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エレクトロニクス 講義資料

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(1)

エレクトロニクス 講義資料

鶴 剛 ([email protected])

1

第8章:半導体の基礎と半導体デバイス

ver. 3

(2)

結晶内電子のエネルギーのバンド構造 (1) 2

霜田「エレクトロニクスの基礎」

自由電子モデル

周期的ポテンシャル中の電子の波動関数は周期的になる(ブロッホの定理)

ポテンシャルの周期がaの場合,

波動関数はkについて2π/aの周期を持つ.

自由電子は,2a = n・λ付近で強く散乱される(X線の場合はブラッグ条件)

2a = n・λ,λ=2π/k k=n・π/a の実線のようになる.

自由電子のエネルギーEと波数kとの関係は放物線になる(点線)

固有エネルギーが許される範囲と,許されない範囲が生ずる.

「許容帯」「禁制帯」

箱型ポテンシャルの長さLに対して,エネルギーEは連続的になる.

自由電子のエネルギーEと波数kとの関係は下記の放物線になる.

111  

44   45  

X (X )  =  C U eikx'"  +  C_",e- ikxJ: (2.7) 

2  

V 2 mex 

‑‑ ‑‑‑0‑‑ュ (2.8) 

U(r) =  C+eikr +   (2 .9) 

¥¥‑‑‑/  ¥‑/ 

k  =  kxex   +  kze. 

x , y , z

e,

e,

r  =  xex  +  yey  +  zez   e

1   v=o 

t)  =   (2.10) 

L. 1Jl  (2.11) 

X(X) =  C sin knx 

e  <  

X "   2 m  

‑Z  =  

(2.14) 

en n  ‑

2 m L'  n  2   (2.15) 

n  

(2.12)  

X (X )  =  A ue‑"'x'"  A ̲xe"'x"   (2 .13)  Y(y) ,

=  

42  43 

(S  

(a)   V  

(b)  

(c)  

(a)  (c) 

2.2.1 

( a'  .  a'  .  a' ¥  

;_, )  U( x, y, z)  =  C  U( x, y, z)  

2 m ¥ ax'  , ay'  '  az'  /  

(2.2) 

(a'  .  a'  .  a' ¥ l  

;_, )  

+  

V ol  U( x, y, z) =  CU(x, y, z) 

2 m ¥ ax'  '  ay'  , az'  /  '  ' u  J  

(2.3) 

T  

2  

U(x, y, z)  =  X(x)Y(y)Z(z) 

(X"  Y"  Z" ¥  =  C   (2.5) 

2 m ¥ X  '  Y   , Z  /  

C.,

(2.4) 

C. 

+  

x p 2 7 7 1C z   y p 2 mgv 

FO 

Z2  

m‑u

Z 

46 

2.2.2 

V(X) =  V(X  =  V(X 

+  

2a)  (2.16) 

(2.17) 

U.(x) =  eikXu.(x)  (2.18) 

Uk(X)  =  Uk(X  (2.19) 

47 

2.2.3 

C(k) 

1  

t  t  

1  

.  

4"  3"  k  

C  !  

k  

=   =  

::!:: 

2a=λ

許容帯

許容帯

許容帯 禁制帯

禁制帯 禁制帯

(3)

結晶内電子のエネルギーのバンド構造 (2) 3

ジー「半導体デバイス―基礎理論とプロセス技術」

孤立原子

3s 3p 禁制帯

(さらに下にも充満帯がある)

許容帯 伝導帯

充満帯

許容帯 価電子帯

空の準位があり,電子が移動でき る許容帯を「伝導帯」と呼ぶ

一番上の充満帯を 価電子帯と呼ぶ 全ての準位に電子が存在し,電子が移

動できない許容体を充満帯と呼ぶ

(4)

導電体 ( 金属 )  絶縁体 半導体 4

E

g

~9eV

E

g

~1eV

半導体 絶縁体

導電体 伝導帯

充満帯

充満帯 充満帯

充満帯 ( 価電子帯 )

充満帯

充満帯 ( 価電子帯 )

エネルギー

(5)

真性半導体のバンド構造・キャリア 5

ジー「半導体デバイス―基礎理論とプロセス技術」

(6)

フェルミ分布と状態密度 6

EF:フェルミ準位 (Fermi level) f(E):フェルミ分布関数

58 

2.3.1 

hz=nzf 

k.  U  =  =  n.

.!f.  hz=nzf 

n x, n",

n ; )  

2 m L 2  ¥ J' Z   , "v   (2 .31) 

n X!  Ilv,

nr' 

+  

n /  

+  

n /   ̲  

59 

( 2 m L2  _\,12

nXt  n1lt  

)  

(2m)'/'  

de   (2.32) 

1.  .  ...  . .   1   3 ¥  

k T   )  

(2. 33)  

ermi 

e <  

=  

e  

>   =  

60 

J(e)  

‑T = O  

fc

cz.)cフ 

2  

‑ 11 

c =  

<  

l   2  

N  

=  

L:  (2 .34) 

N ( C ) d C  

=  

p(C)j(C )dC   (2. 35)  

N  =  

I  

(2.36) 

T =  

{CF O  J n '¥  ' n   ̲  

N = I  

=  

3  ,,'ñ' CFO 

, ,

JF  ,

, ,

, , , ,

4F  4F  , , ,

j'  

up / 

Au r

, ,

, , , ,

, ,

' 

3  

C ‑ Cc  (2 .38) 

(2 .39a)  

<  

CFO  ‑ C  J   (2 .39b) 

状態密度ρ(E):エネルギー準位の分布

実際にそれぞれの準位に電子が存在する確率 は,分布関数f(E)と状態密度ρ(E)の掛け算

EF:フェルミエネルギー   T=0のフェルミ準位

60 

J(e)  

‑T = O  

fccz.)cフ  2  

‑ 11 

c =  

<  

l   2  

N  =  L:  (2 .34) 

N ( C ) d C  =  p(C)j(C )dC   (2. 35)  

N  =  I   (2.36) 

T =  

{CF O  J n '¥  ' n   ̲  

N = I   =  3  ,,'ñ' CFO 

, ,

JF  ,

, ,

, , , ,

4F  4F  , , ,

j'  

up / 

Au r

, , , , , ,

, ,

' 

3  

C ‑ Cc  (2 .38) 

(2 .39a)  

<  

CFO  ‑ C  J   (2 .39b) 

EF

霜田「エレクトロニクスの基礎」

(7)

真性半導体の電子と正孔の分布 7

霜田「エレクトロニクスの基礎」

真性準位 E

i

= (E

c

+E

v

)/2

フェルミ準位

(8)

P 型半導体, N 型半導体 (1) 8

http://www.tdk.co.jp/techmag/knowledge/201006u/ ver.2

(9)

P 型半導体, N 型半導体 (2) 9

ジー「半導体デバイス―基礎理論とプロセス技術」

(10)

P 型半導体, N 型半導体 (3) 10

ジー「半導体デバイス―基礎理論とプロセス技術」

E

f

E

f

(11)

ver.1

pn 接合ダイオードの構造と動作 (1) 11

順方向バイアス 接合前

実際には,それぞれ独立に作ったP型とN型を物理的 にくっつけるわけではない.もともと1つの結晶シ リコンにP型とN型の領域を作る.

空乏層 接合後

逆方向バイアス

https://www.electrical4u.com/diode-working-principle-and-types-of-diode/ ver.3

(12)

pn 接合ダイオードの構造と動作 (2) 12

接合前

接合後

黒田「イメージセンサの本質と基礎」

(13)

13

逆バイアス

順バイアス

pn 接合ダイオードの構造と動作 (3)

黒田「イメージセンサの本質と基礎」

(14)

pn 接合ダイオードの構造と動作 (4) 14

霜田「エレクトロニクスの基礎」

トンネル効果で空乏層を通り 抜けることで電流が流れる

I = Is

exp

✓ ⌘eV kT

1

⌘ < 1

⌘ = 1

電流-電圧特性

理想的 現実

(15)

バイポーラトランジスタの動作 (1) 15

「プログラム学習による半導体回路I

30 

' 1,

C   C  

C   C  

P  

B   N   P  

E   E  

E   E  

N  P   (1)<1  b )  P  N  

31 

C   '‑'  C  

P  

B   N  

P  

E   B   E  

E  

c  

B  

C ) )  

B  

C ) . J  

E,

35 

..J 

oK , O K  

30 

' 1,

C   C  

C   C  

P  

B   N   P  

E   E  

E   E  

N  P   (1)<1  b )  P  N  

31 

C   '‑'  C  

P  

B   N  

P  

E   B   E  

E  

c  

B  

C ) )  

B  

C ) . J  

E,

35 

..J 

oK , O K  

(16)

バイポーラトランジスタの動作 (2) 16

「プログラム学習による半導体回路I

36  2  

33  B  

F   B  

l   o  

34 

B  

35 

B  

C  

36  2  

33  B  

F   B  

l   o  

34 

B  

35 

B  

C  

電流は流れない

(17)

バイポーラトランジスタの動作 (3) 17

「プログラム学習による半導体回路I

36  B  

C  

1  c  

37 

38 

/  I. 

h  

F E  

‑‑1 

n.FtE 

H "E 

37 

36  B  

C  

1  c  

37 

38 

/  I. 

h  

F E  

‑‑1 

n.FtE 

H "E 

37 

:18  2  

h FE 

C  m A  

C  

m A  

J  

([><1  a )  

E  

40 

B  

:  h F E  

C  E   2  C  V  

J  

VB E  

V C E  

o   Ó

,'2 2  

‑ ‑ VC E  CV J  

41 

(1  )   B  EJI'd 

...  VB E  

E  

I゚  1  c   I  :  1 0 0  

I  

IC 

? ?  

Tt" 

<  

l  ).‑l 

~100 ベース電流

エミッタ電流

コレクタ電流

電流は流れる.

エミッタからの電子はベースのみならず,コレクタに も流れるようになる.むしろ,コレクタへの電流がほ とんど.

ベース電流とコレクタ電流は比例する.

VCE>0.2Vでは,コレクタ電流は VCEに依存しなくなる.

ベース電流にのみに依存する.

(18)

バイポーラトランジスタの動作 (4) 18

「プログラム学習による半導体回路I

40  2  

44 

B   B  

• •

. ••

 

• ••

C  

..  

11-,

45 

• •

•• ••

• ••

B  

L  L. 

46  B  

} 

i 

I¥?  (2) 

1E   :  h  

(3) 

(V  J  

VB •

; l  LV

L   

'.‑1 

VB E  

43 

',[lJ

B  E i:\l, B  

B   B   {',1

40  2  

44 

B   B  

• •

. ••

 

• ••

C  

..  

11-,

45 

• •

•• ••

• ••

B  

L  L. 

46  B  

1  

1¥  i/‑ C  

C  

•• • • •

o.  6   VBEC V J  

‑18  

1   C  B  

C  

C  

.   •

5  

Ic  /  

E  

1  

1",

11  

ただしトランジスタでは,

ベースの不純物濃度

    < エミッタ不純物濃度 ベースの厚みを薄くしておく

エミッタからの電子がCB間の空乏 層まで到達する.

しかし,結局はベースに流れること になる.

ダイオード同様

ベースの両側に空乏層 ができる.

内蔵電圧(内部電解) 作られる.

ダイオード同様に

エミッタの電子もベー スのホールも移動し,

電流は流れる.

(19)

バイポーラトランジスタの動作 (5) 19

「プログラム学習による半導体回路I

エミッタの電子がベースに移動する量は,BE間に加えた電圧で,決まる.

CE間に加えた電圧は,単にCE間の空乏層に到達した電子を集めるだけ.

なので,コレクタ電流はCE間の電圧には依存しない.これが0.2V

BE間に加えた電圧に依存する」のだが,電圧に対して電流はexp的に増加 するので,ON状態ではBE間の電圧は0.6V以上にはそれほど上がらない.

1  

1¥  i/‑ C  

C  

•• • • •

o.  6   VBEC V J  

‑18  

1   C  B  

C  

C  

.   •

5  

Ic  /  

E  

1  

1",

11  

:18  2  

h FE 

C  m A  

C  

m A  J  

([><1  a )  

E  

40 

B  

:  h F E  

C  E   2  C  V  J  

VB E  

V C E  

o  

Ó

,'2 2  

‑ ‑ VC E  CV J  

41 

(1  )   B  EJI'd 

...  VB E  

E  

I゚  1  c   I  :  1 0 0  

I  

IC 

? ?  

Tt" 

<  

l  ).‑l 

84 

13 

B  E  

1  

4  

14 

1   2  C m A J   1  +  h FE  

Cm A J   2.0 

h  F E  

2  Cm A J  

1  +  h FE  

15 

16  JS<J   =   0.7  CV J  

= 0.7  

2  Cm A J  

17 

Ic  

h  

18 

v.   v.  

85 

正しいステートメント

VBEを印加することで,エミッタ電流(電子)が流れ,ベースとコレ クタに,1:hFE = IB : ICの比で分流する」

よく言われるステートメント

VBEを印加することで,ベース電流が流れ,それによってコレクタ 電流やエミッタ電流が流れる.その比はIB : IC=1:hFEであり,つまり ベース電流でコレクタ電流を増幅することになる」

トランジスタ「回路」を理解するコツ

「トランジスタがON状態ではVBEはほぼ0.6-0.7Vである.

これによりベース電圧からエミッタ電圧が決まる.その結果,エミッ タにつなげている回路素子により,結果的にエミッタ電流が決ま

VBEICIEを制御している」

(20)

バイポーラトランジスタの動作 (6) 20

「プログラム学習による半導体回路I A  

50  {nJ 

B  

C   C  

B  

C  

(V  

51  N  P  

B  E I1'd 

C E I1¥1 

52 

N P N  

P  N  P  

(' 

7j 

o  

r   Ä,-(

!,: I  

/ '¥ 

111  B  

r  

C  

/1 

C  

o  0  

(l>(1 a  l  

C   Ic 

54  

│ N  P  

(1 )  

(2) 

v..d ,

0 ‑ ( VJ  

( J ,

43  

<  

1  

1¥  i/‑ C  

C  

•• • • •

o.  6   VBEC V J  

‑18  

1   C  B  

C  

C  

.   •

5  

Ic  /  

E  

1  

1",

11  

!,: I  

/ '¥ 

111  B  

r  

C  

/1 

C  

o  0  

(l>(1 a  l  

C   Ic 

54  

│ N  P  

(1 )  

(2) 

v..d ,

0 ‑ ( VJ  

( J ,

43  

<  

.,

55  r  P  N  

(1  )  

(2) 

IE  

V8E 

0.6   CV J  

(IXI c  )  

56 

m  

r  fVP  

T‑‑‑

NPNトランジスタ

PNPトランジスタ

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