３Ｍ™ Novec™ 高機能性液体

３M、Novecは、３M 社の商標です。

各種数値は参考値であり、保証値ではありません。仕様及び外観は、予告なく変更されることがありますのでご了承ください。本書に記載してある事項、技術上のデータ並びに推奨は、すべて当社の信頼している実験に基づいていますが、その正確性 若しくは完全性について保証するものではありません。使用者は使用に先立って製品が自己の用途に適合するか否かを判断し、それに伴う危険と責任のすべてを負うものとします。売主及び製造者の義務は、不良であることが証明された製品を取 り替えることに限定され、それ以外の責任は負いません。本書に記載されていない事項若しくは推奨は、売主及び製造者の役員が署名した契約書によらない限り、当社は責任を負いません。

EMS-235-AD(0319) Please Recycle. Printed in Japan.

© 3M 2019. All Rights Reserved.

電子用製品事業部

https://www.3mcompany.jp/3M/ja_JP/novec-jp/

カスタマーコールセンター

0570-022-123

8:45～17:15 ／月～金（土日祝年末年始は除く） 全国どこからでも市内料金でご利用いただけます 製品のお問い合わせはナビダイヤルで

３Ｍ

TM

Novec

TM

高機能性液体

3M

TM

Novec

TM

Engineered Fluids

３M フッ素ケミカルテクノロジー

３M 社では 1995 年の特定フロン全廃後、特定フロン代替製品としてハイドロフ

ルオロエーテル（HFE）構造を持つ製品の開発に成功いたしました。 その高い安

全性と低環境負荷が評価され「1997 Heroes of Chemistry 賞」を授与されました。

Novec

TM

は、３M 社のフッ素化学製品の中で環境を重視した製品の信頼の証のブ

ランドです。

Novec

TM

高機能性液体とは

Novec

TM

高機能性液体は熱的・化学的安定性にすぐれ、かつ適度な溶解性を持つ

液体です。 オゾン破壊係数はゼロ。 しかも HFC や PFC に比べ地球温暖化係数が

大幅に低く、環境への負荷を抑制できます。 Novec

TM

7100/7200 は、 EPA（米国環

境保護局）の定める特定フロン代替物リスト（SNAP リスト）の洗浄・冷媒分野で、

Acceptable（制限なしに利用可）に指定。 グリーン調達を進める先進企業に理想

的なソリューションを提供します。

３M

TM

_Novec

TM

_{7100 の分子構造}

F C H O

C

4

F

9

OCH

3

Smart. Safe. Sustainable.

High-performing science with a purpose

helping to protect people and the planet

製 品

環境・安全性

安全性データに関する詳細は安全データシート（SDS）をご参照ください。

特　性

Novec

TM

7000

Novec

TM

7100

Novec

TM

7200

Novec

TM

7300

オゾン破壊係数（ODP）

CFC-11=1

0

0

0

0

大気寿命

単位：年

5.0

4.7

0.8

3.8

地球温暖化係数（GWP）

CO2=1, 100 年積算※ 1

530

297

57

310

引火点

なし（消防法非該当）

※ 2

急性吸入毒性 ALC/LC50（4 時間）

低毒性

揮発性有機化合物（VOC）

※ 3 ※ 2：製品によっては燃焼範囲を有するものもあります。

名　称

Novec

TM

_HCFC-225

_HFC-43-10mee

_{塩化メチレン}

PRTR 法

非該当

第 1 種指定化学物質

非該当

第 1 種指定化学物質

労働安全衛生法

_{（71IPA 以外）}

非該当

非該当

非該当

第 2 類特定化学物質

_{第 2 種有機溶剤}

地球温暖化対策推進法

非該当

非該当

該当

非該当

オゾン層保護法

非該当

特定化学物質

非該当

非該当

2016 年 8 月現在

Novec

TM

7000

Novec

TM

7100

Novec

TM

7200

Novec

TM

7300

HFE-347pcf

HCFC-225cb

HCFC-225ca

HFC-43-10mee

HFE-43 10pccc124

530

0

0

0

0

0

0.025

0

0

57

889

525

500

0.05

1,000

127

1,650

0.1

310

ODP

GWP

2,820

0.033

297

環境性能比較

ODP/GWP 比較

ODP：CFC-11=1 GWP：CO

2

_{=1, 100 年積算}

環境データについて

● ODP（Ozone Depleting Potential）：

CFC-11（フロン 11）のオゾン破壊係数を 1 とした場合の値。

● 大気寿命：

OH ラジカルとの反応性によって算出され、大気中における物質の寿命を示す。

● GWP（Global Warming Potential）：CO2の温暖化係数を 1 とした場合の値。 ※ 1：IPCC Report 2013（NovecTM _{7100 は IPCC Report 2007）参照}

● VOC（Volatile Organic Compounds）：

光化学オキシダントの原因となる揮発性有機化合物。 ※ 3：VOC 規制に対する該当・非該当は、対象となる施設の種類や規模によって基準が異なりますので、 法規制をご確認ください。 ● 許容濃度： 1 日 8 時間、1 週 40 時間の正規の労働条件で大多数の労働者が繰り返し曝露されても健康 障害を起こさないとされる濃度。

NovecTM _{7100 の許容濃度は、American Industrial Hygiene Association による設定値です。}

NovecTM _7200、NovecTM _{7300 の許容濃度は、３M 社内で設定した推奨値です。} ３M社及びメーカーカタログ資料より

Novec

TM

7100

Novec

TM

7200

Novec

TM

7300

HFE-347pcf

塩化メチレン

HCFC-225

HFC-43-10mee

750

200

100

200（天井値400）

50（最大許容濃度）

100

（ppm）

50

許容濃度比較

1kg 缶 5kg 缶 15kg 缶

名　称

成　分

沸 点

容 器

容 量

Novec

TM

₇₀₀₀

ハイドロフルオロエーテル

34° C

ガラス容器

_金属缶

4.5kg

_136kg

Novec

TM

₇₁₀₀

_{61° C}

金属缶

ポリ容器

金属缶

金属缶

1kg

5kg

15kg

272.1kg

Novec

TM

7200

76° C

Novec

TM

₇₃₀₀

_{98° C}

Novec

TM

_71IPA

_（Novec

ハイドロフルオロエーテル共沸様混合物

TM

_{7100 95% イソプロピル}

特 長

用途例と要求特性一覧

マーケット

用　途

要求性能

半導体・液晶

製造装置

●

ドライエッチング装置、ステッパー露光装置、プローバ、イオンインプランター装置、

ハンドラ等の冷却ブライン用途

●

半導体製造装置の部品洗浄、フッ素系堆積物（デポ物）の除去

電気絶縁性

流動性（低粘性）

材料適合性

不燃性

伝熱特性

電気・電子

●

電子部品のパーティクルの精密洗浄

●

CCD、CMOS イメージセンサーチップや

カメラモジュール洗浄

●

有機 EL ディスプレイ・光学部品・レンズ洗浄

●

半導体用ケース、ウェーハ洗浄、乾燥

●

MEMS デバイスの洗浄、乾燥

●

気密性テスト・耐電圧テストの媒体

●

フッ素オイル、フッ素樹脂、

フッ素コーティング剤の溶剤

●

コンピュータサーバー・レーダー・センサー・

コンデンサー・トランス機器等の冷却

浸透性

不燃性

材料適合性

伝熱特性

工業用市場

●

整流器の冷却

●

ヒートパイプ、 ヒートポンプの作動液

●

冷凍粉砕の作動液

●

恒温槽の熱媒体

●

自動車エンジン部品の洗浄

●

エナメル線のピンホールテスト

●

通信用機器の洗浄

●

航空機部品の洗浄

流動性（低粘性）

電気絶縁性

熱安定性

表面張力

蒸発潜熱

化学・医薬品市場

●

引火点調整剤

●

抽出溶媒

●

反応熱除去

●

合成反応溶媒

●

医療用機器部品の洗浄

●

フリーズドライのブライン

不燃性

低毒性

低温特性

溶解性

その他

●

廃熱利用システム

材料適合性

伝熱特性

製品の特長

利 点

お客様のメリット

環　境

オゾン破壊係数ゼロ

環境負荷低減

●

環境方針の遵守を可能とする

低い地球温暖化係数

安　全

低毒性

安全性

●_●

良好な作業環境の確保

_{消防法、危険物の制限枠を超えない}

高い許容濃度

不燃・引火点なし

性　能

低い表面張力・粘度

_洗浄

● 比重分離効果 ● プラスチック・金属材料を侵しにくい ● 短い乾燥時間 ●

パーティクル・ホコリ等の除塵

●

水シミ残りのない水切り・乾燥

●

熱に弱い電子部品の低温による乾燥

●

ミクロン単位の隙間に浸透しての洗浄

●

液の蒸留再生が可能で、繰り返し使用によるコスト低減

低い蒸発潜熱

高密度

溶剤

● 速い蒸発速度 ● 優れた適合性 ●

乾燥時間短縮・製品不良率の低減

●

均一な拡がり性と濡れ性

優れた材料適合性

適度な溶解性

電気絶縁性能に優れる

冷却＆温調

● 電気特性 ● 低粘度 ●

メンテナンス性と電気絶縁性に優れた熱媒体・

冷却ブライン

熱伝達性に優れる

低温での粘性変化が少ない

熱的・化学的安定性

液体としての温度範囲が広い

代表特性データ

用途別分類

用　途

Novec

₇₀₀₀

TM

Novec

₇₁₀₀

TM

Novec

₇₂₀₀

TM

Novec

₇₃₀₀

TM

Novec

_71IPA

TM

溶　剤

溶　媒

●

●

●

分散媒

●

●

●

洗　浄

1 液によるパーティクル洗浄

●

●

●

●

洗浄剤との組合せによる 2 液洗浄

●

●

●

乾燥・すすぎ

水切り乾燥

●

すすぎ乾燥

●

●

●

●

熱媒体

ブライン

●

●

●

●

恒温槽

●

●

●

沸騰冷却

●

●

●

●

その他

合成反応溶媒

●

●

●

●

引火点調整

●

●

●

●

代表物性値

●

代表物性は 25℃におけるものです。（沸点、凝固点、蒸発潜熱を除く）

●

規格値ではありません。

特　性

Novec

₇₀₀₀

TM

Novec

₇₁₀₀

TM

Novec

₇₂₀₀

TM

Novec

₇₃₀₀

TM

沸　点

℃

34

61

76

98

凝固点

℃

–123

–135

–138

–38

※

蒸気圧

MPa

0.065

0.028

0.016

0.006

蒸発潜熱（沸点）

kJ/kg

142

126

126

102

密　度

kg/m

3

_1,400

_1,520

_1,430

_1,660

絶対粘度

Pa・s 4.5 × 10

-4

_{5.8 × 10}

-4

_{5.7 × 10}

-4

_{1.2 × 10}

-3

動粘度

cSt

0.32

0.38

0.40

0.70

比　熱

J/kgK

1,300

1,172

1,214

1,137

熱伝導度

W/mK

0.075

0.069

0.069

0.062

表面張力

mN/m

12.4

13.6

13.6

15.0

屈折率

1.26

1.27

1.28

1.28

膨張係数

m

3

_/m

3

_{K 0.00219}

_0.00171

_0.00158

_0.00144

絶縁耐力

kV（2.54 mm gap）

40

28

23

27

体積抵抗

Ω m （DC 500 V）

10

8

₁₀

9

₁₀

8

₁₀

9

水の溶解度

ppm （wt.）

60

95

92

67

水への溶解度

ppm （wt.）

＜ 50

12

＜ 20

＜ 1

比誘電率

1 kHz

7.4

7.5

7.4

6.1

誘電正接

1 kHz ＜ 0.02

＜ 0.27

＜ 0.27

0.02

※ NovecTM _{7300 は、流動点。}

特　性

Novec

_71IPA

TM

沸　点

℃

54.5

密　度

kg/m

3

_1,440

絶対粘度

Pa・s 6.8 × 10

-4

引火点

なし

表面張力

mN/m

14.0

※ NovecTM _{71IPA は、共沸様混合物です。}

化学式

Novec

TM

7000：C

₃

F

₇

OCH

₃

Novec

TM

7100：C

₄

F

₉

OCH

₃

Novec

TM

7200：C

₄

F

₉

OC

₂

H

₅

Novec

TM

7300：C

₂

F

₅

CF（OCH

₃

）C

₃

F

₇

精密洗浄用途

表面張力や粘度が低く、浸透性に優れていること、適度な溶解力を有していることから、超音波洗浄との併用で効果を発揮します。

工程概念図

３M

TM

Novec

TM

1 液による洗浄方式（ニート洗浄）

洗浄剤との組み合わせによる 2 液洗浄方式（コ・ソルベント洗浄）

水切り・乾燥方式

ヒーター

蒸気発生槽

洗浄槽

超音波 冷却 コ イ ル

洗 浄

蒸気による すすぎゾーン

P

3 2 1 乾燥ゾーン

工程概念図

炭化水素系洗浄槽

超音波

リンス槽

超音波

洗 浄

1 ₂

_Novec

TM

_{によるリンス}

工程概念図

水系洗浄槽

超音波

超音波

純水リンス槽

洗 浄

1 2

リンス

特　長

●

1 液での洗浄が可能

●

洗浄装置をコンパクトにでき、省設置スペースが可能

●

乾燥性能に優れる

●

材料との適合性に優れる

●

不燃性である

用途例

●

CCD・CMOS センサ等電子デバイスの除塵（パーティクル除去）

●

CCD・CMOS モジュールの IR ガラス・鏡筒部の洗浄・乾燥

●

半導体製造装置部品・チャンバの洗浄

●

軽質油・中質油の洗浄

●

フッ素系オイル・グリースの洗浄

●

パーティクルの拭き取り洗浄

●

プレス部品のスタンピング後の洗浄

特　長

●

洗浄装置の不燃化が可能で、引火の危険性を抑えることができる

●

エアオーブン乾燥工程が不要で装置の小型化・省スペースが可能

●

油分残渣量が少なく、品質が向上する

●

乾燥時の温度が低く、ワークへの熱衝撃が少ない

●

材料との適合性に優れる

●

表面張力が低く、ワークの微細部に浸透し洗浄・乾燥が可能

用途例

●

液晶セル・パネルの洗浄

●

ハードディスクドライブのサスペンション・アームの脱脂洗浄・乾燥

●

精密加工部品のシリコーンオイル洗浄・乾燥

●

エンジンガスケットのプレス後洗浄

●

シリンダーバルブの樹脂洗浄

●

航空機部品の切削油除去洗浄

特　長

●

エアオーブンによる熱風乾燥に比べ、乾燥時間が短縮できる

●

乾燥時の温度が低く、ワークへの熱衝撃が少ない

●

しみの発生が抑えられる

●

水切り性能に優れる

●

材料との適合性に優れる

用途例

●

カメラなどのレンズの水切り・乾燥

●

CCD・CMOS センサ－パッケージの水切り・乾燥

●

ハードディスクドライブ等の精密部品の水切り・乾燥

すすぎ性能比較（油分残渣量）

洗浄剤との相溶性

Novec

TM

_{による蒸気乾燥}

3 ヒーター

蒸 気 槽

冷却 コ イ ル 浸 漬 前 _NovecTM 71IPA に浸漬・乾燥 超純水に 浸漬・乾燥 MEMS構造の維持 微細構造へのダメージ （破壊と貼り付き現象） 100μm×200 15mm 100μm×200 14mm 100μm×200 13mm

Novec

TM

7100

（61°C＝沸点） すすぎ30秒 蒸気乾燥30秒 すすぎ1分 蒸気乾燥30秒 エアオーブン （100°C） エアオーブン（120°C） 5分 10分 5分 10分

＞1,000

0.001 0.01 0.1 1 10 100 1,000（mg/個） 部品：M10ナット　　洗浄剤：パラフィン系洗浄剤（引火点70°C）

＜0.001

＜0.001

パーティクル除去率（％）

超 音 波：28kHz 浸漬時間：5分 液　　温：55℃（

Novec

TM

7100

_） 50℃（

Novec

TM

71IPA

_） 60℃（超純水） パーティクル：1.112μmPSL粒子

Novec

TM

7100 Novec

TM

71IPA

100

95

90

85

80

75

70

95.4%

超純水

88.4%

83.5%

MEMS デバイスのスティクションフリー 乾燥事例

超音波

Novec

TM

71IPA

水切り槽

ヒーター

蒸 気 槽

冷却 コ イ ル

Novec

TM

71IPA

による水切り

IPA による水切り

3 3

Novec

TM

71IPA

による蒸気乾燥

4

Novec

TM

₇₁₀₀

による蒸気乾燥

4 洗浄剤 Novec₇₁₀₀TM Novec₇₂₀₀TM 炭化 水素系 パラフィン系 溶解（高温） 溶 解 エステル系 不溶解 溶 解 ナフテン系 不溶解 溶 解 芳香族系 溶 解 溶 解 グリコールエーテル系 溶 解 溶 解 アルコール系 溶 解 溶 解 シリコーン系 溶 解 溶 解 テルペン系 溶解（高温） 溶 解 溶解 　　 ：室温で任意の割合で混合する 溶解（高温）：室温では限られた溶解性を持つが、フッ素系溶剤の 沸点付近では 任意の割合で混合する 不溶解 　 ：高温の状態でも限られた溶解性しか持たない ※ 念のため、洗浄剤との適合性及び相溶性はご確認ください。

冷却・熱管理用ブライン用途

2 次冷却ブライン用途

急速に微細化が進む半導体プロセスにおいて、熱対策や温度管

理に用いられるブライン（熱媒体）の要求もいっそう高度化し、

多様化してきています。

Novec

TM

高機能性液体は

広い液相温度域を持つため、幅広い用途に対応できます。

Novec

TM

高機能性液体は –40° C 以下の超低温域において、

非常に優れた流動性を示します。

凝固点が－100℃以下と非常に低く、超低温域（－100℃ 〜 －40℃）

での 2 次冷却を可能とします。 優れた流動性を示し、循環系への

負荷を小さくすることができ、メンテナンス性が向上します。

半導体製造装置ブライン

2 次冷却

冷却イメージ

装置概念図

ドライエッチング装置電極部温度コントロール用途 アノード ウェーハ カソード RF電源 チャンバ 熱交換器

３M

TM

Novec

‒135 61 ‒138 ‒38 76 98 0 100 ‒40 118 ‒40 105 ‒45 82 ‒123 34

Novec

TM

7000

Novec

TM

7100

Novec

TM

7200

Novec

TM

7300

水 エチレングリコール（70%） プロピレングリコール（60%） エタノール（59%）

液相温度域

温度（°C）

1

0.1

0.01

0.001

0.0001

絶対粘度（Pa・s）

-100 -80 -60 -40 -20 0 20 40 60 温度（°C）

Novec

TM

₇₁₀₀

Novec

TM

₇₂₀₀

Novec

TM

7000

エタノール（59%） エチレングリコール（70%） プロピレングリコール（60%） 塩化カルシウム溶液 （29.6%）

2次冷却のデザイン例

1次冷凍器屋外設置型の場合 熱交換器 ポンプに よる循環 液相循環（復路）

冷凍

放熱 液相循環 （往路） ショーケース

特　長

●

優れた電気絶縁性

●

幅広い温度範囲に適用可能

●

スラッジを発生させない

●

不燃性

用途例

●

ドライエッチング装置

●

露光装置

●

イオン注入器

●

プローバ

●

IC テスタ

特　長

●

液相で使用できる温度範囲が広い

●

絶対粘度が超低温域において低い

●

ポンプへの負荷が小さい

●

部材との適合性に優れる

●

単一成分なので濃度管理が不要

●

防錆剤・防腐剤が不要で、

pH 管理も不要

●

不燃性で化学的安定性が高い

用途例

●

食品工業用冷却装置

●

フリーズドライ

●

環境試験室

●

医薬品工業用冷却装置

●

化学工業用冷却装置

●

ゴム・プラスチックの凍結粉砕

溶剤用途

その他の用途

Novec

TM

高機能性液体は、溶剤として塗布表面に均一な濡れを

生じさせ、すばやく乾燥します。 使用温度範囲、要求蒸発速度

にあった沸点を持つ製品の選択ができます。

恒 温 槽

●

アルコール・シリコーンオイル代替

●

不燃性で引火の危険がない

●

材料適合性に優れる

耐電圧テスト

●

直接浸漬方式での適合性

●

絶縁性

気密試験テスト

●

不燃性

●

後工程での洗浄が不要

●

テスト時間の短縮

●

テストピースの不良率の低減

エナメル線のピンホールテスト

●

非破壊検査

●

乾燥性に優れる

●

腐食しにくい

廃熱回収

●

適度な沸点、熱特性

●

不燃性

●

環境特性

溶剤・分散媒

HD 潤滑剤コーティングイメージ

KB 値

カウリブタノール値

Novec

TM

_{7000 ：10}

Novec

TM

7100 ：10

Novec

TM

_{7200 ：10}

Novec

TM

7300 ： 5

Novec

TM

_71IPA：10

SP 値

Small 法から算出した溶解度パラメータ

Novec

TM

_{7000 ：13.1（MPa）}

0.5

Novec

TM

7100 ：12.4（MPa）

0.5

Novec

TM

_{7200 ：12.6（MPa）}

0.5

Novec

TM

7300 ：12.5（MPa）

0.5

Novec

TM

_{71IPA：14.3（MPa）}

0.5

各種溶剤の溶解性（wt.%）

溶　剤 Novec₇₀₀₀TM Novec₇₁₀₀TM Novec₇₂₀₀TM Novec₇₃₀₀TM

アルコール系 メタノール 混合可 混合可 混合可 1.6 エタノール 混合可 混合可 混合可 混合可 IPA 混合可 混合可 混合可 混合可 1- ブタノール NA 16.8 混合可 1.3 エチレングリコール ＜ 0.1 ＜ 0.1 ＜ 0.1 ＜ 0.1 炭化水素系 ヘキサン 混合可 混合可 混合可 混合可 ヘプタン 混合可 混合可 混合可 混合可 イソオクタン 混合可 混合可 混合可 混合可 ドデカン 6.2 5.9 混合可 2.4 シクロヘキサン 混合可 混合可 混合可 16.6 トルエン 混合可 混合可 混合可 混合可 キシレン 混合可 混合可 混合可 混合可 ミネラルオイル ＜ 0.1 ＜ 0.1 ＜ 0.1 ＜ 0.1 ケトン系 アセトン 混合可 混合可 混合可 混合可 MEK 混合可 混合可 混合可 混合可 MIBK 混合可 混合可 混合可 混合可 エーテル系 ジエチルエーテル 混合可 混合可 混合可 混合可 エステル系 酢酸エチル 混合可 混合可 混合可 混合可 ※データは 25° C におけるものです。

特　長

●

材料との適合性

●

不燃性

●

適度な乾燥速度

●

低粘度かつ低表面張力により、

均一な拡がりと濡れを生じさせる

用途例

●

ハードディスク用潤滑剤の希釈

●

PTFE フッ素樹脂の分散媒

●

エアゾール用溶剤

●

フッ素コーティング剤、

フッ素オイル用溶剤

●

可燃性溶剤の引火点調整

●

反応溶媒

●

分析用抽出溶媒

廃熱エネルギー回収装置概念図 ポンプ タービン

材料適合性データ

条件：高温にて 1 週間浸漬 条件：室温にて 1 週間浸漬

プラスチックとの適合性

Novec 7100TM （61° C） NovecTM 7200 （76° C） NovecTM 7300 （98° C） NovecTM 7000 （室温） NovecTM 7100 （室温） NovecTM 7200 （室温） NovecTM 7300 （室温） アクリロニトリル ブタジエンスチレン ABS 体積変化（%） － 0.1重量変化（%） － 0.2 　 0.0－ 0.3 ＋ 1.0＋ 0.3 　 0.0－ 0.2 　 0.0　 0.0 　 0.0－ 0.1 ＋ 0.1－ 0.2 エポキシガラス epoxy_glass 体積変化（%） 　0.0_{重量変化（%） － 0.1} 　 0.0_{－ 0.1} ＋ 1.0_{＋ 0.5} －_{－ 　 0.0}－ 0.1 _0.0　 0.0 ＋ 0.1_{＋ 0.1} ナイロン 6 Nylon 6 体積変化（%） － 0.5_{重量変化（%） － 0.3} － 0.4_{－ 0.6} － 2.5_{－ 2.9} － 0.8_{－ 0.5} － 0.1_0.0 ＋ 0.1_{－ 0.1} － 0.1_{－ 0.2} ナイロン 66 Nylon ₆₆ 体積変化（%） － 0.4_{重量変化（%） － 0.4} － 0.4_{－ 0.7} － 2.3_{－ 2.8} － 0.1_{－ 0.2 　 0.0}－ 0.1 _{－ 0.1}－ 0.1 － 0.2_0.0 ポリブチレン テレフタレート PBT 体積変化（%） － 0.4重量変化（%） － 0.3 － 0.3－ 0.2 － 0.8－ 0.5 －－ － 0.5－ 0.3 － 0.3－ 0.3 － 0.3－ 0.2 ポリカーボネート PC 体積変化（%） ＋ 0.1_{重量変化（%） 　 0.0} ＋ 0.4_0.0 ＋ 0.2_{＋ 0.2} ＋ 0.1_{－ 0.1} － 0.1_0.0 ＋ 0.4_{＋ 0.1} 　 0.0_{－ 0.1} ポリエチレン PE 体積変化（%） ＋ 0.1_{重量変化（%） ＋ 0.4} ＋ 0.3_{＋ 0.6} ＋ 0.1_{＋ 0.5} 　 0.0_{－ 0.1} － 0.1_0.0 ＋ 0.2_0.0 ＋ 0.2_{＋ 0.3} ポリエチレン テレフタレート PET 体積変化（%） － 0.3重量変化（%） － 0.2 － 0.2－ 0.4 －－ －－ － 0.2－ 0.1 　 0.0　 0.0 －－ フェノール PF 体積変化（%） － 0.5_{重量変化（%） － 0.5} － 0.4_{－ 0.7} － 3.3_{－ 3.8} － 0.4_{－ 0.2} － 0.1_0.0 － 0.1_{－ 0.1} ＋ 0.2_0.0 アクリル PMMA 体積変化（%） － 0.1_{重量変化（%） － 0.3} ＋ 0.2_{－ 0.3} － 0.2_{－ 0.6} 　 0.0_{－ 0.2} － 0.1_{－ 0.1} ＋ 0.6_{＋ 0.2} － 0.1_{＋ 0.6} ポリアセタール POM 体積変化（%） 　 0.0_{重量変化（%） 　 0.0} ＋ 0.1_{－ 0.1} ＋ 0.1_{－ 0.1} 　 0.0_{－ 0.1} － 0.1_0.0 ＋ 0.3_{＋ 0.1} ＋ 0.4_{＋ 0.1} ポリプロピレン PP 体積変化（%） ＋ 0.6_{重量変化（%） ＋ 1.2} ＋ 1.6_{＋ 2.6} ＋ 0.6_{＋ 2.1} － 0.2_{＋ 0.1} － 0.1_0.0 ＋ 0.2_{＋ 0.1} － 0.1_{＋ 0.1} ポリフェニレン オキシド PPO 体積変化（%） － 0.1重量変化（%） － 0.1 ＋ 0.2　 0.0 － 0.1－ 0.1 ＋ 0.1　 0.0 － 0.1－ 0.1 ＋ 0.1　 0.0 　 0.0－ 0.1 ポリフェニレン サルファイド PPS 体積変化（%） － 0.1重量変化（%） 　 0.0 　 0.0－ 0.1 ＋ 0.2＋ 0.2 ＋ 0.1　 0.0 　 0.0　 0.0 ＋ 0.1　 0.0 － 0.3－ 0.1 ポリスチレン PS 体積変化（%） 　 0.0_{重量変化（%） － 0.1} ＋ 0.2_{－ 0.1} ＋ 0.2_0.0 －_－ － 0.1_0.0 ＋ 0.2_0.0 ＋ 1.0_{＋ 1.0} 塩化ビニル（硬質）_（hard）PVC 体積変化（%） － 0.1_{重量変化（%） － 0.1} ＋ 0.2_{－ 0.2} － 1.1_{－ 0.6} －_{－ 　 0.0}　 0.0 _0.0＋ 0.1 ＋ 0.4_{＋ 0.3} PTFE 体積変化（%） ＋ 2.6_{重量変化（%） ＋ 2.3} ＋ 2.7_{＋ 1.9} ＋ 2.9_{＋ 2.9} ＋ 1.7_{＋ 1.3} ＋ 0.8_{＋ 0.9} ＋ 1.0_{＋ 0.7} － 0.2_{＋ 0.2} FEP 体積変化（%） ＋ 4.0_{重量変化（%） ＋ 3.1} ＋ 4.1_{＋ 2.8} ＋ 14.7_{＋ 11.0} －_－ ＋ 0.5_{＋ 0.4} ＋ 1.2_{＋ 0.6} ＋ 3.1_{＋ 1.7} PFA 体積変化（%）_{重量変化（%）} －_－ ＋ 5.0_{＋ 4.3} ＋ 9.2_{＋ 7.7} －_－ －_{－ ＋ 0.2}－ 0.3 ＋ 1.1_{＋ 1.2} ※同じ材料名でも、添加剤の量および種類により、上記データの挙動が変化します。 条件：高温にて 1 週間浸漬 条件：室温にて 1 週間浸漬

ゴムとの適合性

Novec 7100TM （61° C） NovecTM 7200 （76° C） NovecTM 7300 （98° C） NovecTM 7000 （室温） NovecTM 7100 （室温） NovecTM 7200 （室温） NovecTM 7300 （室温） クロロプレンゴム CR 体積変化（%） － 7.2_{重量変化（%） － 3.8} － 9.6_{－ 5.9} － 5.9_{－ 3.7} － 1.2_{－ 0.5} － 4.8_{－ 2.5} － 3.1_{－ 1.9} － 1.1_{－ 0.7} クロロスルフォン化 PE ゴム CSM 体積変化（%） － 5.7重量変化（%） － 3.4 － 8.6－ 5.4 － 8.9－ 5.9 － 1.3－ 0.7 － 1.3－ 0.8 － 1.7－ 1.1 － 0.6－ 0.9 EPDM ゴム EPDM 体積変化（%） － 1.2_{重量変化（%） ＋ 0.1} － 4.7_{－ 2.3} － 0.8_{＋ 0.4} ＋ 0.5_{＋ 1.0} － 0.3_{＋ 0.4} － 1.6_{－ 0.4} ＋ 0.1_{＋ 0.5} EPDM ゴム （可塑剤無し） EPDM 体積変化（%） ＋ 2.1重量変化（%） ＋ 3.6 ＋ 3.2＋ 5.1 －－ －－ ＋ 1.2＋ 2.1 ＋ 1.8＋ 2.9 －－ ブチルゴム IIR 体積変化（%） － 5.9_{重量変化（%） － 3.7} － 6.6_{－ 4.0} － 4.9_{－ 3.3} － 2.1_{－ 1.0} － 2.7_{－ 1.7} － 3.9_{－ 2.3} － 1.8_{－ 1.2} ニトリルゴム NBR 体積変化（%） － 7.9_{重量変化（%） － 4.5} － 7.8_{－ 4.6} － 8.6_{－ 5.4} － 0.9_{－ 0.3} － 2.3_{－ 1.2} － 2.5_{－ 1.3} － 1.5_{－ 0.9} 天然ゴム NR 体積変化（%） － 6.8_{重量変化（%） － 3.3} － 8.7_{－ 4.5} － 2.9_{－ 1.5} － 0.5_{＋ 0.2} － 4.6_{－ 2.3} － 6.1_{－ 3.1} － 0.9_{－ 0.4} シリコーンゴム VMQ 体積変化（%） ＋ 19.1_{重量変化（%） ＋ 26.2} ＋ 32.7_{＋ 40.8} ＋ 9.7_{＋ 13.2} ＋ 14.6_{＋ 18.3} ＋ 14.9_{＋ 20.7} ＋ 24.3_{＋ 30.4} ＋ 6.9_{＋ 9.5} スチレン ブタジエンゴム SBR 体積変化（%） － 3.7重量変化（%） － 1.7 － 4.4－ 2.2 － 3.9－ 1.9 － 2.0－ 0.6 － 2.6－ 1.1 － 3.5－ 1.6 － 2.0－ 1.0 ウレタンゴム U 体積変化（%） ＋ 5.5_{重量変化（%） ＋ 7.6} ＋ 4.2_{＋ 5.6} ＋ 1.7_{＋ 2.5} ＋ 5.9_{＋ 7.6} ＋ 2.6_{＋ 3.5} ＋ 1.9_{＋ 2.5} ＋ 0.3_{＋ 0.5} 条件：沸点下にて 1 週間浸漬

金属との適合性

NovecTM AI（合金） 外観変化 なし Be/Cu 外観変化 なし※ 真鍮（260） 外観変化 なし※ Cu（合金） 外観変化 なし※ Cu（110） 外観変化 なし※ Mg（合金） 外観変化 なし モリブデン 外観変化 なし ニッケル 外観変化 なし ステンレス 外観変化 なし 銅 外観変化 なし※ タンタル 外観変化 なし チタン 外観変化 なし タングステン 外観変化 なし すず 外観変化 なし ※ 真鍮・銅は酸化により変色する可能性があります。

長期暴露の場合

NovecTM _{高機能性液体は多くの金属あるいは硬質プ} ラスチックに対して良好な適合性を有します。 但し、軟質プラスチックやゴム材料に関しては含ま れる可塑剤等の添加剤が長期暴露により NovecTM _高 機能性液体に溶出し、材料が劣化することがありま すので、ご注意ください。 シール材をご検討の場合 は添加剤が少ない材料を選定する必要があります。 また、フッ素ゴム、フロロシリコーンゴム、シリコー ンゴムは膨潤が大きく出るために、シール材として は不適といえます。

短期暴露の場合

NovecTM _{高機能性液体による洗浄といった短時間の} 暴露ではほとんどの金属、プラスチック、ゴムに対 して良好な適合性を有します。 アクリルのような適 合性の乏しいプラスチックに対しても影響を及ぼす ことはほとんどありません。

カスタマーテクニカルセンター案内

カスタマーテクニカルセンター（CTC）は、お客様の技術的課題の解決をめざし新しいコンセプ

トでつくられたソリューションセンターです。

３M のテクノロジープラットフォーム（技術基盤）の展示、技術、製品のご紹介を中心に、フッ

素ケミカルについても洗浄実験、評価、分析等のお客様のご要望に応えるための分析機器、クリー

ンルーム設備等を備えております。

（当社相模原事業所内） コーポレートディスプレイエリア

技術サポート案内

３M では、ご使用条件最適化のために、長年のノウハウに基づいた様々な技術サポートおよびソ

リューションを提供いたします。 ぜひご活用ください。

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部品材料との適合性テスト

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液体の分析（イオンなどのコンタミネーション分析）

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液体の純度分析

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クリーンルームでの洗浄試験

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静電気対策

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液ロス対策

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ブライン変更のサポート

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洗浄条件の最適化

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部材選定の提案

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各種用途の提案

３M

TM

Novec

TM

高機能性液体 取り扱い上の注意

詳細につきましては、当社発行の安全データシート（SDS）をご参照ください。

安全上の注意事項

1. 工業用途に限定します。 医療用具または医薬品用ではありません。

2. 蒸気を吸入しないでください。

3. 皮膚および眼に触れないでください。

4. 換気の良好な区域でのみ使用してください。

5. 環境に排出しないでください。

6. 分解物を吸入しないでください（使用中禁煙）。

7. 眼に入った場合または皮膚に触れた場合は、多量の水で洗浄してください。

改善しない場合は医師の診断を受けてください。

不燃性、低毒性で非常に安全性の高い液体ですが、沸点を超える非常に高い温度で加熱された場合は、微量の PFIB※ 1_{（パーフロロイソブチレン）、フッ化水素}※ 2_を含む 有害な分解生成物を生じる場合がありますので、注意事項を厳守してください。 （参考）

パーフロロイソブチレン

※ 1

_{フッ化水素}

※ 2

沸点

約 7 °C

19.9 °C

LC50（ラット）

※ 3

_{0.5 ppm（6 時間）}

_{1,276 ppm（1 時間）}

許容濃度上限値（ACGIH TLV Ceiling）

※ 4

_{0.01 ppm}

_{2 ppm}

（許容濃度上限値以外は文献数値より引用）

（許容濃度上限値以外は文献数値より引用）

※3 LC50 Lethal Concentration50（50% 致死濃度）の略で試験動物（ラット）を、薬液蒸気の充満する環境において一定時間曝露後、その 50% の数の動物を死亡させる ところの蒸気濃度。 ※4 許容濃度上限値（ACGIH TLV Ceiling） たとえ瞬間的にも超えてはならない曝露限界値。

保管上の注意事項

室温で保管してください。

Novec

TM

高機能性液体の廃棄につきましては当社までご相談ください。

３M、Novecは、３M 社の商標です。 各種数値は参考値であり、保証値ではありません。仕様及び外観は、予告なく変更されることがありますのでご了承ください。本書に記載してある事項、技術上のデータ並びに推奨は、すべて当社の信頼している実験に基づいていますが、その正確性 若しくは完全性について保証するものではありません。使用者は使用に先立って製品が自己の用途に適合するか否かを判断し、それに伴う危険と責任のすべてを負うものとします。売主及び製造者の義務は、不良であることが証明された製品を取 り替えることに限定され、それ以外の責任は負いません。本書に記載されていない事項若しくは推奨は、売主及び製造者の役員が署名した契約書によらない限り、当社は責任を負いません。

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