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略 称 英語名 日本語名 入射粒子 検出粒子 対 象
AES Auger Electron Spectrometry X線、電子 電子 組成、原子価
AFM Atomic Force Microscopy 電流 電流 ナノサイズの顕微鏡
AP Atom Probe 高電界 質量分析 元素マッピング
DLTS Deep Level Transient Spectroscopy 電流 電流 欠陥のエネルギーレベル
EDS (EDX) Energy Dispersive X-ray Fluorescent Spectrometry X線、電子 X線 元素分析
EPMA Electron Probe Microanalysis 電子 X線 元素分析
ERD Elastic Recoil Detection Heイオン 水素 水素分布
ESR Electron Spin Resonance マイクロ波 マイクロ波 ラジカル構造(電子スピン)、微細構造
EXAFS Extended X-ray Absorption Fine Structure X線 X線 隣接原子種、結合距離、配位数
FEM Field Emission Microscope 高電界 電子 表面状態
FIM Field Ion Microscope 高電界 原子 表面原子配列
HREELS High Resolution Electron Energy Loss Spectrometry 電子 電子 元素分析、結合状態
HREM High Resolution Electron Microscopy 電子 電子 原子配列
HVEM High Voltaged Electron Microscopy 電子 電子 ナノサイズの顕微鏡
LEED Low Energy Electron Diffraction 電子 電子 表面近傍原子配列
LMRS Laser Microprobe Raman Spectrometry レーザ光 レーザ光 振動、化学結合
ND Neutron Diffraction 中性子 中性子 軽元素の原子配列
NMR Nuclear Magnetic Resonance マイクロ波 マイクロ波 原子核周囲構造
PA Positron Annihilation 陽電子 ガンマ線 空孔、元素分析
PIXE Particle Induced X-ray Emission Spectrometry 陽子 X線 元素分析
PL Photoluminessence 光(紫外/可視光) 光 分子の励起状態
RBS Rutherford Backscattering Spectrometry イオン イオン 濃度の深さ分布、欠陥種
REM Reflection Electron Microscope 電子 電子 (111)ステップ構造、転位
RHEED Reflection High Energy Electron Diffraction 電子 電子 原子配列
RHEPT Reflection High Energy Positron Diffraction 陽電子 陽電子 原子配列
SAM Scanning Auger Electron Microprobe X線、電子 電子 組成分布、原子価
SANS Small Angle Neutron Scattering 中性子 中性子 ナノ粒径など
SEM Scanning Electron Microprobe 電子 電子 サブミクロンの顕微鏡
SIMS Secondary Ion Mass Mpectrometry イオン イオン 元素の深さ分布
SQUID Superconducting QUantum Interference Devices 磁場 電圧 磁気モーメーント
STEM Scanning Transmission Electron Microscope 電子 電子 ナノサイズの顕微鏡
STM Scanning Tunneling Electron Microprobe 電流 電流 ナノサイズの顕微鏡
TEM Transmission Electron Microscope 電子 電子 ナノサイズの顕微鏡
UV/VIS Ultraviolet and Visible Spectroscopy 光 光 バンドギャップ
XANES X-ray Absorption Near Edge Structure X線 X線 原子の価数
XPS (ESCA) X-ray Photoelectron Spectrometry X線 電子 結合エネルギ
XRD X-Ray Diffraction X線 X線 構造、格子定数
