岡山理科大学紀要 第54号 A pp. 37-41(2018)
(2018年10月30日受付、2018年12月6日受理)
38 福江紘幸・岡野忠之・黒谷雅英・クルモフ バレリー・中谷達行
39 反応性大電力パルススパッタリングにおける DLC 成膜の放電特性
40 福江紘幸・岡野忠之・黒谷雅英・クルモフ バレリー・中谷達行
41 反応性大電力パルススパッタリングにおける DLC 成膜の放電特性
(Received October 30, 2018 ; accepted December 6, 2018)