仙 台 営 業 所 筑 波 営 業 所 東 京 営 業 所 中 部 営 業 所 大 阪 営 業 所 西日本営業所 □ □ □ □ □ □ TEL (022)267-0121 FAX (022)267-0135 TEL (029)848-5080 FAX (029)855-1135 TEL (03)3436-0491 FAX (03)3433-6997 TEL (053)459-1112 FAX (053)459-1114 TEL (06)6271-0441 FAX (06)6271-0450 TEL (092)482-0390 FAX (092)482-0550 WEB SITE www.hamamatsu.com
□ システム営業推進部 〒431-3196 浜松市東区常光町812 TEL (053)431-0150 FAX (053)433-8031 E-Mail [email protected] ※この資料の内容は、2015年5月現在のものです。 製品の使用は、改良のため予告なく変更することがあります。 ご注文の際は、最新の内容をご確認下さい。
Cat. No. SSYS0001J25 MAY/ 2015 IP (1500) ★登録商標について 下記の名称は、浜松ホトニクス （株） の登録商標です。 FDSS、FDSS/IMACS、FDSS/μCELL ImagEM（イマジェム） LEPAS ORCA（オルカ） NanoZoomer NIRO pde-neo PHEMOS Photodynamic Eye Quantaurus-Tau Quantaurus-QY THEMOS μAMOS
システム製品
総合カタログ
Systems Products Condensed Catalog
Windowsは、米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。 HCIMAGEは、PHOTONICS MANAGEMENT CORP. の登録商標です。
その他、記載商品名、ソフト名等は該当商品製造各社の商標および登録商標です。 カタログ上での表記は省略させていただきました。
営業品目
電子管製品
□ 光電子増倍管 □ 光電子増倍管モジュール □ マイクロチャンネルプレート □ イメージインテンシファイア □ キセノンランプ・水銀キセノンランプ □ 重水素ランプ □ 光源応用製品 □ レーザ応用製品 □ マイクロフォーカスX線源 □ X線イメージングデバイスシステム応用製品
□ カメラ・画像計測装置 □ X線関連製品 □ ライフサイエンス 分野製品 □ 医療 分野製品 □ 半導体故障解析装置 □ 発光材料特性評価装置 □ 分光計測・光計測装置光半導体製品
□ Siフォトダイオード □ APD □ フォトICと関連製品 □ イメージセンサ □ PSD (位置検出素子) □ 赤外線検出素子 □ LED □ 光通信用デバイス □ 車載用デバイス □ X線フラットパネルセンサ □ ミニ分光器 □ 光半導体モジュール 2015年5月改訂版浜松ホトニクスは、光の技術集団としてあらゆる光を追求し、
ホトニクス (光子工学) の担い手として歩み続けています。
その中で、光検出技術、画像処理/解析技術を応用したイメージングシステムや
計測/解析システムの開発に取り組んでいるのがシステム事業部です。
これらシステム製品を支える基礎技術として
可視光から赤外線、紫外線、X線の観察をはじめ、
どこまで暗い対象が見えるかという極微弱光観察や
どこまで速い現象が計れるかという超高速現象観察などがあります。
これら基礎技術への弛まぬ研究が、光計測の応用範囲を広げ、
製品価値を不動のものとしています。
このパンフレットでは、浜松ホトニクス株式会社 システム事業部の
代表的な製品をご紹介致します。
ライフサイエンス、医療、半導体故障解析、
学術研究から宇宙開発まで、幅広い分野で活躍
カメラシリーズ 半導体故障解析装置 ●科学計測用・マシンビジョン用 ORCA-Flash デジタルCMOSカメラシリーズ ORCA デジタルCCDカメラシリーズ デジタルCCDカメラ ●装置組み込み用・OEM対応 科学計測用CMOSボード型カメラ、CCDボード型カメラ ●TDIカメラ TDIカメラ、TDIボード型カメラ ●高感度 ImagEM X2 EM-CCDカメラシリーズ ●高速度・高速ゲート機能 ゲートICCDカメラシリーズ ●近赤外用 InGaAsカメラ、近赤外CCDカメラ ●紫外用 デジタルCCDカメラ、BT-CCDカメラ ●光の性質 光の波動性・光の粒子性・光の速度 ●検出技術 広波長領域にわたる検出技術・超高感度検出技術・超高速検出技術 ●半導体故障検出･解析 PHEMOSシリーズ エミッション顕微鏡シリーズ iPHEMOSシリーズ 倒立型エミッション顕微鏡シリーズ TriPHEMOS ピコ秒時間分解エミッション顕微鏡 THEMOSシリーズ 発熱画像解析装置シリーズ FA-Navigation 故障解析支援システム光の性質と検出技術
P4∼5カメラ・X線関連
●研究所・事業部体制 ●WEB サイト事業部紹介・WEB サイト
P6∼8 P21∼P23 P14半導体故障解析・太陽電池材料評価・発光材料特性評価
発光材料特性評価装置 ●FPD特性評価 絶対PL量子収率測定装置、Quantaurus-QY 絶対PL量子収率測定装置 輝度配光特性測定装置、外部量子効率測定装置 ピコ秒蛍光寿命測定装置、Quantaurus-Tau 小型蛍光寿命測定装置 ストリーク過渡吸収測定システム、フラッシュフォトリシスシステム ●LED特性評価 絶対PL量子収率測定装置、Quantaurus-QY 絶対PL量子収率測定装置 LED光度配光分布測定装置、LED全光束･効率測定装置 PMA-12 マルチチャンネル分光器 P15 医療分野製品 ●高速・高解像度バーチャルスライドスキャナ NanoZoomer バーチャルスライドスキャナシリーズ ●酸素モニタ NIRO-200NX 赤外線酸素モニタ装置 NIRO-200NX DP 赤外線酸素モニタ装置 マルチファイバアダプタ NIRO200-NX用 プラス2chアダプタ NIRO200-NX用 デュアルファイバアダプタ NIRO200-NX用 ●組織表面下の観察 pde-neo 赤外観察カメラシステム ●瞳孔反応計測 Iriscorder Dual 電子瞳孔計 ●顕微鏡用カメラシリーズ（蛍光・発光対応） ORCA-Flash デジタルCMOSカメラシリーズ、 ImagEM X2 EM-CCDカメラシリーズ ORCA-R2 デジタルCCDカメラ ●顕微鏡イメージングシステム レシオイメージングシステム FRETイメージングシステム 1分子蛍光イメージングシステム ルミネッセンスイメージングシステム 2台同期カメラシステム ORCA-Flash4.0用 ●イメージングソフトウエア HCImageソフトウエアシリーズ ●イメージスプリッティング光学系 W-VIEW GEMINI イメージスプリッティング光学系 ●創薬スクリーニング支援 FDSS7000EX 創薬スクリーニング支援システム FDSS/μCELL 創薬スクリーニング支援システム FDSS/IMACS 創薬スクリーニング支援システムライフサイエンス・医療
ライフサイエンス分野製品 P12∼13 P10∼11 分光計測・超短パルス光源 ●分光計測 ピコ秒蛍光寿命測定装置、小型近赤外蛍光寿命測定装置 Quantaurus-Tau 小型蛍光寿命測定装置 絶対PL量子収率測定装置 Quantaurus-QY 絶対PL量子収率測定装置 ストリーク過渡吸収測定システム、フラッシュフォトリシスシステム ●超短パルス光源 PLP-10 ピコ秒ライトパルサシリーズ P19 光ビーム計測 ●光ビーム計測 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ 光ビーム計測アプリケーションシステム P20 厚さ計測・薄膜計測 P17 ●Optical Gaugeシリーズ Optical MicroGauge 膜厚計シリーズ Optical NanoGauge厚み計 超高速測光 P18 ●ストリークカメラシリーズ ユニバーサルストリークカメラシリーズ FESCA-200 フェムト秒ストリークカメラシリーズ 高ダイナミックストリークカメラシリーズ 近赤外ストリークカメラシリーズ X線ストリークカメラ 分光器・分光測光装置・プラズマモニタ・環境計測 ●分光器・分光測光装置 PMA-12 マルチチャンネル分光器 PMA-20 マルチチャンネル分光器 PMA-50 マルチチャンネル分光測光装置 PMA-70 ゲートＩＣＣＤ分光システム ●プラズマモニタ プラズマプロセスモニタシリーズ ●環境計測 ゲートICCDカメラシリーズ P16分光計測・光計測
●X線非破壊検査 X線ラインセンサカメラ、デュアルエナジーX線ラインセンサカメラ X線TDIカメラ、X線sCMOSカメラ、高解像度X線イメージングユニット X線ダイレクトCCDカメラ X線関連装置 P9SYSTEMS
PRODUCTS
浜松ホトニクスは、光の技術集団としてあらゆる光を追求し、
ホトニクス (光子工学) の担い手として歩み続けています。
その中で、光検出技術、画像処理/解析技術を応用したイメージングシステムや
計測/解析システムの開発に取り組んでいるのがシステム事業部です。
これらシステム製品を支える基礎技術として
可視光から赤外線、紫外線、X線の観察をはじめ、
どこまで暗い対象が見えるかという極微弱光観察や
どこまで速い現象が計れるかという超高速現象観察などがあります。
これら基礎技術への弛まぬ研究が、光計測の応用範囲を広げ、
製品価値を不動のものとしています。
このパンフレットでは、浜松ホトニクス株式会社 システム事業部の
代表的な製品をご紹介致します。
ライフサイエンス、医療、半導体故障解析、
学術研究から宇宙開発まで、幅広い分野で活躍
カメラシリーズ 半導体故障解析装置 ●科学計測用・マシンビジョン用 ORCA-Flash デジタルCMOSカメラシリーズ ORCA デジタルCCDカメラシリーズ デジタルCCDカメラ ●装置組み込み用・OEM対応 科学計測用CMOSボード型カメラ、CCDボード型カメラ ●TDIカメラ TDIカメラ、TDIボード型カメラ ●高感度 ImagEM X2 EM-CCDカメラシリーズ ●高速度・高速ゲート機能 ゲートICCDカメラシリーズ ●近赤外用 InGaAsカメラ、近赤外CCDカメラ ●紫外用 デジタルCCDカメラ、BT-CCDカメラ ●光の性質 光の波動性・光の粒子性・光の速度 ●検出技術 広波長領域にわたる検出技術・超高感度検出技術・超高速検出技術 ●半導体故障検出･解析 PHEMOSシリーズ エミッション顕微鏡シリーズ iPHEMOSシリーズ 倒立型エミッション顕微鏡シリーズ TriPHEMOS ピコ秒時間分解エミッション顕微鏡 THEMOSシリーズ 発熱画像解析装置シリーズ FA-Navigation 故障解析支援システム光の性質と検出技術
P4∼5カメラ・X線関連
●研究所・事業部体制 ●WEB サイト事業部紹介・WEB サイト
P6∼8 P21∼P23 P14半導体故障解析・太陽電池材料評価・発光材料特性評価
発光材料特性評価装置 ●FPD特性評価 絶対PL量子収率測定装置、Quantaurus-QY 絶対PL量子収率測定装置 輝度配光特性測定装置、外部量子効率測定装置 ピコ秒蛍光寿命測定装置、Quantaurus-Tau 小型蛍光寿命測定装置 ストリーク過渡吸収測定システム、フラッシュフォトリシスシステム ●LED特性評価 絶対PL量子収率測定装置、Quantaurus-QY 絶対PL量子収率測定装置 LED光度配光分布測定装置、LED全光束･効率測定装置 PMA-12 マルチチャンネル分光器 P15 医療分野製品 ●高速・高解像度バーチャルスライドスキャナ NanoZoomer バーチャルスライドスキャナシリーズ ●酸素モニタ NIRO-200NX 赤外線酸素モニタ装置 NIRO-200NX DP 赤外線酸素モニタ装置 マルチファイバアダプタ NIRO200-NX用 プラス2chアダプタ NIRO200-NX用 デュアルファイバアダプタ NIRO200-NX用 ●組織表面下の観察 pde-neo 赤外観察カメラシステム ●瞳孔反応計測 Iriscorder Dual 電子瞳孔計 ●顕微鏡用カメラシリーズ（蛍光・発光対応） ORCA-Flash デジタルCMOSカメラシリーズ、 ImagEM X2 EM-CCDカメラシリーズ ORCA-R2 デジタルCCDカメラ ●顕微鏡イメージングシステム レシオイメージングシステム FRETイメージングシステム 1分子蛍光イメージングシステム ルミネッセンスイメージングシステム 2台同期カメラシステム ORCA-Flash4.0用 ●イメージングソフトウエア HCImageソフトウエアシリーズ ●イメージスプリッティング光学系 W-VIEW GEMINI イメージスプリッティング光学系 ●創薬スクリーニング支援 FDSS7000EX 創薬スクリーニング支援システム FDSS/μCELL 創薬スクリーニング支援システム FDSS/IMACS 創薬スクリーニング支援システムライフサイエンス・医療
ライフサイエンス分野製品 P12∼13 P10∼11 分光計測・超短パルス光源 ●分光計測 ピコ秒蛍光寿命測定装置、小型近赤外蛍光寿命測定装置 Quantaurus-Tau 小型蛍光寿命測定装置 絶対PL量子収率測定装置 Quantaurus-QY 絶対PL量子収率測定装置 ストリーク過渡吸収測定システム、フラッシュフォトリシスシステム ●超短パルス光源 PLP-10 ピコ秒ライトパルサシリーズ P19 光ビーム計測 ●光ビーム計測 LEPAS-12 レーザビームプロファイラ 光ビーム計測アプリケーションシステム P20 厚さ計測・薄膜計測 P17 ●Optical Gaugeシリーズ Optical MicroGauge 膜厚計シリーズ Optical NanoGauge厚み計 超高速測光 P18 ●ストリークカメラシリーズ ユニバーサルストリークカメラシリーズ FESCA-200 フェムト秒ストリークカメラシリーズ 高ダイナミックストリークカメラシリーズ 近赤外ストリークカメラシリーズ X線ストリークカメラ 分光器・分光測光装置・プラズマモニタ・環境計測 ●分光器・分光測光装置 PMA-12 マルチチャンネル分光器 PMA-20 マルチチャンネル分光器 PMA-50 マルチチャンネル分光測光装置 PMA-70 ゲートＩＣＣＤ分光システム ●プラズマモニタ プラズマプロセスモニタシリーズ ●環境計測 ゲートICCDカメラシリーズ P16分光計測・光計測
●X線非破壊検査 X線ラインセンサカメラ、デュアルエナジーX線ラインセンサカメラ X線TDIカメラ、X線sCMOSカメラ、高解像度X線イメージングユニット X線ダイレクトCCDカメラ X線関連装置 P9SYSTEMS
PRODUCTS
●ヤングの干渉縞実験 光 源 スリット スリット板1 スリット板2 スクリーン 入射光 (パルス光の場合) 光電面 蛍光面 電子の軌跡 掃 引 ストリーク管 【光のスペクトル】 プリズム 白色光 分光スペクトル 目には見えない領域 目には見えない領域 波長が 短い 波長が 長い 約 400 nm∼700 nm γ線・X線 紫外線 赤外線 遠赤外線・電波 可視域 ▲弱くしていくと検出できなくなります。（音叉の共鳴実験） ▲弱く (暗く) していっても、パルス (粒) として検出されます。 0.3 mm
光 の 性 質 と 検 出 技 術
●音の信号 ● 赤外線を用いた観察例 ● X線を用いた観察例 ●1ピコ秒とは・・・ ●光の信号 ●光は1秒間に 地球を7周半進む ここでは光のもつ性質とこのカタログに掲載したシステム製品の代表的な 検出技術の1例をご紹介致します。広波長領域にわたる検出技術
（目には見えない光まで検出）
超高感度検出技術
（フォトンカウンティング撮像）
超高速検出技術
（ストリークカメラ）
【ストリークカメラの動作原理】 ○柱絵（京都市法界寺阿弥陀堂）の撮像例 （写真提供：東京国立文化財研究所 三浦定俊様） ▲缶詰内の異物検査（円内が異物） ▲普通写真 ▲赤外線カメラでの観察画像 （頭部を拡大撮像、すすやほこりの下に描かれた絵） 光は光子と呼ばれる粒の集まりです。日常の生活環境では光子が満ち溢れ、 室内の明るさ (200ルクス∼400ルクス) では約200兆個の光子が降り注い でいます。それが月のない星明かりの夜では1000分の1ルクス、さらにずっと 暗く肉眼ではとても見ることのできない極微弱光領域と呼ばれる領域では、数 億分の1ルクス以下しかありません。ここでは、光子が1秒間に1平方ミリメート ルあたり数個しか飛んできません。1つの光子から得られる信号はあまりに小 さく、一般の高感度カメラでもとらえることはできません。 フォトンカウンティング撮像は、光子1つ1つ を高感度にとらえ、しかもその入射位置を正 確に検出し、信号を蓄積することで画像を得 る技術です。1秒間にほんの数箇所輝点とし てしか表れない光子も一定時間蓄積すること により、明るさの分布が生まれ画像として観察 することができます。 10‒8 10‒6 10‒4 10‒2 102 1 102 104 106 108 フォトン/mm2・秒 (波長=550 nm) ルクス (lx) 1010 高感度フィルム (ISO 1000) 星明かり 月明かり 一般のビデオカメラ フォトンカウンティング撮像 ★ 【撮像感度比較】光
の
性質
と
検出技術
﹂
1ピコ秒とは、１秒間に約30万 km進む光が、 わずか0.3 mmしか進めないごく短時間です。 光の波としての性質 (波動) を表すのに「波長」が用いられます。波長は光が 1回振動する間に進む距離であり、カタログでは nm (ナノメートル：10ー9 m) の単位を多く用いています。 私たちが目で見ている光は、光の中でごく限られた範囲でしかありません。 その範囲は約400 nm∼700 nmで、可視域 (または可視光) と呼ばれてい ます。その他の目には見えない光 (領域) の中に通常では得られない数多くの 情報が隠されています。 弊社では、X線∼赤外線ま で広い範囲の光を検出・画 像化するシステムを開発 しています。 ▲10秒蓄積 ▲10秒蓄積 ▲10分蓄積 ▲6.5時間蓄積 ● フォトンカウンティング撮像例 ○人物像 ○ヤングの干渉縞実験 極微弱光領域での干渉縞実験。光が波と粒 の性質を合わせ持つことを証明。 ● ストリークカメラによる撮像例 超高速光現象の測定装置としてストリークカメラがあります。ストリークカメ ラは一般のカメラのように実像を撮るものではなく、光の強度がごく短時間に 変化する様子をとらえる装置です。 原理は、スリット状の入射光を光電面で電子に変換し、高速で掃引 (電子を上 から下に振る) し、蛍光面で再び光の像に戻します。それにより、時間に従って変 化する入射光の強度変化が、上から下に変化する輝度変化画像として観察する ことができます。弊社では、現在0.2ピコ秒 (200フェムト秒) の時間分解能を もつストリークカメラ を商品化しています。光の波動性
光は波の性質を持っています。
ちょうど水面に小石を投げ入れた時に生じる波紋と同じようなもの で、電波と同じく電磁波の一種と考えられています。 この光の「波」としての性質は、ヤングの干渉縞実験でも証明されて います。実験は、光源を2枚のスリット (細い切れ目) をもつ板を介して スクリーンに映し出すもので、1枚目の板はスリットが1つ、2枚目の板 はスリットが2つ設けられています。2枚目に置かれた板の2つのスリッ トから出た光は、波の性質により干渉 (強め合う/弱め合う) されスクリ ーン上には縞模様として映し出されます。光の粒子性
光は粒の性質を持っています。
その粒の数によって光の強さが変わります。明るい光は粒の数が多 く、暗い光では粒の数が少なくなります。 右の図は、音と光の信号を比較したものです。音は、その強さ (大き さ) を徐々に弱めていくと信号の大きさが小さくなり、ついには無くな ります。それに対して光は、徐々に弱めていくと信号の総量は減少しま すが、まばらなパルス信号として検出できます。光の粒1つが1つのパ ルスとして検出されるためです。光の粒は、光子（フォトン）と呼ばれて います。光の速度
光の速度は秒速約30万km。
光は、1秒間に地球を7周半進むことができる超高速性を有してい ます。この光の性質は、大量のデータを短時間で伝送する光通信をは じめ様々な分野で応用されています。 1ミリ秒＝1000分の1秒、1マイクロ秒＝100万分の1秒、1ナノ 秒＝10億分の1秒、1ピコ秒＝1兆分の1秒。1秒間に地球を7周半で きる光も、1ピコ秒の間にはわずか0.3 mm (真空中) しか進むことが できません。このような非常に短い時間内に起こる光現象の研究が、 物理、化学、生物などの新しい分野では必要不可欠になっています。 ▲有機ELりん光材料 （4.5 Kにおける時間分解発光 スペクトルのストリーク像） ▲Ti-Saレーザからのパルス光の 強度プロファイルとストリーク イメージ 【データ提供】 九州大学未来化学創造センター 安達千波矢 様●ヤングの干渉縞実験 光 源 スリット スリット板1 スリット板2 スクリーン 入射光 (パルス光の場合) 光電面 蛍光面 電子の軌跡 掃 引 ストリーク管 【光のスペクトル】 プリズム 白色光 分光スペクトル 目には見えない領域 目には見えない領域 波長が 短い 波長が 長い 約 400 nm∼700 nm γ線・X線 紫外線 赤外線 遠赤外線・電波 可視域 ▲弱くしていくと検出できなくなります。（音叉の共鳴実験） ▲弱く (暗く) していっても、パルス (粒) として検出されます。 0.3 mm
光 の 性 質 と 検 出 技 術
●音の信号 ● 赤外線を用いた観察例 ● X線を用いた観察例 ●1ピコ秒とは・・・ ●光の信号 ●光は1秒間に 地球を7周半進む ここでは光のもつ性質とこのカタログに掲載したシステム製品の代表的な 検出技術の1例をご紹介致します。広波長領域にわたる検出技術
（目には見えない光まで検出）
超高感度検出技術
（フォトンカウンティング撮像）
超高速検出技術
（ストリークカメラ）
【ストリークカメラの動作原理】 ○柱絵（京都市法界寺阿弥陀堂）の撮像例 （写真提供：東京国立文化財研究所 三浦定俊様） ▲缶詰内の異物検査（円内が異物） ▲普通写真 ▲赤外線カメラでの観察画像 （頭部を拡大撮像、すすやほこりの下に描かれた絵） 光は光子と呼ばれる粒の集まりです。日常の生活環境では光子が満ち溢れ、 室内の明るさ (200ルクス∼400ルクス) では約200兆個の光子が降り注い でいます。それが月のない星明かりの夜では1000分の1ルクス、さらにずっと 暗く肉眼ではとても見ることのできない極微弱光領域と呼ばれる領域では、数 億分の1ルクス以下しかありません。ここでは、光子が1秒間に1平方ミリメート ルあたり数個しか飛んできません。1つの光子から得られる信号はあまりに小 さく、一般の高感度カメラでもとらえることはできません。 フォトンカウンティング撮像は、光子1つ1つ を高感度にとらえ、しかもその入射位置を正 確に検出し、信号を蓄積することで画像を得 る技術です。1秒間にほんの数箇所輝点とし てしか表れない光子も一定時間蓄積すること により、明るさの分布が生まれ画像として観察 することができます。 10‒8 10‒6 10‒4 10‒2 102 1 102 104 106 108 フォトン/mm2・秒 (波長=550 nm) ルクス (lx) 1010 高感度フィルム (ISO 1000) 星明かり 月明かり 一般のビデオカメラ フォトンカウンティング撮像 ★ 【撮像感度比較】光
の
性質
と
検出技術
﹂
1ピコ秒とは、１秒間に約30万 km進む光が、 わずか0.3 mmしか進めないごく短時間です。 光の波としての性質 (波動) を表すのに「波長」が用いられます。波長は光が 1回振動する間に進む距離であり、カタログでは nm (ナノメートル：10ー9 m) の単位を多く用いています。 私たちが目で見ている光は、光の中でごく限られた範囲でしかありません。 その範囲は約400 nm∼700 nmで、可視域 (または可視光) と呼ばれてい ます。その他の目には見えない光 (領域) の中に通常では得られない数多くの 情報が隠されています。 弊社では、X線∼赤外線ま で広い範囲の光を検出・画 像化するシステムを開発 しています。 ▲10秒蓄積 ▲10秒蓄積 ▲10分蓄積 ▲6.5時間蓄積 ● フォトンカウンティング撮像例 ○人物像 ○ヤングの干渉縞実験 極微弱光領域での干渉縞実験。光が波と粒 の性質を合わせ持つことを証明。 ● ストリークカメラによる撮像例 超高速光現象の測定装置としてストリークカメラがあります。ストリークカメ ラは一般のカメラのように実像を撮るものではなく、光の強度がごく短時間に 変化する様子をとらえる装置です。 原理は、スリット状の入射光を光電面で電子に変換し、高速で掃引 (電子を上 から下に振る) し、蛍光面で再び光の像に戻します。それにより、時間に従って変 化する入射光の強度変化が、上から下に変化する輝度変化画像として観察する ことができます。弊社では、現在0.2ピコ秒 (200フェムト秒) の時間分解能を もつストリークカメラ を商品化しています。光の波動性
光は波の性質を持っています。
ちょうど水面に小石を投げ入れた時に生じる波紋と同じようなもの で、電波と同じく電磁波の一種と考えられています。 この光の「波」としての性質は、ヤングの干渉縞実験でも証明されて います。実験は、光源を2枚のスリット (細い切れ目) をもつ板を介して スクリーンに映し出すもので、1枚目の板はスリットが1つ、2枚目の板 はスリットが2つ設けられています。2枚目に置かれた板の2つのスリッ トから出た光は、波の性質により干渉 (強め合う/弱め合う) されスクリ ーン上には縞模様として映し出されます。光の粒子性
光は粒の性質を持っています。
その粒の数によって光の強さが変わります。明るい光は粒の数が多 く、暗い光では粒の数が少なくなります。 右の図は、音と光の信号を比較したものです。音は、その強さ (大き さ) を徐々に弱めていくと信号の大きさが小さくなり、ついには無くな ります。それに対して光は、徐々に弱めていくと信号の総量は減少しま すが、まばらなパルス信号として検出できます。光の粒1つが1つのパ ルスとして検出されるためです。光の粒は、光子（フォトン）と呼ばれて います。光の速度
光の速度は秒速約30万km。
光は、1秒間に地球を7周半進むことができる超高速性を有してい ます。この光の性質は、大量のデータを短時間で伝送する光通信をは じめ様々な分野で応用されています。 1ミリ秒＝1000分の1秒、1マイクロ秒＝100万分の1秒、1ナノ 秒＝10億分の1秒、1ピコ秒＝1兆分の1秒。1秒間に地球を7周半で きる光も、1ピコ秒の間にはわずか0.3 mm (真空中) しか進むことが できません。このような非常に短い時間内に起こる光現象の研究が、 物理、化学、生物などの新しい分野では必要不可欠になっています。 ▲有機ELりん光材料 （4.5 Kにおける時間分解発光 スペクトルのストリーク像） ▲Ti-Saレーザからのパルス光の 強度プロファイルとストリーク イメージ 【データ提供】 九州大学未来化学創造センター 安達千波矢 様ORCA-Flash2.8 デジタルCMOSカメラ 科学計測用CMOSボード型カメラ C11440-52U
科学計測用・マシンビジョン用
画像処理/計測用に開発された高性能なカメラです。FAをはじめ 幅広い分野でお使いいただける高性能を備えています。検出感度、 分光感度、解像度、読み出し速度等、用途に合わせ豊富なラインアッ プから選択できます。OEM対応カメラも用意しています。 ■ CCDボード型カメラ C10990シリーズ 高感度、高解像度、低ノイズ、高ダイナミックレンジ等の特長を合わせ持つバ ランスの優れた画像処理・計測用のカメラです。FAをはじめバイオ、半導体、学 術研究等幅広い分野で応用されています。 OEM対応のデジタルCCDカメラで、CCD素子、冷却有無、露光時間、インタ ーフェース、基板形状等、お客様の要求に合わせたカスタマイズが可能です。 ■ 科学計測用CMOSボード型カメラ C11440-50シリーズ 解像度280万画素の科学計測用CMOSイメージセンサを搭載したボードタ イプのCMOSカメラです。装置組み込みをはじめとする幅広いOEMに対応し ます。インターフェイスをIEEE1394ｂとUSB 3.0から選べます。■ ORCA -Flash デジタルCMOSカメラシリーズ
最新技術を用いた科学計測用CMOSイメージングセンサを搭載し、高感度、 低ノイズ、高S/N、高速読み出し、高解像度を同時に実現しました。蛍光観察に おいてはEM-CCDを凌駕するパフォーマンスを発揮し、微弱な蛍光から幅広い 領域の蛍光観察に対応します。ORCA-Flash4.0 V2では、新たにスロースキ ャンモードを搭載し、0.8 electronsという低ノイズを実現し、従来より暗い画 像もS/N良く観察できます。 R
カメラ
・
線関連
﹂
CCDボード型カメラ C10990シリーズ ■ ORCA デジタルCCDカメラシリーズ 137万画素の全画素読み出しインターラインCCDを採用した高解像度・高 感度デジタルCCDカメラです。メカニカルシャッタを必要とせず、広いダイナミ ックレンジを有し、可視∼近赤外域まで高感度なため幅広い応用が期待されま す。 ■ デジタルCCDカメラ C8484-05C オ ル カカメラ・X線関連
X
ORCA-R2 デジタルCCDカメラ ORCA-Flash4.0 V2 デジタルCMOSカメラ装置組み込み用・OEM対応
■ 科学計測用CMOSボード型カメラ C11440-52U 解像度400万画素の科学計測用CMOSイメージセンサを搭載し、低ノイズ・ 高解像度・高速読み出しを同時に実現したカメラです。コンパクトなOEM対応 のボードタイプですので、装置組み込みをはじめとする幅広い用途に対応でき ます。 ●ORCA-Flash4.0 V2 デジタルCMOSカメラ C11440-22CU ・有効画素数：2048(H)×2048(V) ・画素サイズ：6.5 μm×6.5 μm ・読み出し速度：100 フレーム/秒∼25 655 フレーム/秒 ●ORCA-Flash2.8 デジタルCMOSカメラ C11440-10C ・有効画素数：1920(H)×1440(V) ・画素サイズ：3.63 μm×3.63 μm ・読み出し速度：45.4 フレーム/秒∼1273.6 フレーム/秒TDIカメラ
高速かつ高感度を両立し、インラインをはじめとする幅広い用途で お使いいただける高精度なカメラです。TDI (Time Delay Integration) は、CCDの特殊な読み出し方式（右参照）で、高速性に加え、移動する 対象物を繰り返し (CCDの垂直段数分) 露光することで高い感度が 得られます。 従来のラインセンサカメラに比べ、低照度レベルでの撮像を可能 にし、幅広い用途に対応します。 高速かつ高感度を両立し、インラインをはじめ幅広い用途でお使いいただけ る高精度なカメラです。背面照射型センサを採用し、高量子効率を実現してい ます。水平画素数2048画素の高解像度に加え、TDI段数が128段でTDI出力 チャンネル4TAPの高感度を実現しています。 ■ TDIボード型カメラ C10000-A01（OEM対応） 高速かつ高感度を両立し、インラインをはじめ幅広い用途でお使いいただけ る高精度なボード型カメラです。従来のラインセンサカメラに比べ、低照度レベ ルでの撮像を可能にしています。 ■ TDIカメラ C10000-801 TDIは、CCDの特殊な読み出し方式です。CCDでは電荷読み出しの時、1ライン単 位で垂直転送を行います。この転送のタイミングとCCD面に入射している対象像が 移動するタイミングを合わせれば、CCDの垂直段数だけ露光することができます。こ の方式をTDIと言い、移動物体を高速かつ高感度で撮像することが可能です。■ TDI (Time Delay Integration)動作原理
TDIカメラ C10000-801 TDIボード型カメラ C10000-A01 信号強度 TDIセンサ ステージ移動方向 CCD電荷転送方向 カメラ デジタルCCDカメラ C8484-05C 浜松ホトニクスが長年築き上げてきたカメラ技術で、お客様のご要 望に応じたボードカメラを提供致します。 科学計測用CMOSボード型カメラC11440-50シリーズ
高感度
通常のカメラでは撮像できない低照度下での観察や微弱な発光・ 蛍光等の観察に適したカメラです。 ■ EM-CCDカメラ ImagEM シリーズ、C9100-13、-14 ImagEM X2 EM-CCDカメラ C9100-23B イ マ ジ ェ ム R ■ ImagEM X2 EM-CCDカメラシリーズ ImagEM X2は、微弱光観察用途に向けて開発した新しいEM-CCDカメラ です。フルフレームで約70 フレーム/秒の高速読み出しが可能になり、より高 速に極微弱光領域の現象をとらえます。また、最大90 ％の高い量子効率と− 100 ℃冷却による低ノイズを実現。プログラマブル・トリガ出力などの新しいト リガ機能やIEEE1394bインターフェースを採用し、より使い易くなった次世代 のEM-CCDカメラです。 R ●ImagEM X2-1K EM-CCDカメラ C9100-24B ・有効画素数：1024(H)×1024(V) ・画素サイズ：13 μm×13 μm ・読み出し速度：18 フレーム/秒∼245 フレーム/秒 ・EMゲイン：1200倍 ●ImagEM X2 EM-CCDカメラ C9100-23B ・有効画素数：512(H)×512(V) ・画素サイズ：16 μm×16 μm ・読み出し速度：70.4 フレーム/秒∼1076 フレーム/秒 ・EMゲイン：1200倍 量子効率 (%) 波 長 (nm) 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 400 500 600 700 800 900 1000 1100 分光感度特性 TDIボード型カメラ C10000-A01 ■ TDIボード型カメラ C10000-A01 高速かつ高感度を両立し、インラインをはじめ幅広い用途でお使いいただけ る高精度なボード型カメラです。従来のラインセンサカメラに比べ、低照度レベ ルでの撮像を可能にしています。ORCA-Flash2.8 デジタルCMOSカメラ 科学計測用CMOSボード型カメラ C11440-52U
科学計測用・マシンビジョン用
画像処理/計測用に開発された高性能なカメラです。FAをはじめ 幅広い分野でお使いいただける高性能を備えています。検出感度、 分光感度、解像度、読み出し速度等、用途に合わせ豊富なラインアッ プから選択できます。OEM対応カメラも用意しています。 ■ CCDボード型カメラ C10990シリーズ 高感度、高解像度、低ノイズ、高ダイナミックレンジ等の特長を合わせ持つバ ランスの優れた画像処理・計測用のカメラです。FAをはじめバイオ、半導体、学 術研究等幅広い分野で応用されています。 OEM対応のデジタルCCDカメラで、CCD素子、冷却有無、露光時間、インタ ーフェース、基板形状等、お客様の要求に合わせたカスタマイズが可能です。 ■ 科学計測用CMOSボード型カメラ C11440-50シリーズ 解像度280万画素の科学計測用CMOSイメージセンサを搭載したボードタ イプのCMOSカメラです。装置組み込みをはじめとする幅広いOEMに対応し ます。インターフェイスをIEEE1394ｂとUSB 3.0から選べます。■ ORCA -Flash デジタルCMOSカメラシリーズ
最新技術を用いた科学計測用CMOSイメージングセンサを搭載し、高感度、 低ノイズ、高S/N、高速読み出し、高解像度を同時に実現しました。蛍光観察に おいてはEM-CCDを凌駕するパフォーマンスを発揮し、微弱な蛍光から幅広い 領域の蛍光観察に対応します。ORCA-Flash4.0 V2では、新たにスロースキ ャンモードを搭載し、0.8 electronsという低ノイズを実現し、従来より暗い画 像もS/N良く観察できます。 R
カメラ
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線関連
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CCDボード型カメラ C10990シリーズ ■ ORCA デジタルCCDカメラシリーズ 137万画素の全画素読み出しインターラインCCDを採用した高解像度・高 感度デジタルCCDカメラです。メカニカルシャッタを必要とせず、広いダイナミ ックレンジを有し、可視∼近赤外域まで高感度なため幅広い応用が期待されま す。 ■ デジタルCCDカメラ C8484-05C オ ル カカメラ・X線関連
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ORCA-R2 デジタルCCDカメラ ORCA-Flash4.0 V2 デジタルCMOSカメラ装置組み込み用・OEM対応
■ 科学計測用CMOSボード型カメラ C11440-52U 解像度400万画素の科学計測用CMOSイメージセンサを搭載し、低ノイズ・ 高解像度・高速読み出しを同時に実現したカメラです。コンパクトなOEM対応 のボードタイプですので、装置組み込みをはじめとする幅広い用途に対応でき ます。 ●ORCA-Flash4.0 V2 デジタルCMOSカメラ C11440-22CU ・有効画素数：2048(H)×2048(V) ・画素サイズ：6.5 μm×6.5 μm ・読み出し速度：100 フレーム/秒∼25 655 フレーム/秒 ●ORCA-Flash2.8 デジタルCMOSカメラ C11440-10C ・有効画素数：1920(H)×1440(V) ・画素サイズ：3.63 μm×3.63 μm ・読み出し速度：45.4 フレーム/秒∼1273.6 フレーム/秒TDIカメラ
高速かつ高感度を両立し、インラインをはじめとする幅広い用途で お使いいただける高精度なカメラです。TDI (Time Delay Integration) は、CCDの特殊な読み出し方式（右参照）で、高速性に加え、移動する 対象物を繰り返し (CCDの垂直段数分) 露光することで高い感度が 得られます。 従来のラインセンサカメラに比べ、低照度レベルでの撮像を可能 にし、幅広い用途に対応します。 高速かつ高感度を両立し、インラインをはじめ幅広い用途でお使いいただけ る高精度なカメラです。背面照射型センサを採用し、高量子効率を実現してい ます。水平画素数2048画素の高解像度に加え、TDI段数が128段でTDI出力 チャンネル4TAPの高感度を実現しています。 ■ TDIボード型カメラ C10000-A01（OEM対応） 高速かつ高感度を両立し、インラインをはじめ幅広い用途でお使いいただけ る高精度なボード型カメラです。従来のラインセンサカメラに比べ、低照度レベ ルでの撮像を可能にしています。 ■ TDIカメラ C10000-801 TDIは、CCDの特殊な読み出し方式です。CCDでは電荷読み出しの時、1ライン単 位で垂直転送を行います。この転送のタイミングとCCD面に入射している対象像が 移動するタイミングを合わせれば、CCDの垂直段数だけ露光することができます。こ の方式をTDIと言い、移動物体を高速かつ高感度で撮像することが可能です。■ TDI (Time Delay Integration)動作原理
TDIカメラ C10000-801 TDIボード型カメラ C10000-A01 信号強度 TDIセンサ ステージ移動方向 CCD電荷転送方向 カメラ デジタルCCDカメラ C8484-05C 浜松ホトニクスが長年築き上げてきたカメラ技術で、お客様のご要 望に応じたボードカメラを提供致します。 科学計測用CMOSボード型カメラC11440-50シリーズ
高感度
通常のカメラでは撮像できない低照度下での観察や微弱な発光・ 蛍光等の観察に適したカメラです。 ■ EM-CCDカメラ ImagEM シリーズ、C9100-13、-14 ImagEM X2 EM-CCDカメラ C9100-23B イ マ ジ ェ ム R ■ ImagEM X2 EM-CCDカメラシリーズ ImagEM X2は、微弱光観察用途に向けて開発した新しいEM-CCDカメラ です。フルフレームで約70 フレーム/秒の高速読み出しが可能になり、より高 速に極微弱光領域の現象をとらえます。また、最大90 ％の高い量子効率と− 100 ℃冷却による低ノイズを実現。プログラマブル・トリガ出力などの新しいト リガ機能やIEEE1394bインターフェースを採用し、より使い易くなった次世代 のEM-CCDカメラです。 R ●ImagEM X2-1K EM-CCDカメラ C9100-24B ・有効画素数：1024(H)×1024(V) ・画素サイズ：13 μm×13 μm ・読み出し速度：18 フレーム/秒∼245 フレーム/秒 ・EMゲイン：1200倍 ●ImagEM X2 EM-CCDカメラ C9100-23B ・有効画素数：512(H)×512(V) ・画素サイズ：16 μm×16 μm ・読み出し速度：70.4 フレーム/秒∼1076 フレーム/秒 ・EMゲイン：1200倍 量子効率 (%) 波 長 (nm) 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 400 500 600 700 800 900 1000 1100 分光感度特性 TDIボード型カメラ C10000-A01 ■ TDIボード型カメラ C10000-A01 高速かつ高感度を両立し、インラインをはじめ幅広い用途でお使いいただけ る高精度なボード型カメラです。従来のラインセンサカメラに比べ、低照度レベ ルでの撮像を可能にしています。対象 X線ラインセンサカメラ X線源
近赤外用
紫外用
肉眼では見ることができない近赤外領域の感度を有するカメラで す。赤外LEDをはじめとする光源や赤外領域での発光・蛍光の観察、 赤外照明と組み合わせた半導体内部の観察、絵画や文化財の観察 等、幅広い用途で使用されています。 通常のカメラでは撮像が困難な紫外領域にまで感度を有するカメ ラです。半導体マスク関連の観察・計測をはじめ、紫外光源と組み合 わせた表面観察、指紋観察等に応用されています。 BT-CCDカメラ C8000-30 デジタルCCDカメラ C8484-16C InGaAsカメラ C10633-13 ■ InGaAsカメラ C10633-13 センサにInGaAs素子を採用し、950 nm∼1700 nmで高い感度を有し ています。コンパクトなヘッドを採用し、画像出力はアナログ（EIA）とUSBを備 えています。ソフトウエアが付属しており、パソコンを用意すればすぐに画像表 示・データ保存が可能です。 ■ InGaAsカメラ C10633-34 センサにInGaAs素子を採用し、900 nm∼1520 nmで高い感度を有し ています。素子をペルチェ冷却することにより、暗電流を抑え画質を向上させ ると共に長時間露光を可能にしました。 ■ 近赤外CCDカメラ C3077-80 近赤外領域に高い感度を持つCCDカメラです。当社製のCCD素子を採用 し、近赤外の波長域に高い感度を有しています。従来品と寸法、出力仕様はそ のままに、感度を向上させました。工業産業用の画像処理、計測カメラとしての 用途はもとより、高い近赤外感度特性を利用し半導体ウェーハの内部観察用と しても最適なカメラです。 ■ デジタルCCDカメラ C8484-16C ■ BT-CCDカメラ C8000-30 130万画素の解像度と200 nmを下まわる紫外から近赤外までの幅広い 波長領域で高い感度を有するカメラです。 紫外から近赤外領域まで幅広い領域で高い量子効率を実現したカメラで す。紫外は120 nmから感度を有し、157 nm F2レーザ・193 nm ArFレー ザに対応しますので半導体マスク関連の観察に適しています。カメラ
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線関連
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冷却InGaAsカメラ C10633-34カメラ・X線関連
X線関連装置
（非破壊検査）
●基板観察例 （X線TDIカメラ C10650） ●食品観察例 （X線ラインセンサカメラ C9750） ▲実装基板の観察（注目部分を拡大） ▲缶詰内の異物検査（円内が異物） X線ラインセンサカメラ C9750シリーズ ▲左：通常カメラ画像、右：赤外透過画像 ●漆の観察例X
高解像度X線イメージングユニット M11427シリーズ X線sCMOSカメラ C12849 X線を用いた内部観察、X線回折像観察等に適したカメラです。ベ ルトコンベア等の搬送系を用いたX線非破壊検査用には、大きな被 写体まで対応するラインセンサカメラを用意しています。 ■ 高解像度X線イメージングユニット M11427シリーズ ■ X線ラインセンサカメラ C9750シリーズ 入射したX線ビームをシンチレータで可視化するイメージングユニットです。 高感度検出器を組み合わせ、リアルタイムにX線現象を撮像します。イメージ ングユニットは、X線による検出器へのダメージ低減を考慮した光学設計を行っ ているため、放射光施設などの高出力X線ビームを用いたイメージングにも対 応し、幅広い用途でお使いいただけます。 ■ X線sCMOSカメラ C12849シリーズ 高分解能、高感度なX線sCMOSカメラです。30 lp/mmの高解像度によ り、微小対象物のX線撮像に最適です。また、製品がコンパクトなため、マイク ロX線CT撮像等の装置組み込みにも適しています。 X線ダイレクトCCDカメラ C8000-30D ■ X線ダイレクトCCDカメラ C8000-30D シンチレータを使用せず、EUVや軟Ｘ線をCCDへダイレクトに入射して撮像 するカメラです。CCDに高エネルギーの光を入射することにより、素子上で多 くの電荷が発生するため、高感度な検出が可能です。背面照射型CCDの採用 により、20 eV∼10 keVまでのエネルギー範囲に対応します。カメラヘッドの 構造は、ベリリウム入力窓タイプと真空チャンバ取付用タイプを選択すること ができます。 ■ X線TDIカメラ C10650シリーズ TDI方式（P7参照）により、高速性と高感度を両立したX線用高解像度カメ ラです。高解像度（水平3040画素または4608画素）かつ、明るく鮮明な画 像観察を実現しました。 ■ X線TDIカメラ C12200シリーズ TDI方式により、高速性と高感度を両立したX線用高解像度カメラです。ス タンダードタイプのX線TDIカメラ（C10650シリーズ）に比べ、読み出し速 度が3倍以上に向上し、高速ラインにも対応できるようになりました。 ベルトコンベア等の搬送系から送られてくる被検査物を高感度・高ダイナミ ックレンジで高速に撮影する装置です。最大約6.5 m (オプション) の検査領域 により、今まで困難であった大きな検査物の内部観察を可能にしました。 ■ デュアルエナジーX線ラインセンサカメラ C10800シリーズ 異なる材質の分別を可能にしたX線ラインセンサカメラです。鉄鉱石などの 資源選別をはじめ、郵便による薬物や危険物の抽出、食肉などの軟質物や食品 の混入物の検査など、幅広い分野へ応用が可能です。 近赤外CCDカメラ C3077-80高速度・高速ゲート機能
速い動きの被写体や高速現象の観察に適したカメラです。高フレ ームレートのカメラをはじめ、高速ゲート時間 (シャッタ時間) や繰り 返し撮像速度等の異なる各種のカメラを取り揃えています。 ■ ゲートICCDカメラシリーズ 高速ゲート動作が可能なカメラです。ゲート時間、分光感度特性、解像度等に より各種のカメラを用意しています。 ゲートICCDカメラ C11370-10-1対象 X線ラインセンサカメラ X線源
