University of Tokushima Osaka University
大
大型 型構 構造 造物 物の の幾 幾何 何計 計測 測
大型装置・大型構造物の製作・評価・管理において
高精度な距離・形状計測が求められている
航空機 パラボラアンテナ
橋梁
光
光学学的的距距離離計計::粗粗面面物物体体ににはは適適用用困困難難 電
電波波レレーーダダーー::精精度度がが不不十十分分
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幅広い応用計測のためには、測定精度を維持しな がら、測定可能距離の拡大が必要!!
L= (N+ εε ) λλ /2
・
・ λλ 精 精度 度の の次 次数 数項 項N Nを を決 決定 定
→ →周 周波 波数 数走 走査 査C CW W- -T TH Hzz波 波の の位 位相 相勾 勾配 配測 測定 定
・
・ λλ / /1 10 00 00 0精 精度 度の の端 端数 数項 項 εε を を決 決定 定
→ →単 単一 一周 周波 波数 数C CW W- -T TH Hzz波 波の の位 位相 相測 測定 定
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周
周波 波数 数走 走査 査C CW W波 波の の位 位相 相勾 勾配 配測 測定 定
Δ φ = 4 π
c L Δ ν
Ref) J. M. Huntley and H. O. Salder, J. Opt. Soc.
Am. A 14, pp. 3188-3196 (1997).
周波数
ν
を幅Δν
で連続走査時の位相シフ ト量Δφ
位相勾配
k
(=Δφ/Δν
)と距離L
に線形関係k = Δ φ Δ ν =
4 π c L
ターゲット(近)
ターゲット(遠)
φφ
νν
タ
ターーゲゲッットト((遠遠))
タ
ターーゲゲッットト((近近))
光源 光源
L
L
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CW-THz radiation
AMP AMP
Tunable CW-THz
source
Active frequency
multiplier (75-110GHz
2.5 mW)
(ML freq. = 81.6 MHz)
(linewidth<1Hz)
(tuning increment = 81.6 MHz)
実
実験 験装 装置 置
THzコムとの光伝導ミキシング
参 参照照 C
CWW--TTHHzz波波 測
測定定 C
CWW--TTHHzz波波
Target (Al plate)
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タ
ター ーゲ ゲッ ット ト距 距離 離と と位 位相 相勾 勾配 配の の関 関係 係
位相アンラッピング処理
位相勾配
k=Δφ/Δf
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絶
絶対 対距 距離 離へ への の変 変換 換
L = c
4 π k = 4.146 × 10
8
× k
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測
測定 定確 確度 度
平
平均 均確 確度 度= =- -7 74 4µ µm m
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最
最大 大測 測定 定可 可能 能距 距離 離
位相アンラッピング限界
(ΔfTHz=81.6MHz)
最大測定可能距離 Lmax=1,831 mm
単
単一 一波 波長 長C CW W- -T TH Hzz位 位相 相測 測定 定よ より り3 3桁 桁拡 拡大 大
kmax= 4.416*10-6