籍 約可％ 欧 国 籍 約平 ％ 韓 国 籍 約干％ 続 い い る
米 国 出 願 ( パ) 優 主 張 干エエ 0 ら 増 り 干エ エ エ エ 0 0件 強 ヌ ヴ ェ を 示 後 減 少 傾 向 あ る 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 割 合 米 国 籍 約ィ イ ％ 日 本 国 籍 約ィ 干％ 平国 籍 大 部 を 占 い る 後 を 韓 国 籍 欧 国 籍 よ び 湾 籍 れ
れィ～ イ％ 続 い い る
欧 出 願 ( c) 優 主 張 干 エエ 0 ら 増 傾 向 干 エエ エ ィ 0 0 件 弱 ヌ ヴ ェ を 示 後 減 少 傾 向 あ る 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 割 合 日 本 国 籍 約ィ 年 ％ 米 国 籍 約年 年％ 欧 国 籍 約平0 ％ 年国 籍 大 部 を 占 い る 後 を 韓 国 籍 湾 籍 れ れ干 ～ 平％ 続 い い る
韓 国 出 願 ( ビ) 優 主 張 干エエ イ 頃 ら 増 り 平 00 年 イ0 0件 弱 ヌ ヴ ェ を 示 い る 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 割 合 日 本 国 籍 約年 台％ 韓 国 籍 約年イ ％ 米 国 籍 約平 干％ 年国 籍 大 部 を 占 い る 後 を 欧 国 籍 約ィ ％ 続 い い る
中 国 出 願 ( ピ) 優 主 張 干エエ ① 頃 ら 増 り 平 00 年 約年 00件 ヌ ヴ ェ を 示 い る 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 割 合 日 本 国 籍 約 イ 干％ 米 国 籍 約 年0 ％ 平 国 籍 大 部 を 占 い る 後 を 欧 国 籍 約 可％ 中 国 籍 約 イ ％ 韓 国 籍 約 ィ％
湾 籍 約干 ％ 続 い い る
湾 出 願 ( フ) 優 主 張 干エエ イ 頃 ら 増 り 干 エエ エ ィ0 0件 弱 ヌ ヴ ェ を 示 後 減 少 傾 向 あ る 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 割 合 日 本 国 籍 約ィ イ％ 米 国 籍 約年干％ 湾 籍 約干 ィ％ 年国 籍 大 部 を 占 い る 後 を 欧 国 籍 よ び 韓 国 籍 れ れィ～ イ％ 続 い い る
エ
第平 -ィ 出 願 国 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 推 移 割 合 バ )日 本 出 願
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
%
国籍 件
% ン
国籍 件
%
合計 件
パ )米 国 出 願
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍 件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
%
国籍 件
% ン
国籍 件
%
合計 件
c )欧 出 願
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍 件
% 中国籍
件
%
台 籍 件
%
国籍 件
% ン
国籍 件
%
合計 件
注 公 報 単 ィ ゞ ン ダ
干0 ビ )韓 国 出 願
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
%
米国籍 件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
%
国籍 件
% ン
国籍 件
%
合計 件
ピ )中 国 出 願
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
%
国籍 件
% ン
国籍 件
%
合計 件
フ ) 湾 出 願
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
%
国籍 件
% ン
国籍 件
%
合計 件
注 ) 公 報 単 ィ ゞ ン ダ
干干 録 動 向
第平- イ バ)～ フ ) 各 国 出 願 人 国 籍 録 件 数 推 移 割 合 を 示
バ ) 日 本 出 願 人 国 籍 録 件 数 推 移 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 を 示 録 件 数 次 推 移 審 査 請 求 時 期 い あ り 単 純 増 減 を 議 論 い 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 日 本 国 籍 約エ 干％ 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 割 合 日 本 国 籍 約エ0 ％ よ り 若 大 い 米 国 籍 約イ％ 欧 国 籍 約平 ％ 続 い い る
パ ) 米 国 出 願 人 国 籍 録 件 数 推 移 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 を 示 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 米 国 籍 約ィ 台％ 日 本 国 籍 約年エ ％ 平国 籍 多 い 後 を 湾 籍 欧 国 籍 よ び 韓 国 籍 れ れ 約 ィ％ 続 い い る
c ) 欧 出 願 人 国 籍 録 件 数 推 移 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 を 示 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 日 本 国 籍 約 ィ イ ％ 米 国 籍 約 年平 ％ 欧 国 籍 約干 エ％ 年国 籍 大 部 を 占 る 韓 国 籍 約平％ 湾 籍 約 ％ あ る
ビ ) 韓 国 出 願 人 国 籍 録 件 数 推 移 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 を 示 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 日 本 国 籍 約 イ 平 ％ 韓 国 籍 約 平平 ％ 米 国 籍 約 干 エ％ 年 国 籍 大 部
を 占 る 欧 国 籍 約①％ 湾 籍 約 ％ あ る
ピ ) 中 国 出 願 人 国 籍 録 件 数 推 移 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 を 示 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 日 本 国 籍 約イ 0 ％ 米 国 籍 約平 台％ 平国 籍 大 部 を 占 る 欧 国 籍 約台 ％ 韓 国 籍 よ び 中 国 籍 れ れ 約①％ あ り 湾 籍 約平％ あ る
フ ) 湾 出 願 人 国 籍 録 件 数 推 移 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 を 示 出 願 人 国 籍 録 件 数 割 合 日 本 国 籍 約 ィ ィ ％ 米 国 籍 約 年平 ％ 湾 籍 約 干 イ％ 年 国 籍 大 部
を 占 る 欧 国 籍 約イ％ 韓 国 籍 約ィ ％ 中 国 籍 干％ 以 あ る
干平
第平 -イ 出 願 国 出 願 人 国 籍 録 件 数 推 移 割 合 バ )日 本 録
優先権主張 録
件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
%
国籍 件
% ン
国籍 件
%
合計 件
パ )米 国 録
優先権主張 録
件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
%
国籍 件
% ン
国籍 件
%
合計 件
c )欧 録
優先権主張 録
件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
%
台 籍 件
%
国籍 件
% ン
国籍 件
%
合計 件
注 公 報 単 ィ ゞ ン ダ
干年 ビ )韓 国 録
優先権主張 録
件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
ン 国籍
件
% 国籍 件
% 台 籍
件
% 中国籍
件
% 韓国籍
件
%
欧州国籍 件
%
米国籍 件
%
日本国籍 件
% その
件
%
合計 件
ピ )中 国 録
優先権主張 録
件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
%
国籍 件
% ン
国籍 件
%
合計 件
フ ) 湾 録
優先権主張 録
件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
%
国籍 件
% ン
国籍 件
%
合計 件
注 ) 公 報 単 ィ ゞ ン ダ
干ィ
その 件
% ン
国籍 件
%
日本国籍 件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍 件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
% 国籍
件
%
日本国籍 件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
% 国籍
件
% ン
国籍 件
%
その 件
%
その 件
% ン
国籍 件
% 国籍
件
% 台 籍
件
% 中国籍
件
%
韓国籍 件
%
欧州国籍 件
%
米国籍 件
%
日本国籍 件
% その
件
% ン
国籍 件
%
米国籍 件
% 欧州国籍
件
%
日本国籍 件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
% 国籍
件
%
ン 国籍
件
%
日本国籍 件
%
米国籍 件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍 件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
% 国籍
件
%
その 件
%
日本への出願 件
中国への出願 件
欧州への出願 件 米国への出願
件
件
件
件 件
件
件
件
件
件
件 件
件 件
件
件 件
件 件
件
件
韓国への出願 件
． 全 体 動 向 の ま め
出 願 国 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 支
日 本 米 国 欧 韓 国 よ び 中 国 イ ィ 国 地 域 る 出 願 国 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 支 を 第平 -① 示
日 本 ら 米 国 出 願 件 数 平 ん エ0エ件 対 米 国 ら 日 本 出 願 件 数 干 ん 干干0 件 あ る ｡日 本 ら 欧 出 願 件 数 干 ん年 台 0 件 対 欧 ら 日 本 出 願 件 数 平 可ィ 件 あ る 日 本 ら 韓 国 出 願 件 数 干 ん 年ィ台件 対 韓 国 ら 日 本 出 願 件 数 平 0 0件 あ る 日 本 ら 中 国 出 願 件 数 可 イエ件 対 中 国 ら 日 本 出 願 件 数 0件 あ る
米 国 ら 欧 出 願 件 数 干 ん 0イ可 件 対 欧 ら 米 国 出 願 件 数 年 0① 件 あ る 米 国 ら 韓 国 出 願 件 数 可イ 台件 対 韓 国 ら 米 国 出 願 件 数 年ィ 台件 あ る 米 国 ら 中 国 出 願 件 数 ィ 年可件 対 中 国 ら 米 国 出 願 件 数 エ件 あ る
第平 -① 出 願 国 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 支 イィ 国 ン 地 域 出 願 干 エエ0 ～ 平0 0イ
注 公 報 単 ィ ゞ ン ダ
干イ
優先権主張 出
願 件 数
研磨研削技術 ン ン 技術 周辺技術
優先権主張
第 節 技 術 区 分 別 動 向 分 析
． 全 体 の 出 願 録 動 向 出 願 動 向
技 術 要 素 技 術
日 本 米 国 欧 韓 国 よ び 中 国 イィ 国 ン 地 域 出 願 件 数 合 計 要 素 技 術 出 願 件 数 推 移 を 第 平 -可 示 研 磨 ン 研 削 技 術 干 エエ 0 ～ 干 エ エ エ 増 り 干 エエ エ
平 ん可 0 0 件 を 超 え ヌ ヴ ェ い る 特 干 エエ イ 以 降 伸 び 率 大 い る 平00 0 以 降 や 減 少 い る ケ メ ゜ ク ン エ ン ジ ゜ ク ン エ 技 術 周 辺 技 術 研 磨 ン 研 削 技 術 比 件 数 少 い 平 0 0年 増 傾 向 あ り 平 00 ィ 以 降 や や 減 少 い る
第平 -可 要 素 技 術 出 願 件 数 推 移 イィ 国 ン 地 域 出 願 件 数 合 計
注 公 報 単 ィ ゞ ン ダ
第平- 台 要 素 技 術 出 願 件 数 割 合 を エ メ ネ 示
エ メ ネ い 特 許 出 願 よ 複 数 要 素 技 術 類 付 与 れ る あ る
合 計 件 数 年 ィ ん平 エ 0件 り 解 析 対 象 年 平 ん0 0 年件 第平- 干表 を 参 照 よ り 多 い る 同 様 研 磨ン研 削 技 術 平 平 ん可台 ィ件 あ る 研 磨ン研 削 技 術 中 複 数 中 類 関 係 る 特 許 出 願 あ る 訳 を 示 右 側 エ メ ネ 合 計 件 数 平 台 ん ①イ 干件 多 い る 同 様 側 ケ メ ゜ ク ン エ ン ジ ゜ ク ン エ 技 術 い 大 類
可 ん 平 平エ 件 あ る ケ メ ゜ ク ン エ ン ジ ゜ ク ン エ 技 術 中 複 数 中 類 関 係 る 特 許 出 願 あ る 合 計 件 数 台 ん エ① 可件 い る 本 報 告 書 い 同 様 集 計 を 多 行 い る 以 同 様 あ る
干①
その の ン
% 件
ン
% 件 ン
% 件
装置
% 件
% 件
合計 件
研磨研削 技術
% 件 ン
ン 技術
% 件
周辺技術
% 件
合計 件
研磨研削の 制御技術
% 件
ン 技術
% 件 研削技術
% 件
鏡面研磨 ン 技術
% 件
加工対象物の 形状
% 件
M M 技術
% 件
M技術
% 件
合計 件 ン
ワ 技術
% 件
ン 周刃 技術
% 件 ン
ン の 制御技術
% 件
ン 技術
% 件 その の
ン ン 技術
% 件
合計 件
% 件
% 件 ン
% 件
装置方式
% 件
洗浄
% 件
合計 件
研 磨ン研 削 技 術 全 体 約① ①％ を 占 い る 研 磨ン研 削 技 術 中 太 ･タ技 術 約イ ①％ 最 多 次 研 磨 ン 研 削 制 御 技 術 約平 0 ％ あ る 太 ･ タ技 術 中 装 置 ン 方 式 関 る 約 年 年％ ケ メ モ ヴ 関 る 約 年 平％ ド セ チ 関 る 約 平 干 ％ い る
ケ メ ゜ ク ン エンジ ゜ ク ン エ 技 術 全 体 約平干％ を 占 い る ケ メ ゜ ク ン エンジ ゜ ク ン エ 技 術 中 ジ ゜ ク ン エ 技 術 関 る 約イィ ％ 過 半 数 を 占 り 次 い ケ メ ゜ ク ン エ ブ ャ ス ワ ゜ ボ ヴ サ ヴ 技 術 約干 イ％ あ る ジ ゜ ク ン エ 技 術 中 装 置 関 る
約可 イ％ 大 半 を 占 い る
第平 -台 要 素 技 術 大 類 中 類 出 願 件 数 割 合 イィ 国 ン 地 域 出 願 件 数 合 計 干 エエ 0 ～ 平 00イ
注 ) 公 報 単 ィ ゞ ン ダ
第平 -エ バ ) ～ c ) 要 素 技 術 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 推 移 割 合 を 示 各 合 計 を 示 れ 線 エ メ ネ 第平 -可 示 エ メ ネ 同 あ る 研 磨 ン 研 削 技 術 日 本 国 籍 出 願 人 ら 出 願 約① 0 ％ 最 多 次 い 米 国 籍 出 願 人 ら 出 願 約平①％ 韓 国 籍 出 願 人 ら 出 願 約 可％ 続 い い る ケ メ ゜ ク ン エ ン ジ ゜ ク ン エ 技 術 日 本 国 籍 出 願 人
ら 出 願 約台平 ％ 最 多 次 い 米 国 籍 出 願 人 ら 出 願 約台 ％ あ り 米 国 籍 割 合 研 磨 ン 研 削 技 術 よ り い る 欧 国 籍 割 合 研 磨 ン 研 削 技 術 約 ィ ％ ら 約 可％ 多 い る 韓 国 籍 割 合 研 磨ン研 削 技 術 約可 ％ ら 約平％ 少
い る 周 辺 技 術 日 本 国 籍 出 願 人 ら 出 願 約台年％ 更 多 り 次 い 米 国 籍 出 願 人 ら 出 願 約可％ 韓 国 籍 出 願 人 ら 約ィ％ 続 い い る
干可
第平 -エ 技 術 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 推 移 割 合 イィ 国 ン 地 域 出 願 件 数 合 計 バ )研 磨 ン 研 削 技 術
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
% 国籍
件
% ン
国籍 件
%
合計 件
パ )ケ メ ゜ ク ン エ ン ジ ゜ ク ン エ 技 術
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
%
日本国籍 件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
% 国籍
件
% ン
国籍 件
%
合計 件
c )周 辺 技 術
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
%
日本国籍 件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
% 国籍
件
% ン
国籍 件
%
合計 件
注 ) 公 報 単 ィ ゞ ン ダ
干台
技 術 課 題
第 平- 干 0 バ) ～ ビ) イィ 国 ン 地 域 出 願 れ 半 体 機 械 技 術 関 る 特 許 出 願 課 題 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 推 移 出 願 人 国 籍 割 合 を 示
精 度 向 ( バ )を 課 題 る 特 許 出 願 干エ エ 0 以 降 増 干 エエエ 干 ん イ00件 を 超
え ヌ ヴ ェ り 後 や 減 少 い る 国 籍 日 本 国 籍 出 願 人 ら 出 願
約① 0％ 最 多 次 い 米 国 籍 約平 台％ 韓 国 籍 欧 国 籍 れ れ 約イ ％ 続 い い る 韓 国 籍 出 願 人 ら 出 願 件 数 平 00 年 最 多 い る
坦 化 太 ･ タ 技 術 向 (パ ) を 課 題 る 特 許 出 願 干エ エ平 以 降 増 干 エ エエ 干ん エ 00
件 を 超 え ヌ ヴ ェ り 後 や 減 少 い る 国 籍 日 本 国 籍 出 願 人 ら
出 願 約 イ 0 ％ 最 多 次 い 米 国 籍 約 年 ィ％ 韓 国 籍 約 干 0％ 続 い い る
精 度 向 比 較 米 国 籍 韓 国 籍 割 合 大 い る 韓 国 籍 出 願 人 ら 出
願 件 数 平00 ィ 最 多 い る
ゞ ゠ デ 極 薄 化 ( c )を 課 題 る 特 許 出 願 干エ エ 0 以 降 増 傾 向 を 示 平0 0 平 干 ィ エ 件 ヌ ヴ ェ り 後 減 少 い る 国 籍 日 本 国 籍 出 願 人 ら 出 願 約台0％ 最 多 次 い 欧 国 籍 約 台 ％ 米 国 籍 約 可％ 続 い い る 日 本 国 籍 出 願 約 台 0 ％ い う 課 題 中 最 高 い 割 合 あ る
生 産 性 向 ( ビ) を 課 題 る 特 許 出 願 干 エエ0 以 降 増 傾 向 を 示 干 エ エエ 干 ん干 年 年
件 ヌ ヴ ェ り 後 や 減 少 傾 向 あ る 国 籍 日 本 国 籍 出 願 人 ら 出
願 約可 平％ 最 多 次 い 米 国 籍 約干可％ 韓 国 籍 約イ％ 続 い い る 日 本 国 籍 出 願 人 ら 出 願 件 数 干 エ エ 台 最 多 韓 国 籍 出 願 人 ら 出 願 件 数 平0 0 干 最 多
い る
第平 -干0 課 題 出 願 人 国 籍 出 願 件 数 推 移 割 合 イィ 国 ン 地 域 出 願 件 数 合 計 バ ) 精 度 向
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
% 日本国籍
件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍 件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
% 国籍
件
% ン
国籍 件
%
合計 件
注 ) 公 報 単 ィ ゞ ン ダ
干エ パ ) 坦 化太 ･タ技 術 向
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件 日本国籍 %
件 米国籍 %
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
% 国籍
件
% ン
国籍 件
%
合計 件
c )ゞ ゠ デ 極 薄 化
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
%
日本国籍 件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
% 国籍
件
% ン
国籍 件
%
合計 件
ビ )生 産 性 向
優先権主張 出
願 件 数
日本国籍 米国籍 欧州国籍 韓国籍
中国籍 台 籍 国籍 ン 国籍
その 合計
出願人国籍 優先権主張
その 件
%
日本国籍 件
% 米国籍
件
% 欧州国籍
件
% 韓国籍
件
% 中国籍
件
% 台 籍
件
% 国籍
件
% ン
国籍 件
%
合計 件
注 ) 公 報 単 ィ ゞ ン ダ
