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保有特許一覧|研究・産学連携|豊田工業大学

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Academic year: 2018

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(1)

10 ( 57) 【要約】

【課題】熱伝導率を抑制することにより無次元性能指数 を実用的な熱電変換特性を持つ程度にまで上昇させるこ とが可能な熱電変換材料を提供する。

【解決手段】熱電変換材料11,12は、Mnと、Si と、を含み、Mn

XSiYの組成式で表される。この組

(2)

10

20

30

40

50 【 特 許 請 求 の 範 囲 】

【 請 求 項 1 】

  M n と 、 S i と 、 を 含 み 、   M n

X S iY の 組 成 式 で 表 さ れ 、

  0 . 9 0 ≦ X ≦ 1 . 1 0 以 下 お よ び 0 . 7 5 ≦ Y ≦ 5 . 7 0 が 満 た さ れ 、   非 晶 質 相 を 含 む 組 織 構 造 を 有 す る 、 熱 電 変 換 材 料 。

【 請 求 項 2 】

  A l 、 F e 、 C r 、 G e お よ び S n か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 を さ ら に 含 み 、

  ( M n

α F eβ C rγ )X ( S iδ G eε S nζ )Y A lZ の 組 成 式 で 表 さ れ 、

  0 . 4 0 ≦ α ≦ 1 . 0 0 、 0 . 0 0 ≦ β ≦ 0 . 3 0 、 0 . 0 0 ≦ γ ≦ 0 . 3 0 、 0 . 5 0 ≦ δ ≦ 1 . 0 0 、 0 . 0 0 ≦ ε ≦ 0 . 5 0 、 0 . 0 0 ≦ ζ ≦ 0 . 1 0 、 α + β + γ = 1 お よ び δ + ε + ζ = 1 が 満 た さ れ 、

  さ ら に 、 0 . 0 0 ≦ Z ≦ 3 . 6 7 、 1 . 5 0 ≦ Y + Z ≦ 5 . 7 0 お よ び Y ≧ 0 . 4 3 Z が 満 た さ れ る 、 請 求 項 1 に 記 載 の 熱 電 変 換 材 料 。

【 請 求 項 3 】

  少 な く と も A l を 含 む A l 、 F e 、 C r 、 G e お よ び S n か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 を さ ら に 含 み 、

  ( M n

α F eβ C rγ )X ( S iδ G eε S nζ )Y A lZ の 組 成 式 で 表 さ れ 、

  0 . 4 0 ≦ α ≦ 1 . 0 0 、 0 . 0 0 ≦ β ≦ 0 . 3 0 、 0 . 0 0 ≦ γ ≦ 0 . 3 0 、 0 . 5 0 ≦ δ ≦ 1 . 0 0 、 0 . 0 0 ≦ ε ≦ 0 . 5 0 、 0 . 0 0 ≦ ζ ≦ 0 . 1 0 、 α + β + γ = 1 お よ び δ + ε + ζ = 1 が 満 た さ れ 、

  さ ら に 、 0 . 2 5 ≦ Z ≦ 3 . 6 7 、 1 . 5 0 ≦ Y + Z ≦ 5 . 7 0 お よ び 1 . 0 0 Z ≦ Y ≦ 5 . 0 0 Z が 満 た さ れ る 、 請 求 項 1 に 記 載 の 熱 電 変 換 材 料 。

【 請 求 項 4 】

  前 記 組 織 構 造 は 、 粒 径 が 2 5 n m 以 下 の 結 晶 か ら な る ナ ノ 結 晶 相 を さ ら に 含 む 、 請 求 項 1 ∼ 3 の い ず れ か 1 項 に 記 載 の 熱 電 変 換 材 料 。

【 請 求 項 5 】

  前 記 ナ ノ 結 晶 相 は 、 粒 径 が 5 n m 以 下 の 結 晶 か ら な る 、 請 求 項 4 に 記 載 の 熱 電 変 換 材 料 。

【 請 求 項 6 】

  C u 、 P お よ び A u か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 を 3 0 a t % 以 下 の 割 合 で さ ら に 含 む 、 請 求 項 4 ま た は 5 に 記 載 の 熱 電 変 換 材 料 。

【 請 求 項 7 】

  融 点 が 5 7 0 ℃ 以 上 9 5 0 ℃ 以 下 で あ る 、 請 求 項 1 ∼ 6 の い ず れ か 1 項 に 記 載 の 熱 電 変 換 材 料 。

【 請 求 項 8 】

  O を 0 . 0 1 a t % 以 上 3 0 a t % 以 下 の 割 合 で さ ら に 含 む 、 請 求 項 1 ∼ 7 の い ず れ か 1 項 に 記 載 の 熱 電 変 換 材 料 。

【 請 求 項 9 】

  熱 電 変 換 材 料 部 と 、

  前 記 熱 電 変 換 材 料 部 に 接 触 し て 配 置 さ れ る 第 1 電 極 と 、

  前 記 熱 電 変 換 材 料 部 に 接 触 し 、 前 記 第 1 電 極 と 離 れ て 配 置 さ れ る 第 2 電 極 と 、 を 備 え 、   前 記 熱 電 変 換 材 料 部 は 、 導 電 型 が p 型 ま た は n 型 と な る よ う に 成 分 組 成 が 調 整 さ れ た 請 求 項 1 ∼ 8 の い ず れ か 1 項 に 記 載 の 熱 電 変 換 材 料 か ら な る 、 熱 電 変 換 素 子 。

【 発 明 の 詳 細 な 説 明 】 【 技 術 分 野 】

【 0 0 0 1 】

(3)

10

20

30

40

50 【 0 0 0 2 】

  近 年 、 石 油 な ど の 化 石 燃 料 に 代 わ る ク リ ー ン な エ ネ ル ギ ー と し て 、 再 生 可 能 エ ネ ル ギ ー が 注 目 さ れ て い る 。 再 生 可 能 エ ネ ル ギ ー に は 、 太 陽 光 、 水 力 お よ び 風 力 を 利 用 し た 発 電 の ほ か 、 温 度 差 を 利 用 し た 熱 電 変 換 に よ る 発 電 が 含 ま れ る 。 熱 電 変 換 に お い て は 、 熱 が 電 気 へ と 直 接 変 換 さ れ る た め 、 変 換 の 際 に 余 分 な 廃 棄 物 が 排 出 さ れ な い 。 ま た 、 熱 電 変 換 は 、 モ ー タ な ど の 駆 動 部 を 必 要 と し な い た め 、 装 置 の メ ン テ ナ ン ス が 容 易 で あ る な ど の 特 長 が あ る 。

【 0 0 0 3 】

  熱 電 変 換 を 実 施 す る た め の 材 料 ( 熱 電 変 換 材 料 ) と し て は 、 B i ( ビ ス マ ス ) − T e ( テ ル ル ) 系 材 料 、 S i ( 珪 素 ) − G e ( ゲ ル マ ニ ウ ム ) 系 材 料 、 F e ( 鉄 ) − S i 系 材 料 、 P b ( 鉛 ) − T e 系 材 料 な ど が 検 討 さ れ て い る 。 こ れ ら の う ち 、 B i − T e 系 材 料 が 現 在 実 用 化 さ れ て い る 。 し か し 、 T e は 希 少 材 料 で あ る た め 、 材 料 コ ス ト が 高 い と い う 問 題 が あ る 。 ま た 、 T e は 毒 性 を 有 す る た め 、 利 用 範 囲 が 限 定 さ れ る と い う 問 題 も あ る 。 【 0 0 0 4 】

  こ の よ う な 問 題 に 対 応 す る た め 、 A l ( ア ル ミ ニ ウ ム ) 、 M n ( マ ン ガ ン ) お よ び S i を 含 む 多 結 晶 体 か ら な る 熱 電 変 換 材 料 が 提 案 さ れ て い る ( た と え ば 、 特 許 文 献 1 お よ び 2 参 照 ) 。

【 先 行 技 術 文 献 】 【 特 許 文 献 】 【 0 0 0 5 】

【 特 許 文 献 1 】 特 開 2 0 1 2 − 1 7 4 8 4 9 号 公 報 【 特 許 文 献 2 】 国 際 公 開 第 2 0 1 4 / 0 3 8 4 1 8 号 【 発 明 の 概 要 】

【 発 明 が 解 決 し よ う と す る 課 題 】 【 0 0 0 6 】

  熱 電 変 換 材 料 の 特 性 ( 熱 電 変 換 特 性 ) は 、 以 下 の 式 ( 1 ) で 定 義 さ れ る 無 次 元 性 能 指 数 ( Z T ) に よ り 評 価 す る こ と が で き る 。

【 0 0 0 7 】   Z T = S

σ T / κ ・ ・ ・ ( 1 )

  式 ( 1 ) に お い て 、 Z は 性 能 指 数 、 T は 絶 対 温 度 、 S は ゼ ー ベ ッ ク 係 数 、 σ は 導 電 率 、 κ は 熱 伝 導 率 を 表 す 。 式 ( 1 ) か ら 明 ら か な よ う に 、 無 次 元 性 能 指 数 は 、 ゼ ー ベ ッ ク 係 数 の 絶 対 値 お よ び 導 電 率 が 大 き い ほ ど 大 き く な る 。 ま た 、 無 次 元 性 能 指 数 は 、 熱 伝 導 率 が 小 さ い ほ ど 大 き く な る 。 無 次 元 性 能 指 数 が 大 き い 材 料 ほ ど 、 熱 電 変 換 に お け る 変 換 効 率 が 高 い 。 そ の た め 、 無 次 元 性 能 指 数 が 大 き い 材 料 ほ ど 、 熱 電 変 換 特 性 に 優 れ た 材 料 で あ る と い え る 。

【 0 0 0 8 】

  上 記 特 許 文 献 1 お よ び 2 に 開 示 さ れ た 熱 電 変 換 材 料 は 、 多 結 晶 体 で あ る た め 熱 伝 導 率 が 高 く な る 。 そ の た め 、 上 記 特 許 文 献 1 お よ び 2 に 開 示 さ れ た 熱 電 変 換 材 料 で は 、 無 次 元 性 能 指 数 を 実 用 的 な 熱 電 変 換 特 性 を 持 つ 程 度 に ま で 上 昇 さ せ る こ と が 難 し い と い う 問 題 が あ る 。 そ こ で 、 熱 伝 導 率 を 抑 制 す る こ と に よ り 無 次 元 性 能 指 数 を 実 用 的 な 熱 電 変 換 特 性 を 持 つ 程 度 に ま で 上 昇 さ せ る こ と が 可 能 な 熱 電 変 換 材 料 を 提 供 す る こ と を 目 的 の 1 つ と す る 。 【 課 題 を 解 決 す る た め の 手 段 】

【 0 0 0 9 】

  本 発 明 に 従 っ た 熱 電 変 換 材 料 は 、 M n と 、 S i と 、 を 含 み 、 M n

X S iY の 組 成 式 で 表

さ れ る 。 こ の 組 成 式 に お い て 0 . 9 0 ≦ X ≦ 1 . 1 0 以 下 お よ び 0 . 7 5 ≦ Y ≦ 5 . 7 0 が 満 た さ れ る 。 そ し て 、 本 発 明 に 従 っ た 熱 電 変 換 材 料 は 、 非 晶 質 相 を 含 む 組 織 構 造 を 有 す る 。

【 発 明 の 効 果 】 【 0 0 1 0 】

(4)

10

20

30

40

50 熱 電 変 換 特 性 を 持 つ 程 度 に ま で 上 昇 さ せ る こ と が 可 能 な 熱 電 変 換 材 料 を 提 供 す る こ と が で

き る 。

【 図 面 の 簡 単 な 説 明 】 【 0 0 1 1 】

【 図 1 】 熱 電 変 換 素 子 の 構 造 の 一 例 を 示 す 概 略 図 で あ る 。 【 図 2 】 実 施 例 1 の X R D 分 析 の 結 果 を 示 す 図 で あ る 。 【 図 3 】 示 差 熱 分 析 の 結 果 を 示 す 図 で あ る 。

【 図 4 】 実 施 例 2 の X R D 分 析 の 結 果 を 示 す 図 で あ る 。 【 発 明 を 実 施 す る た め の 形 態 】

【 0 0 1 2 】

  [ 本 願 発 明 の 実 施 形 態 の 説 明 ]

  最 初 に 本 願 発 明 の 実 施 態 様 を 列 記 し て 説 明 す る 。 本 願 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 M n と 、 S i と 、 を 含 み 、 M n

X S iY の 組 成 式 で 表 さ れ る 。 こ の 組 成 式 に お い て 0 . 9 0 ≦ X ≦ 1 .

1 0 以 下 お よ び 0 . 7 5 ≦ Y ≦ 5 . 7 0 が 満 た さ れ る 。 そ し て 、 本 願 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 非 晶 質 相 を 含 む 組 織 構 造 を 有 す る 。

【 0 0 1 3 】

  本 発 明 者 ら は 、 熱 電 変 換 材 料 に お い て 、 熱 伝 導 率 を 抑 制 す る こ と に よ り 無 次 元 性 能 指 数 を 実 用 的 な 熱 電 変 換 特 性 を 持 つ 程 度 に ま で 上 昇 さ せ る 方 策 に つ い て 検 討 を 行 っ た 。 そ の 結 果 、 M n − S i 系 材 料 に お い て 、 組 織 構 造 を 、 非 晶 質 相 を 含 む も の と す る こ と に よ り 、 成 分 組 成 を 維 持 し つ つ 熱 伝 導 率 を 大 幅 に 低 減 で き る こ と が 明 ら か と な っ た 。 ま た 、 上 記 X お よ び Y の 範 囲 の 成 分 組 成 を 採 用 す る こ と に よ り 、 非 晶 質 相 の 形 成 が 比 較 的 容 易 と な る 。 こ の よ う に 、 本 願 の 熱 電 変 換 材 料 に よ れ ば 、 熱 伝 導 率 を 抑 制 す る こ と に よ り 無 次 元 性 能 指 数 を 実 用 的 な 熱 電 変 換 特 性 を 持 つ 程 度 に ま で 上 昇 さ せ る こ と が で き る 。

【 0 0 1 4 】

  上 記 組 成 式 に お い て 、 A は 0 . 9 5 以 上 で あ っ て も よ い 。 ま た 、 上 記 組 成 式 に お い て 、 A は 1 . 0 5 以 下 で あ っ て も よ い 。 さ ら に 、 上 記 組 成 式 に お い て 、 B は 1 . 5 0 以 上 で あ っ て も よ い 。 ま た 、 上 記 組 成 式 に お い て 、 B は 2 . 3 3 以 下 で あ っ て も よ い 。

【 0 0 1 5 】

  上 記 熱 電 変 換 材 料 は 、 A l 、 F e 、 C r ( ク ロ ム ) 、 G e お よ び S n ( ス ズ ) か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 を さ ら に 含 み 、 ( M n

α F eβ C rγ )X ( S iδ G e ε S nζ )Y A lZ の 組 成 式 で 表 さ れ る も の で あ っ て も よ い 。 こ の 組 成 式 に お い て 、 0 .

4 0 ≦ α ≦ 1 . 0 0 、 0 . 0 0 ≦ β ≦ 0 . 3 0 、 0 . 0 0 ≦ γ ≦ 0 . 3 0 、 0 . 5 0 ≦ δ ≦ 1 . 0 0 、 0 . 0 0 ≦ ε ≦ 0 . 5 0 、 0 . 0 0 ≦ ζ ≦ 0 . 1 0 、 α + β + γ = 1 お よ び δ + ε + ζ = 1 が 満 た さ れ て も よ い 。 さ ら に 、 こ の 組 成 式 に お い て 、 0 . 0 0 ≦ Z ≦ 3 . 6 7 、 1 . 5 0 ≦ Y + Z ≦ 5 . 7 0 お よ び Y ≧ 0 . 4 3 Z が 満 た さ れ て も よ い 。

【 0 0 1 6 】

  上 記 熱 電 変 換 材 料 に お い て 、 A l 、 F e 、 C r 、 G e お よ び S n か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 が 添 加 さ れ て も 、 同 様 の 効 果 を 奏 す る 熱 電 変 換 材 料 が 得 ら れ る 。 こ の と き 、 F e お よ び C r に つ い て は 、 こ れ ら の 元 素 で M n を 置 換 す る よ う に 添 加 さ れ る 。 具 体 的 に は 上 記 α 、 β お よ び γ の 範 囲 お よ び 関 係 が 満 た さ れ る よ う に F e お よ び C r の 少 な く と も 一 方 が 添 加 さ れ て も よ い 。 ま た 、 G e お よ び S n に つ い て は 、 こ れ ら の 元 素 で S i を 置 換 す る よ う に 添 加 さ れ る 。 具 体 的 に は 、 上 記 δ 、 ε お よ び ζ の 範 囲 お よ び 関 係 が 満 た さ れ る よ う に G e お よ び S n の 少 な く と も 一 方 が 添 加 さ れ て も よ い 。 A l に つ い て は 、 上 記 Z の 範 囲 に お い て 添 加 さ れ て も よ い 。 こ の よ う な 追 加 的 元 素 が 添 加 さ れ る こ と に よ り 、 非 晶 質 相 の 形 成 が 一 層 容 易 と な る 。

【 0 0 1 7 】

  上 記 熱 電 変 換 材 料 は 、 少 な く と も A l を 含 む A l 、 F e 、 C r 、 G e お よ び S n か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 を さ ら に 含 み 、 ( M n

α F eβ C rγ )X ( S iδ G

ε S nζ )Y A lZ の 組 成 式 で 表 さ れ る も の で あ っ て も よ い 。 こ の 組 成 式 に お い て 、 0

(5)

10

20

30

40

50 δ ≦ 1 . 0 0 、 0 . 0 0 ≦ ε ≦ 0 . 5 0 、 0 . 0 0 ≦ ζ ≦ 0 . 1 0 、 α + β + γ = 1 お よ

び δ + ε + ζ = 1 が 満 た さ れ て も よ い 。 さ ら に 、 こ の 組 成 式 に お い て 、 0 . 2 5 ≦ Z ≦ 3 . 6 7 、 1 . 5 0 ≦ Y + Z ≦ 5 . 7 0 お よ び 1 . 0 0 Z ≦ Y ≦ 5 . 0 0 Z が 満 た さ れ て も よ い 。

【 0 0 1 8 】

  上 記 熱 電 変 換 材 料 に お い て 、 少 な く と も A l を 含 む A l 、 F e 、 C r 、 G e お よ び S n か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 が 添 加 さ れ て も 、 同 様 の 効 果 を 奏 す る 熱 電 変 換 材 料 が 得 ら れ る 。 こ の と き 、 F e お よ び C r に つ い て は 、 こ れ ら の 元 素 で M n を 置 換 す る よ う に 添 加 さ れ る 。 具 体 的 に は 上 記 α 、 β お よ び γ の 範 囲 お よ び 関 係 が 満 た さ れ る よ う に F e お よ び C r の 少 な く と も 一 方 が 添 加 さ れ て も よ い 。 ま た 、 G e お よ び S n に つ い て は 、 こ れ ら の 元 素 で S i を 置 換 す る よ う に 添 加 さ れ る 。 具 体 的 に は 、 上 記 δ 、 ε お よ び ζ の 範 囲 お よ び 関 係 が 満 た さ れ る よ う に G e お よ び S n の 少 な く と も 一 方 が 添 加 さ れ て も よ い 。 A l に つ い て は 、 上 記 Z の 範 囲 に お い て 添 加 さ れ て も よ い 。 こ の よ う な 追 加 的 元 素 が 添 加 さ れ る こ と に よ り 、 非 晶 質 相 の 形 成 が 一 層 容 易 と な る 。

【 0 0 1 9 】

  上 記 熱 電 変 換 材 料 に お い て 、 上 記 組 織 構 造 は 、 粒 径 が 2 5 n m 以 下 の 結 晶 か ら な る ナ ノ 結 晶 相 を さ ら に 含 ん で い て も よ い 。

【 0 0 2 0 】

  こ の よ う に す る こ と に よ り 、 熱 伝 導 率 の 上 昇 を わ ず か な 範 囲 に 留 め つ つ 、 ゼ ー ベ ッ ク 係 数 を 増 大 さ せ る こ と が で き る 。 そ の 結 果 、 無 次 元 性 能 指 数 が 上 昇 し 、 熱 電 変 換 材 料 の 熱 電 変 換 特 性 を 一 層 向 上 さ せ る こ と が で き る 。

【 0 0 2 1 】

  上 記 熱 電 変 換 材 料 に お い て 、 上 記 ナ ノ 結 晶 相 は 、 粒 径 が 5 n m 以 下 の 結 晶 か ら な っ て い て も よ い 。 こ の よ う に す る こ と に よ り 、 ゼ ー ベ ッ ク 係 数 を よ り 有 効 に 増 大 さ せ る こ と が で き る 。 そ の 結 果 、 無 次 元 性 能 指 数 が 上 昇 し 、 熱 電 変 換 材 料 の 熱 電 変 換 特 性 を 一 層 向 上 さ せ る こ と が で き る 。

【 0 0 2 2 】

  上 記 熱 電 変 換 材 料 は 、 C u ( 銅 ) 、 P ( リ ン ) お よ び A u ( 金 ) か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 を 3 0 a t % 以 下 の 割 合 で さ ら に 含 ん で い て も よ い 。 こ の よ う に す る こ と に よ り 、 ナ ノ 結 晶 相 を 構 成 す る 結 晶 の 粒 径 を 抑 制 す る こ と が 容 易 と な る 。 上 記 熱 電 変 換 材 料 は 、 上 記 追 加 的 添 加 元 素 を 0 . 0 1 a t % 以 上 の 割 合 で 含 ん で い て も よ い 。 上 記 熱 電 変 換 材 料 は 、 上 記 追 加 的 添 加 元 素 を 1 0 a t % 以 下 の 割 合 で 含 ん で い て も よ く 、 1 a t % 以 下 の 割 合 で 含 ん で い て も よ い 。

【 0 0 2 3 】

  上 記 熱 電 変 換 材 料 に お い て 、 融 点 が 5 7 0 ℃ 以 上 9 5 0 ℃ 以 下 で あ っ て も よ い 。 融 点 を こ の よ う な 範 囲 と す る こ と に よ り 、 非 晶 質 相 を 形 成 す る こ と が 容 易 と な る 。

【 0 0 2 4 】

  上 記 熱 電 変 換 材 料 は 、 O ( 酸 素 ) を 0 . 0 1 a t % 以 上 3 0 a t % 以 下 の 割 合 で さ ら に 含 ん で い て も よ い 。 適 量 の O が 導 入 さ れ る こ と に よ り 、 組 織 構 造 中 に 高 い ポ テ ン シ ャ ル バ リ ア と し て 機 能 す る 酸 化 物 相 が 適 量 形 成 さ れ る 。 こ れ に よ り 、 キ ャ リ ア の 閉 じ 込 め 効 果 が 得 ら れ る 。 そ の 結 果 、 量 子 効 果 に よ り ゼ ー ベ ッ ク 係 数 が 上 昇 し 、 無 次 元 性 能 指 数 を 増 大 さ せ る こ と が で き る 。 上 記 熱 電 変 換 材 料 は 、 O を 1 0 a t % 以 下 の 割 合 で 含 ん で い て も よ く 、 1 a t % 以 下 の 割 合 で 含 ん で い て も よ い 。

【 0 0 2 5 】

  本 願 の 熱 電 変 換 素 子 は 、 熱 電 変 換 材 料 部 と 、 熱 電 変 換 材 料 部 に 接 触 し て 配 置 さ れ る 第 1 電 極 と 、 熱 電 変 換 材 料 部 に 接 触 し 、 第 1 電 極 と 離 れ て 配 置 さ れ る 第 2 電 極 と 、 を 備 え る 。 上 記 熱 電 変 換 材 料 部 は 、 導 電 型 が p 型 ま た は n 型 と な る よ う に 成 分 組 成 が 調 整 さ れ た 上 記 熱 電 変 換 材 料 か ら な る 。

【 0 0 2 6 】

(6)

10

20

30

40

50 組 成 が 調 整 さ れ た 上 記 熱 電 変 換 特 性 に 優 れ た 熱 電 変 換 材 料 か ら な る 。 そ の た め 、 本 願 の 熱

電 変 換 素 子 に よ れ ば 、 変 換 効 率 に 優 れ た 熱 電 交 換 素 子 を 提 供 す る こ と が で き る 。 【 0 0 2 7 】

  [ 本 願 発 明 の 実 施 形 態 の 詳 細 ]

  次 に 、 本 発 明 に か か る 熱 電 変 換 材 料 お よ び 熱 電 変 換 素 子 の 一 実 施 の 形 態 を 、 以 下 に 図 面 を 参 照 し つ つ 説 明 す る 。

【 0 0 2 8 】

  ( 実 施 の 形 態 1 )

  図 1 は 、 実 施 の 形 態 1 に お け る 熱 電 変 換 素 子 で あ る π 型 熱 電 変 換 素 子 1 の 構 造 を 示 す 概 略 図 で あ る 。 図 1 を 参 照 し て 、 π 型 熱 電 変 換 素 子 1 は 、 第 1 熱 電 変 換 材 料 部 で あ る p 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 1 と 、 第 2 熱 電 変 換 材 料 部 で あ る n 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 2 と 、 高 温 側 電 極 2 1 と 、 第 1 低 温 側 電 極 2 2 と 、 第 2 低 温 側 電 極 2 3 と 、 配 線 3 1 と を 備 え て い る 。 【 0 0 2 9 】

  p 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 1 は 、 導 電 型 が p 型 と な る よ う に 成 分 組 成 が 調 整 さ れ た 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 か ら な る 。 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 に つ い て は 、 後 述 す る 。 p 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 1 を 構 成 す る 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 に 、 た と え ば 多 数 キ ャ リ ア で あ る p 型 キ ャ リ ア ( 正 孔 ) を 生 成 さ せ る p 型 不 純 物 が ド ー プ さ れ る こ と に よ り 、 p 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 1 の 導 電 型 は p 型 と な っ て い る 。

【 0 0 3 0 】

  n 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 2 は 、 導 電 型 が n 型 と な る よ う に 成 分 組 成 が 調 整 さ れ た 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 か ら な る 。 n 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 2 を 構 成 す る 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 に 、 た と え ば 多 数 キ ャ リ ア で あ る n 型 キ ャ リ ア ( 電 子 ) を 生 成 さ せ る n 型 不 純 物 が ド ー プ さ れ る こ と に よ り 、 n 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 2 の 導 電 型 は n 型 と な っ て い る 。

【 0 0 3 1 】

  p 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 1 と n 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 2 と は 、 間 隔 を お い て 並 べ て 配 置 さ れ る 。 高 温 側 電 極 2 1 は 、 p 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 1 の 一 方 の 端 部 1 1 A か ら n 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 2 の 一 方 の 端 部 1 2 A に ま で 延 在 す る よ う に 配 置 さ れ る 。 高 温 側 電 極 2 1 は 、 p 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 1 の 一 方 の 端 部 1 1 A お よ び n 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 2 の 一 方 の 端 部 1 2 A の 両 方 に 接 触 す る よ う に 配 置 さ れ る 。 高 温 側 電 極 2 1 は 、 p 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 1 の 一 方 の 端 部 1 1 A と n 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 2 の 一 方 の 端 部 1 2 A と を 接 続 す る よ う に 配 置 さ れ る 。 高 温 側 電 極 2 1 は 、 導 電 材 料 、 た と え ば 金 属 か ら な っ て い る 。 高 温 側 電 極 2 1 は 、 p 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 1 お よ び n 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 2 に オ ー ミ ッ ク 接 触 し て い る 。 【 0 0 3 2 】

  第 1 低 温 側 電 極 2 2 は 、 p 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 1 の 他 方 の 端 部 1 1 B に 接 触 し て 配 置 さ れ る 。 第 1 低 温 側 電 極 2 2 は 、 高 温 側 電 極 2 1 と 離 れ て 配 置 さ れ る 。 第 1 低 温 側 電 極 2 2 は 、 導 電 材 料 、 た と え ば 金 属 か ら な っ て い る 。 第 1 低 温 側 電 極 2 2 は 、 p 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 1 に オ ー ミ ッ ク 接 触 し て い る 。

【 0 0 3 3 】

  第 2 低 温 側 電 極 2 3 は 、 n 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 2 の 他 方 の 端 部 1 2 B に 接 触 し て 配 置 さ れ る 。 第 2 低 温 側 電 極 2 3 は 、 高 温 側 電 極 2 1 お よ び 第 1 低 温 側 電 極 2 2 と 離 れ て 配 置 さ れ る 。 第 2 低 温 側 電 極 2 3 は 、 導 電 材 料 、 た と え ば 金 属 か ら な っ て い る 。 第 2 低 温 側 電 極 2 3 は 、 n 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 2 に オ ー ミ ッ ク 接 触 し て い る 。

【 0 0 3 4 】

  配 線 3 1 は 、 金 属 な ど の 導 電 体 か ら な る 。 配 線 3 1 は 、 第 1 低 温 側 電 極 2 2 と 第 2 低 温 側 電 極 2 3 と を 電 気 的 に 接 続 す る 。

【 0 0 3 5 】

(7)

10

20

30

40

50 か ら 他 方 の 端 部 1 1 B 側 に 向 け て p 型 キ ャ リ ア ( 正 孔 ) が 移 動 す る 。 こ の と き 、 n 型 熱 電

変 換 材 料 部 1 2 に お い て は 、 一 方 の 端 部 1 2 A 側 か ら 他 方 の 端 部 1 2 B 側 に 向 け て n 型 キ ャ リ ア ( 電 子 ) が 移 動 す る 。 そ の 結 果 、 配 線 3 1 に は 、 矢 印 α の 向 き に 電 流 が 流 れ る 。 こ の よ う に し て 、 π 型 熱 電 変 換 素 子 1 に お い て 、 温 度 差 を 利 用 し た 熱 電 変 換 に よ る 発 電 が 達 成 さ れ る 。

【 0 0 3 6 】

  そ し て 、 p 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 1 お よ び n 型 熱 電 変 換 材 料 部 1 2 を 構 成 す る 材 料 と し て 、 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 が 採 用 さ れ る 。 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 M n と 、 S i と 、 を 含 み 、 M nX S iY の 組 成 式 で 表 さ れ る 。 こ の 組 成 式 に お い て 0 . 9 0 ≦ X ≦

1 . 1 0 以 下 お よ び 0 . 7 5 ≦ Y ≦ 5 . 7 0 が 満 た さ れ る 。 そ し て 、 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 非 晶 質 相 を 含 む 組 織 構 造 を 有 す る 。

【 0 0 3 7 】

  実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 M n − S i 系 材 料 で あ っ て 、 組 織 構 造 が 非 晶 質 相 を 含 む も の と な っ て い る 。 そ の た め 、 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 の 熱 伝 導 率 は 低 減 さ れ て い る 。 ま た 、 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 に お い て は 、 非 晶 質 相 の 形 成 が 比 較 的 容 易 な 上 記 X お よ び Y の 範 囲 の 成 分 組 成 が 採 用 さ れ て い る 。 そ の 結 果 、 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 熱 伝 導 率 を 抑 制 す る こ と に よ り 無 次 元 性 能 指 数 を 実 用 的 な 熱 電 変 換 特 性 を 持 つ 程 度 に ま で 上 昇 さ せ る こ と が 可 能 な 材 料 と な っ て い る 。

【 0 0 3 8 】

  上 記 組 成 式 に お い て 、 0 . 9 5 ≦ X ≦ 1 . 0 5 が 満 た さ れ る こ と が 好 ま し い 。 ま た 、 上 記 組 成 式 に お い て 、 1 . 5 0 ≦ Y ≦ 2 . 3 3 が 満 た さ れ る こ と が 好 ま し い 。

【 0 0 3 9 】

  実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 に お い て 、 上 記 組 織 構 造 は 、 粒 径 が 2 5 n m 以 下 の 結 晶 か ら な る ナ ノ 結 晶 相 を さ ら に 含 ん で い る こ と が 好 ま し い 。 こ の よ う に す る こ と に よ り 、 熱 伝 導 率 の 上 昇 を わ ず か な 範 囲 に 留 め つ つ 、 ゼ ー ベ ッ ク 係 数 を 増 大 さ せ る こ と が で き る 。 そ の 結 果 、 無 次 元 性 能 指 数 が 上 昇 し 、 熱 電 変 換 材 料 の 熱 電 変 換 特 性 を 一 層 向 上 さ せ る こ と が で き る 。

【 0 0 4 0 】

  実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 に お い て 、 上 記 ナ ノ 結 晶 相 は 、 粒 径 が 5 n m 以 下 の 結 晶 か ら な っ て い る こ と が 好 ま し い 。 こ の よ う に す る こ と に よ り 、 ゼ ー ベ ッ ク 係 数 を よ り 有 効 に 増 大 さ せ る こ と が で き る 。 そ の 結 果 、 無 次 元 性 能 指 数 が 上 昇 し 、 熱 電 変 換 材 料 の 熱 電 変 換 特 性 を 一 層 向 上 さ せ る こ と が で き る 。

【 0 0 4 1 】

  上 記 ナ ノ 結 晶 相 を 含 む 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 C u 、 P お よ び A u か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 を 3 0 a t % 以 下 の 割 合 で さ ら に 含 ん で い る こ と が 好 ま し い 。 こ の よ う に す る こ と に よ り 、 ナ ノ 結 晶 相 を 構 成 す る 結 晶 の 粒 径 を 抑 制 す る こ と が 容 易 と な る 。

【 0 0 4 2 】

  実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 に お い て 、 融 点 が 5 7 0 ℃ 以 上 9 5 0 ℃ 以 下 で あ る こ と が 好 ま し い 。 融 点 を こ の よ う な 範 囲 と す る こ と に よ り 、 非 晶 質 相 を 形 成 す る こ と が 容 易 と な る 。

【 0 0 4 3 】

  実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 O を 0 . 0 1 a t % 以 上 3 0 a t % 以 下 の 割 合 で さ ら に 含 ん で い て も よ い 。 適 量 の O が 導 入 さ れ る こ と に よ り 、 組 織 構 造 中 に 高 い ポ テ ン シ ャ ル バ リ ア と し て 機 能 す る 酸 化 物 相 が 適 量 形 成 さ れ る 。 こ れ に よ り 、 キ ャ リ ア の 閉 じ 込 め 効 果 が 得 ら れ る 。 そ の 結 果 、 量 子 効 果 に よ り ゼ ー ベ ッ ク 係 数 が 上 昇 し 、 無 次 元 性 能 指 数 を 増 大 さ せ る こ と が で き る 。

【 0 0 4 4 】

(8)

10

20

30

40

50 実 施 さ れ る 。 こ の 工 程 ( S 1 0 ) で は 、 所 望 の 熱 電 変 換 材 料 の 組 成 に 対 応 す る 量 の M n お

よ び S i を 含 む 原 料 が 準 備 さ れ る 。 具 体 的 に は 、 た と え ば 所 望 の 熱 電 変 換 材 料 の 組 成 に 対 応 す る 量 の 原 料 が 秤 量 さ れ 、 坩 堝 内 に 充 填 さ れ る 。 坩 堝 を 構 成 す る 材 料 と し て は 、 た と え ば B N ( ボ ロ ン ナ イ ト ラ イ ド ) を 採 用 す る こ と が で き る 。

【 0 0 4 5 】

  次 に 、 工 程 ( S 2 0 ) と し て 母 合 金 作 製 工 程 が 実 施 さ れ る 。 こ の 工 程 ( S 2 0 ) で は 、 所 望 の 熱 電 変 換 材 料 の 組 成 に 対 応 す る 組 成 を 有 す る 母 合 金 が 作 製 さ れ る 。 具 体 的 に は 、 工 程 ( S 1 0 ) に お い て 坩 堝 内 に 充 填 さ れ た 原 料 が 、 た と え ば 高 周 波 誘 導 加 熱 炉 を 用 い て 加 熱 さ れ 、 溶 融 状 態 と さ れ る 。 そ の 後 、 自 然 冷 却 が 実 施 さ れ る こ と に よ り 溶 融 状 態 の 原 料 が 凝 固 す る 。 こ れ に よ り 、 母 合 金 が 得 ら れ る 。

【 0 0 4 6 】

  次 に 、 工 程 ( S 3 0 ) と し て 非 晶 質 相 形 成 工 程 が 実 施 さ れ る 。 こ の 工 程 ( S 3 0 ) で は 、 工 程 ( S 2 0 ) に お い て 作 製 さ れ た 母 合 金 か ら 非 晶 質 相 を 含 む 熱 電 変 換 材 料 が 作 製 さ れ る 。 具 体 的 に は 、 工 程 ( S 2 0 ) に お い て 作 製 さ れ た 母 合 金 か ら 、 液 体 急 冷 法 に よ り リ ボ ン 状 の 薄 片 形 状 を 有 す る 熱 電 変 換 材 料 が 得 ら れ る 。 以 上 の 手 順 に よ り 、 本 実 施 の 形 態 の 熱 電 変 換 材 料 を 製 造 す る こ と が で き る 。

【 0 0 4 7 】

  さ ら に 、 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 の 製 造 方 法 に お い て は 、 工 程 ( S 4 0 ) と し て 結 晶 化 熱 処 理 工 程 が 実 施 さ れ て も よ い 。 こ の 工 程 ( S 4 0 ) で は 、 工 程 ( S 3 0 ) が 実 施 さ れ て 得 ら れ た 熱 電 変 換 材 料 に 対 し て 熱 処 理 が 実 施 さ れ る こ と に よ り 、 ナ ノ 結 晶 相 が 形 成 さ れ る 。 具 体 的 に は 、 た と え ば R T A ( R a p i d   T h e r m a l   A n n e a l ) 炉 を 用 い て 熱 電 変 換 材 料 が 加 熱 さ れ る 熱 処 理 が 実 施 さ れ る 。 熱 処 理 は 、 た と え ば 窒 素 雰 囲 気 中 に お い て 4 0 0 ℃ に 加 熱 し 、 7 分 間 保 持 す る 条 件 で 実 施 す る こ と が で き る 。 こ れ に よ り 、 非 晶 質 相 の 一 部 が 結 晶 化 し て 粒 径 2 5 n m 以 下 の 結 晶 が 生 成 す る 。 こ れ に よ り 、 ナ ノ 結 晶 相 を 含 む 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 が 得 ら れ る 。

【 0 0 4 8 】

  ( 実 施 の 形 態 2 )

  次 に 、 本 発 明 の 他 の 実 施 の 形 態 で あ る 実 施 の 形 態 2 に つ い て 説 明 す る 。 実 施 の 形 態 2 に お け る 熱 電 変 換 材 料 お よ び 熱 電 変 換 素 子 は 、 基 本 的 に は 実 施 の 形 態 1 の 場 合 と 同 様 の 構 成 を 有 し 、 同 様 の 効 果 を 奏 す る 。 し か し 、 実 施 の 形 態 2 の 熱 電 変 換 材 料 お よ び 熱 電 変 換 素 子 は 、 熱 電 変 換 材 料 に 以 下 の よ う に 追 加 的 元 素 が 添 加 さ れ る 点 に お い て 実 施 の 形 態 1 の 場 合 と は 異 な っ て い る 。

【 0 0 4 9 】

  実 施 の 形 態 2 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 に 加 え て 、 さ ら に A l 、 F e 、 C r 、 G e お よ び S n か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 を さ ら に 含 み 、 ( M n

α F eβ C rγ )X ( S iδ G eε S nζ )Y A lZ の 組 成 式 で 表 さ れ る 。 こ の 組 成

式 に お い て 、 0 . 4 0 ≦ α ≦ 1 . 0 0 、 0 . 0 0 ≦ β ≦ 0 . 3 0 、 0 . 0 0 ≦ γ ≦ 0 . 3 0 、 0 . 5 0 ≦ δ ≦ 1 . 0 0 、 0 . 0 0 ≦ ε ≦ 0 . 5 0 、 0 . 0 0 ≦ ζ ≦ 0 . 1 0 、 α + β + γ = 1 お よ び δ + ε + ζ = 1 が 満 た さ れ る 。 さ ら に 、 こ の 組 成 式 に お い て 、 0 . 0 0 ≦ Z ≦ 3 . 6 7 、 1 . 5 0 ≦ Y + Z ≦ 5 . 7 0 お よ び Y ≧ 0 . 4 3 Z が 満 た さ れ る 。 【 0 0 5 0 】

(9)

10

20

30

40

50 【 0 0 5 1 】

  実 施 の 形 態 2 の 熱 電 変 換 材 料 に お い て も 、 実 施 の 形 態 1 の 場 合 と 同 様 に 、 熱 電 変 換 材 料 の 組 織 構 造 は 、 粒 径 が 2 5 n m 以 下 の 結 晶 か ら な る ナ ノ 結 晶 相 を さ ら に 含 ん で い る こ と が 好 ま し い 。 こ の よ う に す る こ と に よ り 、 熱 伝 導 率 の 上 昇 を わ ず か な 範 囲 に 留 め つ つ 、 ゼ ー ベ ッ ク 係 数 を 増 大 さ せ る こ と が で き る 。 そ の 結 果 、 無 次 元 性 能 指 数 が 上 昇 し 、 熱 電 変 換 材 料 の 熱 電 変 換 特 性 を 一 層 向 上 さ せ る こ と が で き る 。

【 0 0 5 2 】

  さ ら に 、 上 記 ナ ノ 結 晶 相 は 、 粒 径 が 5 n m 以 下 の 結 晶 か ら な っ て い る こ と が 好 ま し い 。 こ の よ う に す る こ と に よ り 、 ゼ ー ベ ッ ク 係 数 を よ り 有 効 に 増 大 さ せ る こ と が で き る 。 そ の 結 果 、 無 次 元 性 能 指 数 が 上 昇 し 、 熱 電 変 換 材 料 の 熱 電 変 換 特 性 を 一 層 向 上 さ せ る こ と が で き る 。

【 0 0 5 3 】

  ま た 、 上 記 ナ ノ 結 晶 相 を 含 む 実 施 の 形 態 2 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 C u 、 P お よ び A u か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 を 3 0 a t % 以 下 の 割 合 で さ ら に 含 ん で い る こ と が 好 ま し い 。 こ の よ う に す る こ と に よ り 、 ナ ノ 結 晶 相 を 構 成 す る 結 晶 の 粒 径 を 抑 制 す る こ と が 容 易 と な る 。

【 0 0 5 4 】

  さ ら に 、 実 施 の 形 態 2 の 熱 電 変 換 材 料 に お い て 、 融 点 が 5 7 0 ℃ 以 上 9 5 0 ℃ 以 下 で あ る こ と が 好 ま し い 。 融 点 を こ の よ う な 範 囲 と す る こ と に よ り 、 非 晶 質 相 を 形 成 す る こ と が 容 易 と な る 。

【 0 0 5 5 】

  実 施 の 形 態 2 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 O を 0 . 0 1 a t % 以 上 3 0 a t % 以 下 の 割 合 で さ ら に 含 ん で い て も よ い 。 適 量 の O が 導 入 さ れ る こ と に よ り 、 組 織 構 造 中 に 高 い ポ テ ン シ ャ ル バ リ ア と し て 機 能 す る 酸 化 物 相 が 適 量 形 成 さ れ る 。 こ れ に よ り 、 キ ャ リ ア の 閉 じ 込 め 効 果 が 得 ら れ る 。 そ の 結 果 、 量 子 効 果 に よ り ゼ ー ベ ッ ク 係 数 が 上 昇 し 、 無 次 元 性 能 指 数 を 増 大 さ せ る こ と が で き る 。

【 0 0 5 6 】

  実 施 の 形 態 2 に お け る 熱 電 変 換 材 料 は 、 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 の 製 造 方 法 の 工 程 ( S 1 0 ) に お い て 、 実 施 の 形 態 2 の 熱 電 変 換 材 料 の 組 成 に 対 応 す る 量 の 原 料 を 坩 堝 内 に 充 填 し 、 以 下 の 工 程 を 実 施 の 形 態 1 の 場 合 と 同 様 に 実 施 す る こ と に よ り 製 造 す る こ と が で き る 。

【 0 0 5 7 】

  ( 実 施 の 形 態 3 )

  次 に 、 本 発 明 の さ ら に 他 の 実 施 の 形 態 で あ る 実 施 の 形 態 3 に つ い て 説 明 す る 。 実 施 の 形 態 3 に お け る 熱 電 変 換 材 料 お よ び 熱 電 変 換 素 子 は 、 基 本 的 に は 実 施 の 形 態 1 の 場 合 と 同 様 の 構 成 を 有 し 、 同 様 の 効 果 を 奏 す る 。 し か し 、 実 施 の 形 態 3 の 熱 電 変 換 材 料 お よ び 熱 電 変 換 素 子 は 、 熱 電 変 換 材 料 に 以 下 の よ う に 追 加 的 元 素 が 添 加 さ れ る 点 に お い て 実 施 の 形 態 1 の 場 合 と は 異 な っ て い る 。

【 0 0 5 8 】

  実 施 の 形 態 3 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 に 加 え て 、 さ ら に 少 な く と も A l を 含 む A l 、 F e 、 C r 、 G e お よ び S n か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 を さ ら に 含 み 、 ( M n

α F eβ C rγ )X ( S iδ G eε S nζ )Y A lZ の 組 成 式

で 表 さ れ る 。 こ の 組 成 式 に お い て 、 0 . 4 0 ≦ α ≦ 1 . 0 0 、 0 . 0 0 ≦ β ≦ 0 . 3 0 、 0 . 0 0 ≦ γ ≦ 0 . 3 0 、 0 . 5 0 ≦ δ ≦ 1 . 0 0 、 0 . 0 0 ≦ ε ≦ 0 . 5 0 、 0 . 0 0 ≦ ζ ≦ 0 . 1 0 、 α + β + γ = 1 お よ び δ + ε + ζ = 1 が 満 た さ れ る 。 さ ら に 、 こ の 組 成 式 に お い て 、 0 . 2 5 ≦ Z ≦ 3 . 6 7 、 1 . 5 0 ≦ Y + Z ≦ 5 . 7 0 お よ び 1 . 0 0 Z ≦ Y ≦ 5 . 0 0 Z が 満 た さ れ る 。

【 0 0 5 9 】

(10)

10

20

30

40

50 の 効 果 を 奏 す る 熱 電 変 換 材 料 が 得 ら れ る 。 こ の と き 、 F e お よ び C r に つ い て は 、 こ れ ら

の 元 素 で M n を 置 換 す る よ う に 添 加 さ れ る 。 具 体 的 に は 上 記 α 、 β お よ び γ の 範 囲 お よ び 関 係 が 満 た さ れ る よ う に F e お よ び C r の 少 な く と も 一 方 を 添 加 す る こ と が で き る 。 ま た 、 G e お よ び S n に つ い て は 、 こ れ ら の 元 素 で S i を 置 換 す る よ う に 添 加 さ れ る 。 具 体 的 に は 、 上 記 δ 、 ε お よ び ζ の 範 囲 お よ び 関 係 が 満 た さ れ る よ う に G e お よ び S n の 少 な く と も 一 方 を 添 加 す る こ と が で き る 。 A l に つ い て は 、 上 記 Z の 範 囲 に お い て 添 加 す る こ と が で き る 。 こ の よ う な 追 加 的 元 素 が 添 加 さ れ る こ と に よ り 、 非 晶 質 相 の 形 成 が 一 層 容 易 と な る 。

【 0 0 6 0 】

  実 施 の 形 態 3 の 熱 電 変 換 材 料 に お い て も 、 実 施 の 形 態 1 の 場 合 と 同 様 に 、 熱 電 変 換 材 料 の 組 織 構 造 は 、 粒 径 が 2 5 n m 以 下 の 結 晶 か ら な る ナ ノ 結 晶 相 を さ ら に 含 ん で い る こ と が 好 ま し い 。 こ の よ う に す る こ と に よ り 、 熱 伝 導 率 の 上 昇 を わ ず か な 範 囲 に 留 め つ つ 、 ゼ ー ベ ッ ク 係 数 を 増 大 さ せ る こ と が で き る 。 そ の 結 果 、 無 次 元 性 能 指 数 が 上 昇 し 、 熱 電 変 換 材 料 の 熱 電 変 換 特 性 を 一 層 向 上 さ せ る こ と が で き る 。

【 0 0 6 1 】

  さ ら に 、 上 記 ナ ノ 結 晶 相 は 、 粒 径 が 5 n m 以 下 の 結 晶 か ら な っ て い る こ と が 好 ま し い 。 こ の よ う に す る こ と に よ り 、 ゼ ー ベ ッ ク 係 数 を よ り 有 効 に 増 大 さ せ る こ と が で き る 。 そ の 結 果 、 無 次 元 性 能 指 数 が 上 昇 し 、 熱 電 変 換 材 料 の 熱 電 変 換 特 性 を 一 層 向 上 さ せ る こ と が で き る 。

【 0 0 6 2 】

  ま た 、 上 記 ナ ノ 結 晶 相 を 含 む 実 施 の 形 態 3 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 C u 、 P お よ び A u か ら な る 群 か ら 選 択 さ れ る 一 種 以 上 の 元 素 を 3 0 a t % 以 下 の 割 合 で さ ら に 含 ん で い る こ と が 好 ま し い 。 こ の よ う に す る こ と に よ り 、 ナ ノ 結 晶 相 を 構 成 す る 結 晶 の 粒 径 を 抑 制 す る こ と が 容 易 と な る 。

【 0 0 6 3 】

  さ ら に 、 実 施 の 形 態 3 の 熱 電 変 換 材 料 に お い て 、 融 点 が 5 7 0 ℃ 以 上 9 5 0 ℃ 以 下 で あ る こ と が 好 ま し い 。 融 点 を こ の よ う な 範 囲 と す る こ と に よ り 、 非 晶 質 相 を 形 成 す る こ と が 容 易 と な る 。

【 0 0 6 4 】

  実 施 の 形 態 3 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 O を 0 . 0 1 a t % 以 上 3 0 a t % 以 下 の 割 合 で さ ら に 含 ん で い て も よ い 。 適 量 の O が 導 入 さ れ る こ と に よ り 、 組 織 構 造 中 に 高 い ポ テ ン シ ャ ル バ リ ア と し て 機 能 す る 酸 化 物 相 が 適 量 形 成 さ れ る 。 こ れ に よ り 、 キ ャ リ ア の 閉 じ 込 め 効 果 が 得 ら れ る 。 そ の 結 果 、 量 子 効 果 に よ り ゼ ー ベ ッ ク 係 数 が 上 昇 し 、 無 次 元 性 能 指 数 を 増 大 さ せ る こ と が で き る 。

【 0 0 6 5 】

  実 施 の 形 態 3 に お け る 熱 電 変 換 材 料 は 、 実 施 の 形 態 1 の 熱 電 変 換 材 料 の 製 造 方 法 の 工 程 ( S 1 0 ) に お い て 、 実 施 の 形 態 3 の 熱 電 変 換 材 料 の 組 成 に 対 応 す る 量 の 原 料 を 坩 堝 内 に 充 填 し 、 以 下 の 工 程 を 実 施 の 形 態 1 の 場 合 と 同 様 に 実 施 す る こ と に よ り 製 造 す る こ と が で き る 。

【 0 0 6 6 】

  な お 、 上 記 実 施 の 形 態 に お い て は 、 本 願 の 熱 電 変 換 素 子 の 一 例 と し て π 型 熱 電 変 換 素 子 に つ い て 説 明 し た が 、 本 願 の 熱 電 変 換 素 子 は こ れ に 限 ら れ な い 。 本 願 の 熱 電 変 換 素 子 は 、 た と え ば I 型 ( ユ ニ レ グ 型 ) 熱 電 変 換 素 子 な ど 、 他 の 構 造 を 有 す る 熱 電 変 換 素 子 で あ っ て も よ い 。

【 0 0 6 7 】

(11)

10

20

30

40

50 B ) 、 モ リ ブ デ ン ( M o ) 、 タ ン グ ス テ ン ( W ) 、 ガ リ ウ ム ( G a ) 、 イ ン ジ ウ ム ( I n

) な ど を 採 用 す る こ と が で き る 。 n 型 不 純 物 と し て は 、 た と え ば 窒 素 ( N ) 、 リ ン ( P ) 、 ヒ 素 ( A s ) 、 ア ン チ モ ン ( S b ) 、 ビ ス マ ス ( B i ) な ど を 採 用 す る こ と が で き る 。 【 実 施 例 】

【 0 0 6 8 】

  上 記 本 願 の 熱 電 変 換 材 料 を 作 製 し 、 そ の 特 性 を 確 認 す る 実 験 の 内 容 に つ い て 説 明 す る 。 実 験 の 手 順 は 以 下 の 通 り で あ る 。

【 0 0 6 9 】

  ( 1 ) 非 晶 質 相 を 含 む 熱 電 変 換 材 料 の 作 製

  A l 、 M n お よ び S i の 組 成 比 が 、 そ れ ぞ れ 3 2 a t % 、 2 5 a t % お よ び 4 3 a t % 、 と な る よ う に 原 料 を 秤 量 し 、 坩 堝 に 充 填 し た 。 次 に 、 高 周 波 誘 導 加 熱 炉 を 用 い て 上 記 原 料 を 溶 融 し た 。 そ の 後 、 自 然 冷 却 に よ り 原 料 を 凝 固 さ せ 、 母 合 金 を 作 製 し た 。 続 い て 、 得 ら れ た 母 合 金 か ら 液 体 急 冷 法 を 用 い て リ ボ ン 状 の 薄 片 形 状 を 有 す る 熱 電 変 換 材 料 を 作 製 し た ( 実 施 例 1 ) 。 実 施 例 1 の 熱 電 変 換 材 料 の 組 成 式 は 、 M n

1 . 0 0 S i1 . 7 2 A l1 . 2 8 で 表 さ れ る 。 実 施 例 1 の 熱 電 変 換 材 料 に つ い て 、 X R D ( X − R a y   D i f f r

a c t i o n ) 分 析 を 実 施 し た 。 得 ら れ た 結 果 を 図 2 に 示 す 。 【 0 0 7 0 】

  図 2 に お い て 、 横 軸 は 回 折 角 度 ( 2 θ ) を 表 し て お り 、 縦 軸 は 回 折 強 度 を 表 し て い る 。 図 2 を 参 照 し て 、 実 施 例 1 の 熱 電 変 換 材 料 の X R D 分 析 に お い て は 、 回 折 角 度 ( 2 θ ) が 4 0 ° ∼ 5 0 ° の 領 域 に ブ ロ ー ド な パ タ ー ン が 確 認 さ れ る 。 ま た 、 図 2 に お い て 、 特 定 の 物 質 の 結 晶 面 に 対 応 す る ピ ー ク は 見 ら れ な い 。 こ の こ と か ら 、 実 施 例 1 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 非 晶 質 相 か ら な る 組 織 構 造 を 有 し て い る こ と が 確 認 さ れ る 。

【 0 0 7 1 】

  実 施 例 1 の 熱 電 変 換 材 料 に 対 し て 、 示 差 熱 分 析 を 実 施 し た 。 分 析 結 果 を 図 3 に 示 す 。 図 3 に お い て 、 横 軸 は 温 度 を 表 し 、 縦 軸 は 熱 流 を 表 し て い る 。 図 3 を 参 照 し て 、 4 5 0 ℃ 付 近 に お い て 、 非 晶 質 相 の 結 晶 化 に 対 応 す る ピ ー ク が 確 認 さ れ る 。 こ の こ と か ら 、 非 晶 質 相 の 一 部 を ナ ノ 結 晶 相 と す る た め に は 、 当 該 ピ ー ク の 立 ち 上 が り 領 域 付 近 に 対 応 す る 4 0 0 ℃ 付 近 で の 加 熱 処 理 が 妥 当 で あ る こ と が 分 か る 。

【 0 0 7 2 】

  ( 2 ) 非 晶 質 相 お よ び ナ ノ 結 晶 相 を 含 む 熱 電 変 換 材 料 の 作 製

  上 記 図 3 の 分 析 結 果 に 基 づ い て 、 実 施 例 1 の 熱 電 変 換 材 料 に 対 し て 、 窒 素 雰 囲 気 中 に お い て 4 0 0 ℃ に 加 熱 し 、 7 分 間 保 持 す る 条 件 で 熱 処 理 を 実 施 し 、 ナ ノ 結 晶 相 を 含 む 熱 電 変 換 材 料 を 作 製 し た ( 実 施 例 2 ) 。 実 施 例 2 の 熱 電 変 換 材 料 の 組 成 式 は 、 実 施 例 1 と 同 様 に M n

1 . 0 0 S i1 . 7 2 A l1 . 2 8 で 表 さ れ る 。 実 施 例 2 の 熱 電 変 換 材 料 に つ い て 、

X R D 分 析 を 実 施 し た 。 得 ら れ た 結 果 を 図 4 に 示 す 。 【 0 0 7 3 】

  図 4 に お い て 、 横 軸 は 回 折 角 度 ( 2 θ ) を 表 し て お り 、 縦 軸 は 回 折 強 度 を 表 し て い る 。 図 4 を 参 照 し て 、 実 施 例 2 の 熱 電 変 換 材 料 の X R D 分 析 に お い て は 、 回 折 角 度 ( 2 θ ) が 4 0 ° ∼ 5 0 ° の 領 域 に 存 在 す る ブ ロ ー ド な パ タ ー ン に 加 え て 、 2 つ の ピ ー ク ( ピ ー ク A お よ び ピ ー ク B ) が 確 認 さ れ る 。 ピ ー ク A は 、 M n − A l 化 合 物 の 結 晶 に 対 応 す る 。 ピ ー ク B は 、 M n − S i 化 合 物 の 結 晶 に 対 応 す る 。 ま た 、 こ れ ら の ピ ー ク の 半 値 幅 を シ ェ ラ ー の 式 に あ て は め て 結 晶 の 粒 径 を 見 積 も っ た 。 そ の 結 果 、 結 晶 の 粒 径 は 2 5 n m で あ っ た 。 こ の こ と か ら 、 実 施 例 2 の 熱 電 変 換 材 料 は 、 非 晶 質 相 と ナ ノ 結 晶 相 と を 含 む 組 織 構 造 を 有 し て い る こ と が 確 認 さ れ る 。

【 0 0 7 4 】

  ( 3 ) ナ ノ 結 晶 相 を 構 成 す る 結 晶 の 粒 径 の 抑 制

(12)

10

20 と こ ろ 、 実 施 例 1 の 場 合 と 同 様 に 回 折 角 度 ( 2 θ ) が 4 0 ° ∼ 5 0 ° の 領 域 に ブ ロ ー ド な

パ タ ー ン が 確 認 さ れ た 。 ま た 、 特 定 の 物 質 の 結 晶 面 に 対 応 す る ピ ー ク は 見 ら れ な か っ た 。 こ の こ と か ら 、 得 ら れ た 熱 電 変 換 材 料 は 、 非 晶 質 相 か ら な る 組 織 構 造 を 有 し て い る こ と が 確 認 さ れ た 。

【 0 0 7 5 】

  そ の 後 、 当 該 熱 電 変 換 材 料 に 対 し て 実 施 例 2 の 場 合 と 同 様 の 熱 処 理 を 実 施 し た 。 得 ら れ た 熱 電 変 換 材 料 に 対 し て X R D 分 析 を 実 施 し た と こ ろ 、 実 施 例 2 の 場 合 と 同 様 に 結 晶 に 対 応 す る ピ ー ク が 確 認 さ れ た 。 こ の ピ ー ク の 半 値 幅 を シ ェ ラ ー の 式 に あ て は め て 結 晶 の 粒 径 を 見 積 も っ た 。 そ の 結 果 、 結 晶 の 粒 径 は 5 n m で あ っ た 。 こ の こ と か ら 、 C u お よ び P の 添 加 に よ り 、 ナ ノ 結 晶 相 を 構 成 す る 結 晶 の 粒 径 を 抑 制 で き る こ と が 確 認 さ れ る 。

【 0 0 7 6 】

  ( 4 ) M n − S i 系 熱 電 変 換 材 料 の 作 製

  A l 、 M n 、 S i お よ び G e の 組 成 比 が 、 そ れ ぞ れ 2 7 . 5 a t % 、 3 3 . 0 a t % 、 2 9 . 7 a t % お よ び 9 . 8 a t % 、 と な る よ う に 原 料 を 秤 量 し 、 坩 堝 に 充 填 し た 。 そ の 後 、 上 記 実 施 例 1 お よ び 実 施 例 2 の 場 合 と 同 様 の 手 順 に よ り 、 非 晶 質 相 か ら な る 組 織 構 造 を 有 す る 実 施 例 3 お よ び 非 晶 質 相 と ナ ノ 結 晶 相 と を 含 む 組 織 構 造 を 有 す る 実 施 例 4 の 熱 電 変 換 材 料 を 作 製 し た 。 実 施 例 3 お よ び 実 施 例 4 の 熱 電 変 換 材 料 の 組 成 式 は 、 い ず れ も M n

1 . 0 0 S i0 . 9 0 G e0 . 3 0 A l0 . 8 3 で 表 さ れ る 。 こ こ で 、 G e は 、 S i を 置

換 す る よ う に 添 加 さ れ る 。 G e は 、 非 晶 質 相 の 形 成 を 容 易 と す る た め に 添 加 さ れ る 。 【 0 0 7 7 】

  ( 5 ) 熱 電 変 換 材 料 の 評 価

  上 記 実 施 例 1 ∼ 4 の 熱 電 変 換 材 料 に つ い て 、 ゼ ー ベ ッ ク 係 数 、 導 電 率 、 熱 伝 導 率 を 測 定 し 、 5 0 ℃ に お け る 無 次 元 性 能 指 数 を 算 出 し た 。 ま た 、 比 較 の た め 、 実 施 例 1 の 熱 電 変 換 材 料 の 作 製 に お い て 得 ら れ る 多 結 晶 の 母 合 金 ( 比 較 例 ) に つ い て 、 熱 伝 導 率 を 測 定 し た 。 実 験 結 果 を 表 1 に 示 す 。

(13)

10

20

30

40

50 【 表 1 】

  表 1 の 比 較 例 と 実 施 例 1 と は 、 同 一 の 成 分 組 成 を 有 す る に も 関 わ ら ず 、 実 施 例 1 の 熱 伝 導 率 は 比 較 例 の 1 / 2 未 満 に ま で 低 減 さ れ て い る 。 こ れ は 、 多 結 晶 の 組 織 構 造 を 有 す る 比 較 例 に お い て 熱 伝 導 に 寄 与 す る フ ォ ノ ン 散 乱 が 、 非 晶 質 相 を 有 す る 実 施 例 1 に お い て 抑 制 さ れ た た め で あ る と 考 え ら れ る 。 こ の よ う に 、 非 晶 質 相 を 含 む 組 織 構 造 を 有 す る 本 願 の 熱 電 変 換 材 料 に よ れ ば 、 熱 伝 導 率 を 抑 制 す る こ と に よ り 無 次 元 性 能 指 数 を 上 昇 さ せ る こ と が 可 能 で あ る こ と が 確 認 さ れ る 。

(14)

10

20   ま た 、 実 施 例 2 お よ び 実 施 例 4 は 、 そ れ ぞ れ 実 施 例 1 お よ び 実 施 例 3 と 同 一 の 成 分 組 成

を 有 し て お り 、 ナ ノ 結 晶 相 を 含 む 点 に お い て 実 施 例 1 お よ び 実 施 例 3 と 異 な っ て い る 。 実 施 例 2 お よ び 実 施 例 4 は 、 ナ ノ 結 晶 相 を 含 む こ と に よ り 実 施 例 1 お よ び 実 施 例 3 に 比 べ て 熱 伝 導 率 が わ ず か に 上 昇 し て い る も の の 、 ゼ ー ベ ッ ク 係 数 の 絶 対 値 が 大 幅 に 増 大 し て い る 。 こ れ は 、 ナ ノ 結 晶 相 に よ る 量 子 効 果 に よ る も の で あ る と 考 え ら れ る 。 そ の 結 果 、 実 施 例 2 お よ び 実 施 例 4 の 無 次 元 性 能 指 数 は 実 施 例 1 お よ び 実 施 例 3 に 比 べ て 上 昇 し て い る 。 こ の よ う に 、 ナ ノ 結 晶 相 を 含 む 組 織 構 造 を 採 用 す る こ と に よ り 、 熱 電 変 換 材 料 の 熱 電 変 換 特 性 が 一 層 向 上 す る こ と が 確 認 さ れ る 。

【 0 0 8 0 】

  今 回 開 示 さ れ た 実 施 の 形 態 お よ び 実 施 例 は す べ て の 点 で 例 示 で あ っ て 、 ど の よ う な 面 か ら も 制 限 的 な も の で は な い と 理 解 さ れ る べ き で あ る 。 本 発 明 の 範 囲 は 上 記 し た 説 明 で は な く 、 特 許 請 求 の 範 囲 に よ っ て 規 定 さ れ 、 特 許 請 求 の 範 囲 と 均 等 の 意 味 お よ び 範 囲 内 で の す べ て の 変 更 が 含 ま れ る こ と が 意 図 さ れ る 。

【 産 業 上 の 利 用 可 能 性 】 【 0 0 8 1 】

  本 願 の 熱 電 変 換 材 料 お よ び 熱 電 変 換 素 子 は 、 変 換 効 率 の 向 上 が 求 め ら れ る 熱 電 変 換 素 子 を 構 成 す る 熱 電 変 換 材 料 お よ び 変 換 効 率 の 向 上 が 求 め ら れ る 熱 電 変 換 素 子 に 、 特 に 有 利 に 適 用 さ れ 得 る 。

【 符 号 の 説 明 】 【 0 0 8 2 】

(15)

【 図 1 】

【 図 2 】

【 図 3 】

(16)

10 フロントページの続き

( 51) I nt . Cl . FI テーマコード(参考) C22C 22/ 00 ( 2006. 01) C22C 22/ 00           

C22C 45/ 00 ( 2006. 01) C22C 45/ 00           

( 72) 発明者 足立 真寛

兵庫県伊丹市昆陽北一丁目1番1号 住友電気工業株式会社伊丹製作所内 ( 72) 発明者 竹内 恒博

愛知県名古屋市天白区久方2丁目12番地1 学校法人トヨタ学園豊田工業大学内 ( 72) 発明者 山本 晃生

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