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高繰り返しパルスパワーモジュレーターの開発 利用統計を見る

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高繰り返しパルスパワーモジュレーターの開発

著者名(日)

李 孜

雑誌名

工業技術 : 東洋大学工業技術研究所報告

31

ページ

72-73

発行年

2009

URL

http://id.nii.ac.jp/1060/00002041/

Creative Commons : 表示 - 非営利 - 改変禁止 http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/deed.ja

(2)

◇◇技術報告◇◇

高繰り返しパルスパワーモジュレータの開発

李孜* 1.はじめに  近年,パルスパワーを用いた大気圧ストリーマ放電に 関する産業応用を目指した研究は進展しており,排ガス 処理,オゾン生成,ダイオキシン分解,殺菌等への応用が ある.高繰り返し・長寿命化が要求される産業用途には 半導体スイッチや磁気スイッチ等の固体素子で構成した パルスパワー発生回路が利用されている.また,パワー エレクトロニクスの発展に伴い,サイリスタやトランジ スタなどのパワーデバイスの高速・大容量化が進んでい る.しかし,現状ではサイラトロンなどの放電スイッチ に比べ高耐圧と高速性の両方を満たしている半導体スイ ソチは見あたらない.そのため数10kVの高電圧を数 100ns以下で立ち上がるパルスパワーの発生には半導 体スイソチを用いるにはパルスパワー特有技術やパルス 圧縮などの回路技術が必要になる.本研究では、基板上 の半導体スイッチと磁気スイッチを用いてパルスパワー 発生装置を開発する. 2.システムの構成  図1に装置のシステム構成を示す.システムはコント ローラ,充電器,サイリスタスイッチ,磁気パルス圧縮回 路(MPC),放電管から構成される。充電器から供給され たエネルギーはパルスパワーモジュール(PPM)によって’ 圧縮・昇圧され,放電管で出力される.またパルス発生 のタイミングはコントローラからのトリガ信号で行う. ACloov C皿魅て)Uer Tngger 恥h綬eeoぱロ蛎  ・ q{f眼 PPM D−5ub 15P蹴 25kv MP( <h㎎er ソ「kvso⑰“ 唐浴erd) Dlscha1・皇e chamber     、 @ WUe・pla†e ACIOOV lkV .i’;99tt Si9:tii 図1 パルスパワー発生装置の構成  load Dtschtreechtrrbei  Wu●−Plate  MPCの概略を図2に示す.回路動作はまず,充電器を 用いてCoを所定の電圧で充電する.プリント基板上に 実装された2直列・6並列のサイリスタスイッチをON して初期パルスを発生する.SIoは磁気アシスト用の・∫ 飽和インダクタである。パルストランスPTにより昇圧 された電圧はClに転送され,・∫飽和インダクタSli, SI2 によって順次パルス圧縮され,CrC2−Cpへとエネル ギー転送が行われる.その後,負荷に高電圧パルスが印加 される.ここでSI3は印加電圧パルス幅を調節するため に用いる.負荷にギャップ長9.5mmのワイヤー対平板 電極を用いた. 3.出力波形  図3に各部電圧波形,図4に負荷電圧・電流波形を示 す.Coを750Vで充電した時の各コンデンサの充電電 圧であり,圧縮が行われていることが確認できる,また, 放電時の負荷出力電圧の立ち上がり時間は100ns以下 であり,放電エネルギーは約0.28Jである. leOO 800 600  400こ 0  100 0 一20e 25 20 くo↓°<■ドく一〇齢鼻冒く .5 一4eo       ・1e  .t 5   ,1   .05    0    05    1    15       Time, us 25 2e 15 ︶冨.鶴﹀ 0 一5 図3 各部電圧波形 .10 02    03    04 05    06 Time,us 25 l 2o 」ts ≦09鼻冥く  ﹁1﹂ tO ・5   ・−10 07    0■ ⊂』…ぶl s.三竺.二三巡二㌧㌍・ 図2 MPCの概略図 図4 負荷の電圧と電流波形 *東洋大学  τ:学部

一72一

東洋大学工業技術研究所報告

(3)

李孜

4.まとめ  小型パルスパワー発生装置を製作し,出ノJ電圧20kV 以上,立ち上がり時間100ns以下を得られた.また,繰 り返し周波250ppsで大気圧ストリーマ放電を発生する ことができた, ︶ 1 ︶ 2 参考文献 T.Sakugawa, D.Wang,K.Shinozaki, T.Namihira,S.Katsuki and H.Akiyama,“Repetitive Short・Pulsed Generator Using MPC and B}umlein Line”Proc. Pulsed Power Conference, pp.657・660, 2003. E斗艶,浪平隆男,勝木淳,秋山秀典,”ハルスハワー方式排ガス 処理に関する基礎研究・NO初期濃度による影響”,電気学会論文誌, Vo1.124・A, No.8, pp.741・746,(2004) 工業技術No.31(2009) 一 73一

参照

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