A.3,検 討 皿 100
6﹄耳261望毘
呂琶Φト遇の胴甲町ε盟鄙拍の 025
1000
L。 。・ti・n・xEpm]。'F・equency[MH・1
一
O.511,522、5 33.544.555、5xlD'3
Fig.A.12.Frequellcycllaracteristicsofstre呂 呂illg‑axisdirectionat:=‑O,6p皿,tJ=4pm,
図A,12之=‑0.611m,tJニ4pmに お け る 君 軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性.
酒O'3
1:
A3.検 討m 101
4321∩冒52[周ξ乙
⊆O旧ぢΦ﹂旧Uの岬X婿JN=一㎝060﹄oり
xlO‑3
L。。ati。・,x[剛 。1Frequen。y[MHz】
一
O.511.5 22,533,5 :'10L31000Fig.A.14.Frequencychaxacteristicsofstressing‑axisdirectionatzニ ー0.6pm,y=
12pm.
図A,142f=‑O.6pm,y=:12pmに お け るg軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性.
弓GつX %2篇10石025
︻NE≧
⊆O=Oの﹂層O自り幽κOJN=層㎝㎝⑳﹄の
1000
L。・3ti帆x岡 。iF陶que剛MHzI
‑一
o、5重 1,52,iO'3
Fig.A.15.Frequencycharacteristicsofstressin之 一ElixiSdirectionat3=‑0、6pm,y=
1611m.
図A,15zニ ー0.6pm,2」=16pmに お け る9軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性,
A.3,検 討 皿 102
MlO・3
§
1,5
:1覆α,
1 21
1000
L。catienlxEμm〕 。1FrequencylMHz】
一一
24681e1214.,104
Fig.A.16.Frequencychaエ ・aeteristicsofstressinz‑axisdirectionatz=・‑0.6pm,yニ 20pm.
図A.16β=‑O.6pm,y=20pmに お け るz軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性.
xtO3 唇
︻筆之
量筍㎝糎甲N牌盟琶詣u}
25
,献
10eo
L。 ￠・ti。n,xipm】 。1FrequencylMHz】
‑
O,511、5221533,544,555,5瓦1σ3
Fig.A.17.F比equencycharacteristicsofstressin2‑axisdirectionatzニ ーO.611m,yニ 24pm.
図A.17zニ ーO.6pm,yニ24pmに お け るz軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性,
A,3,検 討 皿 103
.箋 。.。1
ぢ
馨 。.。。呂
、璽 ♂ 「 話 黛o.oo6 南
三
、望o鵠 .o〔}4
聲o.oo2 の
0 25
1000
L。c・ti。n・x[pm}。1Frequ6白 。y[MHz]
一
123456789一
耳10'a
Fig.Aユ8,Frequencyeharacteristicsofs七ressinx‑a、xisdirectionat■=0,6pm,シ=0,
図A.18z=O.6pm,y=・0に お け るg軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性.
.量o.01
署 。.。。8 ま む 話 隻G.oo6
南 乙
.EG .OG4
器 9。.o。2 co
o 25
10{〕0
L。cati。n・x[pm】 。1F,equen。ylMHz]
一
1234 56ア8 v,iO"3Fig.A.19.Frequencycharacteristicsofstressin.之 一axisdirectionat乞=0.6pm,y=4pm,
図A.19■=O.6prn,y=4pmに お け るx軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性.
A.3.検 討III
104
xlO'3
望≧餐葛な層切買叩Nロ鱒盟謹の
25
1000
L。catl。 ・・x[pm]。1F・ ・q・e・cy【MH・1
‑‑
1234567
xlo・3
Fig.A20.Frequeiicycharactei・isticsof5tressillかaxisdirectionatg=0.6pm,gニ8pm,
図A.20zニO.61ml,y=81i皿 に お け る 溶 軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性,
びーー︻筆≧
篶盈唱の機母̀榊嶋聾の
25
田oo
L。 。日ti。fi,x圓01Frequency【MH・ 】
‑
123456
冠10'3
Fig.A21.Frequencycharacteristicsof8tressinかaxi5directionat宕 二 〇,6pm,y=12pm.
図A.212=0,6pm,y=1211mに お け るz軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性.
A,3,検 討 皿 105
xlo'3
︻餌∈≧
=O富O山﹂闇OO層鼠帽JNに撒帥o弓Φ﹂一の
4
25
1000
し。cati・n・x【呵01Frequ帥cy【MHz】
‑
O.511.522.533、54爵 α ユ
Fig.A.22.F)requencycharacteristicsofstressinz‑axis(lirectionatz=0.6pm,y=1611m,
図A.22x=O.6pm,yニ16pmに お け るz軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性,
弓01 321
望 ≧
̀2ぢ山出"㎝黛口昌﹂Nε盟WΦ孕00 025
1GOO
Location・x[μm】ofFrequency【MHzl
一
O,51 t,522、5 滑o引3Fig,A23,恥equencycharacteristicsofstressin之 一axisdirectionat序 ・=O,6pm,y=2011m.
図A,23x=O.6Plll,y=20pmに お け るor軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性.
A.3.検 討 皿 106
舞o'o'
旧O、OO8
1葦 ・
厚伽
盟⁝o﹄の
e,oo4 o,oo2
ハリ52
L。cati・ …[1・lm]。1F・ ・q・e・cy[MH・]
一
123455789一
xlo』3 1000
Fig.A.24,Frequencyclユaracteristicsofstressinz‑axisdirectionatz=O、6pm,y=24pエn.
図A.242ニO.6prn,y=24pmに お け る β 軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性.
A.3.検 討 皿
107
一b﹂IFOハU5
創α﹂加2{UO︻凶E≧
直O鴇O軸﹂甲ηの文O肉亡一の㎝Φ仁の
fooo
L。￠atb曜 圃 。1F叫ency[MHz1
‑‑
24681〔}12i.tè3
Fig.A.25.Frequencycharacteristiesofstressin客 一axisdirectionatg==1.81]m,〃=0.
図A.259=1.8pm,y=0に お け るx軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性,
51505加αo加2ハUO
望 ≧
鑑O冨OΦと"㎝旧X㎝戚三㎝の山﹂一〇〇
1000
L。・・ti。・lx岡 。1F隠q・e剛MH・1
‑
12345{iアagfO11湘o'ユ
Fig.A.26.Frequencycharacteristicsofstressinz‑axisdirectionatg=1.8pm,㌢ ニ4pm.
図A.26z=1.811m,Y=4pmに お け るx軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性.
A,3.検 討 皿 108
1…1・
も
量箋G・ 。1
.聾 一 密 。・。。5 お
nり52
1000
L。・・ti・・,x【剛 。1F,eq、e剛MH。]
一
t23456789『O一
Hlo"
Fig.A,27、Fl・equencycharacteristicsofstresg.in2‑axisdirec七ionat之=・1.81MI,写 二81zm,
図A27￡=1,811m,y=811111に お け る 沖 由方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性,
耳10'3
R)64,2ハV52
璽 ≧
[0膚も①﹂鼎層gり様甲街仁旧姐の①嵩0う
1000
L。cation,x[pml。1F・eq・e・ ・yEMHz】
‑
123456〒 ・.Llo'3Fig.A28.Fhrequencycharacteristicsofstressinx‑axisdirectionatz=0.611m,シ ニ12pm.
図A.282=O,6pm,y=12pmに お け る;z軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性.
A.3,検 討][[[
109
唱01 642
望 ≧
=O害O㎝﹂旧O吻昏噛X6﹂㎎=鼎のo}￠仁ω
25
噸ooe
L。cati。nlx[pmlOlFrequency[MHzl
‑一
O.5it522.5 33.544.55xlò3
Fig.A.29.Frequencycharacteristicsofstressing‑axisdirectionatzニ1.8pm,y=16pm,
図A29x=1.8pm,y=16pmに お け る9軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性,
xlO"3
璽 ≧
且O旧ぢO﹂一"嶋一寓O﹂N=旧のO⑪急の
25
1000
し。。・ti。M圓 。1F陪q・ ・剛MHzI
‑
O.51〜 、52窒 、53 覧10'3Fig.A,30,Frequencycharacteristicsofstressing‑axisdirectiollatβ=1,8pm,y=20pm , 図A.30君 二1.8pm,y=20pmに お け る だ 軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性,
A.3,検 討 皿 110
を
量 。尋。15 '馨r・ 。・・1
崖 ≧ 密 。・。。5 お
25
10De
L。 。巳tbn・ 巾m】 。1F・equ臼n。y[MHz]
一 一
24681012xtO・s
Fig.A.31、Frequencycharacteristicsofstressing‑axisdirectionatz=1.8pm,y=24pm,
図A、312=1.8pm,y=24pmに お け る2軸 方 向 の 応 力 の 周 波 数 特 性,
111
謝辞
本研究 を遂行 するにあた り,田 川憲男教授 には,多 大 なる御 指導 と御配慮 を頂 き心 よ り深
く感謝致 します.大 久保寛准教授 には,毎 週 の進捗報告会 において貴重 な助言 を頂 き感謝
致 します.大 久保毅客員教授 には,専 門的 な観点か ら多 くの議論や ア ドバ イス を頂 き感謝
致 します.
112
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