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目 次
第I 部：序論 1 1. 磁気イメージングの始まり . . . 3 2. 磁気イメージングの発展 . . . 6 3. ハンドブックの利用について . . . 8 第II 部：各論 13 第1章 スピン偏極走査トンネル顕微鏡 15 1.1 スピン偏極走査トンネル顕微鏡（ スピン偏極STM）とは . 15 1.2 スピン偏極STMの原理 . . . 16 1.3 測定環境，磁性探針の作成，磁性試料の取り扱い . . . 28 1.4 測定例 . . . 34 第2章 透過電子顕微鏡 45 2.1 透過電子顕微鏡の原理 . . . 45 2.2 ローレンツ顕微鏡法による磁気イメージング . . . 48 2.3 電子線ホログラフィによる磁気イメージング . . . 52 2.4 薄膜試料作製と磁場印加 . . . 57 2.5 磁気イメージングの応用例. . . 59 第3章 スピン偏極走査電子顕微鏡 67 3.1 スピン偏極走査電子顕微鏡の原理 . . . 67 3.2 装置構成ならびに試料準備. . . 76 3.3 測定例 . . . 83main : 2010/9/1(12:34) vi 目次 第4章 磁気力顕微鏡 95 4.1 磁気力顕微鏡の測定原理 . . . 95 4.2 MFMを利用した計測法 . . . 106 4.3 MFM像の定量的解析のための伝達関数の応用 . . . 116 第5章 軟X線顕微鏡 131 5.1 軟X線顕微鏡による磁気イメージングの基礎 . . . 131 5.2 軟X線顕微鏡測定のための試料準備 . . . 141 5.3 透過X線顕微鏡と走査透過X線顕微鏡の原理 . . . 142 5.4 透過軟X線顕微鏡(TXM) . . . 146 5.5 走査透過軟X線顕微鏡(STXM) . . . 150 5.6 X線フーリエ変換ホログラフィ . . . 154 第6章 光電子顕微鏡，低エネルギー電子顕微鏡 161 6.1 光電子顕微鏡，低エネルギー電子顕微鏡とは . . . 161 6.2 光電子顕微鏡，低エネルギー電子顕微鏡による磁区観察の原理163 6.3 放射光を用いた光電子顕微鏡による磁区観察 . . . 172 6.4 実験室光源を用いた光電子顕微鏡による磁区観察 . . . 180 6.5 スピン偏極低エネルギー電子顕微鏡による磁気イメージング 182 第7章 走査X線顕微鏡 187 7.1 走査X線顕微鏡の原理 . . . 187 7.2 走査X線顕微鏡装置. . . 198 7.3 走査X線顕微鏡の測定例 . . . 204 第8章 カー効果顕微鏡 213 8.1 カー効果顕微鏡とは . . . 213 8.2 磁区観察のためのカー効果. . . 214 8.3 カー効果顕微鏡の光学系 . . . 218 8.4 磁区イメージングの例 . . . 224 第9章 近接場磁気光学顕微鏡 239 9.1 近接場磁気光学顕微鏡とは. . . 239 9.2 近接場光学顕微鏡 . . . 240
main : 2010/9/1(12:34) 目次 vii 9.3 近接場磁気光学顕微鏡 . . . 246 9.4 円偏光変調法を用いた近接場磁気光学顕微鏡 . . . 258 第10章 走査ホール素子顕微鏡 263 10.1 走査ホール素子顕微鏡とは . . . 263 10.2 SHPMの測定原理と特徴 . . . 264 10.3 SHPM装置の構成および基本性能 . . . 270 10.4 SHPM観察の測定例 . . . 281 10.5 今後の展開 . . . 290 第11章 SQUID顕微鏡 293 11.1 SQUID顕微鏡とは . . . 293 11.2 SQUIDの原理とSQUID顕微鏡 . . . 294 11.3 SQUID顕微鏡の高性能化技術 . . . 302 11.4 SQUID応用分野 . . . 316 第12章 非破壊検査における磁気イメージング 321 12.1 非破壊検査における磁気イメージングの原理 . . . 321 12.2 プローブの種類および検出方法 . . . 332 12.3 イメージングの実例 . . . 339 第13章 電磁界イメージング 345 13.1 電磁界イメージングとは . . . 345 13.2 近傍電磁界イメージングの原理 . . . 347 13.3 電子機器におけるイメージング例 . . . 359 第III 部：用語集 369 索引 421
main : 2010/9/1(12:34) 編集幹事 大嶋 則和 ルネサスエレクトロニクス株式会社生産本部 主任 小野 寛太 高エネルギー加速器研究機構 准教授 笹田 一郎 九州大学大学院総合理工学研究院 教授 三俣 千春 東北大学大学院工学研究科 客員教授 山田 豊和 千葉大学大学院融合科学研究科 特任准教授 執筆者 山田 豊和（ 第 1 章）千葉大学大学院融合科学研究科 特任准教授 進藤 大輔（ 第 2 章）東北大学多元物質科学研究所 教授 孝橋 照生（ 第 3 章）株式会社日立製作所中央研究所 主任研究員 甲野藤 真（ 第 3 章）産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門 研究員 松山 秀生（ 第 3 章）北海道大学大学院理学研究院物理学部門 准教授 小池 和幸（ 第 3 章）北海道大学大学院理学研究院物理学部門 教授 石尾 俊二（ 第 4 章）秋田大学大学院工学資源学研究科 教授 齊藤 準（ 第 4 章）秋田大学大学院工学資源学研究科 教授 山岡 武博（ 第 4 章）エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 分析応用技術部 小野 寛太（ 序論，第 5 章）高エネルギー加速器研究機構 准教授 木下 豊彦（ 第 6 章）財団法人高輝度光科学研究センター 主席研究員 鈴木 基寛（ 第 7 章）財団法人高輝度光科学研究センター 主幹研究員 山 二郎（ 第 8 章）九州工業大学大学院工学研究院 特任教授 竹澤 昌晃（ 第 8 章）九州工業大学大学院工学研究院 准教授 石橋 隆幸（ 第 9 章）長岡技術科学大学物質・材料系 准教授 山口 明啓（ 第 10 章）慶應義塾大学理工学部 助教 清水 正義（ 第 10 章）慶應義塾大学大学院理工学研究科 （ 現・株式会社日立製作所中央研究所 研究員） 宮島 英紀（ 第 10 章）慶應義塾大学理工学部 教授 糸 秀夫（ 第 11 章）大阪大学大学院基礎工学研究科 教授 笹田 一郎（ 第 12 章）九州大学大学院総合理工学研究院 教授 山田 外史（ 第 12 章）金沢大学環日本海域環境研究センター 教授 増田 則夫（ 第 13 章）株式会社ネットコムセックマイクロ波管事業部 技術課長 大嶋 則和（ 序文，用語）ルネサスエレクトロニクス株式会社生産本部 主任 三俣 千春（ 序論，用語）東北大学大学院工学研究科 客員教授
