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大大型型構構造造物物のの幾幾何何計計測測

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Academic year: 2021

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(1)

University of Tokushima Osaka University

大型 型構 構造 造物 物の の幾 幾何 何計 計測 測

大型装置・大型構造物の製作・評価・管理において

高精度な距離・形状計測が求められている

航空機 パラボラアンテナ

橋梁

光学学的的距距離離計計::粗粗面面物物体体ににはは適適用用困困難

電波波レレーーダダーー::精精度度がが不不十十分

(2)

University of Tokushima Osaka University

幅広い応用計測のためには、測定精度を維持しな がら、測定可能距離の拡大が必要!!

 

                    L= (N+ εε ) λλ /2

・ λλ 精 精度 度の の次 次数 数項 項N Nを を決 決定 定  

 → →周 周波 波数 数走 走査 査C CW W- -T TH Hzz波 波の の位 位相 相勾 勾配 配測 測定 定

・ λλ / /1 10 00 00 0精 精度 度の の端 端数 数項 項 εε を決 決定  

 → →単 単一 一周 周波 波数 数C CW W- -T TH Hzz波 波の の位 位相 相測 測定 定

(3)

University of Tokushima Osaka University

周波 波数 数走 走査 査C CW W波 波の の位 位相 相勾 勾配 配測 測定 定

Δ φ = 4 π

c L Δ ν

Ref) J. M. Huntley and H. O. Salder, J. Opt. Soc.

Am. A 14, pp. 3188-3196 (1997).

周波数

ν

を幅

Δν

で連続走査時の位相シフ ト量

Δφ

位相勾配

k

=Δφ/Δν

)と距離

L

に線形関係

k = Δ φ Δ ν =

4 π c L

ターゲット(近)

ターゲット(遠)

φφ

νν

ターーゲゲッットト((遠遠)

ターーゲゲッットト((近近)

光源 光源

L

L

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University of Tokushima Osaka University

CW-THz radiation

AMP AMP

Tunable CW-THz

source

Active frequency

multiplier (75-110GHz

2.5 mW)‏

(ML freq. = 81.6 MHz)

(linewidth<1Hz)

(tuning increment = 81.6 MHz)

実験 験装 装置 置

THzコムとの光伝導ミキシング

参照 C

CWW--TTHHzz波

測定 C

CWW--TTHHzz波

Target (Al plate)

(5)

University of Tokushima Osaka University

ター ーゲ ゲッ ット ト距 距離 離と と位 位相 相勾 勾配 配の の関 関係 係

位相アンラッピング処理

位相勾配

k=Δφ/Δf

(6)

University of Tokushima Osaka University

絶対 対距 距離 離へ への の変 変換 換

L = c

4 π k = 4.146 × 10

8

× k

(7)

University of Tokushima Osaka University

測定 定確 確度 度

平均 均確 確度 度= =- -7 74 4µ µm m

(8)

University of Tokushima Osaka University

最大 大測 測定 定可 可能 能距 距離 離

位相アンラッピング限界

ΔfTHz=81.6MHz)

最大測定可能距離 Lmax=1,831 mm

単一 一波 波長 長C CW W- -T TH Hzz位 位相 相測 測定 定よ より り3 3桁 桁拡 拡大 大

kmax= 4.416*10-6

参照

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