謝辞
最後に本論文をまとめるにあたり、様々な方々にお世話になったことに対してこの場 を借りて感謝いたします。
まず本研究を行うにあたり、多大なるご指導をいただきました橋本誠司准教授に厚く 御礼を申し上げます。そして副査としてご指導いただきました石川赴夫教授、高橋俊樹 准教授に深く感謝します。
最後に数々の有益な助言、的確なアドバイスをいただき共に協力して過ごした橋本研 究室の皆様にも心から感謝申し上げます。
参考文献
[1] 樋口龍雄:自動制御理論、森北出版株式会社 (1989)
[2] G. Franklin, J. Powell and M. Workman:Digital Control of Dynamic Systems, second edition, 703/747(1990)
[3] 水上誠:磁気ディスク装置における位置決め技術、日本機械学会第 663 回講習会、43/51
(1988)
[4] 安田一則・杉山成正・平井一正:可変項像制御による多変数サーボ系の速応性の改善 計測自動制御学会論文集、Vol.24, No.2, 134/140 (1988)
[5] 野波健蔵:MATLAB による制御系設計(1998)
[6] 山口高司・宍田和久・平井洋武:磁気ディスク装置ヘッド位置決めサーボ系における サーボモード切り換え時の初期値補償問題の基礎検討、計測自動制御学会論文集、
Vol.29, No.7, 792/799 (1993)
[7] 山口高司・平井洋武:モード切り換え型制御系における付加入力を用いた初期値補償 設計と磁気ディスク装置への適用、計測自動制御学会論文集、Vol.32, No.8, 1219/1225
(1996)
[8] 廣瀬徳晃・岩崎誠・川福基裕・平井洋武:繰り返し位置決め制御時の初期値補償によ る残留振動抑制、IEEJ Trans. IA, Vol.125, No.1, 2005
[9] 廣瀬徳晃・岩崎誠・川福基裕・平井洋武:制御入力飽和とモデル化誤差を考慮した繰 り返し位置決め制御系の初期値補償法、IEEJ Trans. IA, Vol.127, No.6, 2007 [10] 橋本誠司:目標値を有するサーボ系における可変構造制御手法(2009)
[11] S.Hashimoto, M. Nitta, K. Shimosakai, and M. Konuma,”Identification Model-Based Control System Design for Semiconductor Manufacturing Equipment,” Proc. of 4th IEEE Conf. On Idustrial Electronics and Applicatio(ICIEA2009),pp.1735-1740,2009 [12] 小郷寛・美多勉:システム制御理論入門、実教出版(1979)
[13] 足立修一:MATLAB による制御のためのシステム同定、東京電機大学出版局(1996)
[14] 足立修一:MATLAB による制御理論の基礎、東京電機大学出版局(1998)
[15] 杉江弘:入門 MATLAB/Simulink による制御系設計手法、株式会社トリケップス(2003)
[16] 大類重範:ディジタル信号処理、日本理工出版会(2001)
[17] 水本久夫:線形代数学の基礎、培風館(2000)
[18] 山本信雄:プログラミング学習シリーズ Visual C++③はじめての MFC プログラミング、
株式会社翔泳社(2002)
[19] 林晴比古:新 Visual C++ 6.0 入門ビギナー編、ソフトバンクパブリッシング株式会 社(2001)
[20] 林晴比古:新訂新 C 言語入門:ソフトバンク クリエイティブ株式会社(2004)
[21] 木暮雅之:外乱オブザーバに基づく内部モデル制御の適応化とその産業応用、平成 19
年度群馬大学修士学位論文 (2008)
[22] 五箇成輝:適応同定と予測制御を用いた半導体製造用超精密ステージの高速・高応答 制御手法、平成 19 年度群馬大学(2008)
[23] 山田正人:目標値追従性を考慮した切り換え制御時の過渡応答補償法、平成 20 年度 群馬大学卒業論文(2009)
発表論文
中澤一瑛・中嶋健治・橋本誠司:目標軌跡を考慮した可変構造制御時の過渡応答補償法、
平成