* 2

マイクロ PMT アッセンブリ

マイクロ PMT モジュール

量産可能

独自のMEMS技術、半導体製造 技術、電子軌道設計技術、真空機 密パッケージ技術、真空プロセッシ ング技術を総合的に利用したこと で、高い性能を保ったまま、量産を 可能にしました。

耐衝撃

MEMS技術の陽極接合を用いて シリコン基板とガラス基板を貼りあ わせているため、衝撃に強いデバ イスが実現しました。高い耐衝撃性 により、高性能な携帯型分析機器 などの開発に最適です。

高感度

高速応答

通常の光電子増倍管の電極配置 と同様の構造を高い精度で形成し ているため、光電子増倍管の高感 度と高速応答性を実現しています。

小 型

マイクロ PMTは、シリコン基盤を2 枚のガラス基板で挟み込んだ3層 構造です。わずか3つの部品で構 成されているため、今までにない小 型化に成功しました。

カスタマイズ

対応

お客様の使用状況や使用環境に 合わせたカスタマイズのご相談も 承っております。

世界最小・最軽量 光電子増倍管*

マイクロ PMT

_{* 2015年12月当社調べ} 2

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マイクロ PMT の構造図

接続端子 真空容器 2次電子 真空 陽極 最終ダイノード 電子増倍部 （ダイノード） 入射光 光電面、入射窓 集束電極 シリコン 光電面 陽極 ガラス

原寸大 ! マイクロ PMT

マイクロ PMTは、従来の光電子増倍管と 同じ真空管で同じ動作原理のため、通常の PMTの機能を保ったまま小型・軽量化に成 功しました。 光電子 【上面図】 【断面図】 ガラス 電子増倍部（ダイノード）

製品構成

3 光電子増倍管は光センサの中でも極めて高感度、高速応答な光検出器です。二次電 子放出効果による増倍機能を有しているため、紫外線、可視光、近赤外線の測定に使 われる受光素子の中では際立った感度と低ノイズ性を誇ります。この特性を活かし、高 性能な医療機器や環境モニタなど幅広い用途に使用されています。

PMT

（光電子増倍管）

とは

マイクロ PMTは環境モニタリング用の光センサとしても 有用です。昨今は世界中で異常気象や、広範囲災害な どの環境問題が起こっています。小型計測装置が実現す れば、さまざまな現場で環境の変化をいち早く察知し、被 害を最小限に抑えることが可能になります。

計測

計測

医療

医療

計測

さまざまな環境下に対応し、

どんな場所でも

環境計測が可能に。

医療

検査室や研究室でしか行えなかった検査を、マイクロ PMTを 用いることによって救急室の中や、小さな診療所でも行えるよう になります。さらに、高度な検査を家庭で行えるようになれば、重 大な疾病であっても早期に発見できるようになります。また、疾 病の早期診断のみならず、日々の健康管理にも有用です。

個人・地域単位での環境汚染計測

ベッドサイド・家庭での健康診断

医療機器の小型化・ポータブル化によって

高度な医療をもっと身近に。

感度波長 範囲 ラインアップ （nm） 外観 基本 構成 付加 機能 マイクロPMT + デバイダ回路 + 高圧電源回路 マイクロPMT + デバイダ回路 モジュールタイプ アッセンブリ タイプ 電圧出力 電流出力 _{カウンティング}フォトン H12406 シリーズ H12404/H12405 シリーズ H12402/H12403 シリーズ H14066 シリーズ H12400 シリーズ 300 ∼ 650 300 ∼ 850 300 ∼ 920 300 ∼ 650 300 ∼ 850 300 ∼ 920 300 ∼ 650 300 ∼ 850 300 ∼ 920 300 ∼ 650 300 ∼ 650 300 ∼ 850 300 ∼ 920

H12400

シリーズ

マイクロ PMT アッセンブリ

マイクロ PMTに電圧分割回路を組み合わせた 高感度光センサです。ヘッド部の小型化により狭 いスペースでも使用することができます。

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ゲイン特性

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分光感度特性

TPMHB0884JB (at +25 °C) 1供給電圧 -900 V 2最高感度波長時 3暗中にて30分間放置後測定 4T.T.S.は電子走行時間拡がり (FWHM)です。 5結露なきこと H12400-01-01 H12400-20-01 単位 H12400-00-01 最高感度波長 有効光電面サイズ 入射窓材質 ダイノード段数 最大定格 陰極特性 陽極特性 1 ゲイン 1 動作周囲温度 5 保存温度 5 質量 陽極 - 陰極間 最小値 標準値 標準値 標準値 標準値 最小値 標準値 標準値 標準値 最大値 標準値 標準値 標準値 標準値 供給電圧 デバイダ電流 平均出力信号電流 1 ルーメン感度 青感度指数 赤感度比 放射感度 2 ルーメン感度 放射感度 2 暗電流 3 時間特性 上昇時間 走行時間 T.T.S. 4 nm mm — — V µA µA µA/lm — — mA/W A/lm A/W nA ns — °C °C g 630 300 400 — 0.45 60 30 100 1.5 × 104 0.6 6 2.5 × 105 50 80 8.0 — 80 30 160 1.6 × 105 2 × 106 3(X) × 1(Y) 硼硅酸ガラス 12 -1150 126 5 100 200 — 0.2 62 15 70 2.1 × 104 1.2 8.0 1.3 3.5 × 105 +5 ∼ +50 -20 ∼ +50 11 420 0.3 3 項目

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仕様

型名 バイアルカリ マルチアルカリ 赤感度増強型マルチアルカリ 300 nm ∼ 650 nm 300 nm ∼ 850 nm 300 nm ∼ 920 nm 感度波長範囲 光電面種類 可視域用 可視∼近赤外域用 可視∼近赤外域用 特徴 H12400-00-01 H12400-01-01 H12400-20-01

■

製品バリエーション

4 5000.5 6000.6 7000.7 8000.8 9000.9 10001.0 11501.15 102 103 104 105 106 107 コントロール電圧 (V) * 供給電圧 (V) ゲイン マルチアルカリ光電面 赤感度増強型 マルチアルカリ バイアルカリ光電面 ※マイクロ PMT モジュールのコントロール電圧になります。 200 300 0.01 0.1 1 10 100 400 500 600 波長 (nm) 陰極放射感度 (mA/W) 量子効率 (%) 700 800 900 1000 バイアルカリ光電面 マルチアルカリ光電面 陰極放射感度 量子効率 赤感度増強型 マルチアルカリ ※H14066を除くマイクロPMTシリーズ共通の分光感度です。

マイクロ PMTと電圧分割回路、高圧 電源回路を内蔵した高感度光センサモ ジュールです。基板実装が可能なピン 出力タイプの小型モジュールで、低電圧 入力で簡単に動作させることができます。

H14066

マイクロ PMT モジュール

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ゲイン特性

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分光感度特性

TPMOB0336JA 単位 H14066 項目 最高感度波長 有効光電面サイズ 入射窓材質 ダイノード段数 入力電圧 最大入力電圧 最大入力電流 1 最大平均出力信号電流 最大コントロール電圧 推奨コントロール電圧調整範囲 コントロール電圧入力インピーダンス 陰極特性 陽極特性 ゲイン リップルノイズ 35 (peak to peak) セトリングタイム 6 動作周囲温度 7 保存温度 7 質量 最小値 標準値 標準値 標準値 標準値 最小値 標準値 標準値 標準値 最大値 標準値 標準値 最大値 最大値 ルーメン感度 青感度指数 (CS 5-58) 赤感度比 放射感度 2 ルーメン感度 3 放射感度 23 暗電流 34 時間特性 上昇時間 420 4(X) × 1(Y) 硼硅酸ガラス 10 +4.75 ∼ +5.25 +5.5 5 5 +1.15 +0.5 ∼ +1.0 1 70 100 11.5 — 93 30 200 1.9 × 105 0.3 3 1.2 2.0 × 106 0.3 10 +5 ∼ +50 -20 ∼ +50 10 nm mm — — V V mA µA V V M_Ω µA/lm — — mA/W A/lm A/W nA ns — mV s °C °C g 型名 バイアルカリ 300 nm ∼ 650 nm 感度波長範囲 光電面種類 可視域用 特徴 H14066 1入力電圧 +5 V、コントロール電圧 +0.9 V、暗電流出力 2最高感度波長時 3コントロール電圧 +0.9 V 4暗中にて30分間放置後測定 5ケーブルRG-174/U、ケーブル長450 mm、負荷抵抗1 MΩ、負荷容量22 pF 6コントロール電圧を+1.0 Vから+0.5 Vへ変化させたときの安定時間 7結露なきこと

■

製品バリエーション

■

仕様

(at +25 °C) 5 200 0.1 1 10 100 400 600 波長 (nm) 陰極放射感度 (mA/W) 800 900 1000 300 500 700 500 107 106 105 104 103 102 600 コントロール電圧 (V) ゲイン 800 900 700 1000 1150 バイアルカリ光電面

マイクロ PMTと電圧分割回路、高圧 電源回路を内蔵した高感度光センサモ ジュールです。低電圧入力で簡単に 動作させることができます。

H12402/H12403

マイクロ PMT モジュール

シリーズ

TPMOC0256JA

■

感度調整方法

単位 H12402-01 / H12403-01 H12402-20 / H12403-20 H12402 / H12403 項目 最高感度波長 有効光電面サイズ 入射窓材質 ダイノード段数 入力電圧 最大入力電圧 最大入力電流 1 最大平均出力信号電流 2 最大コントロール電圧 推奨コントロール電圧調整範囲 コントロール電圧入力インピーダンス 陰極特性 陽極特性 2 ゲイン 2 リップルノイズ 25 (peak to peak) セトリングタイム 6 動作周囲温度 7 保存温度 7 質量 最小値 標準値 標準値 標準値 標準値 最小値 標準値 標準値 標準値 最大値 標準値 標準値 最大値 最大値 標準値 ルーメン感度 青感度指数 赤感度比 放射感度 3 ルーメン感度 放射感度 3 暗電流 4 時間特性 上昇時間 +0.5 ∼ +1.0 50 80 8.0 — 80 30 160 1.6 × 105 2.0 × 106 3(X) × 1(Y) 硼硅酸ガラス 12 +4.5 ∼ +5.5 +5.5 20 5 +1.15 1 100 200 — 0.2 62 15 70 2.1 × 104 1.2 3.5 × 105 0.3 10 +5 ∼ +50 -20 ∼ +50 42（H12402シリーズ）、52（H12403シリーズ） 420 0.3 3 +0.5 ∼ +1.1 630 300 400 — 0.45 60 30 100 1.5 × 104 0.6 6 2.5 × 105 nm mm — — V V mA µA V V MΩ µA/lm — — mA/W A/lm A/W nA ns — mV s °C °C g 型名 バイアルカリ マルチアルカリ 赤感度増強型マルチアルカリ 300 nm ∼ 650 nm 300 nm ∼ 850 nm 300 nm ∼ 920 nm 感度波長範囲 光電面種類 可視域用 可視∼近赤外域用 可視∼近赤外域用 特徴 H12402 / H12403 H12402-01 / H12403-01 H12402-20 / H12403-20 1入力電圧 +5 V、コントロール電圧 +0.9 V、暗電流出力 2コントロール電圧 +0.9 V 3最高感度波長時 4暗中にて30分間放置後測定 5ケーブルRG-174/U、ケーブル長450 mm、負荷抵抗1 MΩ、負荷容量22 pF 6コントロール電圧を+1.0 Vから+0.5 Vへ変化させたときの安定時間 7結露なきこと

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製品バリエーション

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仕様

_{(at +25 °C)} ▲左: H12403シリーズ  右: H12402シリーズ 6 +5 V GND +5 V GND 抵抗可変動作 マイクロPMTモジュール 電源 マイクロPMTモジュール 電源 コントロール電圧 電圧可変動作 信号出力 低電圧入力(赤) GND (黒) 基準電圧出力 (青) コントロール電圧入力 (白) 信号出力 低電圧入力(赤) GND (黒) 基準電圧出力 (青) コントロール電圧入力 (白) 可変抵抗器 (10 kΩ) モニタ CW GND ・コントロール電圧を調整して 感度調整を行ってください。 ・基準電圧は電気的に絶縁した 状態で使用してください。 ・可変抵抗器を使って感度調整を行う場合は、コントロール電圧が +1.15 Vを超えないようにモニタしながら使用してください。

マイクロ PMTと電圧分割回路、高圧 電源回路、アンプ回路を内蔵した電圧 出力の高感度光センサモジュールで す。低電圧入力で簡単に動作させるこ とができます。

H12404/H12405

マイクロ PMT モジュール

シリーズ

■

感度調整方法

単位 H12404-01 / H12405-01 H12404-20 / H12405-20 H12404 / H12405 項目 最高感度波長 有効光電面サイズ 入射窓材質 ダイノード段数 入力電圧 最大入力電圧 最大入力電流 1 最大出力信号電圧 最大コントロール電圧 推奨コントロール電圧調整範囲 コントロール電圧入力インピーダンス 陰極特性 陽極特性 2 光電子増倍管ゲイン 周波数帯域 電流電圧変換係数 出力オフセット電圧 リップルノイズ 35 (peak to peak) セトリングタイム 6 動作周囲温度 7 保存温度 7 質量 最小値 標準値 標準値 標準値 標準値 最小値 標準値 標準値 標準値 最大値 標準値 標準値 最大値 最大値 ルーメン感度 青感度指数 (CS 5-58) 赤感度比 放射感度 2 ルーメン感度 3 放射感度 23 暗中での電圧出力 34 +0.5 ∼ +1.0 50 80 8.0 — 80 3.0 × 107 1.6 × 108 160 2.0 × 106 3(X) × 1(Y) 硼硅酸ガラス 12 ±4.5 ∼ ±5.5 ±5.5 +23.5 / -3.5 +4（負荷抵抗 10 kΩ） +1.15 1 100 200 — 0.2 62 1.5 × 107 7.0 × 107 21 3.5 × 105 DC ∼ 20 kHz 1 ±1 1.5 10 +5 ∼ +50 -20 ∼ +50 44（H12404シリーズ）、54（H12405シリーズ） 420 0.3 3 +0.5 ∼ +1.1 630 300 400 — 0.45 60 3.0 × 107 1.0 × 108 15 0.6 6 2.5 × 105 nm mm — — V V mA V V V MΩ µA/lm — — mA/W V/lm V/nW mV — — V/µA mV mV s °C °C g 型名 バイアルカリ マルチアルカリ 赤感度増強型マルチアルカリ 300 nm ∼ 650 nm 300 nm ∼ 850 nm 300 nm ∼ 920 nm 感度波長範囲 光電面種類 可視域用 可視∼近赤外域用 可視∼近赤外域用 特徴 H12404 / H12405 H12404-01 / H12405-01 H12404-20 / H12405-20 1入力電圧 ±5 V、コントロール電圧 +0.9 V、暗電流出力 2最高感度波長時 3コントロール電圧 +0.9 V 4暗中にて30分間放置後測定 5ケーブルRG-174/U、ケーブル長450 mm、負荷抵抗1 MΩ、負荷容量22 pF 6コントロール電圧を+1.0 Vから+0.5 Vへ変化させたときの安定時間 7結露なきこと

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製品バリエーション

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仕様

_{(at +25 °C)} ▲左: H12405シリーズ  右: H12404シリーズ 7 +5 V GND +5 V GND 抵抗可変動作 マイクロPMTモジュール 電源 マイクロPMTモジュール 電源 コントロール 電圧 電圧可変動作 信号出力 低電圧入力(赤) GND (黒) 基準電圧出力 (青) コントロール電圧入力 (白) 信号出力 低電圧入力(赤) GND (黒) 基準電圧出力 (青) コントロール電圧入力 (白) 可変抵抗器 (10 kΩ) モニタ CW -5 V -5 V 低電圧入力(緑) 低電圧入力(緑) GND ・コントロール電圧を調整して 感度調整を行ってください。 ・基準電圧は電気的に絶縁した 状態で使用してください。 ・可変抵抗器を使って感度調整を行う場合は、コントロール電圧が_{最大値を超えないようにモニタしながら使用してください。}

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特性データ

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暗電流

光電子増倍管は完全な暗中にあるときでも微弱な電流を出力し ています。この電流のことを陽極暗電流といい、これに起因する ノイズが光電増倍管の検出限界を決める重要な要素となります。 右図は供給電圧に対するマイクロPMTの標準的な暗電流を示 したグラフです。

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出力波形

光電子増倍管は非常に高速の時間特性を持った光検出器で す。右図は光電子増倍管の時間特性に比べて十分に短い光 パルス（パルス幅: 70 ps）に対する、マイクロPMTの出力波形 例です。陽極・陰極間電圧が-900 Vの時の陽極出力パルスの 上昇時間は1.2 ns、下降時間は1.7 nsです。 TPMHB0901JB TPMHB0902JA 時間 (2 ns/div) 出力電圧 (2 mV/div) 負荷抵抗: 50 Ω 供給電圧: -900 V 上昇時間: 1.2 ns 下降時間: 1.7 ns

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T.T.S.

入射光が光電面に達してから陽極電流がピークに達するまでの 時間を電子走行時間 (Transit Time)といいます。

T.T.S. (Transit Time Spread)は光電面を単一光子により全

面照射した時の陽極パルスの走行時間のゆらぎを、そのヒストグ ラムの半値幅で表したものです。 マイクロPMTの標準的なT.T.S.は1.3 nsです。 TPMHB0903JA 時間 (2 ns/div) 相対カウント数 1 10 100 1000 10000 供給電圧: -900 V 半値幅: 1.3 ns

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パルスリニアリティ

光電面に強い光パルスが入るとダイノード後段で大電流が流れ、 空間電荷密度が高くなるために飽和現象が現れますので、陽極 出力には理想的な直線性（リニアリティ）からのずれが生じます。 右図は光パルスに対するマイクロPMTの標準的なリニアリティ 特性を示したもので、1 mAの陽極ピーク電流において約5 %の ずれが生じています。 TPMHB0906JA 0.01 0.1 1 10 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 陽極ピーク電流 (mA) 変化率 (%) 供給電圧: -900 V パルス幅: 50 ns 繰り返し周波数: 1 kHz -400 10-13 10-8 10-7 10-9 10-10 10-11 10-12 -500 -600 -800 供給電圧 (V) 陽極暗電流 (A) -1000 -1200 赤感度増強型 マルチアルカリ バイアルカリ マルチアルカリ

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温度特性

光電子増倍管の陽極感度は周囲温度の影響を受けます。また その温度特性には波長依存性があり、一般的に長波長側の限 界波長付近で温度係数がマイナスからプラスに変化します。 右図はマイクロPMTのバイアルカリ光電面タイプとマルチアル カリ光電面タイプの波長対温度係数データです。いずれの光電 面においても、波長500 nm前後での温度計数は約-0.3 %/°C となっています。 TPMHB0943JA

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磁気特性

光電子増倍管内部を走行する光電子は、外部磁場によって通 常の軌道から外れ、ゲインの減少を引き起こします。減少の度合 いは磁場の向きにより異なります。右図はマイクロPMTの磁場 による影響を示したグラフで、Z方向の磁場に最も影響を受ける ことが分かります。地磁気は0.1 mT未満ですので、ほとんど影響 はありません。 TPMHB0905JA

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リップルノイズ

モジュールに内蔵の高圧電源は発振回路を使用しているため、 発振によるノイズが信号出力に誘導されます。この誘導ノイズを リップルノイズと呼びます。 出力信号をオシロスコープに入力し、入射光がない状態で電圧 レンジを下げてベースラインを観測すると、負荷抵抗1 MΩで負 荷容量22 pFの条件において、出力が200 μV程度で周波数 が約220 kHzの信号が見えます。 TPMHB0945JA

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ユニフォミティ

光電面上の入射光の位置による感度の 均一性をユニフォミティと言います。右図 は波長400 nm、直径1 mmのスポット光 をマイクロPMTの光電面上でX軸並びに Y軸方向に0.1 mmピッチで操作した時 の陽極出力を示した例で、おおむね均一 な出力が得られていることが分かります。 TPMHB0904JB 波長 供給電圧 スポット径 : 400 nm : -900 V : 1 mm 右 左 上 （上面図） 下 位置 (mm) X軸 相対 出 力 (%) -2.5 0 20 40 60 80 100 -1.5 -0.5 0.5 1.5 2.5 左 右 位置 (mm) Y軸 相対 出 力 (%) -2.5 0 20 40 60 80 100 -0.5 -1.5 0.5 1.5 2.5 下 上 陽極 陽極 波長 (nm) 温度係数 (%/°C) -1.5 -0.5 0.5 300 400 500 600 700 800 900 1.5 2.5 -1 0 1 2 マルチアルカリ光電面 バイアルカリ光電面 供給電圧: -900 V 4 (s/div) 1 (mV/div) -20 -15 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 1.2 1.4 1.6 -10 -5 0 磁束密度 (mT) 相対 出 力 (%) 5 10 15 20 X Z Y 供給電圧: -900 V

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H12406

シリーズ

マイクロ PMT フォトンカウンティングヘッド

マイクロ PMTと高圧電源回路、フォトンカウンティ ング回路を内蔵したフォトンカウンティングヘッドで す。低電圧入力で簡単に動作させることができます。

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構成図

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計数感度特性

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仕様

最高感度波長 有効光電面サイズ 入射窓材質 ダイノード段数 入力電圧 最大入力電圧 最大入力電流 計数感度 カウントリニアリティ 1 ダークカウント 2 パルスペア分解能 出力パルス幅 出力パルス波高（負荷抵抗50 Ω時） 推奨負荷抵抗 信号出力論理 過大光検出出力 3 動作周囲温度 4 保存温度 4 質量 標準値 過大光入射時 通常時 300 nm 400 nm 500 nm 600 nm 700 nm 800 nm 900 nm 標準値 最大値 最小値 標準値 最小値 最大値 項目 2.1 × 105 2.7 × 105 2.3 × 105 1.7 × 105 9.6 × 104 2.1 × 104 — 100 500 H12406-01 630 5.3 × 104 8.8 × 104 2.7 × 105 3.0 × 105 2.9 × 105 2.1 × 105 3.9 × 103 500 2500 H12406-20 nm mm — — V V mA s-1_・pW-1 s-1 s-1 ns ns V Ω — V V °C °C g 単位 1.7 × 105 3.6 × 105 2.6 × 105 4.3 × 104 1.4 × 102 — — 10 50 H12406 3(X) × 1(Y) 硼硅酸ガラス 12 +4.75 ∼ +5.25 +6 40 5.0 × 106 20 10 +2.0 +2.2 50 正論理 +3.5 +0.5 +5 ∼ +50 -20 ∼ +50 46 420 1ランダムパルス、カウント損失10 %時 2暗中にて30分間放置後測定 3負荷抵抗10 kΩ 4結露なきこと (at +25 °C) TPMOC0226JC H12406-20 H12406 H12406-01 200 103 104 105 106 300 400 500 600 波長 (nm) 計数感度 (s -1/pW -1) 700 800 900 1000 H12406 H12406-01 H12406-20 過大光検出出力 +4.0 V: 過大光検出時 0 V: 通常時 光電子増倍管 アンプ _{コンパレータ 波形整形} GND 電源入力 +5 V L.L.D. 高圧電源回路 出力 _パルス カウンタへ RL = 50 Ω 正論理 型名 バイアルカリ マルチアルカリ 赤感度増強型マルチアルカリ 300 nm ∼ 650 nm 300 nm ∼ 850 nm 300 nm ∼ 920 nm 感度波長範囲 光電面種類 可視域用 可視∼近赤外域用 可視∼近赤外域用 特徴 H12406 H12406-01 H12406-20

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製品バリエーション

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特性データ

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ダークカウント

光電子増倍管は光入射がない状態でもいくらかの暗電流パル スが生じ、暗電流パルスはアンプで増幅された後、ディスクリミ ネータである一定のしきい値以上のパルスのみが波形整形器を 通してパルス出力されます。 この出力を1秒間当たりカウント数 (s-1_{)で表したものがダークカ} ウントで、信号検出限界レベルの目安となります。

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出力波形

出力波形は正論理のロジック信号です。右図に負荷抵抗50Ω 時と無負荷時の出力波形を示します。フォトンカウンティングヘッ ドは高速の信号を取り扱うため、通常、フォトンカウンティングヘッ ドと外部機器をケーブルで接続する場合は50Ωのインピーダン スのケーブルを使い、機器の入力インピーダンスも50Ωにするこ とが望まれます。 TPHOB0064JA TPHOB0063JB

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カウントレート補正

※マイクロPMT フォトカウンティングヘッドH12406シリーズには、自動的に補正値を出力する機能はありません。 フォトンカウンティングで計測されるカウントが106_s-1_{以上になる} とパルスの重なりによる計数誤差が発生するようになります。 カウントリニアリティを上げるための1つの方法として、補正式を 用いて近似する方法があります。 補正式を用いて近似した場合のカウントリニアリティ特性の改 善を右図に示します。 TPMOB0218JA

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カウントリニアリティ特性と

過大光検出特性

入射光がランダムな事象の場合、光量を増やしていくと、あるとこ ろからパルスの重なりが発生しカウント値が光量に比例しなくな ります。さらに光量が増え、パルスの重なりの発生頻度が増えて いくと出力パルス数はだんだん頭打ちとなり、やがて減少に転じ、 最後は0となります。 カウントリニアリティは、理論値に比べてカ ウント値が10 %損失するところで規定しています。 カウントリニアリティを大きく超えた光量が入射した場合、過大光 入射を示す信号 (+4.0 V)が出力されます。 TPMOB0217JB 103 -80 -70 -60 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 104 105 106 107 108 カウント数 (s-1₎ 計数誤差 (%) 実測値 補正値 直線性の補正式 N M t : 真の計数値 (s-1) : 実測した計数値 (s-1) : パルスペア分解能 (s) N = M 1-Mt 時間 (4 ns/div.) 出力パルス高さ (1 V/div .) 10 ns 10 ns 無負荷 無負抵抗 50 Ω 103 103 104 105 106 107 108 109 1010 104 105 106 107 108 相対入射光 カウント数 (s -1) 109 1010 1011 1012 過大光検出出力 出力カウント +4 V 0 V 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 0.1 10000 100000 1000 100 10 1 温度 (°C) ダークカウント (s -1) H12406-20 H12406-01 H12406

12

■

外形寸法図

（単位: mm）

■ H12402シリーズ

■ H12400シリーズ

マイクロPMTアッセンブリ

マイクロPMTモジュール

マイクロPMTモジュール

■ H12403シリーズ

TPMOA0083JD TPMOA0084JD TPMHA0590JD 17 ± 0.25 2.2 ± 0.2 4 ± 0.25 7.2 ± 0.25 19 ± 0.25 A 18.6 ± 0.1 36 ± 2 22 ± 0.5 21 ± 0.25 15 ± 0.5 6 ± 0.5 13 ± 0.1 8 ± 0.5 4 × M1.4 深さ1.5 固定用ネジ穴 電圧分割回路 入射窓部 フレキシブル プリント基板 SMAコネクタ 同軸ケーブル 180 ± 10 -HV AWG26 紫 500 ± 10 GND 0.2SQ 黒 500 ± 10 ABSケース 4.3 ± 0.2 5.5 ± 0.2 Dy1 Dy2 R2 Dy3 R3 Dy4 R4 Dy5 R5 Dy6 R6 Dy7 R7 Dy8 R8 Dy9 R9 Dy10 R10 Dy11 R11 R1 -HV GND C1 K GND フレキシブル プリント基板 信号出力 : SMAコネクタ GND GND P C2 C1 C2, C3, C4 R1, R12 R2, R11 R3 to R10 R13 : 1 nF : 22 nF : 1 MΩ : 680 kΩ : 470 kΩ : 2 MΩ Dy12 R12 C3 R13 C4 22 ± 0.5 34 ± 0.5 14 ± 0.1 12 オプション取り付け用ネジ穴 （4 × M2 貫通） 8.0 14 ± 0.1 4.8 ± 0.2 10.2 マイクロPMTアッセンブリ 3 ± 0.2 オプティカルブロック接続用アダプタ接続時 * * オプティカルブロック接続用アダプタは付属品です。 低電圧入力 (+5 V) GND 基準電圧出力 (+1.2 V) コントロール電圧入力 サフィックスなし (+0.5 V ∼ +1.0 V) -01, -20 (+0.5 V ∼ +1.1 V) 信号出力 : UL1430 AWG26 (赤) : UL1430 AWG26 (黒) : UL1430 AWG26 (青) : UL1430 AWG26 (白) : RG-174/U 質量: 42 g 12 ± 0.25 光電面 (3 × 1 MIN.) 固定用ネジ穴 4 × M2 深さ4 ケーブル 12.5 ± 0.25 34 ± 0.1 2 38 ± 0.35 450 ± 20 入射窓部 2 × M1.4 深さ1.5 13 ± 0.1 26 ± 0.1 30 ± 0.25 低電圧入力 (+5 V) GND 基準電圧出力 (+1.2 V) コントロール電圧入力 サフィックスなし (+0.5 V ∼ +1.0 V) -01, -20 (+0.5 V ∼ +1.1 V) 信号出力 : UL1430 AWG26 (赤) : UL1430 AWG26 (黒) : UL1430 AWG26 (青) : UL1430 AWG26 (白) : RG-174/U 質量: 52 g 固定用ネジ穴 4 × M2 深さ4 入射窓部 ケーブル 光電面 (3 × 1 MIN.) 11 ± 0.1 34 ± 0.35 450 ± 20 15 ± 0.25 34 ± 0.1 2 38 ± 0.35 13 ± 0.1

13

マイクロPMTモジュール

■ H12405シリーズ

■ H12404シリーズ

■ H14066

マイクロPMTモジュール

マイクロPMTモジュール

TPMOA0109JA TPMOA0110JA 1GND 2低電圧入力 (+5 V) 3GND 4基準電圧出力 (+1.2 V) 5コントロール電圧入力 (+0.5 V ∼ +1.0 V) 6無接続 7信号出力 8信号GND 質量: 10 g 8.0 ± 0.1 8.0 ± 0.1 8.5 ± 0.1 8.5 ± 0.1 20.0 ± 0.2 11.0 ± 0.2 4 × 2.54 28.0 ± 0.2 13.5 ± 0.1 24.0 ± 0.1 光電面 (4 × 1 MIN.) 固定用ネジ穴 4 × M2 深さ 3.5 2 × M1.4 深さ 3.5 R0.8 8 × 1 4.0 ± 0.1 7.62 7.62 15.24 ± 0.1 6.38 ± 0.20 2.54 _{8 1} 7 5 6 432 TPMOA0108JA 低電圧入力 (+5 V) 低電圧入力 (-5 V) GND 基準電圧出力 (+1.2 V) コントロール電圧入力 サフィックスなし (+0.5 V ∼ +1.0 V) -01, -20 (+0.5 V ∼ +1.1 V) 信号出力 : UL1430 AWG26 (赤) : UL1430 AWG26 (緑) : UL1430 AWG26 (黒) : UL1430 AWG26 (青) : UL1430 AWG26 (白) : RG-174/U 質量: 44 g 12 ± 0.25 光電面 (3 × 1 MIN.) 固定用ネジ穴 4 × M2 深さ4 ケーブル 12.5 ± 0.25 34 ± 0.1 2 38 ± 0.35 450 ± 20 入射窓部 2 × M1.4 深さ1.5 13 ± 0.1 26 ± 0.1 30 ± 0.25 低電圧入力 (+5 V) 低電圧入力 (-5 V) GND 基準電圧出力 (+1.2 V) コントロール電圧入力 サフィックスなし (+0.5 V ∼ +1.0 V) -01, -20 (+0.5 V ∼ +1.1 V) 信号出力 : UL1430 AWG26 (赤) : UL1430 AWG26 (緑) : UL1430 AWG26 (黒) : UL1430 AWG26 (青) : UL1430 AWG26 (白) : RG-174/U 質量: 54 g 固定用ネジ穴 4 × M2 深さ4 入射窓部 ケーブル 光電面 (3 × 1 MIN.) 11 ± 0.1 34 ± 0.35 450 ± 20 15 ± 0.25 34 ± 0.1 2 38 ± 0.35 13 ± 0.1 1.4 3.18 12.6 4 11.6 光電面有効エリア 4 × 1 4 × R0.5 樹脂カバー ■入射窓部 ■断面図 0.5 0.5 マイクロPMT 光電面 入射窓 金属ケース 樹脂カバー 0.1 ■入射窓部 ■断面図 光電面有効エリア 3 × 1 MIN. 1.4 4 マイクロPMT 光電面 入射窓 0.5 0.5 パッケージ C0.3 H14066入力部 H12402/H12403/H12404/H12405入力部 TPMHA0590JC

14

■

外形寸法図

（単位: mm）

■

オプション: 光ファイバアダプタ（別売）

マイクロPMTフォトンカウンティングヘッド

■ H12406シリーズ

●E13561（FCタイプ） * E13561およびE13562はH12402/H12404/H12406シリーズ専用、E13563およびE13564はH12403/H12405シリーズ専用のオプションになります。 ●E13562（SMAタイプ） ●E13563（FCタイプ） ●E13564（SMAタイプ）

■入射窓部

■断面図

TPMHA0590JC TPMOA0091JC TACCA0338JA TACCA0339JA

光電面有効エリア

3 × 1 MIN.

1.4

4

マイクロPMT 光電面 入射窓 0.5 0.5 パッケージ C0.3 5.5 3.5 3.5 4.9 +0 -0 .5 26 ± 0.1 30 12.5 ± 0.1 34 ± 0.1 2 38 4 × 2.2 （M2ネジ取付用*） 1.5 _{ゴムシート} * 取付用M2ネジ4本付属 質量: 17 g 2.6 3.5 10.7 5.0 +0 -0 .5 1.5 26 ± 0.1 30 12.5 ± 0.1 34 ± 0.1 * 取付用M2ネジ4本付属 2 38 4 × 2.2 （M2ネジ取付用*） ゴムシート 質量: 15 g 13.0 ± 0.1 34.0 ± 0.1 2 38 11.0 ± 0.1 3.5 3.5 5.5 15 1.5 4.9+0 - 0.5 ゴムシート 4 × 2.2 （M2ネジ取付用*） * 取付用M2ネジ4本付属 質量: 12 g 13.0 ± 0.1 34.0 ± 0.1 2 38 11.0 ± 0.1 3.5 2.6 10.7 15 1.5 5.0+0 - 0.5 ゴムシート 4 × 2.2 （M2ネジ取付用*） * 取付用M2ネジ4本付属 質量: 10 g 質量: 46 g 15 ± 0.25 光電面 (3 × 1 MIN.) 固定用ネジ穴 4 × M2 深さ4 ケーブル 12.5 ± 0.25 34 ± 0.1 2 38 ± 0.35 450 ± 20 入射窓部 2 × M1.4 深さ1.5 13 ± 0.1 26 ± 0.1 30 ± 0.25 低電圧入力 (+5 V) GND 過大光検出出力 信号出力 : UL1430 AWG26（赤） : UL1430 AWG26（黒） : UL1430 AWG26（青） : RG-174/U

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関連製品

入力電圧 入力電流 1 特性保証出力電圧範囲 2 出力電流 入力変動率（±0.5 Vの入力変動に対して）13 負荷変動率（負荷0 % ∼ 100 %の変化に対して） 1 リップル / ノイズ (p-p) 13 出力電圧応答（0 %/99 %、上昇時間） 13 温度係数 13 動作周囲温度 13 質量 外形寸法 (W × H × D) 保護機能 標準値 標準値 最大値 標準値 標準値 標準値 標準値 標準値 無負荷 全負荷 +5.0 ± 0.5 60 230 0.6 ±0.02 ±0.01 50 ±0.01 0 ∼ +50 7.7 15 × 18 × 15 入力電圧逆入力、外部コントロール電圧逆入力、外部コントロール電圧過大入力、 出力連続過負荷、出力連続短絡およびアークに対して保護 -200 ∼ -1200 120 300 120 300 +200 ∼ +1200 項目 C10940-03 C10940-03-R2* C10940-53 C10940-53-R2* V mA V mA % % mV ms %/°C °C g mm — 単位 1: 最大電圧出力時 2: 保証された出力電圧範囲を超えて使用された場合、正常に動作しない可能性があります。 3: 最大電流出力時 4: 結露なきこと * -R2タイプ: RS-485コントロール

0.7 W 出力 1200 V / 0.6 ｍA

0.4 W 出力 1100 V / 0.4 ｍA

小型・高性能を主眼として開発されたオンボード実装型の安定化回路付高圧電源モジュールで、マイクロ PMTアッセンブリH12400シリーズに最適な電源です。高性能・低消費電力を実現し、各種保護機能も搭載 しています。

■

高圧電源 C10940シリーズ

入力電圧 入力電流 1 特性保証出力電圧範囲 2 出力電流 入力変動率（±0.5 Vの入力変動に対して）13 負荷変動率（負荷0 % ∼ 100 %の変化に対して） 1 リップル / ノイズ (p-p) 13 出力電圧応答（0 %/99 %、上昇時間） 温度係数 13 動作周囲温度 13 質量 外形寸法 (W × H × D) 保護機能 標準値 最大値 標準値 標準値 標準値 標準値 +3.0 ∼ +5.0 200 -200 ∼ -1100 0.4 ±0.01 ±0.01 100 150 ±0.01 0 ∼ +50 4 15 × 7 × 15 出力短絡保護、過負荷保護、外部制御電圧過大入力保護 項目 値 V mA V mA % % mV ms %/°C °C g mm — 単位 1: 最大電圧出力時 2: 保証された出力電圧範囲を超えて使用された場合、正常に動作しない可能性があります。 3: 最大電流出力時 4: 結露なきこと 表面実装型の光電子増倍管用安定化回路付き高圧電源モジュールです。マイクロPMTアッセンブリH12400 シリーズに最適な電源で、リフロー実装が可能です。

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高圧電源 C14210-14

●本資料の記載内容は平成30年6月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。 ●関連製品の個別カタログは別途お問い合わせください。 ※   は、浜松ホトニクス（株）の登録商標です。 TPMZ1019J05 JUN. 2018 IP ▲マイクロPMTアッセンブリ  H12400シリーズ ▲（後）C7319、C9663、C6438  （前）C11184、C5594-44 ▲C10709 ▲マイクロPMTモジュール  H12402、H12403シリーズ ▲マイクロPMTフォトンカウンティングヘッド  H12406シリーズ ▲フォトンカウンティング  ユニット C9744 ▲カウンティングユニット  C8855-01 PC

関連製品

USB

WEB SITE www.hamamatsu.com

□電子管営業推進部  〒438-0193 静岡県磐田市下神増314-5 TEL (0539)62-5245 FAX (0539)62-2205 □仙台営業所  〒980-0021 仙台市青葉区中央3-2-1（青葉通プラザ 11階） □筑波営業所  〒305-0817 つくば市研究学園5-12-10（研究学園スクウェアビル7階） □東京営業所  〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-8-21（虎ノ門33森ビル5階） □中部営業所  〒430-8587 浜松市中区砂山町325-6（日本生命浜松駅前ビル） □大阪営業所  〒541-0052 大阪市中央区安土町2-3-13（大阪国際ビル10階） □西日本営業所  〒812-0013 福岡市博多区博多駅東1-13-6（竹山博多ビル5階） TEL (022)267-0121 FAX (022)267-0135 TEL (029)848-5080 FAX (029)855-1135 TEL (03)3436-0491 FAX (03)3433-6997 TEL (053)459-1112 FAX (053)459-1114 TEL (06)6271-0441 FAX (06)6271-0450 TEL (092)482-0390 FAX (092)482-0550 光電子増倍管モジュール動作用の電源ユニットです。入力電圧、コントロール電圧共にこの一台で供給 することができます。マイクロPMTモジュールH12402, H12403, H12404, H12405, H14066シリー ズの電源として最適です。

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光電子増倍管モジュール用電源C10709

光電子増倍管からの信号電流を入力し、電圧に変換して出力するアンプユニットです。用途に応じて、 周波数帯域・電流電圧変換係数が最適なものをお選びください。

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フォトンカウンティング計測構築例