(12)
特
許
協
力条
約
に
基
づ
て
公
開
さ
れ
た国際出
願
(19)
世界 知
的
所
有 権
機
関
国際
事
務
局
(10)
国際
公開番
号 (43)国際
公開
日
2010 年
2
月
4
日
(04.02.2010)
WO 2010/013586 Al
(51)国際特 許 分
類 絵屋町2 6 7 番地 鳥丸二条 ビル3 階 Kyoto GOlN21/64(2006 0 1) GOlN21/49(2006 0 1) (JP) (21)国際 出願 番 号
PCT/JP2009/062321 (81) 定国
(表示のな 限り、全
ての種類の国 内保
護
可
) AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, (22)国際 出願
日
2009年7月6日
(06 07 2009) BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, Cの, (25)国際 出願
の言語
日
木
語 CR, CU, CZ, DE, DK, DM, Dの, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, (26)国際
公開の言語
日
木
語 JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR,(30) 優先権データ LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW,
特願2008-196092 2008 年7月30
日
(3007 2008) JP MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, のM, PE, PG, PH,PL, PT, Rの, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, (71) 出願人 (米
国
を除< 全ての指定国
につ
て)
株 SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC,式 会 社堀 場ア
ド
バ ンスド
テ クノ(HORIBA Ad¬ VN, ZA, ZM, ZW vanced Techno,Co.,Ltd.) [JP/JP], 〒6018306 京都
府 (84) ( 3 1 Kyoto(JP) 指定 京都市南 区吉祥 院 宮
の西町
番地国
表示のな 限り、全
ての種類の広
域保 護可
) ARIPO (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, (72) 発明者
お
よび NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW), --Lーラシア(75) 発
明者
/出願人体
国
につ
てのみ
)内村
幸
治 (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM), ヨーロ ツパ(Uchimura, Koji) [JP/JP], 〒6018306 京
都
府京都
市 (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB,南 区吉祥 院 宮
の西
町3 1 番地 株 式 会 社堀 場 GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, アド
バ ンスド
テ クノ内
Kyoto (JP)・俣
野
芳朗 NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR), OAPI (BF, BJ, (Matano, Yoshiro) [JP/JP], 〒6018306 京都
府京都市
CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN,南 区吉祥 院 宮
の西
町3 1 番地 株 式 会 社堀 場 TD, TG)ア
ド
バ ンスド
テ クノ内
Kyoto (JP)添付公
開書
類(74) 理人 西 村 竜平(NISHIMURA, Ryuhei), 〒 _
国際調 査 報
告
条約第2 1条 (3)) 6040857 京都府
京都
市 中京区烏丸 通二条上る蒔(54) Title APPARATUS FOR MEASUREMENT OF SILICON CONCENTRATION (54)発
明の名 称 ケ イ
素濃度測定装置
(57) Abstract The object aims to detect a trace
[図1] quantity of silicon contained in a solution of inter
est by a simple means Thus, disclosed is an appa ratus (1) for measuring the concentration of silicon in a solution of interest, which comprises anexci tation I
如
t irradiation unit (2) for irradiat面g the solution with an excitation light for silicon, a light detection unit (3) for detecting a fluorescent light and/or a scattered light emitted from silicon in the solution upon the irradiation with the excitation light, and a calculation unit (41) for calculating the concentration of silicon in the solution based on the intensity of the fluorescent light and/or the scattered h如
t・(57)要 約 本 発
明
は、被 検 液中に
含まれ
る微 量 素 をノ る も
ので
のケ
あ
イり、被 検 液
、
簡易 な中のケ手段
イ素で検濃度出すを 測定す
る装置
であ
っ
て、前記 被 検 液に
42 CONCENTRATION DISPLAY UNIT ケイ素
に
対す
る励起 光 を照 射する励起 光4 1 CALCULATION UNIT 照射 部 と、前記励起 光 が 照 射さ
れ
た前
3 1 LIGHT RECEIVER
2 1 LIGHTSOURCE 記 被 検 液中のケイ素
か
ら発す
る蛍 光及び32 SPECTROSCOPE
又
は散 乱 光 を検 出する光 検出部 と、T CHEMICAL SOLUTIONTANK
前記
蛍光及び又は散 乱 光
の強 度
か
ら前
記 被 検 液中のケイ素濃度を算出する演算
明
細
書
発
明
の
名称
:
ケ
イ素
濃
度
測
定
装
置
技
術
分野
０００
こ
の
発
明
は
、
被 検
液
中に
含
ま
れ
る
微 量
の
ケ
イ
素
を
、
簡
易
な
手
段
で検
出
す
る
ケ
イ
素
濃
度
測
定
装
置
に
関
す
る
も
の
で
あ
る
。
背
景技
術
０００
シ
リ コン
半
導
体 ウ
ェハ上 に
」
(
Lo
x da
on
Ocon)
法
に
よ
る
素
子
分
離 酸 化
(
s
o
，
膜
)
を
形
成
す
る
際の
マ
ス
ク
には
、
窒
化 膜
(
s
，
N
。
膜
)
が用
い
ら
れ
て
お
り、
こ
の
よ
うな
窒
化 膜
の
除去
には
、一
般
に
、
加
熱
し
た
濃
リン酸
を用
いた、いわゆ
る
ウ
ェ
ッ
トエ
ッ
チ
ン
グ法 が
使
用
さ
れ
て
い
る
。
０００
3
ウ
ェ
ッ
トエ
ッ
チ
ン
グ法
を
行 な
うた
め
の
装
置
と
し
て
は
、
熱
濃
リン酸
を
循 環
さ
せた
洗 浄
槽
に
、
窒
化 膜 と酸 化 膜
が
パ
タ
ー
二
ン
グ
さ
れ
て
い
る
シ
リ コン
半
導
体 ウ
ェハ を
漬
浸 し
て
、
窒
化 膜
の
み
を
溶
解
除去
す
る
ウ
ェ
ッ
トエ
ッ
チ
ン
グ
装
置
が
知
ら
れ
て
い
る
。
０００
こ
の
よ
うな ウ
ェ
ッ
トエ
ッ
チ
ン
グ
装
置の
洗 浄
槽
に
、
窒
化 膜
が
形
成
さ
れ
て
い
る
ウ
ェハ を
漬
浸
す
る と
、
熱
濃
リン酸
に
よ
る
窒
化 膜
の
エ
ッ
チ
ン
グが
進
行
す
る
が
、
そ
の際
、
窒
化 膜
中
の
s
i
成
分
は熱
濃
リン酸
中に
溶
出
し
て
ケ
イ
素
の
化 合
物
(
以
下
シ
リカと
い
う。
)
と
し
て
溶
存
す
る
。
０００
シ
リカは
、
低
濃
度
で
は熱
濃
リン酸
中に
溶
解
し
た
ま ま
で
あ
る
が
、
熱
濃
リン酸
を
繰
り返 し
窒
化 膜
除去
処
理
に用
い
る
こ
と
に
よ
っ
て
シ
リカ濃
度
が
高
くな
り過
飽
和
状 態
に
な る と
析
出
す
る と
考
え
ら
れ
て
い
る
。
そ
し
て
、
熱
濃
リン酸
中に析
出
し
た
シ
リカは
、
ポ
ン プ
や
フ
ィ
ル
タ
等
を
含
む
熱
濃
リン酸
の
循 環 系
配
管
の
内
壁
に
堆
積
し
て
、
循 環
を
阻
害
す
る と
い
う問
題
を
惹
起
す
る
。
０００
こ
のた
め
、
熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカ濃
度
の
モ
ニ
タ
リン
グ
は
極
め
て
重
要
で
あ
る
が
(
特
許 文
献
「、
特
許 文
献
2
)
、
熱
濃
リン酸
中に
含
ま
れ
る
シ
リカは
数
十
～
数
百
P
と極
め
て
微 量
で
あ
る
。
０００
般
的
に
、
こ
の
よ
うな微 量
成
分 を
高
感 度
に測
定
す
る
た
め
には
、
直
接
的
な
定
量
法
と
し
て
は
、
原
子
吸
光
分析 法
、
誘
導
結 合 プ ラ ズ
マ (
C
P
)
発
光
分光分析
法
、
C
質
量
分析 法 が 用
い
ら
れ
る
が
、
こ
れ
ら
の
分析
装
置
は大
型
で
高
価
で
あ
り、
簡
易
な
測
定
には
適
さ
な
い
。
ま
た、
微 量
成
分
の
化
学分析 法
と
し
て
は
モ
リブ
デ
ン
ブ
ル
ー
法 が 知
ら
れ
て
い
る
が
、
熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカ濃
度
を測
定
しよ
うと
す
る と
リン酸
が
妨
害
物
質 と
な る
た
め
適 当
で
は
な
い
。
０００
8
更
に
、
熱
濃
リン酸
は
、
濃
度
8
、
温
度
「6
０
。
C
で
あ
る
の
で
、
熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカを直
接
的
に
定
量
す
る
場 合
、
熱
濃
リン酸
を
ウ
ェ
ッ
トエ
ッ
チ
ン
グ
装
置
か
ら
採
取 し
て
、
常温
近
くま
で
冷
却
す
る
必
要 が
あ
る
が
、
こ
のた
め
、
温
度 条
件 が
実
際の
プ
ロセ
ス
と
は大 き
く異
な
り、かつ、
測
定
に
多
大
な
時
間
が
かか
る
等
の
問
題 点
が
あ
る
。
０００
一
方
、
熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカ濃
度
を
間
接
的
に測
定
す
る
場 合
は
、一
般
的
に導
電率 が 測
定 さ
れ
る
。
し
か
し
、
こ
の
方
法
で
は
、
測
定
対
象 で あ
る
シ
リカと
そ
れ
以
外
の
成
分
と
の
区
別
が
困
難
で
あ
る
た
め
、
測
定
結 果
を
基
に
経
験
的
な情
報 が
得
ら
れ
る
に
す
ぎ
ず、
正
確
さ
が 要
求
さ
れ
る
場 合
には不 向 きで あ
る
。
先
行
技
術 文
献
特
許
文
献
００ ０
特
許 文
献
:
特
開
2 ００6
2 ０9 7
号
公
報
特
許 文
献
:
特
開
2
００
3
「8
「 「6
号
公
報
発
明が解決
しよ
う
と
す
る
課
題
００
そ
こ
で
本
発
明
は
、
被 検
液
中に
含
ま
れ
る
微 量
の
ケ
イ
素
を
、
簡
易
な
手
段
で検
出
す
る
ケ
イ
素
濃
度
測
定
装
置
を
提 供
す
べ
く図
った
も
の
で
あ
る
。
課 題
を解決
す
る
ための
手
段
００
す
な
わち
木
発
明
に
係 る ケ イ
素
濃
度
測
定
装
置
は
、
被 検
液
中
の
ケ
イ
素
濃
度
を測
定
す
る
装
置
で
あ
っ
て
、前
記
被 検
液
に
ケ
イ
素
に
対
す
る
励
起
光
を
照
射
す
る
励
起
光
照
射 部
と
、前
記
励
起
光 が
照
射
さ
れ
た前
記
被 検
液
中
の
ケ
イ
素
か
ら
発
す
る
蛍
光
及
び
又 は散 乱 光 を検
出
す
る
光検
出
部
と
、前
記
蛍
光
及
び
又 は散 乱 光
の
強
度
か
ら
前
記
被 検
液
中
の
ケ
イ
素
濃
度
を算
出
す
る演
算 部
と
、
を
備 え
て
い
る
こ
と
を
特 徴
と
す
る
。
な
お、
本
発
明の
測
定
対
象 で あ
る
ケ
イ
素
は
、
被 検
液
中で
、
ケ
イ
素
と酸
素
の
化 合
物
と
し
て存 在
し
て
い
る と
考
え
ら
れ
、
な
か
で
も
、
二
酸 化 ケ
イ
素
等
の
ケ
イ
素
の
酸 化
物
と
し
て存 在
し
て
い
る
場 合
が
多
い
と
考
え
ら
れ
る
。
００
3
シ
リカは
イ
オ
ン状
又 は
コ ロイ
ド
状
の
いず
れ
の
状 態
に
おい
て
も
、
紫
外
光
～
可
視
光
の
領 域
で蛍光
を
発
す
る
。
ま
た、
熱
濃
リン酸
を
使
用
す
る
ウ
ェ
ッ
トエ
ッ
チ
ン
グ
装
置
には
、
供
給
又 は
循 環
用
の
配
管 と し
て
、一
般
的
に
、
紫
外
光
～
可視 光
の
領
域
に
お
け
る
光透 過 性
の高
い
フ
ッ
素
樹
脂
製
の
配
管
や
石
英
配
管
が
使
用
さ
れ
る
。
００
従
っ
て
、
本
発
明
に
係 る ケ イ
素
濃
度
測
定
装
置
を用
い
て
、
こ
れ
ら
の
配
管
の
外
側
か
ら
、
配
管
の
内部 を
流
れ
る
熱
濃
リン酸
に
対
し
て
、
シ
リカが
蛍
光
又 は
前
方
散 乱
光
や
後
方
散 乱
光等
の
各
種
散 乱
光
を
発
す
る よ
うな 波
長
の
光
を励
起
光
と
し
て
照
射
す
る
こ
と
に
よ
り、
熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカが
蛍
光
を
発 し
、
そ
の
蛍
光
の
強
度
を測
定
す
る
こ
と
に
よ
り熱
濃
リン酸
中に存 在
す
る
シ
リカ濃
度
を
定
量
す
る
こ
と
が
で
き
る
。
００
こ
のた
め
、
本
発
明
に
よ
れ
ば
、
熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカ濃
度
を
定
量
す
る
際
に被
検
液 と し
て熱
濃
リン酸
を
採
取
す
る
必
要 が
な
くな
り、
そ
の
結 果
、高
温
かつ
強
酸
で
あ
る
熱
濃
リン酸
に
接
触
す
る
危 険 を
回
避
す
る
こ
と
が
で
き
る と と
も
に
、
測
定
の
た
め
消 費
さ
れ
る
熱
濃
リン酸
や
そ
れ
に伴
う廃
液
を低 減
す
る
こ
と
が
で
き
る
。
ま
た
、
本
発
明
に
よ
れ
ば
、
ウ
ェ
ッ
トエ
ッ
チ
ン
グ
装
置の
配
管
中を
流
れ
て
い
る
熱
濃
リン
酸
を被 検
液 と
す
る
こ
と
が
で
き
る
の
で
、
よ
り実
際の
プ
ロセ
ス
に
近
い
条
件 (温
度
等 ) で測
定
す
る
こ
と
が
可能
に
な
り、
正
確
かつ
迅 速
な
測
定
が
可能
と
な る
。
更
に
、
本
発
明
に
よ
れ
ば
、
リア
ル
タ
イ
ム で
連
続
的
な
熱
濃
リン酸
の
濃
度 管
理
が
可能
に
な る
た
め
、
エ
ッ
チ
ン
グ
レ
ー
ト等
の
適
正
な運
用
管
理
や
熱
濃
リン酸
の
再 生 管 理
が
可能
と
な る
。
００
前
記
配
管
の
周
囲
に
充
分
な
空間
を
確 保
で
き
な
い
場 合
で
も
木
装
置の
設
置
を可能
と
す
る
た
め
には
、前
記
励
起
光
照
射 部
X
は
前
記
光検
出
部
は
、
光 フ
ァ
イ
バ
ー
等
の
導
波 管 と
、
プ
リズ
ム等
の
光
反
射
器
と
、
を
備 え
て
い
る
こ
と
が
好
ま し
い
。
こ
の
よ
うな
も
の
で
あ
れ
ば
、
配
管
に直
接
設
置
す
る
の
は光
反
射
器
だ けで
よ
く、
光
反
射
器
か
ら
、
又 は
、
光
反
射
器
ま
で
は
、
導
波 管
を用
い
て光
を伝
送
す
る
こ
と
が
で
き
る
の
で
、
光源
又 は
受
光器 (分光器 を
含
む
。
) は配
管
か
ら
離
れ
た
場 所
に
設
置
さ
れ
て
も
よ
く、
光源
又 は
受
光器
の
設
置
場 所
を
自
由に選
択
す
る
こ
と
が
で
き
る
。
発
明
の
効
果
００
こ
の
よ
うに
本
発
明
に
よ
れ
ば
、
安
全
かつ
廃
液
を
出
さ
ず
に
、
実
際の
プ
ロセ
ス
に
近
い
条
件 (温
度
等 ) で
、
正
確
かつ
迅 速
に
シ
リカ濃
度
を測
定
す
る
こ
と
が
可能
と
な る
。
００
8
図
本
発
明の一
実
施
形態
に
係 る シ
リカ濃
度
測
定
装
置
の
機
器
構
成
図
。
図
同
実
施
形態
に
お
け
る情
報
処
理 装
置
の
機
器
構
成
図
。
図
同
実
施
形態
に
お
け
る
シ
リカ濃
度
の
測
定
方
法
を示
す
フ
ロー
チ
ヤ
ー
ト。
発
明 を
実
施
す
る
ための
形 態
００
以
下
、
本
発
明の一
実
施
形態
を
図
面
を
参
照 し
て説
明
す
る
。
００ ０
本
実
施
形態
に
係 る シ
リカ濃
度
測
定
装
置
「は
、
熱
濃
リン酸
を
蓄液
す
る薬
液
槽
丁に
接
続
さ
れ
た
光透 過 性
の
材
料
か
ら
な る
配
管
」
に
設
置
さ
れ
て
、
熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカ濃
度
を測
定
す
る
の
も
の
で
、図
「に示
す
よ
うに
、
熱
濃
リン酸
に励
起
光
を
照
射
す
る
励
起
光
照
射 部
2
と
、
熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカか
ら
発 し
た
光
を
受
光
す
る
光検
出
部
3
と
、
光
の
強
度
か
ら
熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカ濃
度
を算
出
す
る演
算 部
「等
と
し
て機 能
す
る情
報
処
理 装
置
と
、
を
備 え
て
い
る
。
００
以
下
に
各
部
を説
明
す
る
。
励
起
光
照
射 部
2
は
、
キ
セ
ノン ラ ン プ
や
紫
外
」
三D
等
か
ら
な る
光源
2
1
と
、
光 フ
ァ
イ
バ
と
、
プ
リズ
ム
2
3
と
、
を
備 え
て
い
て
、
光源
2
1
か
ら
射
出
さ
れ
た
光
を
、
光 フ
ァ
イ
バ
を
介 し
て配
管
」
ま
で伝
送 し
、
伝
送
さ
れ
た
励
起
光
を
プ
リズ
ム
2
3
で
全
反
射
し
て
、
配
管
」
内 を
流 通
す
る
熱
濃
リン酸
に
照
射
す
る
も
の
で
あ
る
。
前
記
励
起
光
は
、
例
え
ば
、
1
8
０
～
1
2
０
０
の
光 で
あ
り、
好
ま し
くは 1
8
０
～
6
０
の
光 で
あ
る
。
００
光検
出
部
3
は
、
受
光器
3
1
と
、
分光器
3
と
、
光 フ
ァ
イ
バ
3 3
と
、
プ
リズ
ム
3
と
、
を
備 え
て
い
て
、
熱
濃
リン酸
中
の
リシ
カ
か
ら
発 し
た
蛍
光
及
び
各種
散 乱
光
を
プ
リズ
ム
3
で
全
反
射
し
て
、
光 フ
ァ
イ
バ
3 3
を
介 し
て伝
送 し
、
分
光器
3
で分光
し
て
得
ら
れ
た、
例
え
ば
、
「8
０
～
7
０
、
好
ま し
くは
「8
０
～
００
の
光
を
受
光器
3
「で
受
光
し
て
発
光
量
を検
出
す
る
も
の
で
あ
る
。
な
お、
蛍
光
及
び
各
種
散 乱
光
を検
出
す
る
波
長
は
こ
の
範
囲
に
限
定 さ
れ
ず、
励
起
光
の
波
長
に依 存
し
て
変
動
す
る
も
の
で
あ
る
。
００
3
情
報
処
理 装
置
は
、図
2
に示
す
よ
うに
、
C
U
０
「の
他
に
、
メモ
り０
2
、
人
出
カ チ
ヤ
ンネ
ル
０
3
、
キ
ー
ボ
ー
ド等
の
人
力
手
段
０
、
デ
ィ
ス
プ
レ
イ
等
の
出
力
手
段
０
等
を
備 え
た
汎
用乃
至専 用
の
も
の
で
あ
り、
人
出
カ チ
ヤ
ン
ネ
ル
０
3
には
A
D
コン
バ
ー
タ
０
6
、
D
A
コン
バ
ー
タ
０
7
、
増
幅器
(
図
示
しな
い
) 等
の
アナ
ログ
一
デ
ジ
タ
ル
変
換
回
路
が
接
続
さ
れ
て
い
る
。
００
情
報
処
理 装
置
は
、
そ
の
メモ
０
に
所
定
の
プ
ログ
ラ
ム
を
格
納 し
、
当
該
プ
ログ
ラ
ム
に
従
っ
て
C
U
０
「や
そ
の
周 辺
機
器
を協働 動
作
さ
せ
る
こ
と
に
よ
っ
て
、
演
算 部
「、
濃
度 表
示部
等
と
し
て
の
機
能
を
発 揮
す
る よ
うに
構
成
し
て
あ
る
。
００
演
算 部
「は
、
シ
リカか
ら
発 し
た
「8
０
～
7
０
の
光
の
発
光
量
に
、
所
定
の
演
算
処
理
を施
す
こ
と
に
よ
り、
熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカ濃
度
を算
出
す
る
も
の
で
あ
る
。
００
濃
度 表
示部
は
、
演
算 部
「で算
出
さ
れ
た
シ
リカ濃
度
の
デ
ー
タ
を
取
得 し
て
、
そ
れ
を
文
字又 は画像
と
し
て
表
示
す
る
も
の
で
あ
る
。
００
次
に
、
シ
リカ濃
度
測
定
装
置
「を用
い
て熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカ濃
度
を測
定
す
る
手
順
を
図
3
の
フ
ロー
チ
ヤ
ー
トを
参
照 し
て説
明
す
る
。
００
ま
ず、
光源
2
「が
光
を射
出
す
る と
、
射
出
さ
れ
た
励
起
光 が 光 フ
ァ
イ
バ
内に導 入
さ
れ
て
、
光 フ
ァ
イ
バ
の
先
端
に
設
け
ら
れ
た
プ
リズ
ム
2
3
ま
で伝
送
さ
れ
る
(
ス
テ
ッ
プ
「)
。
００
プ
リズ
ム
2
3
ま
で伝
送
さ
れ
た
励
起
光
は
プ
リズ
ム
2
3
で
全
反
射
さ
れ
て
、
そ
の
進
行
方
向 を
変
え
て
、
光透 過 性
の
配
管
」
壁
を透 過
し
てそ
の
内部 を
流 通
す
る
熱
濃
リン酸
に
照
射
さ
れ
る
(
ス
テ
ッ
プ
S
2
)
００
3
０
配
管
」
内 を
流 通
す
る
熱
濃
リン酸
に励
起
光 が
照
射
さ
れ
る と
、
熱
濃
リン酸
中
の
リシ
カ
か
ら
蛍
光
及
び
前
方
散 乱
光
や
後
方
散 乱
光等
の
各
種
散 乱
光 が
発
す
る
(
ス
テ
ッ
プ
s
3
)
００
3
当
該
蛍
光
及
び
各
種
散 乱
光
は配
管
」
壁
を透 過
し
て
、
プ
リズ
ム
3
で
全
反
射
さ
れ
、
光 フ
ァ
イ
バ
3 3
内に導 入
さ
れ
て分光器
3
ま
で伝
送
さ
れ
、
分光器
3
で分光
さ
れ
る
(
ス
テ
ッ
プ
s
)
o００
3
そ
し
て
、
受
光器
3
1 が 分光
さ
れ
た
蛍
光
及
び
各
種
散 乱
光
を
受
光
し
て
、
そ
の
発
光
量
に
応
じた
電
気
信
号 を
発 信
す
る
(
ス
テ
ッ
プ
s
)
o００33
演
算 部
は、
受
光器
3
か
ら
電
気
信
号 を
受信
し
、
当
該
電
気
信
号 デ
ー
タに
基
づ
い
て
所
定
の
演
算
処
理
を
行
い、
熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカ濃
度
を算
出
す
る
(
ス
テ
ッ
プ
s
6
)
o００
3
濃
度 表
示部
は
、
演
算 部
1
か
ら
シ
リカ濃
度
デ
ー
タ
を
取
得 し
て
、
そ
れ
を
文
字
又 は画像
と
し
て
表
示
す
る
(
ス
テ
ッ
プ
s
7
)
００
3
し
た
が
っ
て
、
こ
の
よ
うに
構
成
し
た
本
実
施
形態
に
係 る シ
リカ濃
度
測
定
装
置
「に
よ
れ
ば
、
熱
濃
リン酸
中
の
シ
リカ濃
度
を
定
量
す
る
際
に被 検
液 と し
て熱
濃
リン
酸
を
採
取
す
る必
要 が
な
くな
り、
そ
の
結 果
、高
温
かつ
強
酸
で
あ
る
熱
濃
リン酸
に
接
触
す
る
危 険 を
回
避
す
る
こ
と
が
で
き
る と と
も
に
、
測
定
のた
め
消 費
さ
れ
る
熱
濃
リン酸
や
そ
れ
に伴
う廃
液
を低 減
す
る
こ
と
が
で
き
る
。
ま
た、
本
実
施
形態
に
よ
れ
ば
、
配
管
」
中を
流
れ
て
い
る
熱
濃
リン酸
を被 検
液 と
す
る
こ
と
が
で
き
る
の
で
、
よ
り実
際の
プ
ロセ
ス
に
近
い
条
件 (温
度
等 ) で測
定
す
る
こ
と
が可能
に
な
り、
正
確
かつ
迅 速
な
測
定
が可能
とな る
。
更
に
、
本
実
施
形態
に
よ
れ
ば
、
リア
ル
タ
イ
ム で
連
続
的
な
熱
濃
リン酸
の
濃
度 管
理
が可能
に
な る
た
め
、
エ
ッ
チ
ン
グ
レ
ー
ト等
の
適
正
な運
用
管理
や
熱
濃
リン酸
の
再 生 管 理
が可能
とな る
。
００
3
ま
た、
本
実
施
形態
で
は
、
配
管
」
に直
接
設
置
す
る
の
は
プ
リズ
ム
2
3
だ
けで
あ
り、
プ
リズ
ム
2
3
ま
で
、
又 は
、
プ
リズ
ム
3
か
ら
は
、
光 フ
ァ
イ
バ
2
、
3
3
を用
い
て光
を伝
送
す
る
こ
と
が
で
き
る
の
で
、
光源
2
1 又 は受
光器
3
1
の
設
置
場 所
を
自
由に選
択
す
る
こ
と
が
で
き
、
配
管
」
の
周
囲
に
充
分
な
空
間
を
確 保
で
き
な
い
場 合
で
あ
っ
て
も
、
シ
リカ濃
度
測
定
装
置
「の
設
置
が可能
とな る
。
００3
な
お
、
本発
明は前
記
実
施
形
態
に限
ら
れ
る
も
の
で
は
な
い
。
００
3
例
え
ば
、
被 検
液
は熱
濃
リン酸
に
限
定 さ
れ
ず、
適 宜
選
択
す
る
こ
と
が
で
き
る
。
００
3
ま
た、
導
波 管
は光 フ
ァ
イ
バ
ー
に
限
定 さ
れ
ず、
光
反
射
器
も
プ
リズ
ム
に
限
定 さ
れ
な
い
。
００ ０
シ
リカ濃
度
が
低
く蛍
光
又 は
各
種
散 乱
光
の
強
度
が
極 端
に
弱
い
場 合
や、
配
管
」
と
光源
2
1
や
受
光器
3
1
と
の
距
離
が
離
れ
て
い
る と
き等
の
光 フ
ァ
イ
バ
ー
2
3
3
の
敷
設
が
困
難
な場 合
には
、
光源
2
1
及
び
受
光器
3
1
(分光器
3
を
含
ん
で
い
て
も
よ
い
。
)
の
いず
れ
か一
方
又 は
両
方
を
、
光 フ
ァ
イ
バ
3 3
や
プ
リズ
ム
2
3
を
介
在
さ
せず
に配
管
」
に
設
置
し
て
も
よ
い
。
００
無
線
電
波
を
使
用
す
る
こ
と
が
可能 で あ
っ
て
、
充
分
な
長
さ
の
光 フ
ァ
イ
バ
3 3
を
設
け
る
こ
と
が
困
難
な場 合
は
、
光 フ
ァ
イ
バ
3 3
と
光源
2
1
及
び
受
光器
3
1
(分光器
3
を
含
む
。
)
の間
を
更
に
無
線
で
繋
い
で
も
よ
い
。
００
そ
の
他
、前
述 し
た
実
施
形
態
や
変
形
実
施
形
態
の一
部
X
は
全
部
を
適 宜
組
み
合
わ
せ
て
も
よ
く、
そ
の
趣
旨
を
逸
脱
しな
い
範
囲
で
種
々
の
変
形
が
可能 で あ
る
の
は言
うま
で
も
な
い
。
産
業
上
の
木用
可
能
性
００
3
本
発
明
を
適
用
す
る
こ
と
に
よ
り、
被 検
液
中に
含
ま
れ
る
微 量
の
ケ
イ
素
を
、
簡
易
な
手
段
で検
出
す
る
こ
と
が
で
き
る
。
符
号の
説
明
００
「・・・
ケ
イ
素 (
シ
リカ)
濃
度
測
定
装
置
2
・・・
励
起
光
照
射 部
3
・・・
光検
出
部
・・・
情
報
処
理 装
置
請
求
の
範
囲
請
求
項
被 検
液
中
の
ケ
イ
素
濃
度
を測
定
す
る
装
置
で
あ
っ
て
、
前
記
被 検
液
に
ケ
イ
素
に
対
す
る
励
起
光
を
照
射
す
る
励
起
光
照
射 部
と
、
前
記
励
起
光 が
照
射
さ
れ
た前
記
被 検
液
中
の
ケ
イ
素
か
ら
発
す
る
蛍
光
及
び
又 は散 乱 光 を検
出
す
る
光検
出
部
と
、
前
記
蛍
光
及
び
又 は散 乱 光
の
強
度
か
ら
前
記
被 検
液
中
の
ケ
イ
素
濃
度
を
算
出
す
る演
算 部
と
、
を
備 え
て
い
る
ケ
イ
素
濃
度
測
定
装
置
。
請
求
項
前
記
被 検
液
は
、
リン酸 溶
液
で
あ
る
請
求
項
「記
載
の
ケ
イ
素
濃
度
測
定
装
置
。
請
求
項 3
前
記
励
起
光
照
射 部
X
は
前
記
光検
出
部
は
、
導
波 管 と
、
光
反
射器
と
、
を
備 え
て
い
る
請
求
項
「記
載
の
ケ
イ
素
濃
度
測
定
装
置
。
INTERNATIONAL
SEARCH REPORT
International application No.PCT/JP2009/062321
A . CLASSIFICATION OF SUBJECT MATTER
G01N21/64
(2006
.
01) i ,G01N21/49
(2006
.
01)i
AccordingtoInternationalPatent Classi cation(IPC) ortoboth national classification andIPC B . FIELDSSEARCHED
Minimum documentation searched (classification system followed
by
classification symbols)G01N2 1/0 0 -G01N2
1/01
,
G01N21/62
-G01N21/74
Documentationsearched other
than
minimum documentation totheextentthat
suchdocumentsareincludedin the fields searchedJitsuyo
Shinan
Koho
1922-1996
Jitsuyo
Shinan
Toroku
Koho
1996-2009
Kokai
Jitsuyo
Shinan
Koho
1971-2009
Toroku
Jitsuyo
Shinan
Koho
1994-2009
Electronic data base consulted during the international search (name of data base and, where practicable, search terms used)
JSTPlus
(JDreamll
) ,
J
EDPlus
(JDreamll
) ,
JST7580
(JDreamll
)
C . DOCUMENTS CONSIDERED TO BE RELEVANT
Category Citation of document, with indication, where appropriate, of the relevant passages Relevant t o claim No.
X
J P 2004-61312
A
(Tohoku
Techno
Arch
Co.,
Ltd.),
1
Y
2 6
February,
2004
(26.02.04),
2 , 3
Claim
1
U S 2005/0208669
A l
W O 2004/011928
A l
CN
1672044
A
X
J P 2003-34520
A
(Dohkai
Chemical
Industry
Co.,
Ltd.)
,
0 7
February,
2003
(07.02.03),
Par.
Nos.
[0033]
to
[0035];
Fig.
1
(Family:
none)
J P 2003-158116
A
(Infineon
Technologies
AG.),
3 0
May,
2003
(30.05.03) ,
Claim
1 ;
Par . Nos .
[0021]
,
[0040]
U S 2003/0075272
A l
E P 1306886
A l
DE
60135128
D
Further documents are listed in the continuation of Box C . See patent family annex.
* Special categories of cited documents: "T" later document published after the international filing date or pπoπty
"A" document defining the general state of the art which is not considered to date and not in conflict with the application but cited to understand be of particular relevance the pπnciple or theory underlying the invention
"E" earlier application or patent but published on or after the international filing "X" document of particular relevance; the claimed invention cannot be date considered novel or cannot b e considered to involve an inventive
"L" document which may throw doubts on priority claim(s) or which is stepwhen the document is taken alone
cited to establish the publication date of another citation or other "Y" document of particular relevance; the claimed invention cannot be special reason (as specified) considered to involve an inventive step when the document is
"O" document referring to an oral disclosure, use, exhibition or other means combined with one or more other such documents, such combination
"P" document published pπor to the international filing date but later than the being obvious to a person skilled in the art pπoπty date claimed "&" document member of the same patent family Date of the actual completion of the international search Date of mailing of the international search report
3 1 July , 2 0 0 9 ( 3 1 . 0 7 . 0 9 )
1 1 August
,
2009
( 1 1 . 0 8 . 09)
Name and mailing address of the ISA/ A thonzed officer
Japanese
Patent
Office
Facsimile No. Telephone No.
INTERNATIONAL
SEARCH REPORT
International application No.PCT/JP2009/062321
C (Continuation). DOCUMENTS CONSIDERED TO BERELEVANT
Category Citation of document, with indication, where appropriate, of the relevant passages Relevant to claim No.
J P 2000-88749
A
(Kurabo
Industries
Ltd.),
3 1
March,
2000
(31.03.00),
Par.
No.
[0015]
(Family:
none)
J P 2006-29880
A
(Kurita
Water
Industries
1-3
Ltd.
) ,
02
