論文
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(2) 安達 ・大杉 ・平 林 ・稲部:ラ ジアル シェア干渉計を用いる粗面の形状計測. Fig.2. Sectional profiles on the x axis for the original object and the enlarged one. z is height. g(x) is the distance between the origi-. Fig. 1 Shear directions b, c, d in a radial shear image. f(x,y) is a contour of original object and f(ax,ay) (a<1.0) is of an enlarged one. A center of the object coincides with the conespondingpoint of the enlarged one. nal surfac f(x) and the enlarged surface f(ax). 式(1)は. それ ぞれ. g(ax)=f(a2x)‑f(ax). 同 じ空 間 位 置 で 同 じ反 射 物体 か ら作 られ る た め,振 動 や 空 気 じ ょ. g(a2x)=ノ(a3x)‑f(a2x). う 乱 は両 方 の 光 路 に ほ とん ど 等 し く影 響 し,そ の 結 果 光 路 差 に は影 響 しに くい.そ. (2). g(α3x)=f(a4x)‑f(a3x). こ で 我 々 は 最 も簡 単 な 共 通 光 路 干 渉 計 で あ. る 一 方 向 の み へ の シ ェ ア 干 渉 計 を用 い る 形 状 計 測 法 を こ れ まで 研 究 して き た8).し か し一 方 向 の み に シ ェ ア す る(ず. らす)た. め シ ェ ア方 向 の 形 状 計 測 しか 行 い 得 ず,全 方 向 に 形 状 変 化 を持 つ物 体 を測 定 す る とき は最 初 にあ る シ ェ ア 方 向 で測 定 を 行 い,次. と な る.こ. れ ら す べ て の 式 を 上 下 に 加 え あ わ せ る と 次 の 式(3)が. 得 ら れ る.. に最 初 の 方 向 と直 角 に シ ェ ア 方 向 を変 更 して 再 度 測 定 を 行 って, 最 後 に2つ の 測 定 デー タ か ら2次 元 形 状 を 復 元 す る 必 要 が あ っ. 〓(3). た. こ の複 雑 さを 解 消 し測 定 途 中 の シ ェ ア 方 向 変 更 作 業 で の 誤 差 混 入 を避 ける 方法 と して研 究 した の が 今 回 報 告 す る ラ ジア ル シ ェ ア干 渉 計 を 用 い る 形 状 計 測 法 で あ る9). ラ ジア ル シ ェ ア 干 渉 で は 同一 物 体 か ら作 られ る拡 大 倍 率 の異 な る2つ. の像 を 用 い る.2つ. 部 分 が 来 る よ う に 重 ね,視. の 像 を観 察 視 野 の 中心 付 近 で 同 じ 野 中心 以 外 で は結 果 と して 一 方 の 像. に対 し も う一 方 の 像 を視 野 中心 か ら遠 ざ か る 方 向 に シ ェ ア させ て 干 渉 させ る方 法 で あ る.図1に. こ の 式 で 右 辺 の 第1項. は αがa<1.0で. な 値 を 採 る と き測 定 原 点(視. 示 す の は ラ ジ アル シ ェ ア 干 渉. で 見 られ る2つ の 物 体 像 の モ デ ル 図 で あ る.モ デ ル 物 体 は ラグ. あ る か らnが 十 分 大 き. 野 中 心)の. 断 面 デ ー タ と な り,第. 2項 は 測 定 した い 箇 所 の 断 面 デ ー タ と な る.一 方 で 左 辺 は 二 重 像 の表 面 の 間 隔 か らコ ン ピュ ー タ で簡 単 に計 算 さ れ る 量 で ある. 故 に 図2のf(x)を. 包 含 す るareaDの. 領 域 デ ー タ が 求 め られ れ ば. 形 状 計 測 が 可 能 とな る, 次 に 図2に. 示 す 二 重 の 像 表 面 が作 る 間 隔 を半 導 体 レー ザ を 用. いて 測 定 す る 方 法 を述 べ る.半 導 体 レー ザ は波 長 が 可 変 で ある.. ピー ポ ール の よ う な 回 転 楕 円体 形 状 を 想 定 して い る.f9x,y)で 示. まず 波 長 λ 、の レー ザ 光 で像 表 面 の 間 隔g(x)が 作 る光 路 差2g(x). す も の は 倍 率 が1で,f(ax,ay)(α<LO)で. の 干 渉 像 に 関 して,ハ. 示 す もの は 倍 率 が 約. 1.5と 大 き く,そ れ らは 視 野 中心 で 同 一 部 分 が 重 な っ て配 置 され る.こ こ で,b,c,dは. そ の ベ ク トル 上 に お け る シ ェ ア方 向 と. リハ ラ ン法(対. 雑 音性 の良い位相 シフ ト. 法 と して 知 られ る7))に よ り位 相 ψ1(x)を 求 め る とψ1(x)は 次 式 と な る.. な る. 次 に こ の二 重 像 か ら 像 の 粗 面 形 状 を 求 め る 方 法 を 述べ る.以 下,式(3)ま. で の二 重 像 間 隔か ら3次 元 形 状 を復 元 す る方 法 は 文. 献6)で 報 告 され て い る デ ー タ処 理 法 と 基 本 的 に 同 じで あ る,こ こ で は よ り簡 単 な 表 現 と し半 導 体 レー ザ か ら の2波 長 の使 用 方 法 も 含 め た 全 方 向 の形 状 測 定 法 を述 べ る,図2に 線 を 図1のb方. 示 す2つ. の曲. 向 に シ ェ ア さ れ た 横 倍 率 の異 な る2つ の 像 の 断. 面 形 状f(x)とf(ax)と. す る(y=Oな. f( x,O)=f(x)と 置 く).こ. こ で1/a(a<1.0)は. の で 表 現 を簡 略 化 して 倍率 の大き い像の. 〓 (4) こ こで φ,(x)は 粗 面 で の 反 射 で 生 じ る 空 間 的 に ラ ンダ ム な 値 を と る位 相 の 成 分 で あ り,ま たBは つ光 路 差 で あ る.同. 用 い る干 渉 光 学 系 が 構 造 上 持. 様 に 波 長 λ2を 用 い て 位 相 ψ2(x)を 求 め る. と次 式 と な る.. 拡 大 率 で あ る.こ の 時,視 野 中心 か らxの 位 置 で の 像 表 面 の 間 隔g(x)は 次 式 で 与 え られ る.. g(x)=f(ax)‑f(x). (1). 〓 (5) こ こ で λ1≒ 用)と. こ の 式 にx=axな. ら び にx=atx(i=2,3,4,・. ・)を代 入 す る と. λ2(実. 験 で は λ1=782.30nm,λ2=782.36nmを. 使. して 位 相 の 粗 面 反 射 に よ る ラ ン ダ ム 成 分 を φ1(x)=φ2〔x). と 仮 定10)す. る と,ψ12(x)=ψ1(x)‑ψ2(x)で. 精 密 工 学 会 誌Vol.66,No,8,2000. 与 え ら れ る ψ12(x). 1237.
(3) 安達 ・大杉 ・平林 ・稲部:ラ ジアルシェア干渉計を用 いる粗 面の形状計測. Fig.3. Optical layout of a radial shearing interferometry and a light source. An object is illuminated along the same direction to. Fig.4. PZT actuator setup for phase shifting. Large beam splitter in. measurement one. Dotted lines mean a contour of black plas-. Fig.3 is moved by PZT actuator. Light .l, reflected by the. tic cover of the interferometry. moved splitter takes path length shorter than that of light l2. 向 の距 離Sの 移 動 は 光 路 差 をSだ け変 化 させ る(Sが 数 μmと. は 次 の よ う に な る.. さ い た め 図4のl1とl2に. 小. 沿 っ て 進 ん だ 光 は ほ ぼ 同 じ経 路 を 走 っ. て カ メ ラ の 同 じ画 素 に入 る.そ. の 結 果,圧. 電 素 子 が 伸 び る こと. に よ りl1はl2に対 しheの 長 さ,す な わ ちSだ け 光 路 が 短 くな る). 〓 (6) これ らの 値 は 光 路 差:2g(x)+Bを. 大 型 ピー ム ス プ リ ッタ を 通 過 した2つ 波 長 λ'=1/(1/λ1‑1/λ. 2). を 用 い て 干 渉 測 定 した と き に得 られ る 位 相 と 同 じ で あ る. と ころ で 位 相 シ フ ト法 に よる2波. 長 での位相 測定 では波 長を. 変 え る 前 後 で 複 数 枚 の 画像 を取 り込 む 必 要 が あ る.こ 長 で 測 定 時 間 が 少 しず れ,光. 路 差Bが. え な い.ま た 我々 が 欲 しい の はg(x)だ け で あ る.故 はな くψ. の ため 波. い つ も 同 じ に な る とは 言 にψ. 12(x)=ψ. 12(x)で. 12〔x)‑ψ12(O)で与 え られ る ψ 12(x)を考 え た. g(x)は 式(1)よ りg(O)=Oで あ る の で ψ 12(x)は次 式 と な る。. の 異 な る2つ. 像 レ ンズ は 同 時 期 に購 入 し た(同 ニ ッ コ ー ル35‑105で mm×25mmの よ う,も. の光 は ミ ラー に よ り倍 率. の 結 像 レ ンズ に そ れ ぞ れ に 向 け られ る(図3).結 ロ ッ ト と考 え られ る)ズ ー ム. あ り,一 方 は 測 定対 象 物 表 面 で の25. 領 域 をCCDカ. メ ラ の画 素200×200に. 取 り込 め る. う 一 方 の ズ ー ム レ ンズ は10mm×10mmの. 素200×200に. 領 域 を画. 取 り込 め る よ うに 調 整 した.ズ. る 結 像 位 置 は レ ンズ 背面 か ら後 方 約50mmの の 口径 が 大 き くて(直. 径50mm以. 上),小. ー ム レ ン ズ によ. 所 に あ り,レ ンズ 型 ピー ム ス プ リ ッタ,. を 介 して2つ. の像 をカ メ ラ受 光 面 に そ の ま ま 結 像 さ せ る こ とが. で き な い.そ. こ で 後 方 に1倍. の リ レー レ ン ズ を 入 れ,リ. レーレ. ン ズ直 後 に 小 型 ビー ム ス プ リ ッタ を置 い て2つ の 像 をCCD受 〓 (7)こ の ψ. 12(x)と1=782.30nm,λ2=782.36nmを. か らg(x)を 算 出 し,ア ン ラ ッ プ(3.2測 と)後. に式(3)か ら最 終 的 にb方. 光. 用 い て 式(7). 面 に 正 面 か ら入 射 さ せ て い る.受 光 面 の 直 前 の 偏 光 板 は 測 定 物. 定 結 果 の 節 を参 照 の こ. 体 で の 粗 面 反 射 で 偏 光 方 向 が 一 部 ラ ン ダ ム に変 化 し,受 光 面 上. 向 の粗 面 形 状f(x)を 求 め る .. b方 向 以 外 の任 意 の方 向 の 形 状 に 関 して も 図1か. ら分 か る よ. で の2つ の 光 が 互 い に 異 な る 偏 光 成 分 を含 み,結. 果 と して 干 渉. じ まの ピ ジ ビ リテ ィ を下 げ る こ と を 回 避 す る た め に 入 れ て いる.. う に そ の 方 向 に シ ェ ア さ れ た 干 渉 像 の光 強 度 デ ー タ が 得 られ て. 以 上 の光 学 系 は マ ッハ ー ツ ェ ンダ ー 干 渉 計 を 含 む もの で あ っ て. い る の で,b方. 完 全 な 共 通 光 路 干 渉 計 で な い.し か し形 状 測 定 に お い て 最 も問. 向 と 同 じよ う に して 形 状 を 計 算 す る.. 題 とな る測 定 光 学 系 と被 測 定 物 の 間 が共 通光 路 とな っ て お りマ ッ 3.実. ハ ー ッ ェ ンダ ー 干 渉 計 も外 乱 の 影 響 を 受 け に く い よ う に して あ. 験. る.こ 3.1実. 験装置. 実 験 に用 い た 測 定 光 学 系(上 図3に. 示 す.半. の た め ラ ジ ア ル シ ェ ア干 渉 計(共. 通 光 路 干 渉 計)の. 特徴. コ ン ピュ ー タ に 装 着 さ れ た 画 像 取 込 み ボ ー ドは64Mbyteの. メ. を持 つ も の と して こ こで は 取 り扱 っ た. 方 か ら見 た光 学 素子 配 置 図)を. 導 体 レ ー ザ は電 流 注 入 に よ り波 長 が 容 易 に 可 変. な フ ァブ リー ペ ロ型(日 立 製HL7851G:出. 力50mW)を 用 い, レー ザ か ら の発 散 ビー ム光 を大 型 レ ン ズ で 平 行 光 に して か らペ リク ル ビー ム ス プ リ ッ タ(薄 い 膜 か らな る ス プ リッ タ で 振 動 や. 空 気 じ ょ う乱 の 影 響 を 受 け や す い .し か し大 口径 で 安 価)を 介 して 観 測 方 向 よ り被 測 定 物 体 に 当 て て い る .被 測 定 物 体 は ペ リ. モ リを 搭 載 して お り,圧 電 素 子 で ピー ム ス プ リ ッタ を ゆ っ く り 移 動 し続 け た 時 の 干 渉 画 像 を30枚/sの コ ン ピ ュ ー タ へ取 り込 め る.取. 速 度 で 連 続 して128枚. り込 ん だ 画 像 は 取 込 み 順 に10枚. ず つ 平 均 し(ラ ンダ ム ノイ ズ を抑 え る た め),平 均 画 像 か ら同 一 .画素 で の ピー ム ス プ リ ッ タ の移 動 に伴 う光 強度 の変 化 を調 べ ,そ れ ぞ れ π/2の 位 相 差 を持 つ 平 均 画 像 を5枚 抜 き 出 して ハ リハ ラ. クル ビ ー ム ス プ リ ッタ の 前 方 約35cmに 配 置 し た 。 物 体 か ら観 測 方 向 へ の 反 射 光 は ペ リ クル ピー ム ス プ リツ タ を通 過 し て 大 型. ン法7)を 用 い て 位 相 を 評 価 した.. キ ュ ー ブ ビ ー ム ス プ リ ッ タ に入 る ,図3の. 器 で 注入 電 流 と発 振 波 長 の変 化 の 関 係 を求 め て お き,実. 点 線 は黒 色 ア ク リル. 半 導 体 レ‑ザ の発振. 長 は,あ. ら か じめ250mm焦. 点 の分光 際の測. 板 で 作 られ た 箱 型 の お お い で あ り,大 型 キ ュ ー ブ ビー ム ス プ リ ッ. 定 で は こ の関 係 を 利 用 して 注 入 電 流 か ら計 算 して い る.以 下 に. タ 等 か らな る 干 渉 計 が 外 乱 の影 響 を受 け に く くな る よ う に して. 述 べ る形 状 測 定 で 用 い た 波 長 は λ1=78230,λ2=782.36nmで. い る.図4に. 示 す よ う に キ ュ ー ブ ビ ー ム ス プ リ ッタ は圧 電 素 子. で 光 軸 方 向 に 数 μm移 移 動 はコ ンピュ. 1238精. 動 で き る よ う に して あ り. ,ス プ リ ッタ の. 夕 に よ っ て 制 御 さ れ る .ス プ リ ッ タ の光 軸 方. 密 工 学 会 誌Vol. .66,No.8,2000. あ り,波 長 変 化 は0.1nm以. 下 と な っ て い る.一 般 に 半 導 体 レ ー. ザ の 発 振 波 長 は素 子 の 温 度 と注 入 電 流 に よ っ て 変 化 す る こ と が 知 ら れ て い る.故. に 素子 に は 温 度 制御 器 を付 け る べ き だ ろ うが,.
(4) -ƒÎ. 安 達 ・大 杉 ・平林 ・稲 部:ラ. ジ ア ル シ ェ ア干 渉 計 を用 い る 粗 面 の 形 状 計 測. Fig.5 The first measured object. Fig.7. Measured shape. x range (from 0 to 40) and z range (from - 200 to 50) correspond to 10mm and 8mm long respectively. 場 合 は 計 算 位 置 を取 り巻 く4ピ ク セ ル 位 置 で のg(x.y)を 基 に,計 算 位 置 と4ピ. ク セ ル 中心 位 置 ま で の距 離 情 報 を基 にg(x.y)を 内. 挿 計 算 して い る 。 こ れ ら の 形 状 計 測 の測 定 精 度 は 用 い る 波 長 と 波 長 差41,取. 込. 画 像 に 含 まれ る ラ ン ダ ム ノ イ ズ の 強 度(故. に 半 導 体 レー ザ の 出. 力 や レ ン ズ の 絞 り)等 に 強 く依 存 す る.故. に形状計測 の 手法 に. よ る 測 定 精 度 を抜 き 出 して 評 価 す る こ とは 難 し い.し か し本 方 法 で 得 ら れ る 計 測 精 度 に つ いて は 何 らか の 評 価 が 必 要 と 思 わ れ る.そ. こで 我 々 は 図7の 測 定 結 果 か ら測 定 精 度 の評 価 を 行 っ た.. 図7で. は 三 角 柱 を 測 定 して い る が,そ. の斜面 は完 全な平 面で あ. る と仮 定 し,測 定 結 果 に 最 も近 い 完 全 平 面 と測 定 結 果 を 比 較 し て そ の ず れ の 標 準 偏 差 を 求 め た.そ Fig.6. Measured ƒÎ and. phase.. -ƒÎ,. Perfect. respectively.. white. and. Gray. means. black. mean. phase. phase. of. between ƒÎ. 0.14㎜ and. で あ る こ と が 分 か り た.こ. の 結 果 か ら標 準 偏 差 は. の値 は横方 向の平均 処理 か. ら横 分 解 能 が(25mm/200)×3=0.4mmと. して 得 られ た も の. で あ る. 三 角 柱 以 外 に 高 圧 ガ ス の バ ル ブ キ ャ ッ プ の一 部 も形 状 測 定 し 装 置 は 高 価 で あ っ て測 定 原 理 の 検 証 に は 必 ず し も必 要 で な い た. た.表. め 本 実 験 で は 用 い て い な い.. 定 した 結 果 を 図8に. 3.2測. 示 す.ま. た 図9に. は2次 元 変 化 を 持 つ 身 近. な も の と して ガ ラ ス ビーカ を取 り上 げ て そ の 注 ぎ 口 付 近 を 計 測. 定結 果. し た 結 果 を 示 す.. 本 実 験 で 最 初 に 測 定 した の は 直角 を 挟 ん で20mm×20mmmの 幅面 を持つ 直角三 角柱 に酸化 マグネ シウム の粉 を吹き付 けた粗 面 で あ る(図5).直. 面 に は 酸 化 マ グネ シ ウ ム の 粉 を 吹 き 付 け 同 様 な 条 件 で 測. 角 三 角 柱 の 材 料 は 木 で あ る.3つ. の平行な. 稜 が 垂 直方 向 に立 ち,直. 角 に 接 す る 稜 が 視 野 中心 に 来 る よ う に. して 形 状 を 測 定 した.ハ. リハ ラ ン 法 を用 い て2つ. 共 に途 中 で シ ェ ア 方 向 を 変 え る こ とな く,ピ ー カ の 注 ぎ 口で は二 次 元 的 な 変 化 を有 す る形 状 が 測 定 で きて い る. これ らは す べ て 被 測 定 物 と測 定 光 学 系 の 間 が 才ー プ ンな 環 境. の波長 で位 相. で ペ リク ル ピ ー ム ス プ リ ッ タ を使 用 して 測 定 で き て お り,実 験. をそ れ ぞ れ 測 定 して 式(7)で 与 え られ る 位 相 の 差 を描 画 した 結 果. 装 置 の 耐 振 動 性 や 耐 空 気 じ ょ う 乱 性 が 高 い こ と を 示 す もの で あ. を 図6に. る.. 示 す.図6は. の10mm×10mm(画 お り,ラ. 示 し た 物 体 を 手 前 上 方 か ら見 た 時. 素80×80)の. 領 域 の位 相 の 差 を 示 して. 棄 の 領 域 で 位 相 差 デ ー タ を 平 均 して い. の 結 果 に は 位 相 の 飛 び(位. 相 値 の 変 化 に伴 う 一π か ら π. の 飛 び,ま た は そ の 逆 の 飛 び)が あ る の で 飛 び を ア ン ラ ップ(飛 び の な い 画 像 に 回 復)し,ア 計 算(式(7)か 第2項. 4.結論. ンダムな雑 音成分 を なるべ く除去す るた めに測定 点 を. 中 心 と す る3画 素×3画 る.こ. 図5に. ン ラ ッ プこう結 果 を 基 に 式(3)の 左 辺 を. (1)本 論 文 で は,レ ら行 い 得,測. ー ザ 光 の 照 射 と反 射 光 の 測 定 が 同 方 向 か. 定 光 学 系 と 被 測 定 物 間 の 距 離 が 長 くて も 外 部. 左 辺 か ら右 辺. 振 動 や 空 気 じ ょ う乱 の影 響 を 受 け に く い 共 通 光 路 干 渉 計 を. 示 す.横. 方 向は メ ッシュ. 利 用 した 粗 面 物 体 の 形 状 計 測 法 を新 た に 提 案 し,形 状 測 定. 素 分 を1メ. ッシ ュで 示 した.. らg(x)を 求 め て 計 算)し た.式(3)の. のf(x)を 計 算 した 結 果 を 図7に. が 見 や す く な る よ う に2画 素×2画. 以 上 の 本 論 文 の 内 容 は 以 下 の よ う に ま と め る こ と が で き る.. 式(3)の 左 辺 に 関 して はg(anx,any〕 のanx.anyが0.5(ピ. クセ ル). が 可 能 で あ る こ と を確 認 した. (2)こ. の 方 法 で は ラ ジ ア ル シ ェ ア 干 渉 計 を 使 用 す る こ と で2. 以 下 に な っ た 時 点 でそ れ 以 上 の計 算 を終 了 した.ま た 計 算 に は,. 次 元 的 形 状 変 化 を有 す る 粗 面 物 体 も測 定 で き た(我. ピ ク セ ル の 中 心 座 標 以 外 の 位 置 で のg(x.y)も. る 限 り共 通 光 路 干 渉 計 を 利 用 した 粗 面 物 体 の 形 状 測 定 で は,. 必 要 に な る.こ. の. 精 密 工 学 会 誌Vol.66,No.8,2000. 々 の知. 1239.
(5) 安達 ・大 杉 ・平林 ・稲部:ラ ジアルシェ ア干渉 計を用いる粗面 の形状計測. 1方 向 に シ ェ ア を与 え て 測 定 す る方 法 しか 報 告 例 が な く,1 次 元 的 変 化(シ. ェ ア 方 向 の 変 化)を. で に測 定 で き て い な い(例. 有 す る 物 体 しか こ れ ま. え ば 文 献11)).. (3)ま た 可 動 部 は ビー ム ス プ リ ッ タ部 分 に しか な く,移 動 量 も数 μm前. 後 で あ って 駆 動 に 圧 電 素 子 を用 い て いる た め に. 機 械 的 な ガ タ は 発 生 し に く く,繰. り返 し使 用 に 耐 え る 構 造. とな っ て い る.. 参. 湾. 文献. 1) K. J. Gasvik: Optical Metrology, 2nd Ed., John Wiley & Sons Ltd., (1995) 161. 2) 大 澤 尊 光,浅. 野 秀 光,古. 谷 涼 秋,高. 増. 潔,大. 園 成 夫:多. 値 パ タ ー ン投 影 に よ る3次 元 形 状 測 定(第3報),精. 密工学 会. 誌,64,2(1998)236.. 3) T.Maack, G. Notni and W. Schreiber: Three-coordinate MeasureFig 8,. Measured. shape of a part of cylinderical. x range corresponds. gas valve cover,. to 10mm long and z range corresponds. ment of an Object Surface with a Combined Two-wavelength and Two-source Phase-shifting Speckle Interferometer, Opt. Common., 115, (1995) 576. 4) 安 達 正 明,稲 部 勝 幸:半. to 6mm long. 面 の 形 状 計測 ‐3波. 導 体 レ ー ザ を 用 い た 段 差 を持 つ 粗. 長 で の 位 相 測 定 を用 い る 方 法‐. 精密. 工 学 会 誌,65,3(1999)418. 5) S. Kuwamura and I. Yamagucln: Wavelength Scanning Profilometry for Real-time. Surface Shape Measurement,. Appl.. Opt., 36,19. (1997)4473. 6)河 野 嗣 男,松 本 大 司,細. 越 剛 史,矢. 沢 孝 哲,宇. ジ ア ル シ ェ ア 干 渉 計 に よ る オ ンマ シ ン測 定,精. 田. 豊:ラ. 密 工 学 会 誌,. 65,3(1999)443.. 7) Placiharan, B.FOreb and T.Eiju: Digital Phase -Shifting Interferometry - A Simple Error - Compesating Phase Calculation Algorithm-, Appl. Opt., 26, (1987) 2504. 8) 大 杉 博 人,安 達 正 明,稲 した 形 状 計 測,1997年. 部 勝 幸:シ. ェア ログラ フィを利用. 度精 密工学会秋 季大 会学術講演 会講. 演 論 文 集,(1997)461. 9) 平 林. 崇,安. 達 正 明,稲. 部 勝 幸:ラ. ジアル シェア干渉 計 を. 用 いた 粗 面 物 体 の3次 元 形 状 測 定 法,1998年. 度精密 工学会. 秋 季 大 会 学 術 講 演 会 講 演 論 文 集,(1998)184. Fig.9. Measured. shape of a pouring. part of a beaker. x range corre-. sponds to 10mm long and z range corresponds. to 4mm. long. 10) G.Parry: Some Effects of Surface Roughness on the Appearance of Speckle in Polychromatic Light, Opt. Commun., 12, (1974) 78. 11) P. K. Rastogi : An Electronic Pattern Speckle Shearing Interferometer for the Measurement of Surface Slope Variations of Threedimensional Objects, Opt. and Lasers in Eng., 26, (1997) 93.. 1240精. 密 工 学 会 議Vol.66.No.8,2000.
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