炭素汚染除去に基づく無酸素パラジウム/チタン非蒸発ゲッター（NEG）コーティングの排気特性の改善

1Fa11S 炭素汚染除去法に基づく無酸素パラジウム/チタン非蒸発ゲッター

（NEG）コーティングの排気特性の改善

総研大高エネ

_{，東理大理工}

_{，東工大理工}

_{，KEK 物構研}

○宮澤徹也

_，狩野悠

_{，中山泰生}

_{，小澤健一}

_{，菊地貴司}

_{，間瀬一彦}

Improvement of Pumping Characteristics of Oxygen-Free Palladium/Titanium Non-Evaporable Getter (NEG) Coating Based on Removal of Carbon Contamination

High Ener. Accel. Sci., SOKENDAI1_{, Sci. Eng., Tokyo Univ. Sci.}2_{, Sci. Eng., Tokyo Tech}3_{, KEK-IMSS}4 ○Tetsuya Miyazawa1_{, Yu Kano}2_{, Yasuo Nakayama}2_{, Kenichi Ozawa}3_{, Takashi Kikuchi}4_{, Kazuhiko Mase}1,4

最近我々は新しい非蒸発ゲッター（NEG）を開発した （無酸素 Pd/Ti）。無酸素 Pd/Ti は、H2と CO を排気できる （図１）、大気曝露と活性化を繰り返しても H2と CO に 対する排気速度が低下しない、従来の NEG より活性化温 度が低く 133 °C、12 時間加熱で活性化できる、といった 特徴を持つ。しかし、Pd 表面が炭素で汚染されていると、 排気速度が低下するという問題があった。そこで我々は 1.3 × 10−4 Pa の酸素雰囲気下で無酸素 Pd/Ti 薄膜を 150 °C の加熱（O2アニール）をすることで炭素汚染を除去する 方法を考案した。未処理、UHV で 150 °C の加熱（UHV アニール）を 3 h、O2アニールを 3 h の 3 種類の処理を施 した無酸素 Pd/Ti 薄膜を XPS で測定し炭素の被覆率を求 めた。未処理の表面は 0.9 ML であるところ、UHV アニ ール、O2アニール後は 0.3、0.04 ML になることがわかっ た。同様のアニーリングを施した無酸素 Pd/Ti コーティン グ ICF203 真空容器の排気速度を測定した結果、UHV ア ニールを12 h 行った場合の H2と CO に対する初期排気速 度はそれぞれ 510、960 L/s、O2アニールを 12 h 行った場 合の初期排気速度はそれぞれ 990、1250 L/s であった。以 上の結果から、無酸素 Pd/Ti 薄膜を O2アニールすると Pd 表面の炭素 汚染が除去 され、H2と CO に対す る排気速度 が改善され ることがわ かった。 図１：無酸素 Pd/Ti の排気機構