高効率酸化亜鉛系青色・紫外発光素子の開発
著者
大友 明
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N600mm8t‥中牌塑雑鮮監W車礁緊縛東壁･亜糎梶,d/ JS塵qy憩櫛森憧
様式 C-18
高効率酸化亜鉛系青色･紫外発光素子の開発
課題番号: 18350092
平成18年度∼平成19年度科学研究貴補助金
(基盤研究(B) )研究成果報告書
平成20年5月
研究代表者 大友 明
東北大学金属材料研究所助教
はしがき
本研究は,小生が研究代表者として行った科学研究費補助金若手研究(A) ｢酸化亜
鉛電界効果ドーピングと紫外発光素子(平成15年度∼16年度)｣の研究課題を継続･
発展するかたちで行われた.若手研究(A)の研究で基礎を固め,本基盤研究(B)で応用
-のハードル越えを目指したかたちになる.若手研究(A)の主たる研究成果として,
パルスレ-ザ堆積法(PLD)でp型znO薄膜を再現性良く作製する技術を開発し,世
界に先駆けて酸化亜鉛(znO)系青色発光ダイオード(LED)を実現したことが挙げ
られる(2005年Nature Mater.誌掲載).本研究では, p型zno薄膜作製技術を基盤に,
MBを添加したワイドギャップzno系混晶薄膜(MgZnO)のp型化を実現することを
第-の目標とした.また, MgZnOのpn接合でZnO活性層を挟んだダブル-テロ構
造のLEDを作製し,発光効率を向上することを最終目標とした.言い換えれば, 2010
年以降に大きく成長すると予想されている白色LED照明の市場ニーズに適合した素
子製造技術の基盤構築を目指した. zno系LEDは,すでに市販されている窒化物系
青色LEDに比べ,安価な材料費,大型単結晶基板の存在,紫外領域における高い発
光効率など,産業上多くの利点を有すると考えられている. 2005年の我々の研究報告
を契機に,国際的な研究開発競争が加速した.本研究では,従来の絶縁性基板に替え
て導電性単結晶基板を, pLDに替えて分子線エピタキシー法を採用することで,実用
上優位な縦型電極配置のダブル-テロ LED構造を作製し,発光特性の高効率化を目
指した.結果として,バンド端発光のみからなる高効率紫外発光を実現し実用化に道
を拓いた(ダブル-テロ構造LEDに関する研究成果については.特許未公開(国内
出願27件)のため,本研究成果報告書では割愛する).また,研究計画で挙げた透明
p型金属材料の探索では,仕事関数が大きい透明導電性高分子が材料特性･作製プロ
セス上の簡便性の両面で優れていることを見出した.さらに同材料は, n型ZnOに対
して良好なショットキー電極を形成することを明らかにした.今後の課題として,正
孔濃度を正しく評価すること,およびアクセブタである窒素の添加効率を向上するこ
とが挙げられる.本研究に係る別の観点の成果では, MgZnO/ZnO界面における量子
ホール効果の観測(2007年Science誌掲載),およびMgZnO薄膜の室温発光寿命の延
長(ともに世界最高水準の結晶品質を実証)が特筆に値する.全体として,当初の研
究計画に見合う研究成果を上げられた自己評価する.また,本研究を通じて,次の研
究課題(科学研究費補助金若手研究(A) ｢透明酸化物の微細構造における量子物性の
開拓(平成20年度∼平成22年度)｣)につながる基盤技術が得られた.最後に本研究
を遂行するにあたって,多大なサポートをいただいた川崎雅司教授,塚崎救助教,中
原健研究員には厚く御礼申し上げます.
平成20年5月
東北大学金属材料研究所助教
大友 明
研 究 組 織
研究代表者 大 友 明 (東北大学金属材料研究所助教)
交付決定額(配分額) (金朝単位:円)直接経費 亊I
ｨﾆ
N
合計
平成18年度 ﾃ3 ﾃ 3,090,000 2ﾃ3 ﾃ 平成19年度 釘ﾃ ﾃ 1,440,000 澱ﾃ#C ﾃ 総計 Rﾆﾆ ﾃ 4,530,000 津c3 ﾃ件件
00 0 - ′LU表文表
発論発
究..ii:I-.:. TI, 't..I:.
IlJu 研L 2･_2
(原著論文12件 総説･解説記事等6件)
(国際会議27件(内招待12件) 国内会読33件(内招待
3.図 書 4件(欧文2件 和文2件)
4.研究成果による産業財産権の出願･取得状況 3件(出願1件 取得2件)
1.雑捷論文
著者冬 刔 [iUyA.Tsukazaki,H.Yuji,S.Akasaka. 陪没 VﾆV6ﾇ& 贍 &免棉妨 6VVB 末誑 F6ﾓ%g萇2ﾒ末葷r螯 w ^ 蔔6匁tﾆV 6ﾆ7& 7G"
K.Tamura,K.NakaJlara,T.Tanabe, H.Tdhsu,A.Ohlomo,M.Kawasa ki 遊4ﾇW&W6w& v 蒙 ﾆV7Vﾆ "ﾖ&V ﾖ7 友 ∫
雑誌名 剄ﾝ祝の有無 刳ｪ 價ﾘﾗ9D 劍ﾜX hﾜXﾎ8,ﾉ.R
^ppliedPhysicsExpress 剽L 0 8 8ﾟﾉ(b
著者名 冢閏iUy
A.Tsukazaki,A.Ohlorno,M.Nakan o,M.Kawasaki ﾆ 匁GV66F也7Vﾆ ﾆ "ﾖﾃ ﾖﾖ6ﾆ ｦﾇ& 免柳譁螯蔗 ﾖv 苴Uｦ踉繝S VﾆW& 4ﾇ'V4ﾇW&W2
雑誌名 剄ｸ読の有無 亂｢ J発行年 畑ﾜX hﾜX ﾉ¥R
App)icdPhysicsLJCuCrS 冓1- 涛" 2101018 S%ﾓ R苒ﾓ2
著者名 刔 [iUyXR
M.Nakano,A.Tsukazaki,良.Y.Gu nji,K.Ueno,A,Ohtomo,T.Fukum urn,M.Kawasaki 6 ﾆﾆｷ 菷 6ﾆ ｦ蔗 匁r傍7' ﾆ ﾇv友 6 襾V6ﾆ匁w ﾗ蒙W"
雑誌名 剪齬ｬの有無 亂｢ 発行年 俐X hﾜXﾎ8,ﾉ.R
AppliedPhysicsLelters 剽L 涛 2lplol7 I一l C# 2ﾓ ﾓ2
著者名 刎X IUx里
H.Shimotani,H.Asanuma,A.Tsuk azaki,A.Ohlomo.M.Kawasaki,Y. 免 Uﾖ ﾆ 6s ﾖﾖVﾆ ﾆﾇ& 友柳踟#tｦ蔕'坊ﾆV7G& F V"坊ﾆ 妨&v ﾆ匁r
著者名 刔 [iUy
M.KutDta,T.Onuma,A.Tsukazaki V6 ﾖ&匁 ﾆ柳襾匁 ﾖ 6 fW 6免 紋ﾖv 笆ﾅｦ踉繝 ﾆﾆ 貿免ﾗ6w& v躙6匁tﾆ R
A.Ohlomo,M.Kawasakj,T.SotB, 昧没へﾆVﾗ VﾗGW&Rﾖ 跏V ﾖVG6R肪ﾖ'X距" 妨&'免 67"ﾖ 76 ﾆVFﾖ 乏 剿7Vﾆ "ﾖ&V ﾖW 友
S.F.Chichibu 芙
雑誌名 剄ｸ読の有無 綿ｪ｢ l発行年 曝 hﾜXﾎ8,ﾉ¥R
App)icdPhysicsLcll耶 剽L 涛 2101017 C 2ﾓ ﾓ2
-著者ノ名 刔 [iUy
ノLTsukazaki,A.Ohtomo,T.Kiln, Y.Ohno,H.Ohno.M.Kawasaki V 蹠Vﾔ ﾆﾆV薈66ﾆ也 & 芳6 TﾆW& 6ﾇ'V6ﾇW&W2
雑誌名 剄ｸ読の有撫 亂｢ 発行年 俐X hﾜXﾎ8,ﾉU2
Science 剽L R 2101017 --■ 3モﾓ 3
著者名 刔 [iUy
T.Makino,A.Tsukazaki,A.Ohlom o,M.Kawasakj,H.Koinuma ﾇ ﾅ4 $ﾆ蒙Rﾗ&W6 ﾇfVFF 踟"ﾖ 667 ﾆ ' ﾆ 遊ﾖ匁W666 6 d籔F VEｦ蔗
雑誌名 剌似ｬの有無 亂｢ 発行年 剄ﾅ初と最後ol)頁
Jouma]ortJlePhysica]SocicLyorJapan 剽L 都R 2;∩;∩ 澱 09500トト3
著者名 刔 [iUy
T.Makino,A.Tsukazaki,A.Ohlom o,M.Kawasaki,H.Koinuma 陪 ﾆTﾇ'ｦ GF也 ﾖﾇ Uｦ蔗
雑誌名l査読の有無l巻 劔発行年l最初と最後の頁
Japane班JournalofAppLiedPhysics 剽L 鼎R 210一Ol6 田3Cbﾓc3S
著者名 刔 [iUyXR
A.Ohlomo,S.Thkagi,K.Tamura, T.Makino,Y.Segawa,H.Koinuma, M.Kawasaki F ﾖ &77 庸Tﾆ 問ﾗ&ﾆﾆﾔﾅF ﾆ 'v汎､磐r螯諢 6 跏Vﾂ
雑誌名 剄ｸ読の有無 亂｢ 発行年 剄ﾅ初と最後の頁
JapancjieJournaLorApp]icdPhysics 剽L 鼎R 2lolo l一 澱 L694-L696
著者名 刔 [iUy
T.Makino,A.Tsukazaki,A.Ohlom o,M.Kawasaki,H.KojntJma фﾆ匁vF 踟"ﾖ VW ﾆ ' ﾆ ﾇVﾖ匁W666 6紋籔F 6Eｦ蔗
維誌名 剄ｸ読の有無 亂｢ 発行年 俐X hﾜXﾎ8,ﾉU2
JoumaLofthePhysica]SocietyorJapan 剽L 都R 2101016 s3s ﾔ蔦B
著者名 刔 [iUy
S.F.Chichibu,T.Onuma,M.Kubo 免ﾗ & fVﾖV蹠6也 V 貮VﾖVﾖ6坊 薮&7 6免 譁6Vﾖ 6柳 門ｦ蔕W 妨'6'鳴
i,A.Ohlomo,M.Kawasaki
雑誌名】査読の有無l巻l発行年は初と漸灸u)頁
Joum ﾆ $ ﾆ E 6 2 1有 氾湯 ド:o:o:6
著者名 刔 [iUy
A.Tsukazaki,A.Ohtomo,M.Kawa saki 陪没へﾖ &免棉坊ﾆV4ﾇ& 菁F 'F門ｦ蔕Fﾆ匁f免ﾗ2
雑誌名 剄ｸ読の有無 亂｢ 発行年 劍ﾜX hﾜXﾎ8,ﾉ.R AFIPlicdPhysicsLetters 剽L 塔 210 6 箔S# bﾔ蔦2 著者名l論文億庖 大友明,.塚崎敦,川崎雅司 率蹂7x6X8ﾙ ｨﾘx,ﾉUﾉl｢隍Ylｩ xﾎH,hｾ 6 ; 雑誌名l査読の有無 劍uHｪ｢ 発行年 劍ﾜX hｹｸﾎ8,ﾉ.R 表面科学 旺 茶 2 OIR ﾓ r 著者名 冉ﾙ [iUy 塚崎敦.大友明,北智洋,大 野裕三,大野英男,川崎雅司 率踉 ﾖuｦ蓼､Ylｨ, .冲H 7｢ﾔｨ8ﾈﾏ ｢ 細誌名l庶流の有無 劍ｪｦﾉJﾘﾗ9D貶ﾜX i_ｨﾎ8,ﾉU2 固体物理 剿ｳ 42(9) ﾆ ﾆ ﾃr ﾆﾆﾂ 559-567 著者名l論文標題 大友明 儖 鷓 ｹ (傚 ﾈ,ﾈｺｸ､X*ｨｺﾘ鷓 ｸｾ 雑誌名 兌密談の有水 綿ｪ｢ 発行年 俐X hﾜXﾎ8,ﾉ¥R パリティ 剿ｳ " 2lolol7 lll 蔦C" 著者名 肘 [iUy A.Ohlomo 友軫 ﾆV5ﾖV6ﾇ& 譁76踟v也2 没 ﾂ 維誌名 剄ｸ読0-)有無 刳ｪ 價ﾘﾗ9D 放初と最後の再 TT)eJapanJournal 剞G (3) ﾆ貳貪r 免ﾂ 27 著者名 刔 [iUy 大友明 俥ﾘ+ ﾊ h, )=H ц, (, ｨ.僵ﾉ; ﾈｵｨ ﾙ:yk 亥 峪Z卯ﾉ; ﾈ,ﾉ x 7｢ -ル効果を世非で初めて観測- 雑誌名l底流の有無I巻 劔発行年l最初と最後の貞 亀子情報通信学会誌 剿 涛 ビ 2 尾ﾄ ﾃr 563-564 著者名 悠 [iUy 大友明,塚崎軟,北響洋,大 野裕三.大野英男,川崎雅司 率蹂,ﾉW ｸ7ｨ ｸ8ｸﾏ ｢
雑誌名l査説の有無l巻l発行年帖初と舟後の頁
応用電子物性分科会誌 剿ｳ 辺2 2■0-0■7 lll 都2ﾓs2.学会発表
発表者名l発表標題
大友明,塚崎敦,川崎雅司 伜 峪Zぺ6X8ﾘ､Ylｨ,ﾈﾋH 8ﾈ7 ｸ4x7(5 ﾈ5h ｸ,i x 峪6 ; 胤Y "
学会等名 剩ｭ表年月日 俐iUﾈ ｨ ｢ 第55回応用物理学関係連合経済会シンポジウム機能性 酸化物エレクトロニクスの新展開 008年3月26-30日 HｻB 発表者名 價ﾙUﾉUy 中原健.湯地洋行,赤坂俊輔,田 兒ｨ ﾈ4x7)uｸ4ﾈ5h ｹd $R h.沸霈 ｹl･ｦ蓼ｮ餃( 4ﾖuｦ蔗 ｦ蓼7x6X8ﾘﾕﾂ 村謙太郎,西本宜央,高水大樹.佐々 木-敦.藤井哲雄,,m辺哲弘,高須 秀視.塚崎敦,大友明,天地弘 明,尾沼猛儀,秩父重英,川崎稚司 r 学会等名J発表年月日l発表場所 2008年春季第55回応用物理学関係連合捕横会 008*3月26-30日 HｻB 発表者一名 剩ｭ表標題 中野匡規.塚崎教,郡司遼佑.上 野和紀.大友明.福村知昭,揚地 洋行,中崎健,川崎雅司 儕EDOT:P§s/ZnOショットキー接合界面の評価及び-テロ構造-の適用 学会等名l発表年月日l発表場所 2008年春季第55回応用物理学関係適合講演会 剴# 吋 ﾈ bﾓ3 ?｢ 船橋 発表者1. 價ﾙUﾉUy 中野匡規,牧野哲征,郡司遼佑.上 野和紀.大友明,福村知昭.揚地 洋行,中原健,川崎雅司 TD C･ 52 ｦ蓼5h8x6(6x4ﾂﾙ ｨﾘx,ﾈ7H4 x5 484 ｸ6 ｲ 学会等名l発表年月日l発表場所 2008年春季第55回応用物理学関係連合捕演会 008年3月26-30El HｻB 発表音名 價ﾙUﾉUy 郡司遊休,中野匡規,塚崎敦,大 友明.福村知昭,川崎雅司 Vﾂ備C･ 52 Fﾈ蔬 2 ﾔ9l･ｦ蓼5h8x6(6x4ﾈ ｹ ｨﾘr 学会等名l発衆年月日l発表場所 2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会 008年3月26-30日 HｻB 発表音名l発表標題 大友明 丶Ylｨ, . H 9 Bﾒ韃 峪Z X巉/ ｨ. ﾘ*(*宙燁 " 学会等名 刳C食年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢ ERLサイエンス研究会I 008年3月16-17日 (*ﾘ, 発 表 音 名 発 表 標 潜
M.Nakano,A.TsukazakiI,K.Ucno ,R.Y.Gunji,A.Ohlomo,T.Fuku mura.M.J(awasakj 襾V6ﾆ匁w ﾇ蒙7" ｦ蔟66 ﾆﾆｷ密V ﾆ柳 襷Fﾄ6 ﾆ ﾆ柳
学会等名 剩ｭ表年月El 價ﾙUﾈ ｨ ｢
東北大学グローバルCOEプログラム材料/Jンテグレー ション国際教育研究拠点 008*3jH4日 Y B
発表音名 ｸ笹Uy
R.Y.GtJnji,M.Nakano,A.Tsukaza TD C･ 5566 GFｷ 貳 6ﾆ & ﾆV6ﾆVBﾖ77W'& 66 %ｦ蔕' 免 ｦﾆX 迂 U ﾆ匁r
ki,A.OIltOmO,T.Fukumura,M..Ka wasaki vV蹌
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
東北大学グローバルCQP,プログラム材料インテグレー ション国際教育研究拠点 008年3月14日 Y B
発表者名 做餃餠y
A.Tsuk批8ki,A.Ohtomo,M.Kawa ﾆ ﾖ ﾆﾇ 貮& ､ｦ6F VﾆW& 7 免 %ｦ蔕V &ﾆ匁uUfVﾖ伜&誚 襾 ﾄｦ 蹠Vﾒ
saki 陪 F7f 72ｖ軛稚ﾆVB
学会等名 剩ｭ表年月口 俐iUﾈ ｨ ｢
ThcMinera)S,MetalsandM8LedaLsSociety(TMS)2008 Annu81Meetin且&ExJlibition 008年3月9-13日 疲7t &ﾆV ﾅU4
発表音名 價ﾙUﾉUy
M.Nakano.A.Tsukazaki,K.Ueno, R.Y.Gunji,A.Ohlomo,T.Fukum urn,M.Kawasaki 襾V6ﾆ匁u ﾇﾖﾇ蒙W" ｦ蔟66 ﾆﾆｷ密V ﾆ柳貳 v &Fﾇ& &6貳 芳VR坊6ﾇ& 譁72
学会等名 刳燈¥年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
WPl&岬CAMJoinLWorkshop''Cha日cngeorlnlerdisci pIinaryMaleria)SScienceloTcchnologLCaHnnovalionor thc21sLCcntury" 00&年2月は-]9日 V襷 *&
確未着名 冏咽 UyIR
T.Makino,A.Tsukazaki,A.Ohlom & 6ﾆW&率 ﾆ柳踟$ﾆ匁6 & 襯踐貳匁6 $ ﾆ ﾅ & W'F妨6悶r趾 ﾗ&6ﾆ ﾆ6E V 貭
0,Y.Scgawa,M.Kawasaki 遊ﾕv4舶7G'V7GW&72
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
WPt&1FCAMJointWorkshop■●Chal)engeorlnlerdisci plinaryM8leriaLsScicnoeloTechno)og)caHnnovalionor Lhc21slCenluryー● 008中三2月柑-19日 V襷 墜ｦ
発表者名 iJﾙUy
A.Ohtomo,A.Tsukazaki,'r.Kila. Y.Ohno,H.Ohno.K.Nakahara,H. Yuji,K.Tamura,S.^kasaka,日.T ahsu,M.Kawasaki V 貮Vﾔ ﾆﾆV薈66ﾆ悶r趾
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
WPⅠ&JFCAMJoinlWorkshop"Cha]lcngeorⅠnlerdisci plinaJTMateria]SScicnccloTechnologtcaHnnovalion｡r dle2lsLCcnLury'' 00g年2月18-]9El V襷 幡
発 表 著 名 発 表 標 越
大友明 兒ｨｼ X+ﾘ褸峪Z愛Ylｨ, .俘(昆: 扱H 4ｸ5 ﾈﾆ ﾂ
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
平成19年度東京工業大学応用セラミックス研究所ワー クショップ酸化物エビタキシーの東面界面制御と機能 開発 008年1月28-29日 Vﾂ
発表者名l発表標題 大友明,塚崎軟,川崎雅司 yk韃 峪Z愛Ylｨ,ﾈﾘ(昆: ; 胤Y "
学会等一名l発表年月Ell発表場所
学振)54委員会研究会透明エレクトロニクス 008年=]25日 ﾉ_ｲ罎
発表ノ著名 價ﾙUﾉUy
H,Yuji,K.NakaJlara.K.Tamura.S. Akasada,A.Sasaki,H.^maike,A. Tsukazaki,T.OnuJTla,S.1.l.Chichib u,A.Tsuhzaki,A.Ohlomo,M.Ka wasaki 磐uｦ蔕 ﾖ 7 優$ﾅ 猪ﾗ3 v 蒙 ﾆV7T &&6 ﾖW 友 ∫
学会等名 剩ｭ表年月日 iWh ｨ ｢
SFLlEPhotonicsWesl2008ZincOxideMateriaⅠsandDe viccs‖ 008年1月19-24日 荐 6RﾅU4
発表者名 價ﾙUﾉH韵r
K.NakaJlara,H.Yuji,K.Tamura.S. 陪 ﾖ 7 友 ﾄﾖuｦ蔕w& v 蒙 ﾆV7Vﾆ &&7ｦ貽5 友 ﾆ v &GUﾖﾇ& f柳ﾆVﾆﾆ没 ﾂﾒ
Akasaka,A.Sasaki,Y.Nishimolo, D.Thizu,T.Fujii,T.TaJlabc,ll. ThkastJ,H.Amaikc,T.Onulla,S. F.Chichibu,A.Tsukazaki,A.Ohlo mo,M.Kawasaki 坊ﾖ免ﾆ匁vF柳FW2ｖ軫犯VB
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
SMEr}holonicsWesl2008ZincOxideMaleriaIsandDe viceslH 008年1月19-24日 6 荐 62ﾅU5
発表音名 H笹Uy 中原健.換地洋行.田村謙太郎. h8 ﾘ辷 ﾅ饂｢ｹ ﾈ4x785 ﾈ5h ｹd ﾔ$R h.超9l･ｦ蓼ｮ餃( 2ﾘ6X8ﾘﾕﾂ 赤坂俊輔,高水大樹,西本宜央,顔 井哲雄.佐々木教,塚崎敦,大友 明,川崎雅司,尾沼猛儀.天地弘 明,秩父蒐英 r胤Y " 学会等名 剩ｭ表年月日 ｢ 平成19年度金研ワークショップ酸化亜鉛半導体テク ノロジーの進歩 007年12月20-21日 Y B 発表音名 價ﾙUﾉUy 換地汚行,中原健,凹村謙太郎, 赤坂俊輔,塚崎敦,大友明.川 崎雅司,尾沼猛儀,秩父重美 磐uｦ蓼,ﾄﾔ$Y ﾉ+x, .沸蓼ｮ餃& dhｧ 源 b 学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢ 平成19年度金研ワークショップ酸化亜鉛半導体テク ノロジーの進捗 007年12月20-21日 Y B
発表著名 價ﾙUﾉUy 田村謙太郎,中原健.湯地洋行, 赤坂俊輔.高水大樹.西本宜央,佐 々木敦,塚崎敦,大友明,川崎 雅司.尾沼猛俵,秩父重英 番$Y ﾉ+tﾖuｦ蓼,ﾅE% ﾂ
学会等名 剩ｭ表年月日 弁JﾙUﾈ ｨ ｢
平成19年度金研ワークショップ酸化藤鉛半導体テク ノロジーの進歩 007年t2月20-2日ヨ Y B
発衷著名 價ﾙUﾉUy
赤坂俊輔,中原健,揚地洋行.田 村鎌太郎.塚崎敦,大友明,川 崎雅司,尾-沼猛儀,ノ秩父垂英 ﾔ$Y ﾉ+uｦ霈 ｴﾖuｦ蕀hﾃ ﾒ儷ﾉlｩ[ﾙ%) ｸ,ﾉ ﾉ+x ﾈ 源 i ｲ
学会等名 刳C瀬年F1日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
平成19年度金研ワークショップ酸化稚鉛半溝体テク ノロジ∵の進歩 007年12月20-2日ヨ Y B
-発表音名 價ﾙUﾉUy
M.Nakano,A.TsukzLZaki,R.Y.Gu nji,K.Ucno,A.Ohtomo,T.rukum um,M.Kawasaki TD C･ 52 tｦ蔟66 Dﾆｷ密V F柳
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
The2ndKoreaUniversity/lMRSludentExchangeSeminar 007年12月t7-19日 6 Tﾄｶ &6
発来者名 價ﾙUﾉUxﾙ
R.Y.Gunji,M.NakaJ10,A.TsukazjI ﾈ蔬D C･ 5566 GFｷ 菷 6ﾆ 籔77W'& 66 %ｦ蔔y W6免 ﾖ6 W ﾆ匁tﾄ･f ﾆﾖV
ki,A.Ohlomo.T.Fukumura,M.Ka wasakj 鳴
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
The2ndKoreaUniversity/lMRSludenLlミxchangeScminar 007年12月17-19日 V Vﾂ荼 &V
発来者名 几I( Uy
A.Tsukazaki.A.Ohtomo,M.Kawa saki V 貮Vﾔ 薄Vg&V6ﾆ也 ﾆ %ｦ蔗 ﾖuｦ蔕 6ﾆW& 6ﾅBﾖﾇW&W2⑦軫畔 B
学会等名 剩ｭ表年月日 做餠ﾈ ｨ ｢
ScminaratPrinceLonUniversity 007年日月29日 疲Wtｦ7'67椎U4
発衆音名 剩ｭ表標題
A.Ohtomo,A.Tsukazak Y.Ohno,H.Ohno,M.K 貞B荼免 v 6 ｶ QuanlumHa‖cnTeclinZnO
学会等名 劍､9 iD霾 ｢ 発表場所
2007MRSFaIIMeeling 剴# yD ?･ﾓ#bﾓ3 ?｢ Boston,USA
発来者名 價ﾙUﾉUy r
発表音名 做餠ﾉUy
R.Y.Gunji,M.Nakano,A.Tsukaza ki,A.Ohtomo,T.FukuJllura,M.Ka wasaki ﾇ髭Eﾔ7%66 ﾇFｷ 蹤 4ﾆ ﾆ %ｦ蔟7W'& 672
-学会等名 剩ｭ起年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢ 2007MRSFaHMeeling 007年11月26-30日 7F 簀U4 発表膚名l発表標題 大友明,川崎雅司 率蹂ﾆ韋x､ JﾘﾏX5 484坪6 丶ｩJﾒ 学会等名l発表年月日l発表場所 第1回東北大学光科学技術フォ-ラム 007年11月20日 Vｧ"苒 発表著名l発表標朋 大友明,川崎雅司 yk韃 峪Z x8ﾈ4 x8ﾘ6ｨ4 佰ﾈ* ,Bﾓ(鵁ﾋ8 ｸ4ｸ5 ﾉ xﾎH,iZ ｲ 学会等名 剩ｭ表年月El 價ﾙUﾈ ｨ ｢ 新物性エレクトロニクスの基礎に関する東北大.名大合 同研究会 007年11月19日 Y B 免火音名 價ﾙUﾉUy
A.Ohtomo 陪没へﾖ
&這G坊ﾆ64ﾇ&
誚
6
ﾇ
ﾆ
&
芳V
VﾆW&
也FW'&
6W2
軫友VB
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
2007M=enniumScienceFonJm 007年11月14日 彦 ｷ躍ｦ
発表音名 價ﾙUﾉUxﾍ｢
A.Ohlomo,A.Tsukazaki,Y.ド.Ya mada,M.Kawasaki V 貳払ΘFVﾆ66ﾇ& 譁76ﾆ ﾆW6也 ﾆ & 芳V 6ﾆW& 也F7'& 6W2 ﾖ軫免VB
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
9LhlnlernalionalConferencconALornicaHyConLroIledS urraCCS,JnterracesandNznostnJCLures(ACSⅠN-9) 007年日月11-)5日 彦 ｷ薬ﾄｦ
発表著名 價ﾙUﾉUy
A.Ohtomo,A.Tsukazaki.M.Kawa saki ﾄｦ 貳率VFﾖ v ﾆ ﾇ& $ﾆ匁 芳6 WFW& 4ﾄ･vﾇW&W2 F軫免6B
学会等名 剩ｭ表年月El 價ﾙUﾈ ｨ ｢
The34thlnlematioiLa)SymposlumOnCompoundSemic onductors yD ﾈ Rﾓ ｢ KyotoJapNI
発表者名 價ﾙUﾉUy r
A.Tsuhzaki,M.Nakano,A.Ohlom 膝v 示F蒙V 柳 ﾇG& &ﾆ ' F 匁GV6VF6ﾆV6ﾇ& 門ｦ蔗 ﾖv 貪Tﾔ# 繝S WFR
0,M,Kawasaki 7G'V7$ﾇDｧ&U2
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
The34thⅠnlernationalSympos)umonCompoundSemic onductors 007*10月15-lSEl 塙柳ﾆ ﾄｦ
発表者名l.発表p標頗 大友明 yk x8 85x5 ﾈﾋｸ 2 学会等名1発表年月日l発表場所 JS1サノと物性懇話会 007年9月8-9日 謀ﾉg ･発表者名 畠JﾙUﾉUy 郡司連体.中野橿規.塚崎放,大 ｸﾘ)Zｨ / ｾ 陂(ｼ 冽 *(+ﾒﾔ9l･ｦ蓼5h8x6(6x4ﾈ ｹ ｨﾘx,ﾈﾞﾉ' ,hｵ8ｴ9< 8 友明,福村知昭,川崎雅司 学会等名l発表年月日l発表場所 2007年秋季第68回応用物理学会学術誠満会 007年9月4-8日 謀ﾉg 発表著名 笹Uy 中野匡規,福村知昭,上野和紀,倭 崎敦.郡司遼佑,山田良則,大友 明,川崎雅司 ｸﾘ)Zｨ 褸峪Z卯ﾈｧｩ ﾈ5h8x6(6x4ﾈ ｹ ｨﾘx,ﾈ孳7 ｲ 学会等名l発求年月日l発表場所 2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会 007年9月4-8日 謀ﾉg 発来者名J発表標題 大友明 伜 峪Z井ｩ*8,h6h6 485ｈ燁 " 学会等名l発表年月日I発表場所 第10回薄膜基礎言推座 007年9月12-13日 ﾈｹ 発表音名 價ﾙUﾉUxﾙ
A.OhLomo,A.Tsukazaki,T.Kita, Y.Ohno,H.Ohno,M.Kawasaki V 萇Vﾖ ﾆﾆTW&66ﾆ也 ｦ & 芳V VﾆW& 7G'V4ﾇW&W2 F軫友6B
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
DFG-KoHoqu)um 007年6月29-30日 陪 跏 fW"ﾄvW&ﾖ 迺
発表者名 價ﾙUﾉUy
A.Ohtomo,A.Tsuhzaki,M.Kawa s ﾄ 貮Dｦﾔ4 ﾆ ﾔ6貳V薈V6ﾇ6門ｦ蔕$$ﾅ46F 6ﾆW& 7G'V6ﾇW&W2 ﾆ軫免6B
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
CAP(ccnlcrorApp]icdPholonicsatKonstin1.Univcrsi ly)Seminar 007年6月28日 噺 F 遒舸W&ﾖ 迺
発表音名 併JﾙUﾉUy 大友明,塚崎敦,北智洋,大 野裕=_,大野英男,川崎雅司 沸蓼,ﾉ￨ｨ 7ｨ ｸ8ｸﾏ ｢胤Y " 学会等名l発表年月日 劔JﾙUﾈ ｨ ｢ 応物学会応用亀子物性分科会研究例会 007年6月12日 ﾈｹ 発表著名 價ﾙUﾉUy 郡司遼佑,中野匡規,塚崎敦,大 友明,福村知昭,川崎雅司 6I ｸﾘ" s / w *(+ﾕｦ蓼5h8x6(6x4ﾈ ｹ ｨﾘwB 俥ﾈｻｸ,i7ｸｴ9< ｲ 学会等名l発衣年月日l発表場所 第日3回東北大学金属材料研究所講演会 007年5月24-25日 Y B 発表音名 iJﾙUy 中野匡規,福相知昭,上野和紀,倭. 崎敦,郡司遼怖,大友明,川崎 雅司 ｸﾘ" ｧ倡 / ｾ I x,h+x. h8x6(6x4ﾈ ｹ ｨﾘx,ﾈﾞﾉ' ,iUﾘ幵 学会等名l発表年月日l発表場所 第日3回東北大学金属材料研究所言辞演会 007年5月24-25日 Y B 発表音名 畠JﾙUﾉUy 塚崎敦,中野匡規,大友明,川 崎雅司 沸蔗 ﾖtｦ蓼錡ﾟﾈﾞﾘ+ * .佰Ytﾈｴ 4ﾈ888ｨ4 ,ﾉ6 ; < ｹUﾘ幵 学会等名l発表年月日I発表場所 第日3回東北大学金属材料研究所純横会 007年5月24-25日 Y B 発表音名 佰Yx蔚xﾈ餠ﾂ
A.Tsukazdi,M.Nakano,A.Ohlom o,M.Kawasaki ﾆ 匁GV66F也7R ﾆ "ﾖﾆ ﾕED F ﾆ" 免柳譁螯蔗 ﾒeｦ饋辻蔕 4ﾆW& 7G'V6ﾇW&72
学会等名 剩ｭ表年月日 凅 ｨ ｢ 2007CERCrnternationaISympos)um 007年5月22-25日 彦 ｷ薬ﾄｦ 発表著名 價ﾙUﾉUy 中野匡規,福村知昭.上野和紀. 塚崎敦,郡司遼砧.大友明. 川崎雅司 =I ｸﾘ)Zｨ 褸峪Z卯ﾉ; ﾈ5h8x6(6x4ﾈ ｹ ｨﾘr 学会等名l発表年月日l発表場所 2007年春季第54回応用物理学関係適合講演会 007年3月27-30日 ｩlﾘﾋB 発表音名 價ﾙUﾉUy 中原健.吻地洋行.田村謙太郎, 赤坂俊輔,高水大樹,田辺智弘, 久保田将司,尾沼猛儀,秩父蒐英 .塚崎敦,大友明,川崎雅司 兒ｨ ﾈ4x7(5 ﾈ5h ｸ,ﾒ 琳R h.嫡ﾖr沸蓼7ｨ8(4x7(5 ﾈ5h ｸｵｨ 胤Y " 学会等名l発表年月日T発表場所
2007年春季第54回応用物理学関係適合講演会 2007*3月27-30日 発表者名l発表標題 大友明,塚崎敦,川崎稚司 8ｴ･ ﾂﾘ5Y ﾙ d , h.沸蓼ﾆ籀6X8ﾙ ｨﾘx,ﾈﾞﾈｻｲ胤Y " 学会等名l発表年月日l発表場所 2007年春季第54回応用物理学関係連合講演会 007年3月27-30El ｩlﾘﾋB 発表者名 價ﾙUﾉUy 塚峨放.中野匡規.大友明, 川崎雅司 率踉 ﾖuｦ蓼ｴ yhﾈ,ﾈﾏYuXｴ (傚 ﾂﾘｾ ｨﾇ闕｢ 学.会等名l発表年月El.l蒐来場所 2007年春季第54回応用物理学関係連合講演会 00 7年3月27-30日 ｩlﾘﾋB 発表音名 價ﾙUﾉUy
A.Tsukazaki,A..Ohlomo.T.Kita. Y.Ohno,H.Ohno,M.Kawasaki 免軫W6ﾆ没 ﾆ柳踟' V 蹠Vﾖ VeF64ﾆ也 ﾆ & 芳6 VﾆW& 7DｧB ﾇW&W2
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢ tMRWorkshoponAdvancedMaleria)S 007年3月1日 V襷 墜ｦ ｣ 発表音名J発表標題 大友明 率蹂ﾆ陂(､Xﾏ ｨ6x8 85x5 i,ｩk H рﾘ,ﾈ咎w 胤Y " 学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢ 第24回無機材料に関する最近の研究成果発表会-無機 材料の新たな可能性を拓く- 007*)月22El ﾈｹ 光一衣音名 價ﾙUﾉUy
A.Tsukazaki,A.Ohlomo.M.Kawa saki 幡末v ﾇ 貮& ﾆﾆVFW 免 %ｦ蔔& $ v ﾆ6ﾖ汎末誚FWf R 也f免6B
学会等名 剩ｭ表年月日 鮭 ｨ ｢
The3rdlnlemalionaISymposlumOn^dvancedCcramics (lSAC-3) 006年12月11-15日 匁v &R 匁v &R
発表者名 價ﾙUﾉUy
A.Tsukazaki,A.Ohlomo,T.Kila, Y.Ohno,H.Ohno,M.Kawasaki 彦 V '6W'f ﾆ柳踟' V 貮Vﾔ ?ｦV薈V6ﾆ門ｦ蔗 ﾖx5匁ﾅ t Vﾆ7& 匁ﾆW&f 672
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
The13tJ11nlcrnationalWorkshoponOxideElectronics 006年10月8-日日 迫66 ｦ ﾄ友 ﾇ
発表音名 價ﾙUﾉUy
A.Ohlomo,A.Tsuhzaki,∫.Nishii, H.Ohno,M.KawaSaki 陪没ぶﾖ &免棉膝& Eｗ'F也DｦﾆUｦ蔗 ﾒeｦ貲 蔬 6ﾆ7& 7D･vﾇW&72
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
111e4thLnternationa)WorkshoponZnOandRelalcdM alerj8)S 006年tO月3-6日 牌妨766籠vVﾖ 迺
発表■者名l発表標層
大友明 率踵JﾘﾏX5 484 ｸ6 ﾈ､ｩJﾒ胤Y "
学会等名 剩ｭ表年月日 併JﾙUﾈ ｨ ｢
技術情報協会セミナーr酸化亜鉛制草の天声横化技術と 高品質発光デバイス-の応用｣ 006年9月2)-22日 ﾉ ﾂ
発表者名J発表標題 大友明,塚崎敦.川崎雅司 伜 嶌恢僮Iihﾉ ﾉ+xｵｨ ,iLﾘ 6h6 485 駢 胤Y "
学会等 名 剽ｳ衷年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
日本学術振興会ワイドギャップ半導体光.亀子デバイス 第162委員会第48回研究会 006*9月13-14EI Y B
発表ノ著名 做餠ﾉUy ｸｧ
AiOIltOmO.P.Murugan,T.Nishima tsu,Y.KawaZOC,M.Kawasaki 乃坊6ﾇ& 譁74ﾄｧDﾄ6ﾇW&W6 ' & 芳V Vﾆ7& 也FW&f 6W2 也f友VB
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
ACCMSWoTtingGroupMeetingonClustersandNano materids 006年9月7-9日 V襷 墜ｦ
発表者名 價ﾙUﾉUy
A.Ohlomo,A.Tsukazaki,M.Kawa saki ﾖ&匁 ﾆ & ﾆﾆ66 踐ﾆ w免 v &G5ｦ蔗ﾖ& 6VFﾆ没 ﾂﾖ6ﾖ宥F匁vF柳FW2 也f犯6B
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
Asia-PacificOplica)Communications(^POC)2006 006*9ju-7日 背v 騏'Rﾄｶ 耳
発表音名 緬JﾙUﾉUy
大友明,塚崎故,北響洋.大 野裕三,大野英軌川崎雅司 率踉 ﾖr螯貲 ､Ylｨ,ﾉZｨｼ H捶,i? 鵁ﾋ8ｵH 4ｸ5泳y7 ﾉ xﾎB
学会等名一報表年月日l発表場所 2006年秋季第67回応用物理学関係連合講演会 006年8月29-9月1日 9,2 発表音名l髄裁標題 大友明,塚崎敦,川崎雅司 ﾇV4ﾆ没 ﾂﾔb贍免ﾆ匁W"末 FT& 6VF 螯蔗胤Y " 学会等名l発表年月日l発表場所 2006年秋季第67回応用物理学関係迎合講演会 006年8月29-9月1日 ,2 発表者名 價ﾙUﾉUy
A.Tsukazaki,A.Ohtomo,T.Kita,Y. Ohno,H.Ohno,M.Kawasakj 彦 VW ﾖ匁 ﾆ柳踟&ﾖ v觀ﾆ ﾇ& 'F門ｦ蔗 ﾒeｦ薤 尾 VﾆW& 也FW&f 672
学会等名 剩ｭ表年月日 價ﾙUﾈ ｨ ｢
3.図 書 著者名 畑 LX A.Ohtomo 之ﾇ8 f妨"ﾅTｲ 普一名 剩ｭ行年 ﾘ7 ｸ5y B Na爪OPaJticlcTcchnologyHandbwk 10tOl7 ■■■ "ﾓ7CR 著者名 偬 LX M.KaWaSaki,A.Ohtomo &匁vW"ﾕfW&ﾆ tvﾖ$ 書名 剩ｭ行年 ﾘ7 ｸ5y B WideBandgapScmiconduclorsandRcLatedOplQCleCtrOnicDeviccs lOlOl7 86s C ー著者名[山版杜 大友明 ｨｪxﾔ Y hxｸ 音名 剩ｭ行年I総ページ数 ナノパーティクルテクノロジー-ンドブック 101016 ﾓ#迭 著者名l出版社 川崎雅司,大友明 映ｸ LR 番名l発行年l総ページ数 ワイドギャップ半額体光.磯子デバイス ■0-0■6 ltl 姪S"ﾓ cR
4.研究成果による産業財産権の出願･取得状況
〔出願〕
産共財産権の名称 價ﾙk竟" 権利者 伜仂hﾞ 蝌ﾊ ,ﾈｴ }鶫MHﾘb 山顧年月日 俛 > 隍 ﾙ ,ﾉ¥｢Zincoxidetypcsemicond uclorelemente.g.rorulLr avioktLED,hasprojecli onaxisorC-axisalm-ax ialp)aneinclinedwitJlrCS pecttonormaHineorma insurraCCOrma8nCSium zincoxidcsubslraLc 抜蓙 ﾂ ?｢蝸Vｦ墜ｲ F ﾗW& ﾅ2 ｶ 6 ｶ ﾄﾒ ｶ v 6 ｶ陳 B薑7Vｶ ｦ ｶ陳 蔕 ﾆ ﾖ ローム株式 会社.国立大 学法人髄北 大''i'J:綻 付 # CC Rﾕ袵 2007.).& 丶 ﾙ
〔取得〕
産業財産権の名称 價ﾙk竟" 権利者 几hｼhﾞ 蝌ﾊ ,ﾈ顥}鶫MHﾘb 取得年月日 俛 > 隍 ﾙ b
薄膜及びp型酸化亜鉛薄 膜恥造方法と半導体デバ イス ﾈﾞ ｸ謦ﾉ R tik篷Y ｢ &ﾘ裵ﾉ,ｸﾞ =bﾉ Y$ｨ 国立大学仕 入額北大学 良 ｹi c3 CcS畏b 2006.8.4 俛 >
産業財産権の名称 價ﾙk竟" 権利者 伜仂hﾞ {hﾊ ,ﾈ顥}鶫MHﾘb 取得年月日 俛 > 隍 ﾙ ,ﾉ¥｢
発光素子及びその恥造方 法 Ytik篷 ﾂ ﾞ ｸ謦 ｸﾞ _｢ 国立大学法 人東北大学 良 ｹi- 3rCsc3Xﾘb 2006.4.7 俛 >
