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粗動 / 微動 ( 超精密 ) ServoTechno Ver.1-2 Date PLL 制御ボード ( 位置 / 速度制御用 ) ( エンコーダ逓倍器内蔵 ) V1SBHL 取扱説明書 V1SBHL サーボテクノ株式会社 神奈川県相模原市中央区相模原 6-2-1

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(1)

Ver.1-2 Date 2006・6・5

粗動/微動(超精密)

PLL制御ボード(位置/速度制御用)

(エンコーダ逓倍器内蔵)

V1SBHL

取扱説明書

V1SBHL

サーボテクノ株式会社

〒252-0231 神奈川県相模原市中央区相模原6-2-18 TEL:042-769-7873 FAX:042-769-7874

(2)

目 次

1.V1SBHL制御ボードの概要………1

2.V1SBHL制御ボードの特長………1

3.V1SBHL制御ボードの用途………1

4.制御部仕様………2

5.ブロック図………3

6.接続図例………4

7.コネクタ接続表………5~8

8.機能説明………8~10

.エンコーダ入力調整方法………11~12

10.インターフェース………13

13.外形図………14

11.使用上のご注意………15

12.無償保証期間と無償保証範囲………15

(3)

1.

V1SBHL制御ボードの概要

V1SBHL

は、インタポレーターを内蔵しています。サイン波出力のエンコーダを使用することで、 A相、B相を逓倍し、超精密位置決めを可能にします。エンコーダ分解能(サイン波)0.8μmを使用 した場合、512逓倍で1.5625nm/パルスの分解能で位置決め可能です。また、粗動/微動の動作 モードがあり、エンコーダの逓倍率を変更し、高分解の位置決めの時は、微動モード、高速で移動する時 は、粗動モードが使用できます。ピエゾを使わずにナノメータ単位の制御ができ、高速でスキャンする事 が可能です。また、ピエゾ特有のヒステリシスがありませんので、軌道制御をすることも可能です。 電力制御部は内蔵していませんので、外部にリニアアンプ方式パワーアンプLA220(DCモータ用)、 または、LP320S(3相ACモータ用)などのパワーアンプを接続して使用します。 高精度なモータ及び高分解能なエンコーダと組合せて使用することで、ナノメータ単位の超精密位置決め が可能となります。

V1SBHL

は、ナノメータ単位の超精密位置決めに最適な制御ボードです。 2.

V1SBHL制御ボードの特長

1.通常偏差カウンタに溜まりを持たない為、指令パルスとエンコーダパルス(追従)が一致し、指令パタ ーンと追従パターンとの移相遅れがありません。(Phase-Locked Loop) 2.2軸ドライバの相関関係を正確にトレースできます。 3.微量送りにも即応性を発揮します。 4.サンプリング制御をしていないので非常に高速応答です。 5.逓倍器は、CPUを使用しないでCPLDで演算しています。遅延時間が非常に小さく(500nS) 高速応答です。 6.粗動、微動の採用で高速移動が可能です。 3.

V1SBHL制御ボードの用途

超精密ボイスコイル型リニアモータ、XYステージ、その他。 特に、微少送りの高速位置決め(数mSec)や、0.8μmの高分解能サイン波出力リニアスケールを用いた リニアモータの位置決め、及び位置・速度を同期させ加工する様な超精密マシーンに最適です。 (パワーアンプは、付属していませんので、モータに応じたリニアアンプを使用して下さい。) -1-

(4)

V1SBHL 4.制御部仕様

項目 仕様 備考

制御機能 位置決め制御・速度制御 粗動、微動、動作可能

制御方式 PLL(Phase ー Locked Loop)方式による。 偏差カウンタ+アナログ演算サーボ 2相エンコーダフィードバック CPU を使用しないサンプリングレス制御 位置/速度指令 パルス列(インクリメンタル)指令 加減速時は、スローアップ/スローダウン制御が 必要。小移動位置決めでは必要ない 速度制御範囲 0~8MPPS max 粗動、微動、動作可能 応答 1 偏差カウンタ±2パルス max 電流指令値max 2 時定数1μs max モータ特性により調整 位置決め精度 ±1パルス以内 メカ側(モータ)の剛性及び設置環境 により不可の場合があります。 操作信号 CW/CCW、サーボオン、リセット、ゲインロ ー、粗/微動、ストップ TTL フォトカプラ入力 出力信号 インポジション、アラーム、粗動エンコーダA 相、粗動エンコーダB相、微動エンコーダA 相、微動エンコーダB相、エンコーダZ相 TTL オープンコレクタ、フォトカ プラ出力 出力信号 トルク指令値 ±10V max 制御用電源 +5V/2A ユーザー様ご用意 制御用電源 +3.3V/2A ユーザー様ご用意 制御用電源 ±12V~15V/0.3A ユーザー様ご用意 エンコーダ用 電源 ±5V/1A ユーザー様ご用意 I/O用電源 +5V/1A ユーザー様ご用意 エンコーダ入力 2相インクリメンタルエンコーダ サイン波 出力 1V/PP(波高値) 偏差カウンタ 16bit -2-

(5)

5.ブロック図 V1 SB HL blk .s ch

M

ENC

RS232C RS422

I/O

CPU

12bit

A/D

A/D

12bit

CPLD

CPLD

逓倍器

逓倍器

粗動用

微動用

CPLD

偏差カウンタ

16bit

12bit

D/A

PLL

粗動制御

PLL

微動制御

S1 S2

A相サイン波

B相サイン波

エンコーダ

1VP/P

エアー圧

エアー圧

電流アンプ

LA220/DCモータ用

LP320S/ACモータ用

8bit

D/A

S3

A,B相

電流指令

電流指令

±10V

入力

出力

外部

通信

LCD

パネル

表示

PULS DIR 粗/微 SVON RESET GLOW STOP INP ALM Z A相粗微 B相粗微 -3-

(6)

V1SBHL 12.接続図例 /インポジション / ア ラ ー ム パ ル ス / C W 方 向 / C C W / サ ー ボ オ ン / ア ラ ー ム リ セ ッ ト / ゲ イ ン ロ ー 租 A 相 出 力 租 B 相 出 力 Z 相 出 力 エンコ ーダ + 2 4 V 電 源

E

V1SBHL

+

-DCモータ

+5V /PULS +5V /DIR +5V /SVON +5V /RESET +5V /GAIN LOW +5V STIR +5V /STP /INP IF0V /ALARM IF0V /OUT Z Z-0V /OUT A LA-0V L/OUT B LB-0V IF+V IF0V イ ン タ ー フ ェ ー ス 用 電 源 入 力 ( + 5 V )

エ ン コ ー ダ コ マ ン ド ス テ ー タ ス V1SBHL_TSW 出 力 入 力 出 力 ア ー ス 粗 動 / 微 動 指 令 パ ル ス 入 力 FG + - / ス ト ッ プ 1 2 3 4 5 6 7 8 CN1 VHR-8N OP0V OP+5V GND VCC(+3.3V) COM -15V COM +15V 電 源 入 力 ( + 5 V ) 電 源 入 力 ( + 3 . 3 V ) 電 源 入 力 ( - 1 5 V ) 電 源 入 力 ( + 1 5 V ) 制 御 用 ロ ジ ッ ク 制 御 用 ア ナ ロ グ 用 ア ナ ロ グ 用

LA220

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 CN5 HIF3BA-30PA-2.54DS 微 A 相 出 力 微 B 相 出 力 H/OUT A HA-0V H/OUT B HB-0V 1 2 3 4 CN2 VHR-4N AGND -5V AGND +5V 電 源 入 力 ( - 5 V ) 電 源 入 力 ( + 5 V ) エ ン コ ー ダ 用 エ ン コ ー ダ 用 1 2 3 4 5 6 7 8 CN3 H8P-SHF-AA A 相 B 相 Z 相 G N D + 5 V V m - 5 V AGND AGND 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 CN4 DF11-12DP-2DS(22) 1 2 3 CN7 BS3P-SHF-1AA 1 2 3 4 5 6 CN8 BS6P-SHF-1AA 1 2 3 CN6 BS3P-SHF-1AA シールド RXD TXD OP0V OP+5V +SD -SD +RD -RD

GT01

LCD表示器

リニアアンプ(別売品)

1 2 3 4 5 6 7 8 CN1 OP+5V OP0V +SD -SD +RD -RD R S 2 3 2 C パ ソ コ ン PC GND PRESS IF0V

エアー圧検出

INB INA INZ LDALM AGND AGND AGND +2.0V +5V -5V AGNDSX /SVON_OUT REF_OUT /ALM_IN /RES_OUT IF+5VOUT IF+5VOUT COM IF0V 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 CN5 HIF3BA-26PA-2.54DSA /S V O N _O U T R E F _O U T /A LM _I N /R E S _O U T IF +5 V O U T IF +5 V O U T C O M IF 0V 1 2 3 4 5 CN2 1-178315-2 1 2 3 4 CN3 1-178314-2 1 2 3 CN1 1-178313-2 MOT+ MOT/ COM -15V +15V COM FG MTMP0V MTMP

サーマル

1 2 3 CN9 BS3P-SHF-1AA RXD TXD GND

(X軸)

V1SBHL

(Y軸)

1 2 3 CN9 BS3P-SHF-1AA RXD TXD GND

2軸用通信

クロス配線

1、 操作信号は標準仕様では、+5V(約 10mA)で駆動しますが、+24V 電源で駆動する場合は、信号に 直列抵抗1KΩ0.5W を挿入して下さい。 -4-

(7)

6.コネクタ接続表 CN1 制御電源用入力(8P) PIN# 制御用電源 備 考 1 OP0V 2 OP+5V 指令フォトカプラ用電源、LCD表示用電源入力(GT01 松下) +5V 1.0A(ユーザご用意) 3 GND 4 VCC 制御電源入力 +3.3V 1.0A(ユーザご用意) 5 COM 6 -15V 制御用電源入力 -15V 0.3A(ユーザご用意) 7 COM 8 +15V 制御用電源入力 +15V 0.3A(ユーザご用意) CN2 エンコーダ電源入力(4P) PIN# 電源 備考 1 AGND 2 -5V 3 AGND 4 +5V エンコーダ電源用及びエンコーダインターフェース用電源入力 -5V 0.3A(ユーザご用意エンコーダ消費電流は別計算) +5V 0.3A(ユーザご用意エンコーダ消費電流は別計算) CN3 パワーアンプ接続(8P) PIN# 信号名 信号説明 1 IF+5V 2 /SVON_OUT +5V出力 サーボオン出力 3 IF+5V 4 /RES_OUT +5V出力 ドライバリセット出力 5 REF_OUT 6 COM 電流指令出力 ±10V 0V側 7 /ALM_IN 8 IF0V ドライバのアラーム入力(オープンコレクタ) 0V側 -5-

(8)

V1SBHL CN4 エンコーダ(サイン波)入力(12P) PIN# 信号名 信号説明 1 INA A相(サイン波1V/PP)入力 2 AGND 信号 GND 3 INB B相(サイン波1V/PP)入力 4 AGND 信号 GND 5 AGND 信号 GND 6 +2V +2Vオフセット信号出力 7 +5V エンコーダ用電源 +5V 8 -5V エンコーダ用電源 ―5V 9 LDALM エンコーダアラーム入力(TTL) 10 INZ Z相入力(TTL) 11 NC 12 SHIELD ノイズ防止用(AGNDに接続) CN6 エアー圧力検出センサー入力(3P) 端子# 信号名 備考 1 IF+5V センサー用電源出力 +5V 2 PRESS 圧力センサー入力(TTLフォトカプラ入力) 3 IF0V 電源0V側 CN7 外部通信 RS232C(3P) 端子# 信号名 備考 1 TXD1 2 RXD1 3 GND パソコン通信用RS232C I/O状態、及びアラームの読出 CN8 LCD表示用 RS422(8P) *GT01(松下製接続用) PIN# 信号名 信号説明 1 2Y+OUT 2 2Z-OUT 3 1A+IN 4 1B-IN LCD通信用 GT01(松下製)を接続で、I/Oの状態を表 示または粗動、微動の現在位置を表示 5 OP+5V 電源+5V出力 6 OP0V 電源OV側 -6-

(9)

CN9 2軸使用時外部通信 TTL(3P) 端子# 信号名 備考 1 RXD2 2 TXD2 3 GND 他のV1SBHLボードと通信用 LCD表示器にX,Y軸の位置を表示する場合に必要 クロス配線で接続 CN5 外部コントローラ接続 入出力(30P) PIN# 信号名 信号説明 1 PUL+ 2 PUL- 指令パルス入力+5Vソース側 (フォトカプラ入力) 指令パルス入力(TTL)シンク側 3 DIR+(PUL+) 4 DIR-(PUL-) 指令パルス入力+5Vソース側 (フォトカプラ入力) 指令パルス入力(TTL)シンク側 5 SVON+ 6 SVON- +5Vソース側 サーボオン入力 (Lレベルで有効) 7 RES+ 8 RES- +5Vソース側 アラームリセット入力 (Lレベルで有効) 9 GLOW+ 10 GLOW- +5Vソース側 ゲインロー入力 (Lレベルで有効) 11 STIR+ 12 STIR- +5Vソース側 微動入力 (Lレベルで有効) 13 STP+ +5Vソース側 14 STP- ストップ入力 (Lレベルで有効) 15 INP(C) インポジション出力 (インポジション時 ON) 16 INP(E) 0V側 17 ALARM(C) アラーム出力、(高温異常、過電流トリップ、フルカウント、)(異常時ON) 18 ALARM(E) 0V側 19 Z(C) Z相出力 20 Z(E) 0V側 21 LA(C) 粗動A 相出力(TTL) 22 LA(E) 0V側 23 LB(C) 粗動B 相出力(TTL) 24 LB(E) 0V側 25 HA(C) 微動A 相出力(TTL) 26 HA(E) 0V側 27 HB(C) 微動B 相出力(TTL) 28 HB(E) 0V側 29 IF+5V IN A 相 B 相出力フォトカプラ絶縁用、パワーアンプ接続用、エアー圧検出用、5V 電源入力 30 IF0V IN 5V電源の0V側 -7-

(10)

コネクタ品種表 コネクタ# プラグ型番 ヘッダー型番 コンタクト型番 メーカー 備考 CN1 VHR-8N B8P-VH BVH-21T-P1.1 日本圧着端子 付属品 CN2 VHR-4N B4P-VH 〃 〃 〃 CN3 H8P-SHF-AA BS8P-SHF-1AA BHF-001T-0.8BS 〃 〃 CN4 DF11-12DS-2C DF11-12DP-2DSA DF11-22SC ヒロセ電機 〃 CN5 HIF3BA-30D-2.54C HIF3BA-30PA-2.54DS HIF3-2226-SCA 〃 〃 CN6 H3P-SHF-AA BS3P-SHF-1AA BHF-001T-0.8BS 日本圧着端子 〃 CN7 〃 〃 〃 〃 〃 CN8 H6P-SHF-AA BS6P-SHF-1AA 〃 〃 〃 CN9 H3P-SHF-AA BS3P-SHF-1AA 〃 〃 〃 7.機能説明1 LED表示 LED名 色 信号名 機能説明 ラッチ回路 LE1 緑 POW 電源ONにて点灯 なし LE2 緑 INP インポジションにて点灯 有り LE3 緑 FC 偏差カウンタがオーバフローした時点灯 有り ・調整用演算回路部スイッチ スイッチ名 機能説明 調整ポイント 1DSD (微動用) 微分コンデンサ選択スイッチ、16通り選択 ハンチング及びダンピング調整に有効。 エンコーダ分解能が高いと小さくし、分解能 が低いと大きな値にセットする。 2DSD (祖動用) 〃 〃 1DSI (微動用) 積分コンデンサ選択スイッチ、16通り選択 ハンチング及びダンピング調整に有効。 高速応答に対応するには、なるべく小さな値 にセットする。ハンチングに注意。 2DSI (祖動用) 〃 〃 ・調整ボリューム①エンコーダ用 ボリューム名 調整機能 調整ポイント VRAO A相エンコーダ入力のオフセット調 整 チェックピンTP3を観測し、エンコーダの平均出力 電圧が0Vになるように調整 *調整方法参照 VRBO B相エンコーダ入力のオフセット調 整 チェックピンTP4を観測し、エンコーダの平均出力 電圧が0Vになるように調整 *調整方法参照 VRAG A相エンコーダ入力のゲイン調整 チェックピンTP3を観測し、エンコーダの最大出力 電圧が±2Vになるように調整 *調整方法参照 VRBG B相エンコーダ入力のゲイン調整 チェックピンTP4を観測し、エンコーダの最大出力 電圧が±2Vになるように調整 *調整方法参照 -8-

(11)

・調整ボリューム②モータ制御 微動用 ボリューム名 調整機能 調整ポイント 1VRP ハンチング及びダンピング調整 チェック端子dS(偏差カウンタ出力)をオシロで波 形を計測しながら、指令又はエンコーダ側を急変させ ダンピングの状態をみる 1VRD 〃 〃 1VRPG 〃 〃 1VRG1 演算部全体のゲイン調整 ハンチングしなければゲインは高くする。 1VRPO オフセット調整 サーボロック時偏差カウンタ出力チェック端子dS を観測し0~+1パルスで調整を行い振動を少なく する。 1VRGL 積分動作がなくなり比例制御のゲイ ン調整 サーボロック時等に利用 ・調整ボリューム③モータ制御 祖動用 ボリューム名 調整機能 調整ポイント 2VRP ハンチング及びダンピング調整 チェック端子dS(偏差カウンタ出力)をオシロで波 形を計測しながら、指令又はエンコーダ側を急変させ ダンピングの状態をみる 2VRD 〃 〃 2VRPG 〃 〃 2VRG1 演算部全体のゲイン調整 ハンチングしなければゲインは高くする。 2VRPO オフセット調整 サーボロック時偏差カウンタ出力チェック端子dS を観測し0~+1パルスで調整を行い振動を少なく する。 2VRGL 積分動作がなくなり比例制御のゲイ ン調整 サーボロック時等に利用 -9-

(12)

V1SBHL 8.機能説明2(設定スイッチ) ・インポジション設定 DS2-1 DS2-2 DS2-3 DS2-4 比較データ ON OFF OFF OFF 1 OFF ON OFF OFF 2 ON ON OFF OFF 3 OFF OFF ON OFF 4 ON OFF ON OFF 5 OFF ON ON OFF 6 ON ON ON OFF 7 OFF OFF OFF ON 8 ON OFF OFF ON 9 OFF ON OFF ON 10 ON ON OFF ON 11 OFF OFF ON ON 12 ON OFF ON ON 13 OFF ON ON ON 14 ON ON ON ON 15 ・機能選択スイッチ スイッチ名 機能説明 備考 DS1-4 指令パルス逓倍選択 ON 側:2逓倍 OFF 側:1逓倍 DS1-3 指令パルス入力方式選択 ON 側:CW、CCW方式 OFF 側:PULS、DIR方式 DS4 CPU書き込み時にON CN7よりRS232Cで書き換え可能 ・エンコーダ逓倍選択 DS1-1 DS1-2 逓倍 ON ON 1 OFF ON 2 OFF OFF 4 -10-

(13)

9.エンコーダ入力調整方法 (1)準 備 オシロスコープ……よく校正されたオシロスコープをご用意下さい。 (2)調整 分割精度を上げる為に、下記の調整を行なって下さい。 1. 準備:CN4にエンコーダを接続し、エンコーダ軸を回転または移動させます。 2.A相の調整:TP3をオシロスコープでモニタし、振幅が4Vp-pになるようにVRAG で調整し、さらにオフセット電圧が零になるようにVRAOで調整して下さい。(図 1 参照) 4.B相の調整:TP4をオシロスコープでモニタし、振幅が4Vp-pになるようにVRBG で調整し、さらにオフセット電圧が零になるようにVRBOで調整して下さい。(図 1 参照) 5.リサージュ波形の確認:TP3とTP4をオシロスコープのX-Yモードでモニタし、リサー ジュが真円になっているか確認して下さい。(図2参照) 6.出力波形の確認:TPA,TPBをモニタする事により、A相、B相各分割後の信号が観測で きます。(図3~4参照) 図 1 図2 -11-

(14)

V1SBHL

図3

図4

(15)

10.インターフェース回路 信 号 名 コネクタNO 回 路 CW+(PULSE+) CW-(PULSE-) CCW+(DIR+) CCW-(DIR-) CN5-1 CN5-2 CN5-3 CN5-4 (a)信号入力 PUL- DIR-OP+5V OP0V OP+5V C? 0.1u-C C? 0.1u-C PUL- DIR-RM?A M6-3-331J RM?B M6-3-331J PUL+ DIR+ DIR+ PUL+ OP0V 1 3 VCC 6 5 GND 4 PC5 TLP115A 1 3 VCC 6 5 GND 4 PC6 TLP115A /SV-ON /ALM-RESET /GAIN-LOW /STIR /STOP /ALM_IN CN5-6 CN5-8 CN5-10 CN5-12 CN5-14 CN3-7 (b)信号入力 1 2 4 3 PC? TLP281 SIG-OC GND +5V IN R? R1/4W 330 INA AGND INB AGND LDALM INZ CN4-1 CN4-2 CN4-3 CN4-4 CN4-9 CN4-10 (c)エンコーダインターフェース V1 SBH L_E IF 360Ω 4.7KΩ +5V AGND CN4 φA,φB 入力 1 FB? 3 AGND + -D? -5V D? 1KΩ +5V TC7W14FU LDALM INZ /INPOSTION (C) INPOSTION 0V (E) /ALARM (C) ALARM 0V (E) /SVON_OUT (C) /RES_OUT (C) CN4-15 CN4-16 CN4-17 CN4-18 CN3-2 CN3-4 (d)信号出力 1 1 2 4 3 PC? TLP281 /INP(C) ALM(C) INP(E) ALM(E) /OUTZ /OUTA(粗動) /OUTB(粗動) /OUTA(微動) /OUTB(微動) CN5-19 CN5-21 CN5-23 CN5-25 CN5-27 (e)信号出力 2

/OUT A,B,Z /OUT A,B,Z

IF+5V IF0V C? 0.1u-C 330Ω IF+5V 1 3 VCC 6 5 GND 4 PC? TLP115A 租動、微動 IF+5V IF0V CN5-29 CN5-30 インターフェース用(フォトカプラ)電源入力+5V 0V側 -13-

(16)

V1SBHL 11.外形図 30 101 20 0 20 16 0

2-M3

取付穴

V1 SBH LGAI.SCH

型式 V1SBHL

重量 : 00g

CN1

CN2

C

N

6

C

N

5

20 20 長さ単位 : mm

C

N

7

CN8

C

N

9

CN3

-14-

(17)

12.使用上のご注意 (1)モータ(駆動側)とエンコーダ(フィードバック側)は、常に一体の関係であること。エンコーダ にカップリングを使用したシステムには使用できません。 例えば、リニアモータにリニアスケールを組み合わせたダイレクトモータなどが制御対象です。 本制御ボードは、エンコーダ信号をダイレクトにフィードバック可能なシステムにご使用願います。 (2)定速運転時の指令パルスのパルス列間隔は、ムラの無いように一定周期で出力して下さい。 (3)超精密位置決めをされる場合は、できるだけエンコーダの分解能(逓倍前)の高い機種を使用して 下さい。また、軸受けは、摩擦の影響のないエアー軸受けを推奨いたします。 (4)モータ駆動用のパワーアンプは、リニアアンプを使用して下さい。ボイスコイルモータ用のパ ワーアンプでは、弊社のLA220を推奨します。 (5)新規のご注文は、セット調整込みで承ります。お問い合わせ下さい。 10.無償保証期間と無償保証範囲 【無償保証期間】 ☆納入品の保証期間は納入後1年です。 【無償保証範囲】 ☆上記保証期間中に納入者側の責により故障を生じた場合、ご返送して頂ければ、その機器の故 障部分の交換、又は修理を納入者側の責任において行います。 ただし、下記に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させて頂きます。 (1)需要者側の不適当な取扱い、並びに使用による場合。 (2)故障の原因が納入品以外の事由による場合。 (3)納入者以外の改造、又は修理による場合。 (4)その他、天災、災害などで、納入者側の責にあらざる場合。 なお、ここでいう保証は、納入品単体の保証を意味するもので、納入品の故障により誘 発される損害はご容赦頂きます。 *製品改良等の理由により予告なしに仕様変更をする場合がありますので、予めご了承願います。 -15-

(18)

V1SBHL

(19)
(20)

参照

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