XPS分析のための簡易マニュアル

XPS 分析のための簡易マニュアル

200４.３.２ 版 ● すべての操作は、慎重に、確認しながら、ゆっくり行ってください。XPS 装置は、家 電製品ではありません。また，XPS ソフトはゲームソフトではありません。操作を誤 ったり、急ぎすぎたりすると、本当に壊れます。 ● XPS は超高真空機器です。かならずポリ手袋を用いて、試料準備･交換作業を行ってく ださい。XPS 内部が汚染されると、測定できなくなります。汚染の原因は、あなた＝人間の 手の油や汗，唾液，髪の毛，フケなどです。 ● 試料は、XPS 内部を汚染しない、清浄なもののみを用いてください。油分、水分、液 体は厳禁です。脱ガスする試料は事前に十分真空引きを行ってください。 ● 粉体試料は、内部で飛散して装置を壊してしまいます。共通の機器ですので粉体試料の測 定は禁止します。 ●

この取り扱い説明書は、Ｍｇターゲットを使って測定する場合です

。

●

Alターゲット、Alモノクロメータを使って測定する人は熟練した技術相談委員の指導のもとで 行って下さい。

● Mgのターゲットを使っていて途中でAlのターゲットやAlのモノクロメータに

切り替えるようなことは絶対にしない。放電してターゲットが壊れたり、装置が

Break Down します。 必ず X線の電源をゼロに戻し最初のエージングから始め

ること。

● 本マニュアルに書いてある内容以上の操作・分析をしたい場合には、必ず、事前に、技術 相談員と打ち合わせを行ってください。 ● 誤操作や，本マニュアル内容を越える操作によって故障したばあいには，使用許可を 取り消すことがあります。

● 使用状況は使用簿に出来るだけ細かく記録しておく。

Ａ．始業

1. N2 ボンベ（北側）が開、圧力0.4MPa 以上であることを確認。

2. チラーのスイッチ（緑色）ON （動作音がし、PUMP ランプ点灯。）（①） 3. POWER SUPPLY CONTROL UNIT SPEC スイッチON （緑に点灯）（②） 4. POWER SUPPLY CONTROL UNIT X-R スイッチON （緑に点灯）（③）

送水装置の電源が入る。0.4MPa を確認。

※ アラームが点灯しているときは、RESET を押して解除 5. X-RAY POWER UNIT のパネルで、以下の状態を確認する

(a) AUTO/MANU：MANU（消灯） (b) Al/Mg：Mg（点灯）

(c) FILAMENT ON/OFF：OFF（消灯）

(d) FILAMENT ADJ つまみ：左いっぱい（つよくまわさないこと） (e) HIGH VOLT つまみ：左いっぱいで、目盛は３

(f) EMSN CURR つまみ：左いっぱいで、目盛は５ (g) MONO/STD：ＳＴＤ（消灯）

(h) ON/OFF： OFF（消灯）

(i) X-RAY READY（グリーンLED）： 点灯

(j) X-R POWER/FILAMENT POWER：FILAMENT POWER（消灯） 以上の確認が済んでから、次のステップにうつること。

6. X-RAY POWER UNIT のパネルFILAMENT ON する（点灯）（④） ※ 点灯しない場合は、水温・水圧を点検してください。

7. FILAMENT ADJ つまみをゆっくり回して、CURRENT 表示を０３．０ （3.0Ａ） にする（⑤） 数分かけてフィラメント電流を増してゆく。ガスの放出を抑えながら このときVOLTAGE の表示は、大体5.5 くらい。

8. １０分間待つ（１回目） （フィラメントのガスだしのため。）

備品の簡易タイマーを用いて確実に行うこと。

9. X-RAY POWER/FILAMENT POWER：X-RAY POWER を押す（点灯する）（⑥） X線管の陰極に印加される電圧の値を見るため

ここから特に重要

11. 分析室の真空計を確認しながら、HIGH VOLT つまみをゆっくりあげて、最終的には１０ にする（⑧） しかし、 . X-RAY ON/にしたとき、一時的に真空が悪くなる。この値が元に戻るまで待つこと。 電圧をそのまま上げると放電してしまう。 真空が、２−３X10−６Pa より悪くなるならそのまま暫く待って真空がよくなるのを待つ。 真空が更に悪くなるようなら、つまみを元に戻し、待つこと。 特に５ｋＶからは、１目盛りづつガス真空計の表示が落ち着くまで電圧を上げないこと。こ れを守らないとＸ線管の中で放電が生じ装置が故障してしまいます。

厳守

12. . X-RAY の電圧が１０ｋＶになってから、１０分間待つ（２回目）。（X 線源のエージン グのため。）

※ 備品の簡易タイマーを用いて確実に行うこと。

Ｘ線管のエイジングができたら PC からＸ線管の電圧、電流を制御するため、いったんX 線の電圧を下げるために。 13. HIGH VOLT つまみを０にする（⑧） 14. X-RAY ON/OFF：OFF（消灯）（⑨） 15. AUTO/MANU：AUTO（点灯）（⑩）

ここからＸ線管の電圧、電流等の制御はＰＣから行う。

16. パソコンデスクのメインスイッチを入れる（⑪） 17. プリンターの電源を入れる（⑪） 18. CRT の電源を入れる（⑬） 19. PC 本体の電源を入れる（⑭）。SpecSurf を起動する。 20,試料を準備室に入れ、十分排気し、分析室に導き、測定箇所を決めてからX線管の電圧をコ ンピュータの方から徐々に上げる。そのために次に試料のセッティングについて説明する。

Ｂ．試料導入

1. 次の状態を確認すること。

a) POWER SUPPLY CONTROL UNIT V1： 消灯（⑲） b) 交換棒MGL：左端（警報音なし） c) 交換棒MGL：「フック〆」上。（試料台がすでに準備室内にあるので） d) Z 軸マイクロメーターが０．５ｍｍにあることを確認する。（⑮） ＊ マイクロメータのメモリに黒い点がマジックで記してあるの一致する位置 ※０．５ｍｍにないと、試料交換できないばかりか、装置を壊します。 ※自信がない場合は、触らない。 2. OPERATION BOX の表示が「試料交換位置」 X：５０．００ Y：０９．００ T： ００．０ であることを確認。 ただし、装置立ち上げ時は、装置のホームポジション X：３８．９３ Y：１３．２７ T： ００．０ である。 このように、「試料交換位置」でない場合は、

（ア） MODE のAUTO ランプが点灯→RESET スイッチを２秒押して解除。 （イ） PM を押すと，NO 表示が５E になる。（⑯） （ウ） MOVE を押す。（⑰） ステージが停止したら、再度「試料交換位置」の値にあることを確認してください。 試料交換のため、試料準備室の圧力を大気圧に戻す。 3. VENT SW：ON（点灯）（⑱） 数分間待つこと。窒素ガスが導入され、ターボポンプが停止します。 試料準備室のドアロックのつまみを回して扉が開けられるようにするとドアに少し隙間が出 来ます。そうしたら 4. ＭＧＬをまわして，「フック解除」を上にして試料台を移動用のフォークから外せるように する。 5. 手袋を着用し、試料交換室のふたを開けて、試料台を取り出す。 ※ 右斜め上にスライドさせるようにはずす。 6. 準備室のふたをしめ、試料準備をする。 ※時間がかかる場合（１０分以上）場合は、準備室を真空引きのこと（操作）

※必ず清浄な手袋を用いて作業してください。新しいアルミ箔など、清浄な ものを敷き、その上で作業してください。 ※ねじ止めしないで，カーボンテープを使用するようにしてください。 （ねじや留め金が内部の部品に接触します。また、ゆるんだねじが落ちる、真空ポンプが壊 れます。） ※カーボンテープは必要最小限とし、絶対にはみ出させない。 著しく脱ガスし，内部を汚染してしまいます。 ※サンプル面積は最小限（数ミリ程度）にしてください。 ※試料を試料ホルダーに取り付けたら、逆さにして、取り付け具合を確認。 ※試料面とホルダー面はできるだけあわせてください。 試料面とホルダー面がずれるばあいでも、±２ミリ以下にしてください。 これを越えると，装置内部にぶつかり，試料の落下や衝撃で，装置が壊れます。 7. 試料ホルダー台をフォークに取り付ける。必ず、手袋を着用のこと。 a) 試料ホルダーをフォークに乗せ、左まで軽く確実に押し込む。 ホルダーの、長いほうが右です。

必ず水平に置くこと

。 b) 交換棒MGL を９０°まわし、「フック〆」を上にする。 c) 取り付け状態を確認する。 ①斜め下から見て、試料ホルダーのフック孔にフックが入っていることを確認する。 ②ホルダーに試料台が水平に置かれて、フォークとの間に隙間がないこと。 8. 試料準備室のふたを閉め、VENT SW：OFF（消灯）（⑱） ロータリーポンプとターボポンプが順番に起動します。 9. READY ランプが点灯（緑LED）してから、２０分待つ 試料準備室の真空が十分よくならないうちに分析室に試料を入れると分析室の真空が悪くな り、其の後Ｘ線管に電圧を印加したときに放電してしまいます。 10. 顕微鏡光源（HOYA-SHOTT ランプ）のSW を入れ、つまみを１１時の位置くらいま で回す。 試料準備室の真空度が十分よくなったら試料台を分析室に入れます。 11. V1：ON（緑点灯）（⑲） 音がしてバルブがあく。 12. MGL の溝の▼印がガイドと合っていることを確認し、MGL を押さえて、交換棒をゆ っくりと挿入する。分析室内の、試料ステージを見ながら、力を入れず、確実にいっ ぱいまで挿入する。 ※ 少しでも違和感があったら、すぐにもとに戻す。力を入れない。 ※ 交換棒を動かすと警告音が鳴ります。 ＊ 絶対に無理をして試料台を移動したり、フックを挿入したりしない。正常であれば軽く動 く。

13. MGL をまわし、「フック解除」を上にする。MGL の溝の▽印がガイドと合っているこ とを確認する。 14. 分析室内を観察しながら，ゆっくりと，MGL を左端まで，引き抜く。警報音がなくな る。 15. V1：OFF（緑点灯）（⑲） 音がしてバルブが閉まる。 16. 分析室の真空度を確認する。 真空度は、速やかにー６乗台の前半に入るはずです。−６Pa 台にならなければ、異常で あるので、すぐに試料を出す（試料取り出しの項へ。） ※XPS は超高真空を維持しないと測定できません。試料からの脱ガスには十分注意してくださ い。

Ｃ．試料位置調整

1. CCD カメラの電源を入れる（21, 22）。試料が暗い場合は、ランプ位置を調整。 2. ジョイスティックを動かして分析したい位置を、中央の四角に入れる。 ※ 大きく動かす際は、必ず分析室内を観察し、ホルダーや試料が内部の部品にぶつ からないように、注意すること。 ※ 四角の大きさは１×１ミリです。分析する領域は、四角の中心から０．５ミリの 円内（直径１ミリ）です。ただし、X 線は、もっとずっと広い領域に照射されます。 ※ 試料高さを出来るだけ確実やる。モニターの十字線の中心位置で像を見たときにピントがき っちり合うように、マイクロメータで調整する。試料を斜め上から見た画像が表示されるので 中心しかピントが合いません。 ※ エッチングを行うときなどは特にこの高さ調整が大切です。エッチング位置がずれないよ うにするためです。

Ｄ．スペクトル採取

測定する試料の場所が決まったらスペクトルの採集に入ります。

●. Multi Channel Detector Unit：HT スイッチON（橙色点灯）（⑳）

※ 高価な検出器（＞２００万円）保護のため，最大強度５万カウント以下で使用し てください。 ※ やたらにScan やDwell を大きくして測定し、バックグランドノイズを減らす努力 をする人がいます。測定に時間がかかるばかりでなく、検出器の寿命を短くする のでやめましょう。ノイズは測定後、軽いSmoothing 処理で除去できます。XPS スペクトルのピーク形状情報は、スムーシングしたくらいでは失われません。

1. ワイドスキャンの場合

メニュー：Acquire→XPS 以下の設定にする。 (a) Experiment タグ：

Experiment: Wide scan Lens Mode: 3.0mm & 1.0mm

Movement：NONE （複数点を分析する場合は，Ｈ項を参照） (b) Source タグ：

Source: MgKa （←Al を選ぶと、ここまでの操作でエージングを全くしていないのでAlター ゲットやヒータからガスが放出され放電が生じ故障します。） 電圧をセットするときには、まず５ｋＶ、５mA でＸ線をＯＮして、暫く待つ。 電流は5 mAと入力する。デフォルトは10mA なので、変更のこと。 この後、Ｘ線の電圧を５、６、７，８、９、１０と順にゆっくり上げる。 絶対にいきなり１０ｋＶと設定しないこと。放電してしまいます。 (c) Regions タグ： 特に希望がない場合は以下の数字を用いる Scan: Average Mode: CAE Start (eV): 1000 （これより大にしても普通ピークはでない） Finish (eV): 0 Dwell (ms): 100 （これとSCAN の積がS/N 比に影響。200 以下で使用のこと。） Pass (eV): 50 （固定） Scans: 1

2. ナロースキャン（元素毎分析）の場合

（ワイドスキャンも可） メニュー：Acquire→XPS

(a) Experiment タグ： Experiment: Narrow scan Lens Mode: 3.0mm & 1.0mm

Movement: None （複数点を分析する場合は，Ｈ項を参照） (b) Source タグ：

Source: MgKa （←Al を選ぶと故障します。）

Source: MgKa （←Al を選ぶと、ここまでの操作でエージングを全くしていないのでAlター ゲットやヒータからガスが放出され放電が生じ故障します。） 電圧をセットするときには、まず５ｋＶ、５mA でＸ線をＯＮして、暫く待つ。 電流は5 mAと入力する。デフォルトは10mA なので、変更のこと。 この後、Ｘ線の電圧を５、６、７，８、９、１０と順にゆっくり上げる。 絶対にいきなり１０ｋＶと設定しないこと。放電してしまいます。 (c) Regions タグ： 特に希望がない場合は以下の数字を用いる Element: クリックして元素を選択（Wide もある） ※ 消去したい場合には、該当する元素のある列で右クリック→Delete Region: 自分がとりたいピーク。分からなければ、そのまま Start (eV): そのまま Finish (eV): そのまま Dwell (ms): 100 （２００以下で使用のこと。） Pass (eV): 10 Scans: 1 Group： Default Scan：Across Mode：CAE ※ Save を押すと，分析条件を保存できます。 3. Source タグ：Status ON クリック。X 線がでる

（X-Ray Power ユニットのVoltage Current が，ゆっくりと１０．０±０．１／ ０．５０±０．０１になるのを確認） 4. [Start] ボタンをクリックすると、測定開始 [Pause]を押すと、全元素を測定した後中断（再開可） [Stop]を押すと、全元素を測定した後、測定中止（再開不可） [Abort]押すと、直ちに測定中止 終了するとメッセージが表示されます。

5. File→Save でデータセーブ ※ C:¥usr ディレクトリ内に、各研究室のフォルダを作成し、利用して下さい。 ※ テキスト形式、CSV 形式（エクセルで読み取り可）も可能です。

Ｅ．

Depth 分析

（１∼４は，Ｄｅｐｔｈ分析開始時のみ。） 1. 確認する。 イオン化室真空計FIL ON

RVG050 電源（黒つまみ）ＯＦＦ （Power Supply Control の右側のガス制御器） ガス導入つまみ大体１２時の位置 2. イオン化室真空計AVC スイッチを押す。表示が０．０ −２(10-2Pa 台)になる（23） 3. ガス導入調整用のつまみを、以下の手順で調整する。必ず、イオン化室真空計の数値 を見ながら行うこと。（この操作を誤ると、装置がダウンします。） (a) １２時の位置からゆっくり左回りに７時の位置まで回す。 (b) ７時の位置から、ゆっくりと（１０秒くらいかけて），ガスが入り指示が０．２∼ ０．３まであがり始めるまでまわしていく。大体６時の位置になる。 (c) 指示が動き始めたら，１ミリ位づつ，ゆっくり右にまわして，約２にする。数字 が落ち着くのを待ってから，再び回して，約３にする。これを繰り返し， ９−１０X１０-2 _{Pa にする。} ※最初はガスが多めに出ます。あわてて設定すると，あとで圧力が低下し， エッチングできなくなります。５分以上かけて，気長にあわせましょう。 ※１２を越えるとエラーになります。すぐにガスを絞ってください。

エラーは，MEAS を押してクリアし、再度FIL ON。 ※ガス流量調整のつまみを戻すようでは，操作が早すぎです。 きちんとあわせておけば，装置立ち下げまで，再操作は不要です。 4. RVG050 のスイッチをON にする。（ガスの圧力制御ができるようになる）。 このとき、コンピュータの方のガス圧設定のウインドウでは、０になっているとRVG050 のスイッチをオンにした途端にガス圧をゼロにするように働く。 ガス圧を８X10−２PaにセットしておけばONにしてもガス圧がゼロになることはない。 5. メニュー：Acquire→XPS 以下の設定にする。 (a) Experiment タグ：

Experiment: Depth Profile Acquisition Mode: Full Lens Mode: 3.0mm & 1.0mm

Movement: Memory (複数点を分析する場合にはＨ項を参照) (b) Source タグ：

Source: MgKa （←Al を選ぶと故障します。） Settings 10kV

5 mA（入力する。デフォルトは10mA なので、変更のこと。） Status Automatic をチェック（分析後自動停止） (c) Stage タグ： Groups : Default First = 1 Last = 1 Group = Default (d) Regions タグ： 特に希望がない場合は以下の数字を用いる Element: クリックして元素を選択（Wide もある） ※ 消去したい場合には、該当する元素のある列で右クリック→Delete Region: 自分がとりたいピーク。わからなければ、そのまま Start (eV): そのまま Finish (eV): そのまま Dwell (ms): 100 （200 以下で使用のこと。） Pass (eV): 10 Scans: 1∼2 (スペクトルスキャンの繰り返し回数) Repeat: 1 (エッチングの繰り返し回数) (Group： Default) Scan：Across Mode：CAE (e) Profiling タグ：

Ion Gun : Present 1 Group: Default Control:空欄

Before 開始回数、To 終了回数、Time エッチング時間(sec) を入力

たとえば、プリエッチなし（０秒）、で測定して、２層目からは１２０秒エッチし て測定、120秒エッチして測定を１０回行う場合は次のように設定する。 Before To Time 1 1 0 2 11 120 各行の確定はEnter で行う。 総エッチ時間が表示されるので確認。この場合１２００秒 Save を押すと，分析条件を保存できます。 6. OPERATION BOX ジョイスティックを動かして，１番目の分析位置にあわせる。 P/M を押して、０１ を表示。 ＥＮＴＥＲ を押す（０１番地に現在の試料位置を記憶させたことになる） 7. XPS Acquisition Window →Profiling タグ：

Pressure に8 を入力、[Set]をクリック。

イオン化室真空計が約8E-2 になるのを確認。２∼３分かかります。

※ Profiling からべつのモード（Narrow Scan など）にもどるとリセットされてしま いますので、要注意。

[Pause]を押すと、全元素を測定した後中断（再開可） [Stop]を押すと、全元素を測定した後、測定中止（再開不可） [Abort]を押すと、直ちに測定中止 終了すると，メッセージが表示される。 9. File→Save でデータセーブ ※ C:¥usr ディレクトリ内に、各研究室のフォルダを作成し、利用して下さい。 ※ テキスト形式、CSV 形式（エクセルで読み取り可）も可能です。 10. 終了したら，Pressure が０であること，イオン化室圧力ゲージの数字低下（数字０． ０ −２にむかって減少する）を確認。 11. 引き続き，ステージ上の別の試料を分析する場合には，ステージを動かして，試料位 置を選び，５の操作へ。

Ｆ．試料取り出し

X線の電圧がゼロになっていること確認したうえで次の操作に移る。

1. OPERATION BOX のP/M とUP/DOWN を押して、５E を表示させる。MOVE を 押す。試料交換位置に試料台を移動させる。 ５０．０ ９．０ ０．０を確認 2. マイクロメーターが０．５ｍｍにあることを確認。 ※ ０．５ｍｍでない場合は，０．５ｍｍに調整。 3. V1 OPEN ON（点灯）（ゲートを開ける。大きな音がする。） 4. フック解除が上、▽が溝に合っていることを確認し、ロッドを、ゆっくりと、いっ ぱいまで押し込む。かならず、分析室内を目視のこと。 5. フック〆を上にして、▼が溝に合っていることを確認し、ロッドをゆっくりと，左 端まで引き抜く。 6. V1 OPEN OFF（消灯）（ゲートを閉める。大きな音がするのを確認） 7. VENT ON（点灯）（試料室を大気圧にする。大気圧に戻るまで時間がかかる） 8. ＭＧＬのフック解除を上にする。 9. 手袋を着用し，試料室の窓を開けて、試料台を取り出す。 10. 試料交換→ B 項の６へ。 終了時→ 試料を取り外し、試料ホルダーをフォークに戻し、フック空〆を上に。 ※ 常時試料台を準備室に入れて、清浄に保ちます。 11. VENT OFF（消灯）（試料室を真空に排気しておく）。

Ｇ．終了操作

1. PC Acquire→XPS→XPS Acquisition：

Source タグ：Status ［OFF］ をクリック（X-Ray のHigh Voltage が、０になる）。 2. Depth Profile（イオンエッチ）をしたときは、Profiling タグ→Pressure が０であるこ

とを確認する。

イオン化室真空計をみながら、ゆっくりと左回りに９時の位置に戻す。

※ まわし方を間違えると、分析室内にガスが多量に流入し、装置がダウンします。

戻し忘れに注意！ 装置が壊れます。

４. AVC スイッチ（23）をOFF（消灯）

Power Supply Control の右側のガス圧制御器RVG050 の黒いトグルスイッチを下 （OFF）にする。 ここで２分待つ。それはガス流量調整用のピエゾ素子が冷えるのを待つ。重要 ２分待ってから 5,ガス導入調整用のつまみを、１２時の位置に戻す。 . 6. CCD モニターをOFF（22, 21）

7. MULTI CHANNEL DETECTOR ／ HT OFF（消灯）（⑳） 8. X-R POWER ユニット

(a) AUTO/MANU：MANU（消灯）（⑩）

(b) FILAMENT ADJ（⑤）を左いっぱいにまわす。００．０ ／ ００．０を表示 (c) FILAMENT ON/OFF をOFF（消灯）（④）

(d) FILAMENT POWER：消灯（⑥） 9. １０分間待つ（フィラメントの冷却）

※ 備品の簡易タイマーを用いて確実に行うこと。

10. PS CONTROL UNIT のX-R スイッチをOFF（消灯）（③） SPEC スイッチをOFF（消灯）（②） 11. 冷却器の電源をOFF（24） 12. SpecSurf を終了、PC をシャットダウンする。このとき、試料台が自動的にHome Position に戻り，表示Ｘ＝４．７，Ｙ＝１２．３４，Ｔ＝０．０になる。 13. プリンターの電源を切る（⑫） 14. テーブル電源を切る（⑪） 15. 確認する。 (a) 右側のラック 点灯ランプなし。 HIGH VOLT：設定値３（左いっぱい）（⑨） (b) 左側のラック RVG０５０（ガス圧コントローラー）オフ V1,VENT 消灯（18, 19） X-R、SPEC 消灯(2, 3)

AVC スイッチ消灯(23) 分析室真空度E-7 台、イオン化室E-4 台 (c) ガス導入弁が閉（印が上） (d) チラーオフ（音が静か、PUMP ランプが消灯） (e) 顕微鏡光源（ＨＯＹＡ−ＳＣＨＯＴＴ） ＯＦＦ (f) パソコンラックスイッチＯＦＦ （11） (g) プリンター電源ＯＦＦ （12） 16. 以上です。おつかれさまでした。あと片付けを忘れずに！！

Ｈ．複数点の自動分析

同一試料内の複数の点や，試料台上の複数の試料を順次分析することができる，便利な機 能です。 ※ 分析内容を試料ごとに変えることができます。 ※ 分析エリアは約１ミリφです。 ※ 分析室内の真空度維持のため，試料点数ならびに試料面積は最小限で！ ※ Ｘ線は試料台上の広い面積に照射されます。Ｘ線による試料の表面変質が考えら れる場合，別の試料を分析している間に，未分析の試料が変質する可能性があり ます。

操作は，Wide Scapn, Depth, Region 共通です。試料が３つある場合を例とします。 １． PC Acquire→XPS→XPS Acquisition： イ) Experimental タグ Movement: Memory Positions：３ （分析箇所数） ロ) Stage タグ： ①分析レシピが１種類の場合 Stage タグ： First=１ （開始試料番号） Last =３ （終了試料番号） Group： Default Regions タグ Group： Default ②分析レシピが２種類（以上）の場合 Stage タグ： Group 1 と入力し[Add]

Group 2 と入力し[Add] など，複数のGroup を登録（名前は例） Group=Group1, First=1, Last= 2 （試料１∼２をGroup1）

Group=Group2, First=3, Last= 3 （試料３∼３（３のみ）Group2） ※ Last の右の[Group]をクリックすると、プルダウンメニューになる。 Regions タグ Group1，Group2，… 毎に分析条件を設定。 Profiling タグ Group1，Group2，… 毎にエッチング条件を設定。 17

２． OPERATION BOX イ) ジョイスティックを動かして，１番目の分析位置にあわせる。 P/M を押して、０１ を出す。 ＥＮＴＥＲ を押す ロ) ２番目の分析位置にあわせる。 P/M を押して、０２ を出す。 ＥＮＴＥＲ を押す ハ) ３番目の分析位置にあわせる。 P/M を押して、０３ を出す。 ＥＮＴＥＲ を押す 技術相談員 ES 斎藤 8504 （平成１６年３月修正版作成） MS 近藤 8472 （平成１５年４月本文書作成） 教育 入山 8196