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反応性大電力パルススパッタリングにおけるDLC成膜の放電特性

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Academic year: 2021

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岡山理科大学紀要 第54号 A pp. 37-41(2018)

(2018年10月30日受付、2018年12月6日受理)

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38 福江紘幸・岡野忠之・黒谷雅英・クルモフ バレリー・中谷達行

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39 反応性大電力パルススパッタリングにおける DLC 成膜の放電特性

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40 福江紘幸・岡野忠之・黒谷雅英・クルモフ バレリー・中谷達行

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41 反応性大電力パルススパッタリングにおける DLC 成膜の放電特性

(Received October 30, 2018 ; accepted December 6, 2018)

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参照

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