特長 01 裏面入射型 S12362/S12363 シリーズは 裏面入射型構造を採用したフォトダイオードアレイです 構造上デリケートなボンディングワイヤを使用せず フォトダイオードアレイの出力端子と基板電極をバンプボンディングによって直接接続しています これによって 基板の配線は基板内部に納められて

16素子Siフォトダイオードアレイ

X線非破壊検査用の裏面入射型

フォトダイオードアレイ

_{(素子間ピッチ: 2.5 mm)}

S12362/S12363シリーズ

浜松ホトニクス株式会社

1

セレクションガイド

型名

素子数

素子

ピッチ

(mm)

素子サイズ

W × H

(mm)

基板サイズ

W × H

(mm)

シンチレータ

応用例

タイプ

残光

_*

1

クロス

トーク

_*

1

S12362-021*

2

16

2.5

2.2 × 2.7

40.4 × 10.2

_なし

_-

_-

_一般測光

S12363-021*

2

_{40.4 × 20.0}

S12362-121

40.4 × 10.2

_CsI(Tl)

_長

_小

対象物の移動速度が遅い

_{X線非破壊}

検査

_{(手荷物検査など)}

S12363-121

40.4 × 20.0

S12362-321

40.4 × 10.2

GOSセラ

ミック

短

小

対象物の移動が速い

_{X線非破壊検査}

(手荷物検査など)

S12363-321

40.4 × 20.0

S12362-421

40.4 × 10.2

_蛍光紙

_短

_大

X線が低エネルギーの場合のX線非破

壊検査

S12363-421

40.4 × 20.0

*1: 3種のシンチレータを比較した場合の相対的な特徴。 *2: 購入したままの状態ではX線検出器として使用できません。お客様側で任意のシンチレータまたは蛍光紙を実装して使用してください。 注_{) 上記の表に掲載されていないシンチレータのタイプにも対応が可能です (特注品)。営業にご相談ください。}

裏面入射型構造を採用したＸ線非破壊検査用の

_{16素子Siフォトダイオードアレイです。裏面入射型フォトダイオードアレ}

イは、入射面側にボンディングワイヤと受光部がないため取り扱いが容易で、ワイヤへのダメージを気にすることなくシ

ンチレータを実装することができます。

S12362/S12363-121のCsl(TI)シンチレータには潮解性があります。高湿環境で保管または使用しないでください。

使用上の注意

感度波長範囲

_{: 340～1100 nm}

素子サイズ

_{: 2.2 (W) × 2.7 (H) mm／1素子}

素子間ピッチ

_{: 2.5 mm × 16素子}

2種類の基板サイズをラインアップ:

40.4 (W) × 10.2 (H) mm, 40.4 (W) × 20.0 (H) mm

複数配列により長尺化が可能

デュアルエナジーイメージングに対応

(上下2層に組み合わせて使用、7ページを参照)

特長

X線非破壊検査など

用途

16素子Siフォトダイオードアレイ

S12362/S12363シリーズ

2 特　長

02

広い用途

S12362/S12363シリーズはデュアルエナジーイメージングに対応しており、高エネルギーX線と低エネルギーX線を同時に検出するために、2 種類のシンチレータ付フォトダイオードアレイを上下_{2層に組み合わせて使用できる構造になっています。また、複数配列してラインセンサと} して使用できるように近接配置が可能な構造も実現しています。これにより長尺の対象物の計測も可能になります。

センサの構造例

2層に組み合わせた例 (S11212/S11299シリーズ) 複数配列の例 (S11212シリーズ) 特　長

01

_{裏面入射型}

S12362/S12363シリーズは、裏面入射型構造を採用したフォトダイオードアレイです。構造上デリケートなボンディングワイヤを使用せず、 フォトダイオードアレイの出力端子と基板電極をバンプボンディングによって直接接続しています。これによって、基板の配線は基板内部に 納められているため、堅牢な構造となっています。また、シンチレータの実装面にボンディングワイヤと受光部がないため、フォトダイオー ドアレイなどを損傷する危険性が少なく、温度変化の影響も受けにくいなど高い信頼性を確保することが可能となりました。

断面図

_{(表面入射型と裏面入射型の比較)}

X஌ ༗ࢌਏড ਋࢕໐ δϋΟͻϋΈ χͼμ ນ࿂වৣ߿ (ਲြ຦) ΏϋΙτȜΗ έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ X஌ έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ ၔ࿂වৣ߿ (૧ୋ຦) Ψϋίഩޭ ΏϋΙτȜΗ ਋࢕໐ KMPDA0280JA ౯࿂଎ (S11212ΏςȜΒ) KMPDA0280JA

16素子Siフォトダイオードアレイ

S12362/S12363シリーズ

3

絶対最大定格

項目

記号

_-021

_{-121, -321, -421}

単位

逆電圧

_{VR max}

₁₀

_V

動作温度

*

3

_Topr

_{-20 ～ +60}

_{-10 ～ +60}

_°C

保存温度

*

3

_Tstg

_{-20 ～ +80}

_{-20 ～ +70}

_°C

*3: 結露なきこと 高湿環境においては、製品とその周囲で温度差があると製品表面が結露しやすく、特性や信頼性に影響が及ぶことがあります。 注_{) 絶対最大定格を一瞬でも超えると、製品の品質を損なう恐れがあります。必ず絶対最大定格の範囲内で使用してください。}

電気的および光学的特性

_{[Ta=25 °C, 1素子当たり, X線感度以外はS12362-021 (シンチレータなし)]}

項目

記号

条件

_Min.

_Typ.

_Max.

単位

感度波長範囲

λ

-

340 ～ 1100

-

nm

最大感度波長

_λp

_-

₉₂₀

_-

_nm

受光感度

_S

λ=540 nm

380

420

460

_mA/W

λ=λp

550

610

670

短絡電流

_Isc

*4

₆

₇

_-

_µA

X 線感度

IscX

*

5

-121

_-321

-

_-

12.5

_7.2

-

_-

_nA

-421

-

6.0

-暗電流

_I

D

V

R

=10 mV

-

5

50

pA

上昇時間

_tr

V

R

=0 V, R

L

=1 kΩ

10～90%,λ=658 nm

-

6.5

-

µs

端子間容量

_Ct

_V

R

=0 V, f=10 kHz

50

75

100

pF

*4: 100 lx, 2856 K *5: 参考値 (X線管電圧 120 kV、管電流 1.0 mA、アルミフィルタ t=6 mm、距離=830 mm)。X線感度の値はX線照射条件などによって 異なります。

分光感度特性

_{[センサ自体の特性 (シンチレータは含まない)]}

KMPDB0463JB 1200 KMPDB0463JA ໦࢕ۜഽඅ଻ (S12362/S12363ΏςȜΒ) (Typ. Ta=25 °C) 0.8 0.6 0.4 0.7 0.5 0.3 0.2 0.1 0 200 S12362/S12363-121, -321, -421͉ΏϋΙτȜΗͬ୪಍̳ͥ ਏড͈൫ًၚ͞฽ৣၚ̦حྙ̯̹ͦඅ଻̳́ȃ 400 600 800 ෨ಿ (nm) 1000 ਋࢕ ۜ ഽ ( A/ W ) S12362/S12363-021 S12362/S12363-121, -321, -421 QE=100%

16素子Siフォトダイオードアレイ

S12362/S12363シリーズ

4

シンチレータの発光特性と分光感度特性

S12362/S12363-121

ŌŔőŅŃıijĹijŋņ ΏϋΙτȜΗ͈อ࢕අ଻͂໦࢕ۜഽඅ଻ ௖చ࢕੄ႁġ (% ) ၾঊ࢘ၚġĩĦĪ ෨ಿġ(nm) (Typ.) 1000 1200 800 600 400 200 0 0 40 20 60 80 100 40 20 60 80 100 ໦࢕ۜഽඅ଻ CsI(Tl) ΏϋΙτȜΗ อ࢕අ଻ KSPDB0282JE

S12362/S12363-321

௖చ࢕੄ႁġ (% ) ၾঊ࢘ၚġĩĦĪ ෨ಿġ(nm) (Typ.) 1000 1200 800 600 400 200 0 0 40 20 60 80 100 40 20 60 80 100 KSPDB0281JE ΏϋΙτȜΗ͈อ࢕අ଻͂໦࢕ۜഽඅ଻ ໦࢕ۜഽඅ଻ ΓρηΛ· ΏϋΙτȜΗ อ࢕අ଻ KSPDB0281JE

シンチレータの仕様

項目

条件

_CsI(TI)

_{GOSセラミック}

単位

ピーク発光波長

₅₆₀

₅₁₂

_nm

X線吸収係数

100 keV

10

7

cm

-1

屈折率

ピーク発光波長時

_1.7

_2.2

-減衰定数

₁

₃

_µs

残光

_{100 ms後}

_0.3

_0.01

_%

密度

_4.51

_7.34

_g/cm

3

色調

透明

薄黄緑

-発光強度のバラツキ

_±10

_±5

_%

16素子Siフォトダイオードアレイ

S12362/S12363シリーズ

5

外形寸法図

_{(単位: mm)}

S12362-021

KMPDA0332JA KMPDA0332JA ٸࠁ଱༹଎ (S12362-021, ౙպ: mm) KC NC 3.5 ± 0.5 1.0 ± 0.2 (1.3) (20 ×) ϕ0.4 5 Fe N i C oά ϋ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 (4.0 ) 7. 62 10.2 ± 0. 2 2.5 15 × 2.5 = 37.5 2.54 9 × 2.54 = 22.86 +0 - 0.4 40.4 ΄ρΑ΀ε΅Ώܖโ έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ ΙΛί ခ࢘਋࢕໐ (16 ×) 2.2 × 2.7 ঐা̧̈́࢖ओ: ±0.1 ΙΛίಎ૤պ౾ୈഽ (ΩΛΉȜΐಎ૤ͬܖ੔) X: ±0.1 Y: ±0.2 KC NC

S12363-021

KMPDA0333JA KMPDA0333JA ٸࠁ଱༹଎ (S12363-021, ౙպ: mm) KC NC 3.5 ± 0.5 1.0 ± 0.2 (1.3) (20 ×) ϕ0.4 5 Fe N i C oά ϋ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 (4.0 ) 15.24 20.0 ± 0. 2 2.5 15 × 2.5 = 37.5 2.54 9 × 2.54 = 22.86 +0 - 0.4 40.4 ΄ρΑ΀ε΅Ώܖโ έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ ΙΛί ခ࢘਋࢕໐ (16 ×) 2.2 × 2.7 ঐা̧̈́࢖ओ: ±0.1 ΙΛίಎ૤պ౾ୈഽ (ΩΛΉȜΐಎ૤ͬܖ੔) X: ±0.1 Y: ±0.2 KC NC

16素子Siフォトダイオードアレイ

S12362/S12363シリーズ

6

S12362-121

KMPDA0334JA

S12363-121

KMPDA0335JA KMPDA0334JA ٸࠁ଱༹଎ (S12362-121, ౙպ: mm) KC NC 3.5 ± 0.5 1.0 ± 0.2 (1.3) (20 ×) ϕ0.4 5 Fe N i C oά ϋ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 (4.0 ) 4.0 7. 62 _3.5 [C sI (T l)] 10.2 ± 0. 2 2.5 15 × 2.5 = 37.5 40.1 [CsI(Tl)] 2.54 9 × 2.54 = 22.86 +0 - 0.4 40.4 ΄ρΑ΀ε΅Ώܖโ CsI(Tl) 3.0t ခ࢘਋࢕໐ (16 ×) 2.2 × 2.7 ঐা̧̈́࢖ओ: ±0.1 ΙΛίಎ૤պ౾ୈഽ (ΩΛΉȜΐಎ૤ͬܖ੔) X: ±0.1 Y: ±0.2 KC NC έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ ΙΛί KMPDA0335JA ٸࠁ଱༹଎ (S12363-121, ౙպ: mm) KC NC 3.5 ± 0.5 1.0 ± 0.2 (1.3) (20 ×) ϕ0.4 5 Fe N i C oά ϋ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 15.24 20.0 ± 0. 2 2.5 15 × 2.5 = 37.5 2.54 9 × 2.54 = 22.86 +0 - 0.4 40.4 ခ࢘਋࢕໐ (16 ×) 2.2 × 2.7 ঐা̧̈́࢖ओ: ±0.1 ΙΛίಎ૤պ౾ୈഽ (ΩΛΉȜΐಎ૤ͬܖ੔) X: ±0.1 Y: ±0.2 KC NC 40.1 [CsI(Tl)] 3. 5 [C sI (T l)] (4.0 ) 4.0 ΄ρΑ΀ε΅Ώܖโ CsI(Tl) 3.0t έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ ΙΛί

16素子Siフォトダイオードアレイ

S12362/S12363シリーズ

7

S12363-321

S12362-321

KMPDA0337JA KMPDA0336JA KMPDA0336JA ٸࠁ଱༹଎ (S12362-321, ౙպ: mm) KC NC 3.5 ± 0.5 1.0 ± 0.2 (1.3) (20 ×) ϕ0.4 5 Fe N i C oά ϋ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 (4.0 ) 1.36 7. 62 _3.02 (G OS Γ ρ ηΛ ·) 10.2 ± 0. 2 2.5 15 × 2.5 = 37.5 39.932 (GOSΓρηΛ·) 2.54 9 × 2.54 = 22.86 +0 - 0.4 40.4 ΄ρΑ΀ε΅Ώܖโ GOSΓρηΛ· 1.3t ခ࢘਋࢕໐ (16 ×) 2.2 × 2.7 ঐা̧̈́࢖ओ: ±0.1 ΙΛίಎ૤պ౾ୈഽ (ΩΛΉȜΐಎ૤ͬܖ੔) X: ±0.1 Y: ±0.2 KC NC έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ ΙΛί KMPDA0337JA ٸࠁ଱༹଎ (S12363-321, ౙպ: mm) KC NC 3.5 ± 0.5 1.0 ± 0.2 (1.3) (20 ×) ϕ0.4 5 Fe N i C oά ϋ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 15.24 20.0 ± 0. 2 2.5 15 × 2.5 = 37.5 2.54 9 × 2.54 = 22.86 +0 - 0.4 40.4 ခ࢘਋࢕໐ (16 ×) 2.2 × 2.7 ঐা̧̈́࢖ओ: ±0.1 ΙΛίಎ૤պ౾ୈഽ (ΩΛΉȜΐಎ૤ͬܖ੔) X: ±0.1 Y: ±0.2 KC NC (4.0 ) ΄ρΑ΀ε΅Ώܖโ 39.932 (GOSΓρηΛ·) 3. 02 (G O SΓ ρ η Λ ·) (1.4) GOSΓρηΛ· 1.3t έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ ΙΛί

16素子Siフォトダイオードアレイ

S12362/S12363シリーズ

8

S12362-421

KMPDA0338JA

S12363-421

KMPDA0339JA KMPDA0338JA ٸࠁ଱༹଎ (S12362-421, ౙպ: mm) KC NC 3.5 ± 0.5 1.0 ± 0.2 (1.3) (20 ×) ϕ0.4 5 Fe N i C oά ϋ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 (4.0 ) (0.8) 7. 62 _3.5 (ࠖ ࢕ ঞ) 10.2 ± 0. 2 2.5 15 × 2.5 = 37.5 40.0 (ࠖ࢕ঞ) 2.54 9 × 2.54 = 22.86 +0 - 0.4 40.4 ΄ρΑ΀ε΅Ώܖโ ࠖ࢕ঞ 0.5t ခ࢘਋࢕໐ (16 ×) 2.2 × 2.7 ঐা̧̈́࢖ओ: ±0.1 ΙΛίಎ૤պ౾ୈഽ (ΩΛΉȜΐಎ૤ͬܖ੔) X: ±0.1 Y: ±0.2 KC NC έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ ΙΛί KMPDA0339JA ٸࠁ଱༹଎ (S12363-421, ౙպ: mm) KC NC 3.5 ± 0.5 1.0 ± 0.2 (1.3) (20 ×) ϕ0.4 5 Fe N i C oά ϋ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 15.24 20.0 ± 0. 2 2.5 15 × 2.5 = 37.5 2.54 9 × 2.54 = 22.86 +0 - 0.4 40.4 ခ࢘਋࢕໐ (16 ×) 2.2 × 2.7 ঐা̧̈́࢖ओ: ±0.1 ΙΛίಎ૤պ౾ୈഽ (ΩΛΉȜΐಎ૤ͬܖ੔) X: ±0.1 Y: ±0.2 KC NC (4.0 ) ΄ρΑ΀ε΅Ώܖโ 3. 5 (ࠖ ࢕ ঞ) 40.0 (ࠖ࢕ঞ) 0.8 ࠖ࢕ঞġ0.5t έ΁ΠΘͼ΂ȜΡ ΙΛί

16素子Siフォトダイオードアレイ

S12362/S12363シリーズ

Cat. No. KMPD1171J03 Sep. 2017 DN

www.hamamatsu.com

仙台営業所 筑波営業所 東京営業所 中部営業所 大阪営業所 西日本営業所 〒980-0021 〒305-0817 〒105-0001 〒430-8587 〒541-0052 〒812-0013 仙台市青葉区中央3-2-1 (青葉通プラザ11階) 茨城県つくば市研究学園5-12-10 (研究学園スクウェアビル7階) 東京都港区虎ノ門3-8-21 (虎ノ門33森ビル5階) 浜松市中区砂山町325-6 (日本生命浜松駅前ビル) 大阪市中央区安土町2-3-13 (大阪国際ビル10階) 福岡市博多区博多駅東1-13-6 (竹山博多ビル5階) TEL (022) 267-0121 FAX (022) 267-0135 TEL (029) 848-5080 FAX (029) 855-1135 TEL (03) 3436-0491 FAX (03) 3433-6997 TEL (053) 459-1112 FAX (053) 459-1114 TEL (06) 6271-0441 FAX (06) 6271-0450 TEL (092) 482-0390 FAX (092) 482-0550 固体営業推進部 〒435-8558 浜松市東区市野町1126-1 TEL (053) 434-3311 FAX (053) 434-5184 製品の仕様は、改良などのため予告なく変更することがあります。本資料は正確を期するため慎重に作成されたものですが、まれに誤記などによる誤りがある場合が あります。本製品を使用する際には、必ず納入仕様書をご用命の上、最新の仕様をご確認ください。 本製品の保証は、納入後1年以内に瑕疵が発見され、かつ弊社に通知された場合、本製品の修理または代品の納入を限度とします。ただし、保証期間内であっても、 天災および不適切な使用に起因する損害については、弊社はその責を負いません。 本資料の記載内容について、弊社の許諾なしに転載または複製することを禁じます。 本資料の記載内容は、平成29年9月現在のものです。 9

組み合わせ例

_{(デュアルエナジーイメージング対応)}

デュアルエナジーイメージングとは、高エネルギーと低エネルギーの_{2つの異なるX線エネルギーを利用して、1回のスキャンで2種の} データを取得し重ね合わせる撮像方式のことです。上段には低エネルギー用、下段には高エネルギー用のシンチレータ付フォトダイオー ドアレイを配置します。複数配列することによりデュアルエナジー用ラインセンサとしても利用できます。 ①上段、下段に_{S12363シリーズを用いる場合} ・【上段】_{S12363-421 ＋【下段】S12363-121} ・【上段】_{S12363-421 ＋【下段】S12363-321} ②上段に_{S12363シリーズ、下段にS12362シリーズを} 　用いる場合 ・【上段】_{S12363-421 ＋【下段】S12362-121} ・【上段】_{S12363-421 ＋【下段】S12362-321} ષ౲Ļ ೩΀ΥσΆȜဥ έ΁ΠΘͼ΂ȜΡͺτͼġ X஌ ئ౲Ļ ࣞ΀ΥσΆȜဥ έ΁ΠΘͼ΂ȜΡͺτͼġ X஌ ષ౲Ļ ೩΀ΥσΆȜဥ έ΁ΠΘͼ΂ȜΡͺτͼġ ئ౲Ļ ࣞ΀ΥσΆȜဥ έ΁ΠΘͼ΂ȜΡͺτͼġ

関連情報

www.hamamatsu.com/sp/ssd/doc_ja.html 注意事項 ・製品に関する注意事項とお願い ・メタル・セラミック・プラスチックパッケージ製品／使用上の注意 技術情報 ・_{Siフォトダイオード／技術資料} ・_{Siフォトダイオード／用語の説明} ・_{Siフォトダイオード／信頼性}