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ZM

Series

真空エジェクタ

All in One!

●

_{サクションフィルタ、サイレンサ内蔵}

●

真空発生用空気供給弁

●

真空破壊弁（流量調整弁付）

●

真空用圧力スイッチ（電子式、ダイヤフラム式）

マニホールド化可能

配管、配線、表示、調整機能のすべてをサイド面から排除し、

マニホールドしたままで組付メンテナンスが可能です。

●

EXH方式―共通

●

SUP方式―共通、個別

最大吸込流量40％up

最高真空圧力−84kPa

2段ノズル構造により吸込量は40％増加しました。

薄形・軽量

15.5mm幅、400g（フルシステム）

エアオペレートタイプ

2段ノズル構造

ZM

シリーズの用途

分野 半導体電気関連、自動車組立、 食料品医療機器、各種製造組 立装置 機械名 ロボットハンド/マテハン、自動 組立機械、自動搬送装置、ピッ クアンドプレース、印刷機械 機能 真空吸着搬送、真空吸着固定、 真空による空気流れ ［オプション］

985

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY

□

ZF

□

ZP

□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP

関連 機器 A

型式表示方法

05 07 10 13 15 0.5mm 0.7mm 1.0mm 1.3mm 1.5mm

ノズル径

J K A B P3 P5 Q3 Q5 無記号 空気供給弁付（N.C.） 空気供給弁（N.C.）、真空破壊弁付 空気供給弁付（N.O.） 空気供給弁（N.O.）、真空破壊弁付 エアオペレートバルブ（供給弁）、ポート径接続M3×0.5 エアオペレートバルブ（供給弁）、ポート径接続M5×0.8 エアオペレートバルブ（供給弁、破壊弁）、ポート径接続M3×0.5 エアオペレートバルブ（供給弁、破壊弁）、ポート径接続M5×0.8 バルブ無

供給弁・破壊弁組合せ

DC1Wタイプ（ランプ付：1.05W） DC0.45Wタイプ（ランプ付：0.5W）※ 無記号 Y

パイロット弁仕様

無記号 A 側面、下面取出 側面取出

真空ポート取出位置

真空スイッチリード線取出し方法

無記号 L C CL CN 無記号 L グロメット、リード線0.6m（ZSE1） グロメット、リード線3m（ZSE1） コネクタ、リード線0.6m（ZSE1） コネクタ、リード線3m（ZSE1） コネクタ付リード線Ass'yなし グロメット、リード線0.5m（ZSM1） グロメット、リード線3m（ZSM1）

ランプ・サージ電圧保護回路

無記号 Z S 無 ランプ・サージ電圧保護回路付 サージ電圧保護回路付

真空スイッチ型式

無記号 E14 E15 E16 E17 E18 E19 E55 M15 M21 スイッチなし 1点出力、アナログ無、3回転設定（ZSE1) 1点出力、アナログ無、200°設定（ZSE1) 2点出力、アナログ無、3回転設定（ZSE1) 2点出力、アナログ無、200°設定（ZSE1) 1点出力、アナログ付、3回転設定（ZSE1) 1点出力、アナログ付、200°設定（ZSE1) 1点出力、アナログ無、200°設定、PNP出力（ZSE1） 1点出力、アナログ無、18回転設定ダイヤフラム式、無接点（DC10∼26V）（ZSM1） 1点出力、アナログ無、18回転設定ダイヤフラム式、有接点（AC/DC100V）（ZSM1） G H L LN LO 無記号 グロメット、リード線0.3m（DCのみ適用） グロメット、リード線0.6m（DCのみ適用） L形プラグコネクタ、リード線0.3m L形プラグコネクタ、リード線無（DCのみ適用） L形プラグコネクタ、コネクタ無（DCのみ適用） エアオペレート／バルブ無

リード線取出し方法

マニュアル

無記号 B ノンロックプッシュ式 ロック式（ドライバ操作形） 1注） 3注） 5 6 V S R 無記号 AC100V 50/60Hz AC110V 50/60Hz DC24V DC12V DC6V DC5V DC3V エアオペレート／バルブ無 CE対応 ― ― ● ● ● ● ● ―

電磁弁定格電圧

ZM

単体：バルブ＋標準サイレンサ付 単体：バルブ＋高消音サイレンサ付 マニホールド：共通供給バルブ付 マニホールド：個別供給バルブ付 単体：標準サイレンサ付（バルブ無） 単体：高消音サイレンサ付（バルブ無） マニホールド：共通供給バルブ無 マニホールド：個別供給バルブ無

ボディ型式

0.35MPa 0.45MPa 0.5MPa H

標準供給圧力

※標準供給圧力とノ ズル径の選択は表1 を参照してください。 無記号 T Rcネジ NPTFネジ Gネジ注） F

ねじの種類

注）Gネジについて ネジ山形状についてはGネ ジの規格（JIS B0203）に準 拠しておりますが、その他の 形状についてはISO16030、 およびISO1179に準拠して おりません。 ※ダブルソレノイド仕様として特注品として-X126,-X135を用意しております。 （P.1006） エアオペレート仕様選択の際に「パイロット弁仕様」「電磁弁定格電圧」「リード 線取出し方法」「ランプ・サージ電圧保護回路」「マニュアル」については無記号 となります。 ※ACの場合／Sタイプはなし。 DCの場合（サージ電圧保護回路） 極性を間違えますとダイオードまたはスイッチ素子の焼損を招く場合があ りますので十分ご注意ください。 注）1, 3のCE対応品はありません。 ※0.45WタイプはDC24V、12Vのみとなります。 1 1S 3注） 5注） 2 2S 4注） 6注） S（0.45） ― ― ― ○ ○ M（0.35） ― ○ ○ ○ ― H（0.5） ○ ○ ○ ○ ― ノズル径 0.5mm 0.7mm 1.0mm 1.3mm 1.5mm 標準供給圧力 MPa

表1 ノズル径・標準供給圧力組合せ表

注）マニホールドにて本製品を使用され る際、作動しているエジェクタと作 動していないエジェクタが混在しま すと、作動しているエジェクタの排 気エアが作動していないエジェクタ の真空ポート（V）にまわり込みエア が出力される場合があります。 使用上問題になる場合は、ダブルチ ェック弁仕様（-X107 P.1004）、個 別排気仕様（-X111 P.1005）をご検 討ください。 M S

オーダーメイド仕様

詳細はP.1004∼1006を ご参照ください。

破壊流量調整ニードル

無記号 L ロックナット無 ロックナット付 破壊弁付のみ対応

L

CE対応

無記号 Q ― CE対応品 ［オプション］ 注）CE対応品はDC仕様 のみです。

ZM

Series

表q電子式スイッチ用コネクタ型式表示方法

表w空気供給弁、真空破壊弁用コネクタ型式表示方法

無記号 30 50 0.6m 3m 5m

リード線長さ

5A

20

ZS

A

A

20

ZS

¡リード線なしの場合（コネクタ1ヶとソケット4ヶ） ¡リード線ありの場合 注）リード線長さが5mのスイッチを発注する場合には、 コネクタなしのスイッチとコネクタ付リード線の品番 を併記してください。 例）ZM -E15CN………1ケ ＊ZS-20-5A-50 ………1ケ 注）リード線長さが600mm以上のバルブを発 注する場合にはコネクタなしのバルブと コネクタAss'yを併記してください。 〈例〉リード線長さ1000mmの場合。 ZM -K1L0（-Q）………1ケ ＊VJ10-36-1A-10 ………2ケ

（AC100Vのみに適用）

（AC110Vのみに適用）

（DCのみに適用）

1A

36

VJ10

3A

36

VJ10

4A

20

VJ10

無記号 6 10 15 20 25 30 300mm 600mm 1000mm 1500mm 2000mm 2500mm 3000mm

リード線長さ

注意

ACタイプの場合、整流器を介して、DCソレ ノイドを使用しています。ご使用の際は必ず、 整流器付コネクタAss'yと専用ソレノイドを 組み合せてください。他の組合せでは、コ イル焼損、作動不良等のトラブルを生じます。

ZM

_ノズル径

_{ボディ形式}

_{標準供給圧力}

型式選定手順方法

短納期品／型式

〈バルブ無／単体〉 ●_ZM052H ●_ZM072H ●_ZM102H ●_ZM132H 〈バルブ付／単体〉 ●_{ZM051H-K5LZ（-Q）} ●_{ZM131H-K5LZ（-Q）} ●_{ZM051H-K5LZ-E15（-Q）} ●_{ZM131H-K5LZ-E15（-Q）} ●_{ZM071H-K5LZ（-Q）} ●_{ZM131M-K5LZ（-Q）} ●_{ZM071H-K5LZ-E15（-Q）} ●_{ZM131M-K5LZ-E15（-Q）} ●_{ZM101H-K5LZ（-Q）} ●_{ZM101H-K5LZ-E15（-Q）} 05 07 10 13 15 0.5mm 0.7mm 1.0mm 1.3mm 1.5mm 2 4 6 単体用 マニホールド用共通SUP マニホールド用個別SUP

〈バルブ無〉

1 3 5 単体用 マニホールド用共通SUP マニホールド用個別SUP

〈バルブ付〉

M S H 0.35MPa（ダブルディフューザ）（ノズル径05, 15は除く） 0.45MPa（シングルディフューザ）（ノズル径13, 15のみ） 0.5MPa（ダブルディフューザ）（ノズル径15は除く）

987

真空エジェクタ／バルブ・スイッチ付

ZM

Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY

□

ZF

□

ZP

□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP

関連 機器 A

真空エジェクタ仕様

使用流体 空気 0.7MPa ー84kPa 0.2∼0.55MPa 0.25∼0.55MPa 5∼60℃ 5∼50℃ 主弁 パイロット弁 ポペット形 VJ114、VJ324M ろ過度：30μm、材質：PE（ポリエチレン） 最高使用圧力 最高真空圧力 バルブ無 バルブ付 バルブ無 バルブ付 供給圧力範囲 使用温度範囲 空気供給弁 真空破壊弁 真空用圧力スイッチ サクションフィルタ 電子式 ダイヤフラム式 ZSE1-00-ZSM1-0

バルブ仕様

操作方法 パイロット方式 ポペット 3mm2 0.17 0.25∼0.7MPa プラグコネクタ、グロメット（DCのみ） 5Hz DC24・12・6・5・3V、AC100・110V（50/60Hz） DC：1W（ランプ付1.05W）、AC100V:1.4W（1.45W）、AC110V:1.45W（1.5W） 主弁 有効断面積 Cv値 動作圧力 リード線取出し方法 最大使用頻度 電圧 消費電力

エジェクタ構成回路

表示記号

Orde

r

Made

オーダーメイド仕様

（詳細→P.1004∼1006をご参照ください。） スイッチ無 0.17 0.17 0.17 0.24 0.25 0.25 0.26 0.24 型式

-E□□

0.21 0.21 0.21 0.28 0.29 0.29 0.3 0.28

-E□□L

0.26 0.26 0.26 0.33 0.34 0.34 0.35 0.33

-M□□

0.27 0.27 0.27 0.34 0.35 0.35 0.36 0.34

-M□□L

0.32 0.32 0.32 0.39 0.4 0.4 0.41 0.39

ZM□□2□

ZM□□4□

ZM□□6□

ZM□□1□-J□□

ZM□□3□-J□□

ZM□□5□-J□□

ZM□□1□-K□□

ZM□□3□-K□□

ZM□□5□-K□□

ZM□□1□-A□□

ZM□□3□-A□□

ZM□□5□-A□□

ZM□□1□-B□□

ZM□□3□-B□□

ZM□□5□-B□□

ZM□□□□- □

-04B

0.219 0.224 0.229 0.234 0.239 0.244 0.249 0.254 0.259 0.264

-04R/L

0.209 0.214 0.219 0.224 0.229 0.234 0.239 0.244 0.249 0.254

-06R/L

0.219 0.224 0.229 0.234 0.239 0.244 0.249 0.254 0.259 0.264

-06B

0.229 0.234 0.239 0.244 0.249 0.254 0.259 0.264 0.269 0.274

-SR/L

0.239 0.244 0.249 0.254 0.259 0.264 0.269 0.274 0.279 0.284

-SB

0.269 0.274 0.279 0.284 0.289 0.294 0.299 0.304 0.309 0.314 連数

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

重量表

（kg） 0.5 0.7 1.0 1.3 0.7 1.0 1.3 1.3 1.5 ノズル径 （mm） 最大吸込流量 l/min（ANR） 15 30 50 66 23 38 44 37 45 17 30 60 90 33 60 85 88 110 空気消費量 l/min（ANR） ディフューザ 構造 ダブル ディフューザ シングル ディフューザ 型式

ZM05□H

ZM07□H

ZM10□H

ZM13□H

ZM07□M

ZM10□M

ZM13□M

ZM13□S

ZM15□S

H

M

標準供給圧力 0.5MPa ー ー 0.35MPa ー ー

S

0.45MPa ー ー

型式

P Q 真空

構造図／

ZM

□

1

□

-K

□

L-E

□

材質 アルミダイカスト 亜鉛ダイカストまたは樹脂 亜鉛ダイカスト 亜鉛ダイカスト ステンレス鋼/ポリアセタール 備考 スイッチなし：ZM-HCA、スイッチ付：ZM-HCB 番号 部品名 1 2 3 4 5 ボディ バルブカバー アダプタプレート カバー テンションボルト 材質 真鍮/カニゼンメッキ ー ポリエチレン ー ー ー 部品番号 ZM-NA（ロックナット付：ZM-ND-L） ZM□□0□-0 ZM-SF ZM-SA（高消音仕様：ZM-SA-D） VJ114-□□□□ ZMA-PV2-0 番号 部品名 6 7 8 9 10 11 12 13 14 破壊流量調整ニードル ー ZM-FCB-0 フィルタカバーAss'y ディフューザAss'y サクションフィルタ サイレンサAss'y パイロットバルブ ポペット弁Ass'y ー ZSE1-00-□□ ZSM1-015 ZSM1-021 真空圧力スイッチ NBR ZM-CV チェックバルブ

構成部品

交換部品

注意

ZMの選定およびサイジングについて P.825∼843の真空用機器機種選定方法をご参 照ください。 バルブ付エジェクタの操作方法について 空気供給用パイロット弁をONしますと、ディフ ューザAss'yへ空気が流れて真空を発生します。 真空破壊用パイロット弁をONしますと、真空ポ ート側に空気が流れて、真空を急速破壊します。 また流量調整ねじにより破壊速度を調整します。 供給弁をOFFしますと、サイレンサ側から大気 圧により空気が逆流し、真空は破壊されますが 確実に破壊するために、破壊弁を使用します。 雰囲気について フィルタカバーの材質はポリカーボネートです ので、シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エ ステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロー ルエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油（アルカリ 性）等の化学薬品のご使用あるいは雰囲気での ご使用は避けてください。 また、直射日光を避けてご使用ください。 破壊流量調整ねじについて 破壊流量調整ねじは全閉状態から4回転にて全 開状態になります。 それ以上回されますと、抜け落ちる可能性があ りますので、4回転以上回されませんようお願い します。 また、緩み止め対策品として、ロックナット付破 壊流量調整ニードルを用意しておりますのでご 検討ください。

製品個別注意事項

ご使用の前に必ずお読みください。

安全上のご注意については前付38、

39、真空用機器／共通注意事項に

ついてはP.844∼846をご確認く

ださい。

!1

y

e !2 w q i r

!3

o

!0

!4

t

u

空気圧供給ポート 破壊用パイロット弁 供給用パイロット弁 真空ポート

989

真空エジェクタ／バルブ・スイッチ付

ZM

Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY

□

ZF

□

ZP

□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP

関連 機器 B

流量 l/min(ANR) 真空圧力 kPa 0 5 10 15 −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 流量 l/min(ANR) 真空圧力 kPa 0 5 10 15 20 25 30 −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 流量 l/min(ANR) 真空圧力 kPa 0 10 20 30 40 50 −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 吸込流量 l/min(ANR) 空気消費量 l/min(ANR) 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 真空圧力 kPa 供給圧力 MPa −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 40 20 10 0 30 真空 圧力 吸込流量 空気消費量 吸込流量 l/min(ANR) 空気消費量 l/min(ANR) 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 真空圧力 kPa 供給圧力 MPa −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 40 20 10 0 30 真空圧力 吸込流量 空気 消費 量 吸込流量 l/min(ANR) 空気消費量 l/min(ANR) 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 真空圧力 kPa 供給圧力 MPa −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 80 70 90 40 30 20 10 0 60 50 真空圧力 吸込流量 空気 消費 量

排気特性・流量特性／標準供給圧力：H…0.5MPa

ZM05

□

H

ZM07

□

H

排気特性

流量特性

排気特性

流量特性

ZM10

□

H

排気特性

流量特性

流量 l/min(ANR) 真空圧力 kPa 0 5 1015202530354045 −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 流量 l/min(ANR) 真空圧力 kPa 0 5 10 15 20 25 30 35 40 −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 真空圧力 kPa 供給圧力 MPa −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 135 105 90 120 75 60 45 30 15 0 吸込流量 l/min(ANR) 空気消費量 l/min(ANR) 真空圧力 吸込流量 空気消費量 流量 l/min(ANR) 真空圧力 kPa 0 10 20 30 40 50 60 70 −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 吸込流量 l/min(ANR) 空気消費量 l/min(ANR) 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 真空圧力 kPa 供給圧力 MPa −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 180 140 120 160 100 80 60 40 20 0 真空圧力 吸込流量 空気消費量 吸込流量 l/min(ANR) 空気消費量 l/min(ANR) 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 真空圧力 kPa 供給圧力 MPa −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 180 140 120 160 100 80 60 40 20 0 真空 圧力 吸込流量 空気消費量

ZM13

□

H

排気特性

流量特性

排気特性・流量特性／標準供給圧力：H…0.5MPa

排気特性・流量特性／標準供給圧力：

S…0.45MPa

ZM13

□

S

排気特性

流量特性

ZM15

□

S

排気特性

流量特性

991

真空エジェクタ／バルブ・スイッチ付

ZM

Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY

□

ZF

□

ZP

□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP

関連 機器

流量 l/min(ANR) 真空圧力 kPa 0 5 10 15 20 25 −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 流量 l/min(ANR) 真空圧力 kPa 0 5 1015202530354045 −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 流量 l/min(ANR) 真空圧力 kPa 0 5 10 1520 2530 35 40 −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 吸込流量 l/min(ANR) 空気消費量 l/min(ANR) 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 真空圧力 kPa 供給圧力 MPa −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 90 70 60 80 50 40 30 20 10 0 真空圧力 吸込流量 空気消 費量 吸込流量 l/min(ANR) 空気消費量 l/min(ANR) 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 真空圧力 kPa 供給圧力 MPa −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 135 105 90 120 75 60 45 30 15 0 真空圧力 吸込流量 空気 消費 量 吸込流量 l/min(ANR) 空気消費量 l/min(ANR) 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 真空圧力 kPa 供給圧力 MPa −90 −70 −60 −80 −50 −40 −30 −20 −10 0 160 140 180 80 60 40 20 0 120 100 真空 圧力 吸込流量 空気 消費 量

ZM07

□

M

流量特性の図の見方

流量特性は、エジェクタの真空圧力と吸込流量 の関係を表わし、吸込流量が変化すると真空圧 力も変化することを示しています。一般には、エ ジェクタの標準供給圧力での関係を示していま す。 図で、Pmaxは最高真空圧力、Qmaxは最大吸込 流量を示しています。カタログ等で仕様として 掲載されている値はこの値です。 真空圧力の変化のしかたについて、順を追って 説明します。 1）エジェクタの吸込口を塞ぎ、密閉すると吸込 流量は0となり、真空圧力は最高（Pmax）と なります。 2）吸込口を序々に開き、空気が流れる（空気が 漏れる）ようにすると、吸込流量は増加しま すが、真空圧力は低くなります。（P1とQ1の 状態） 3）さらに吸込口を開け、全開とすると、吸込流 量は最大（Qmax）となりますが、この時の真 空圧力はほとんど0（大気圧）となります。 このように、吸込流量が変化すると、真空圧力も 変化します。言い換えますと、真空ポート（真空 配管）に漏れがない場合は真空圧力は最高とな りますが、漏れ量が増えるに従って真空圧力が 低下し漏れ量と最大吸込流量が等しくなると真 空圧力はほとんど0となります。 通気性のあるワークや漏れのあるワークを吸着 させる場合は、真空圧力があまり高くなりませ んので注意が必要です。

排気特性

流量特性

排気特性・流量特性／標準供給圧力：M…0.35MPa

ZM10

□

M

排気特性

流量特性

ZM13

□

M

排気特性

流量特性

993

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY

□

ZF

□

ZP

□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP

関連 機器

型式 ZSE1-00-14 電子式 PNPオープンコレクタ 80mA ON時点灯（赤） 電子回路 0∼ー101kPa 3％F.S.以下（固定） 設定圧力の1∼10％（可変） 設定圧力の1∼10％（可変） ±1％F.S.以下 ±3％F.S.以下 DC12∼24V（リップル±10％以下） NPNオープンコレクタ 30V Max.80mA 2点 1点 1点 ON時点灯 ON時点灯

17mA以下（DC24V ON時） 17mA以下（DC24V ON時）

3回転 200度 3回転 200度

ON時点灯（出力1：赤、出力2：緑）

3回転 200度

25mA以下（DC24V ON時）

0.2MPa

ZSE1-00-15 ZSE1-00-16 ZSE1-00-17 ZSE1-00-18 ZSE1-00-19 ZSE1-00-55 ZSM1-015

ダイヤフラム式 ー27∼ー80kPa ±5％F.S. ±10％以下 1点 ZSM1-021 無接点 有接点 Max.15kPa Max.20kPa DC4.5∼28V オープンコレクタ 28V、Max.40mA AC/DC100V 10mA以下（DC24V） ON時点灯 18回転 0.5MPa 24V以下:50mA 48V:40mA、100V：20mA センサ方式 スイッチ仕様 設定圧力範囲 応差 繰り返し精度 温度特性 使用電圧 ON-OFF出力 設定点数 動作表示灯 設定用トリマ回転角度 消費電流 最大使用電流範囲 最高使用圧力 ※エジェクタ使用の場合、瞬間的に0.5MPaの圧力が加わっても問題ありません。

真空用圧力スイッチ／

電子式スイッチ（

ZSE

）

・ダイヤフラム式スイッチ（

ZSM

）

真空スイッチ仕様

電子式スイッチ（

ZSE

）

回路と結線

ダイヤフラム式スイッチ（

ZSM

）

〈無接点タイプ：

ZSM1-015

〉

〈有接点タイプ：

ZSM1-021

〉

接点保護ボックス

接点保護ボックス内部回路

スイッチは接点保護回路を内蔵しておりま せん。誘導負荷の場合やリード線が5m以上 になる時にご使用ください。 茶色リ一ド線：スイッチ主回路を作動さ せるために○電源を接続 する（電源○端子へ） 黒色リード線：負荷を接続する（PLCの入 力や出力リレーへ） 青色リ一ド線 ：○電源を接続する （電源GND端子へ） ＋ ー ＋

ZSE1-00-14

、-15

ZSE1-00-16

、-17

ZSE1-00-18

、-19

茶リード線一スイッチ主回路を動作させるために電源○端子と接続します。＋ 茶リード線一スイッチ主回路を動作させるために電源○端子と接続します。＋ 茶リード線一スイッチ主回路を動作させるために電源○端子と接続します。＋ ＋ 黒リ一ド線一負荷を接続します。（PLC入力、リレー） 白リード線一アナログを用いる負荷を接続します。 青リード線一電源GND端子と接続します。 黒リード線一負荷を接続します。（PLC入カ、リレー） 黒リ一ド線一負荷を接続します。（PLC入力、リレー） 白リード線一負荷を接続します。（PLC入力、リレー） 青リード線一電源GND端子と接続します。 青リード線一電源GND端子と接続します。 コネクタタイプの場合、緑リード線は接続しないでください。 茶 DC（+） 黒 OUT 青 DC（-） 茶 DC（+） 黒 OUT1 白 OUT2 青 DC（-） 茶 DC（+） 黒 OUT1 白 OUT2 青 DC（-） 茶リード線一スイッチ主回路を動作させるために電源○端子と接続します。 黒リ一ド線一負荷を接続します。（PLC入力、リレー） 青リード線一電源GND端子と接続します。

ZSE1-00-55

LED赤 茶 DC（+） 黒 OUT 青 DC（-） ス イ ッ チ 主 回 路 1kΩ

圧力の設定方法

コネクタの使用方法

qコネクタの着脱

応差

応差とは、出力信号がONする圧力と、出力信号 がOFFをする圧力の差のことです。 設定圧力はONする圧力になります。

ZSE1(L)-

□□-14/-15/-18/-19の場合

ZSE1(L)-

□□-16/-17の場合

圧力設定の際は、次のことを注意してください。 ドライバは指先で軽く回すようにしてください。 ドライバは握り部が大きいものや先端幅がトリ マ溝に合わないものは、トリマ溝を破損させる 恐れがありますので、使用しないでください。

wリード線とソケットの圧着

リード線の先端を3.2∼3.7mm皮むきして、芯線 の元を揃えてソケットに入れ、圧着工具により 圧着してください。この時、芯線圧着部にリー ド線の被覆が入らないようにご注意ください。 （圧着工具：型番DXT170-75-1）

eリード線付ソケットの着脱

設定圧力 大気圧0 高真空 応差 ON OFF コネクタ リード線 ソケット フック リード線 ソケット 被覆押え部 芯線圧着部 フック 被覆 芯線 高圧 設定圧力 供給圧力 大気圧 0 吸着不安定 吸着しない 確実に吸着 高真空 リード線 0.2∼0.33mm2 最大被覆外径 ø1.7mm 0.2∼0.33mm2 最大被覆外径 ø1.7mm ソケット コネクタ DC極性表示 レバー フック

注意

●

設定について

応差設定用トリマ 圧力設定用トリマ SET HYS 表示灯 表示灯 SET2 SET1 圧力設定用トリマ1 圧力設定用トリマ2 ＋21− フック リード線 ソケット コネクタ DC極性表示 レバー ピン 凹溝 ハウジング ●圧力設定用トリマでON圧力を設定します。 時計回りで高圧/高真空の設定となります。 ●設定の際は、トリマのミゾに合ったマイナス ドライバを使用し、軽く指先で回す程度で行 ってください。 ●応差設定用トリマで応差を設定できます。 設定は時計回りで大となり、範囲は設定圧力 範囲の1∼10％です。 ●ON圧力設定後に応差設定トリマを動かした 場合には再度設定をし直してください。 ●圧力設定用トリマ1（SET1）でOUT1（黒リー ド線、赤色LED）が設定できます。 ●圧力設定用トリマ2（SET2）でOUT2（白リー ド線、緑色LED）が設定できます。 ●吸着確認に使用する場合には、吸着できる真 空圧力の最低値に設定します。それ以下に設 定した場合吸着ミスや、不十分な吸着状態で もスイッチがONしてしまいます。また、高す ぎる設定では、吸着が良好でも、スイッチが ONしない場合がありますのでご注意ください。 ●コネクタを装着する場合レバーとコネクタ本 体を指ではさむようにして真直ぐピンに挿入 し、ハウジングの凹溝にレバーの爪を押し込 むようにしてロックします。 ●コネクタを引き抜く場合親指でレバーを押し 下げて爪を凹溝から外しながら真直ぐに引い て外します。 ●装着する場合 ソケットをコネクタの角穴（+、1、2、-表示あり） に挿入し、更にリード線をつまんで最後まで 押してソケットのフックをコネクタの座に 引掛けロックします。（押し込むとフックが 開いて自動的にロックされます。）次にリー ド線を軽く引いてロックされていることを 確認してください。 ●引き抜く場合 ソケットをコネクタから引抜く時は、ソケッ トのフックを先の細い棒（約1mm）で押し込 みながら、リード線を引き抜いてください。 なお、ソケットをそのまま再使用する場合は、 フックを外側へ広げてください。

995

真空エジェクタ／バルブ・スイッチ付

ZM

Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY

□

ZF

□

ZP

□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP

関連 機器

単体用/バルブなし

基本形

ZM

□

2

□□ □

MH S

単体用/バルブなし

基本形＋スイッチ付

ZM

□

2

□□ □ □□

HM S

〈構成機器〉

側面取り出しで手配される 場合はプラグ付となります。 側面取り出しで手配される 場合はプラグ付となります。 15.5 36 62 10 70 103 30 20 13 111 30 26 80 8 1/8（Rc, NPTF, G） 空気圧供給ポート（P） 1/8（Rc, NPTF, G） 真空ポート（V） 1/8（Rc, NPTF, G） 真空ポート（V） 消音タイプと 標準タイプは 同寸法です。 サイレンサ 1/8（Rc, NPTF, G） 空気圧供給ポート（P） 消音タイプと 標準タイプは 同寸法です。 サイレンサ 3×ø4.5取付穴 供給 真空 真空 V V P 供給 供給 _排気 真空 真空 真空 供給 排気 真空 1/8（Rc, NPTF, G） 真空ポート（V） 1/8（Rc, NPTF, G） 真空ポート（V）

エアオペレートタイプ

ZM

□

1

□□ □

MH

□

S Q P パイロット圧排気ポート（PE） M5通し 側面取り出しで手配される場合は、 プラグ付となります。 1/8（Rc, NPTF, G） 空気圧供給ポート（P） 消音タイプと 標準タイプは 同寸法です。 サイレンサ 供給 供給 供給用パイロット圧供給ポート（PA） 破壊用パイロット圧供給ポート（PB） 供給用 パイロット圧 供給 破壊用 パイロット圧 供給 破壊用パイロット圧供給ポート（PB） M3（M5） 真空 真空 真空 破壊流量調整ニードル 1/8（Rc, NPTF, G） 真空ポート（V） 1/8（Rc, NPTF, G） 真空ポート（V） 供給用パイロット圧供給ポート（PA） M3（M5） 10 (ニードル全開時) A A：ロックナット付破壊流量調整ニードル

997

真空エジェクタ／バルブ・スイッチ付

ZM

Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY

□

ZF

□

ZP

□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP

関連 機器

112 97.6 85.4 70 111 15.5 62 10 26 30 30 103 20 13 80 8 破壊流量調整ニードル 破壊用パイロット弁 供給用パイロット弁 3×ø4.5取付穴 サイレンサ 消音タイプと 標準タイプは 同寸法です。 V V P 1/8（Rc, NPTF, G） 空気圧供給ポート（P） 供給 真空 真空 1/8（Rc, NPTF, G） 真空ポート（V） パイロット圧排気ポート（PE） M5通し 1/8（Rc, NPTF, G） 真空ポート（V） 側面取り出しで手配される 場合はプラグ付となります。

単体用/バルブ付

基本形＋スイッチ＋バルブ付

ZM

□

1

□□ □

HM

K

□□□□

□

S

E

供給 真空 パイロット圧排気ポート（PE） 10 (ニードル全開時) A A：ロックナット付破壊流量調整ニードル

単体用/バルブ付（空気供給弁N.O.）、真空破壊弁付

基本形＋バルブ付

ZM

□

1

□□ □

MH

B

□□□□

S

〈構成機器〉

供給 真空 パイロット圧排気ポート（PE） 1/8（Rc, NPTF, G） 空気圧供給ポート（P） 消音タイプと 標準タイプは 同寸法です。 サイレンサ 供給 真空 真空 1/8（Rc, NPTF, G） 真空ポート（V） 1/8（Rc, NPTF, G） 真空ポート（V） 破壊用パイロット弁 供給用パイロット弁 パイロット圧排気ポート（PE） M5通し 側面取り出しで手配される場合は、 プラグ付となります。 10 (ニードル全開時) A A：ロックナット付破壊流量調整ニードル

999

真空エジェクタ／バルブ・スイッチ付

ZM

Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY

□

ZF

□

ZP

□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP

関連 機器

マニホールド仕様/

ZZM

シリーズ

マニホールド方式 スタッキング （Rc, NPTF, G） 、 右側、左側、両側 Max.10連 ZZM-SA（ボルト付） 共通空気圧供給ポート（P） 個別空気圧供給ポート（P） 集合排気ポート（EXH） 集合排気ポート（EXH）の位置 最大エジェクタ連数 専用サイレンサ ※ ※※ ※ 1 4 （Rc, NPTF, G） 1 8 1 2 3 4 ※共通空気圧供給ポート（P）と個別空気圧供給ポート（P）は混合取付可。 ※※ 真空ポート（V）を正面にみて右、左。

マニホールド仕様

最大同時作動数

※ 外部サイレンサ有効断面積160mm2_時 ZZM ー□ ZM053 ZM054 ZM073 ZM074 ZM103 ZM104 ZM133 ZM134 連数 R_L ZZM 連数ー□B 10 10 8 10 5 8 4 6 ZM153 ZM154 3 5 エジェクタ型式 マニホールド型式

R

ZZM 06

06

エジェクタ連数

集合排気ポート（EXH）サイズ

04 06 00 S ZZM専用サイレンサ （ZZM-SA） 排気ポート無 （-X111の場合対応） 1 2 3 4 01 1連 05 5連 ⋮ ⋮ ⋮ ⋮ 10 10連（最大）

R

集合排気ポート（EXH）および

サイレンサ位置※※

左側 両側 右側 B ※※真空ポート（V）を 正面にみて右左 両側 ※※真空ポート（V）を 正面にみて右左

共通空気圧供給

ポート（P）位置※※

右側 左側 無記号 R L

エジェクタマニホールド型式表示方法

（Rc, NPTF, G） ※真空ポート（V）を正面 から見て左側から 1連目 Rc

ポートねじの種類

NPTFねじ Gねじ注） 無記号 T F 注）Gねじについてねじ 山形状はGねじの規 格（JIS B0203）に 準拠しておりますが、 そ の 他 の 形 状 に つ いてはISO16030 およびISO1179に 準拠しておりません。

マルチエジェクタ

ZMシリーズ

マニホールド

※マニホールドするエジェクタ単体の型式をマニホ ールド品番と併記してご注文ください。 尚、発注される際はマニホールドに搭載される真 空エジェクタの品番の前には＊印を付けてくださ い。＊印を付けない場合は各々別々に出荷されます。 手配例 ZZM06-06R 1ケ ＊ZM103H-J5LZ（-Q） 3ケ ＊ZM133H-J5LZ（-Q） 3ケ R L

63 52 119 77 24 8 114 91 29 22 10 L2 L3 □36 ピッチP＝16 14 L1 14 84 72 60 1/2,3/4 （Rc, NPTF, G） 集合排気ポート（EXH） 1/4（Rc, NPTF, G） 共通空気圧供給ポート（P） 2×M5 集合パイロット圧排気ポート（PE） 右 左 4×ø5.6 取付穴 1/8（Rc, NPTF, G） 個別空気圧供給ポート（P） 2×Rc1/8（1/8-27NPTF,G1/8） 真空ポート（V）

マニホールド

ZZM

エジェクタ連数

共通排気ポート ポート位置

L

1

1

連数 L 28±1.5 40±1.5 56±1.5

2

44±1.5 56±1.5 72±1.5

3

60±1.5 72±1.5 88±1.5

4

76±1.5 88±1.5 104±1.5

5

92±1.5 104±1.5 120±1.5

6

108±2.0 120±2.0 136±2.0

7

124±2.0 136±2.0 152±2.0

8

140±2.0 152±2.0 168±2.0

9

156±2.0 168±2.0 184±2.0

10

（mm） 172±2.0 184±2.0 200±2.0

L

2

L

3 10 (ニードル全開時) A A：ロックナット付破壊流量調整ニードル

1001

真空エジェクタ／バルブ・スイッチ付

ZM

Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY

□

ZF

□

ZP

□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP

関連 機器

63 52 119 77 8 10 22 91 114 L3 L2 ピッチP＝16 14 L1 84 72 マニホールド専用サイレンサ （ZZM-SA） 4×ø5.6 取付穴 1/4（Rc, NPTF, G） 共通空気圧供給ポート（P） 2×M5 集合パイロット排気ポート（PE） 1/8（Rc, NPTF, G） 個別空気圧供給ポート（P） 2×Rc1/8（1/8-27NPTF,G1/8） 真空ポート（V）

マニホールド/サイレンサ付

マニホールド＋マニホールド専用サイレンサ

ZZM

エジェクタ連数

S

サイレンサ位置

L

1

1

連数 L 28±1.5 40±1.5 72±1.5

2

44±1.5 56±1.5 88±1.5

3

60±1.5 72±1.5 104±1.5

4

76±1.5 88±1.5 120±1.5

5

92±1.5 104±1.5 136±1.5

6

108±2.0 120±2.0 152±2.0

7

124±2.0 136±2.0 168±2.0

8

140±2.0 152±2.0 184±2.0

9

156±2.0 168±2.0 200±2.0

10

（mm） 172±2.0 184±2.0 216±2.0

L

2

L

3 VACポート取出し位置：側面取出しの場合（真空ポート下面プラグ付） 10 (ニードル全開時) A A：ロックナット付破壊流量調整ニードル

番号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 型式 ZZM-SA ZZM-BP ZZM-ADA-□ ZZM-ADB-□ ZZM-GE ZZM-EPL-□ ZZM-GBL ZZM-GBB ZZM-GBR ZZM-EPR-□ ZZM-CR-□□ サイレンサAss'y ブランキングプレートAss'y アダプタA Ass'y アダプタB Ass'y ガスケット E エンドプレート L ガスケット BL ガスケット BB ガスケット BR エンドプレート R クランプロッド 名称 ※ ※ ※ ※ 2 1 1 連数−1 1 1 1 注1） 注1） 注1） 表1参照注2） 個数 備考

表3

マニホールド品番 ZZM□□-□04R-□ ZZM□□-□04L-□ ZZM□□-□04B-□ ZZM□□-□06R-□ ZZM□□-□06L-□ ZZM□□-□06B-□ ZZM□□-□SR-□ ZZM□□-□SL-□ ZZM□□-□SB-□ ZZM□□-□00 左 ○ ○ 右 ○ ○ アダプタ A 左 ○ ○ 右 ○ ○ アダプタ B 左 ○ ○ 右 ○ ○ サイレンサ 左 ○ ○ ○ ○ 右 ○ ○ ○ ○ ブランキングプレート

表2

連数 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 マニホールド品番 ZZM01-□□□□-□ ZZM02-□□□□-□ ZZM03-□□□□-□ ZZM04-□□□□-□ ZZM05-□□□□-□ ZZM06-□□□□-□ ZZM07-□□□□-□ ZZM08-□□□□-□ ZZM09-□□□□-□ ZZM10-□□□□-□ ZZM-CR-01 ZZM-CR-02 ZZM-CR-03 ZZM-CR-04 ZZM-CR-05 ZZM-CR-06 ZZM-CR-07 ZZM-CR-08 ZZM-CR-09 ZZM-CR-10 クランプロッド品番

表1

マニホールド用構成部品

V 右側 左側 V

q

w

e

r

t

y u

i

o

t

_e

r

w

q

!0

!1

!1

※品番によって使用数量が変わります。 注1）□内にはポートねじの種類に対応した記号が入ります。 注2）クランプロッドは、2本で1Setになります。

1003

真空エジェクタ／バルブ・スイッチ付

ZM

Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY

□

ZF

□

ZP

□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP

関連 機器 A

ノズル径

ボディ形状

供給圧力

バルブ

電圧

リード線取出し方法

X107

単体：

ZM

CE対応

ダブルチェック弁 マニホールド使用時に、サイレンサへの排気が真空ポート（V）側へ吹 き出す事があります。これを軽減する為にチェック弁を使用。 _{q真空保持用としては、ご使用できません。}

警告

w破壊弁を使用してください。（バルブ形式K,Bタイプのみ適用） （破壊弁がないとワークが外れません） eマニホールド仕様時のみ対応可。

構造図

チェック弁 ZM-CV

ダブルチェック弁／マニホールド用

1

［オプション］

ZM

Series

オーダーメイド仕様w

詳しい仕様・寸法および納期についてはお問い合わせください。

Orde

r

Made

個別排気スペーサ付

2

注意

EXHポートを配管する際、エルボ継手のご使用は避けてください。抵 抗となり十分な真空度が得られません。 マニホールドの排気まわり込み防止の目的で使用される際に排気配 管をまとめてしまうと、排気のまわり込み現象が発生する恐れがあり ますのでご注意ください。 マニホールドの際全連数本特注品を用いる場合は、以下の品番の対応 も出来ます。

構造図

ノズル径

ボディ形式

供給圧力

X111

単体：

ZM

CE対応

個別排気スペーサ付 単体エジェクタをクリーンルーム等で使用する際に、個別排気スペー サを取り付ける事により、排気をクリーンルーム外へ出す事が可能と なります。（マニホールド使用の際にも取付可能です。取付寸法につい ては別途お問い合わせください） ※バルブ付、スイッチ付も製作可能です。

00

ZZM

連数 両側排気ポート無

排気スペーサAss'y：

ZM

SP

無記号

T

F

Rcねじ NPTFねじ Gねじ 67.5 排気 個別排気ポート（EXH）1/8（Rc,NPTF,G） ［オプション］

1005

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY

□

ZF

□

ZP

□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP

関連 機器 A

構造図

空気供給弁用パイロット弁をダブルソレノイドにしたものです。 ※スイッチ付も製作可能です。

ノズル径

ボディ形状

供給圧力

バルブ

電圧

リード線取出し方法

X126

単体：

ZM

CE対応

-X126

-X135

破壊弁無（バルブ形式Jタイプのみ） 破壊弁付（バルブ形式Kタイプのみ）

空気供給弁ダブルソレノイド

99 VJ3233-□□□□ VJ114-□□□□

空気供給弁ダブルソレノイド

3

［オプション］