シリコンウェーハ委員会

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SEMI International Standards Program

PI&C Technical Committee Meeting

December 5 (Friday), 2008,

13:00 – 17:00

SEMICON Japan 2008 Makuhari Messe, Chiba

ATTENDEES（順不同）

Co-Chairs

Kenjiro Nawa / TEL Akira Kashimoto / Shin Etsu Polyer Shoji Komatsu / Acteon

Jackie Ferrell / ISMI Mutaz Haddadin / Intel Naoyuki J. Kawai / Renesas Tech Matt Fuller / Entegris

Koji Ohyama / Dainichi Shoji K. K. Mikio Otani / Asyst Technologies Japan Luke Igeta / Miraial Stephen Sumner / Entegris

Kiyoshi Kanashiro / TDK Makoto Yamamoto / Muratec Tsutomu Okabe / TDK Masaaki Kawaguchi / Daifuku Yoshihisa Takasaki / DNS Chieko Akutagawa / Nihon Entegris Takeshi Hasebe / Dainichi Shoji K. K. Yasuhiro Shimizu / Consultantt Hirofumi Nakamura / Hirata Yasuji Nakamura / Yaskawa Electric Paul Cherry / ISMI

事務局

Paul Trio Hirofumi Kanno（記）

MINUTES

1. Welcome, Introductions, Agenda Review and Technical Committee Award

13:00 樫本幹事により開会が宣言され、続いて自己紹介、アジェンダの確認が行われた。その後、事務局より独禁法に関する注意事項および特許技術関与の可能性を持ったスタンダード作成のガイドラインについて注意が喚起された。そして、PIC Technical Committee Award にて以下 5 名の委員が表彰された。

z Satoshi Odashima / Shin-Etsu Polymer Co., Litd. z Tatsuhiko Nagata / Right MFG. CO., LTD. z Yasuhisa Ito / Murata Machinery, Ltd. z Noriyoshi Toyoda / Hirata Corporation z Mikio Otani / Asyst Technologies Japan, Inc.

2. SEMI Staff Report

事務局より以下の内容で報告が行われた。詳細は添付資料【081205_PIC1】参照

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z 手続審査結果（A&R Ballot Review Report） z Procedure Guide Nov. 2008 ver.

z Quick Place

z Event Calendar (2008-2009) z New “semi.org”

z SEMI Staff Perspective on 450mm related Standards Programs

【Action Item】委員会終了後、改訂プロシジャーのウェブ上公開日のお知らせをする。また次回 PIC 委員会にて、主な改定箇所の説明を行う。（事務局）

3. Review of Last Minutes

z Previous Action Items (PIC Technical Committee Autumn Meeting)

1. 事務局より改訂バロットフローを次回バロット審議時に再度説明する。（事務局）→継続

2. FOUP Conveyor Rail Improvement WG がサンセットされたか北米地区事務局へ確認する（事務局） →済み。WG は正式サンセットされている。 3. 12 月の PIC 委員会にて大山委員の疑問に明確に回答をする。（事務局）大山委員の質問は、 SEMI 事務局が示した 450mm に関する活動に関する説明では納得できない。SEMI の事務局はスタンダード活動を制御しているのですか？→済み＜説明概要＞事務局より添付資料 081205_PIC9 に基づき説明があった。主な趣旨は、SEMI は業界団体であるため、SEMI 会員の多くは 450mm 化への早期移行懸念を表明しているため、SEMI が 450mm 早期移行を支援しているかのごとく受け取られる可能性のあるワークショップのサポートは行えないが、（450mm を含む）標準活動に関するサポートは行う。 4. PIC 委員会会議以外の TF/SG 会議スケジュールは幹事及び、事務局にて決定（他委員会関連 TF も考慮する）し、委員メンバーへ連絡する。（事務局及び、幹事）→済み

5. Int’l 450mm PIC TF への参加呼びかけを Silicon Wafer/PIC/ICC/Traceability 登録委員及び、他団体

（JEITA/SEAJ/新金協等）にメールで送付する。（小松幹事及び、事務局）→継続 z 前回議事録確認添付資料【081205_PIC2】参照【動議】前回議事録の承認動議 Motion:小松幹事 Second：中村委員議論なし賛成：反対 8:0 動議は可決された。【決定事項】前回議事録が承認された。

4. Liaison Reports

z NA Liaison Reports Mutaz 委員より北米地区の PI&C 委員会活動報告がなされた。添付資料【081205_PIC3.ppt】参照 z EU Liaison Reports

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5. Task Force Reports

5.1.

Global PIC Standards Maintenance TF (Komatsu-san / Nawa-san)

名和委員より 5 years review 活動として以下３つの Standard に関する SNARF 及び、Yellow Ballot 投入の動議が出された。

Doc.4706 [Reapproval of SEMI E19.4, 200 mm Standard Mechanical Interface (SMIF) Type of Document: Reapproval of a Standard/Guideline]

z SNARF 承認動議

Motion：名和幹事 Second：山本委員賛成 10：反対 0 動議は承認された。

z バロット投入の動議 Motion：名和幹事 Second：山本委員賛成 8:反対 0 承認された。尚、バロット投入時期は Cycle 1, 2008

【決定事項】Doc.4706[Reapproval of SEMI E19.4]の SNARF は承認された。

【決定事項】Doc.4706[Reapproval of SEMI E19.4]の Yellow Ballot 投入時期が 2009 年 Cycle1 にて決定した。

Doc 4707[Reapproval of SEM E92, Specification for 300 mm Light Weight and Compact Box Opener/Loader to Tool-Interoperability Standard (BOLTS/LIGHT)]

【決定事項】Doc 4707[Reapproval of SEM E92]の SNARF は承認された。

【決定事項】Doc 4707[Reapproval of SEM E92]の Yellow Ballot 投入時期が 2009 年 Cycle1 にて決定した。

Doc.4705 [Reapproval of SEMI E110, Guide for Indicator Placement Zone and Switch Placement Volume of Load Port Operation Interface for 300 mm Load Ports]の SNARF 承認及び、バロット投入時期の動議

【決定事項】Doc.4705 [Reapproval of SEMI E110]の SNARF は承認された。

【決定事項】Doc.4705 [Reapproval of SEMI E110]の Yellow Ballot 投入時期が 2009 年 Cycle1 にて決定した。

5.2. 450mm Int’l PIC TF (Komatsu-san）

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大谷委員より Blue ballot [SPECIFICATION FOR PHYSICAL AMHS STOCKER TO TRANSPORT INTERFACE]の発行動議が出された。

Motion：大谷委員 Second：小松幹事賛成 9:反対 0 動議は承認された。

【決定事項】Blue ballot [SPECIFICATION FOR PHYSICAL AMHS STOCKER TO TRANSPORT INTERFACE]の発行が決定した。

小松幹事より以下の動議が出された。

動議：Delegate Stocker Interface for 450mm Yellow Ballot to GCS approval after Blue ballot feedback Motion：小松幹事 Second：山本委員

賛成 7:反対 0 動議は可決した。

【決定事項】. Delegate Stocker Interface for 450mm Yellow Ballot to GCS approval after Blue ballot feedback（450mm Stocker Interface の Yellow Ballot は、Blue Ballot の feedback 後に GCS 承認に委ねる。）

5.3. (PIC-I&C) Next Generation Carrier Handoff SG (Nawa-san)

名和委員より SG 活動報告がなされた。

5.4. Int’l E84 Revision TF(Otani-san)

大谷委員より添付資料 081205_PIC6に基づき TF 活動報告がなされた。その後、Doc.4598[Revision to SEMI E84, Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface]の Yellow Ballot を 2009 年 Cycle1 へ投入する発行動議が出された。

Motion：大谷委員 Second：山本委員賛成 6：反対 2 動議は承認された。 Discussion 今回改訂を行う利点はどこにあるのか？

【決定事項】Doc.4598[Revision to SEMI E84, Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface]の Yellow Ballot を 2009 年 Cycle1 へ投入する。

5.5. (NA) EUV Mask Carrier and Load Port Standards TF (Gomei-san)

五明さんの退会に伴い、委員会は今後の報告は NA Liaison Report に含めてもらう方針とした。

5.6.

(Silicon Wafer Committee)

Int'l 450mm Handling Wafer Spec TF (Watanabe-san)

渡辺委員に代わり小松幹事より添付資料 081205_PIC7 に基づき TF 活動報告がなされた。

5.7.

(Silicon Wafer Committee) JA Shipping Box TF (Shimizu-san)

清水委員より添付資料【081205_PIC8】に基づき TF 活動報告がなされた。

6. Old /New Business

6.1. Old Business – None 6.2. New Business－None

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【継続 Action Item】事務局より改訂バロットフローを次回バロット審議時に再度説明する。（事務局）

【継続 Action Item】Int’l 450mm PIC TF への参加呼びかけを Silicon Wafer/PIC/ICC/Traceability 登録委員及び、他団体（JEITA/SEAJ/新金協等）にメールで送付する。（小松幹事及び、事務局）【Action Item】SEMI Staff Report に関して、委員会終了後、改訂プロシジャーのウェブ上公開日のお知らせをする。また次回 PIC 委員会にて、主な改定箇所の説明を行う。（事務局）

【決定事項】前回議事録が承認された。