目次 2/2 ページ番号 < 超高真空部品 > 20 < ピラニ真空計 > 20 < 電離真空計 > 21 < バラトロン真空計 > 22 < キャパシタンスマノメータ > 22 < ペニング真空計 > 22 < サーモカップル真空計 > 22 < 広帯域真空計 > 22 < 成膜コントローラー >

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目次1/2

分類名ページ番号

<R&D(研究開発)向け推奨装置・測定器> 4

<スパッタ装置　ULVAC製> 5

<スパッタ装置　ULVAC製以外> 6

<蒸着装置> 6

<CVD装置> 7

<ALＤ装置> 7

<分子線エピタキシー装置（MBE）> 7

<ステッパー・アライナー> 7

<コーター・デベロッパー> 7

<エッチング装置　ULVAC製> 8

<エッチング装置　ULVAC製以外> 8

<イオンミリング装置> 8

<イオンミリング装置　Grid(Veeco製) > 8

<イオン注入装置> 9

<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置> 9

<ＵＶキュア装置> 9

<アッシング装置> 9

<UV照射装置> 9

<ＣＭＰ/ポリッシング/研磨> 9

<WETエッチング装置> 10

<洗浄装置・洗浄スピンドライヤー> 10

<膜厚測定・エリプソメーター> 10

<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置> 10

<重ね合わせ測定装置（ＯｖｅｒＲａｙ)> 10

<ＦＴ－ＩＲ> 11

<外観検査装置・３次元測定器・その他> 11

<顕微鏡> 11

<ＡＦＭ（原子間力顕微鏡> 11

<電子ビーム（ＥＢ）描画装置> 11

<リフロー炉> 11

<グラインダｰ・スクライバ―> 11

<後工程・実装装置・ボンダー・印刷機> 12

<めっき装置> 12

<ディスペンサー装置> 12

<凍結乾燥装置> 12

<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品> 12

<その他> 13

<油回転真空ポンプ> 14

<油回転真空ポンプ部品> 14

<油拡散ポンプ> 14

<メカニカルブースターポンプ> 14

<クライオポンプ　ULVAC製> 14

<クライオポンプ　ULVAC製以外> 15

<ターボ分子ポンプ　ULVAC製> 16

<ターボ分子ポンプ　ULVAC製以外> 16

<ドライポンプ> 16

<イオンポンプ> 18

<排気セット> 18

<真空バルブ　ULVAC製> 18

<真空バルブ　ULVAC製以外> 19

(2)

目次2/2 ページ番号

<超高真空部品> 20

<ピラニ真空計> 20

<電離真空計> 21

<バラトロン真空計> 22

<キャパシタンスマノメータ > 22

<ペニング真空計> 22

<サーモカップル真空計> 22

<広帯域真空計 > 22

<成膜コントローラー> 22

<ガス分析計> 22

<Heリークディテクタ> 22

<RF電源> 23

<DC電源> 24

<AC電源> 25

<アナライザーマグネット電源> 25

<マグネット電源> 25

<加熱電源> 26

<その他電源> 26

<マスフロ・除害設備、ガス設備> 26

<搬送ロボット> 27

<電気制御系> 27

<チラー・純水設備> 28

<スパッタ装置部品　ULVAC　CERAUS> 28

<スパッタ装置部品> 28

<蒸着装置部品・EB電源・抵抗加熱電源> 28

<イオン注入装置部品> 29

<スパッタ装置部品　AMAT　Endura，CenturaPVD> 29

<プラズマCVD装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Centura> 30

<プラズマCVD装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　P-5000> 30

今月の新掲載品

中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS17-2509 ウエハ異物検査装置 WM-2500 トプコン 900016 2001 欠品/故障無し ☆

☆ RS17-1051 バッチ式スパッタリング装置 SH-250H-T06 ULVAC MH90-5025 1990 ☆

☆ RS17-8001 EB蒸着源 EGL-35M ULVAC - ☆

☆ RS17-8002 EB蒸発源 EGL-35 ULVAC - ☆

☆ RS17-8003 EB電源、EB電源コントローラー HPS1000F、EGC-10S ULVAC 19972177、

19952214 1997 ☆

☆ RS17-8004 EB電源、EB電源コントローラー HPS1000F、EGC-10S ULVAC 19972178、

19952215 1997 ☆

☆ RS17-8005 クライオポンプ U16PU アルバッククライオ 1998 ☆

☆ RS17-8006 クライオコンプレッサー C30V アルバッククライオ VC1094 ☆

<R＆D(研究開発)向け推奨装置・測定器>

RS16-2193 スパッタリング装置 SH-450-C10 ULVAC MH95-5005 1996

6インチ非磁性カソード2元/強磁性1元/コンべショナル1元 RF電源　HFS020　2KW（日本高周波）　（逆スパッタ兼用）

DCバイアス電源　300V－1.5A ターゲット切り替え　MEX2C クライオポンプ　U-10PU

クライオコンプレッサー　C2W-U　　積算26240h 油回転ポンプ　D-950DK

MFC　Ar　100sccm　O2　30sccm　N2　50SCCM ターゲット　SiO2その他不明

RS13-2204 スパッタリング装置 SH-350-D06 ULVAC MH62-5073 1988 中古スパッタ装置です。生産機に近い条件での実験機としてお勧めです。※拡

散ポンプ（ULK-06A)は付属なし（補填は可能）。

RS16-1065 ヘリコンスパッタ装置 MPS-3000 ULVAC MB96-1038 1997

RS15-2104 スパッタリング装置 MPS-2000-HC2 ULVAC MB97-5001 1997 カソード：ヘリコンカソード源 2元 / ECR源 1元、電源：RF電源　/ DC電源 / 加熱電源、排気系：ターボ分子ポンプ＋油回転真空ポンプ、付属品：取説、図面

RS12-1227 スパッタリング装置 IBS-6000 ULVAC MB04-1012 2004

RS16-2144 スパッタリング装置 BC6643 ULVAC ZB03-5028 2003

RS14-1242 MPS-2000 準備室 - ULVAC - 2000 付属品：取説　※装置本体部品は付属なし、準備室のみ（ﾀｰﾎﾞUTM-50付属）。

RS15-1181 磁性薄膜成膜装置 MPS-2000-C8 ULVAC MB08-1002 2009 優良品、付属品：仕様書、取説、図面

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RS16-1157 小型スパッタリング装置不明日本電子 -

RS16-1156 小型スパッタリング装置 SM-2110 三栄理研 -

RS16-1172 蒸着装置 Mini-Lab ULVAC MA04-1042 2005 装置構成：L/UL・測定室・蒸着室。仕様書有/取説有/図面有。

RS16-1171 蒸着装置 SOLCIET ULVAC MF98-1018 1998 構成：L/UL-SP室-蒸着室。仕様書有/取説有/図面有。

RS16-1184 蒸着装置 MCS-3000S ULVAC MB92-8002 1992 Kセル×4式、EBガン×2式、EB電源/RHEED搭載機

RS15-1084 蒸着装置 SOLCIET ULVAC MH10-1019 2010 状態良好、付属品：仕様書、取説、図面、チャンバーが大きい為EB蒸着や抵抗

蒸着などの代替え装置(EBX-1000)として附属

RS14-2266 有機EL蒸着装置 SOLCIET ULVAC MF98-5013-0 1999 中古有機EL成膜装置のご紹介です。

RS14-1181 高真空蒸着装置 EROLA ULVAC - CRTM-9000、抵抗電源ソリッドタイプ

RS13-3016 蒸着重合装置 VEP-1000 ULVAC MF06-1008 2007 中古蒸着重合装置のご紹介です。本装置は蒸着重合の研究開発ができる装置

の中古品です。

RS13-1040 飛行時間型二次イオン質量分析装置 TOF-SIMS TFS-2100 ULVAC - 1997 附属品：取説

RS11-3206 有機薄膜形成装置 SOLCIET ULVAC MF96-5002 有機EL研究用の成膜装置の中古装置です。

RS10-2769 プラズマCVD装置 DWNT成膜装置 ULVAC MB03-7002 2003

中古真空装置です。熱CVD装置の中古品のご案内となります。グラフェン層が２層からなるカーボンナノチューブ「二層ナノチューブ（ＤＷＮＴ）」の成長を行う熱ＣＶＤ装置です。

RS16-2143 イオンビーム表面改質装置 BB3376 ULVAC MB95-5019 1995

RS15-1020 ゴールドイメージ炉 RHL-P1210CP ULVAC D87086

RS15-1252 横型炉 MT-8X 32-A KOYOサーモシステム 50767 状態良好、付属品：仕様書

RS12-1318 CVD装置 PD-270STA SAMCO 2001 中古CVD装置のご紹介です。　本装置は、TEOS CVD の中古機になります。

RS13-3123 アッシング装置 1000P GLEN TECHNOLOGIES 10271 2000 GLEN TECHNOLOGIES製仕様書、取説有

RS07-2983 IMX-3500 コンポーネント一式 - ULVAC -

RS11-1245 電子ビーム描画装置 ELS7500EX ELIONIX H35-019 2008 中古EB描画装置のご案内です。　本装置はエリオニク製電子ビーム描画装置

の中古品になります。

RS15-1194 電子ビーム描画装置 ELS-7700 ELIONIX H31-001 2004 状態良好、付属品：取説

RS12-1379 UV照射装置 UV-1F SAMCO 24A1643 2003

RS14-8030 オゾンUV照射装置 UV-300 SAMCO 22A1336

RS16-4625 ホットプレート ND-1 AS ONE 11EM0278

RS15-1248 スピンデベロッパー AD-1200 清和光学 64531 状態良好、付属品：仕様書

RS15-1249 スピンデベロッパー AD-1200 清和光学 - 状態良好、付属品：仕様書

RS16-4186 コーター Litho Spin Cup 200C Litho Tech Japan 0005-38 2015

RS13-3019 レジストコーター DELTA80T2 ズーズ・マイクロテック - 2005 中古のレジストコーターのご紹介です。本機は手動操作によるスピンコーター

RS16-2003 CMP/ポリッシング/研磨 MAT-BC15C MAT 14-0017 2014 新品同様、プラテン径---φ380/回転率---0～100rpm/基板---6in/最大加圧- --50kgf/リンス---1系統手動、付属品：仕様書

RS16-2004 CMP/ポリッシング/研磨 MAT-MGR-15F MAT 15-0030 1996

リニューアル中古品、研削装置、常磐部---φ380(回転数10～200rpm)/加工軸 ---2軸(使用修正リング径φ160～200mm)/フェーシング装置部---最大移動量 200mm/スラリー供給部---噴霧方式　オプション/マグネットスターラー水冷加温チラー装置　定寸　治具、付属品：仕様書、取説

NS-3014 分光エリプソメータ UNECS-2000 ULVAC

RS13-3165 分光エリプソメーター GES5e Sopra(現日本セミラボ） 61H##3608 2008 本機器は日本セミラボ社製の分光エリプソメータです。本機は中古設備となりま

RS14-4187 ICP発光分光分析装置 Rigaku CIROS CCD リガク - す。附属品：仕様書、取説

RS14-4103 非接触三次元測定装置 NH-4N ミタカ 7114 2003 8インチウェハ、リードフレームなど高密度化や大型化する半導体製品の品質管

理に最適な装置

RS12-1411 非接触三次元測定装置 NAFS3070P 日本技術センター 17591007 2007 中古三次元測定器のご紹介です。　非接触三次元測定器の中古品になりま

す。

RS16-4575 エキシマUV照射装置 SCQ05 日立ハイテク/エンジニアリングシステム - 2010

本装置は、誘電体バリア放電を利用した紫外線発光ランプを内蔵した 172 nm 光照射器です。ランプハウスの照射窓ガラスを通じて 172 nm 光が照射されます。

RS16-4561 UV照射機 ISI1005 大宮工業 ISI1005-1 2011

本装置はダイシングフレームを自動でＵＶ照射するフルオートＵＶ照射装置です。カセット供給ユニット＋供給ユニット＋ローダー部＋ＵＶ照射部＋制御盤の構成です。

RS16-4634 デシケータービッグドライ SPB-3 AS ONE 43072714

RS16-4635 デシケータービッグドライ B-3 AS ONE 1967011

RS16-4636 デシケータージャンボ SD-SS AS ONE -

RS16-4637 ガス置換デシケーター VDG-1N AS ONE 3373Z047

RS16-4638 McDry超低湿度ドライボックス MCU-201 エクアールシー 10001

RS16-4639 McDry超低湿度ドライボックス MCU-201 エクアールシー 10307

RS12-1357 キャビネット無し IUCHI 無し

RS12-1361 キャビネット IUCHI

RS12-1375 レジスト保管用冷蔵庫 U/N SANYO 900209

RS13-1010 分子線エピキタシー装置 - Eico - 2009

RS16-1177 赤外加熱システム - SEN LIGHTS CORP - 2005 赤外線ランプ・電源・ケーブルセット。

RS16-1178 グローブボックス UG-800 UNICO - 2003

RS16-8139 超音波発信器 S85170-12HP ブランソン GKG1203JPN1145 ^{新古品、振動子付き}

RS16-8142 超音波発信器 BG-3906 ブランソン SM1140120 ^新古品

<スパッタ装置　ULVAC製>

☆ RS17-1051 バッチ式スパッタリング装置 SH-250H-T06 ULVAC MH90-5025 1990 ☆

RS16-1232 スパッタリング装置 ZX-1000 ULVAC ME96-1073 1995

RS15-1178 スパッタリング装置 ZX-1000 ULVAC ME99-4512-1 2000

RS15-1179 スパッタリング装置 ZX-1000 ULVAC ME00-4533 2000

RS15-1180 スパッタリング装置 ZX-1000 ULVAC SE96-9615-1 1996

RS15-1195 スパッタリング装置 ZI-1000N ULVAC ME01-1006-0 2001 C to C(2C1E4T1H)、付属品：取説、図面

RS16-1158 スパッタリング装置 Zi-1000N ULVAC ME00-1075-0 2001 生産未使用の装置。取説有。

RS10-2808 スパッタリング装置 Z-1000 ULVAC ME00-7818

RS16-2187 デジタルスパッタリング装置 ULDis-903CHL ULVAC MA06-1005 2007 ターゲット付BP（NB・Ti・Si）多数あり。仕込用リフター：日本板硝子仕様、仕込用冶具付（日本板硝子仕様）。仕様書有/取説有。

RS16-2146 デジタルスパッタリング装置 ULDIS-903CHL ULVAC MA04-3161 2006

RS15-1183 スパッタリング装置 ULDis-200UCP ULVAC MA13-5002 2013 ^{年式新しく、状態良好}

RS16-2192 スパッタリング装置 SX-400 ULVAC MA06－5003 2007

8インチ非磁性カソード　4元

RF電源　RFS-1310A　1KW　（逆スパッタ兼用）

ターゲット切り替え　MEX2C クライオポンプ　U-12HSP

クライオコンプレッサー　C30VR　S/N　XC1363G　積算40599.7h 油回転ポンプ　EC603

MFC　Ar　100sccm

基板サイズ：□70㎜×66㎜　ガラス・Si・PZT 加熱シースヒータ　MAX200℃

制御：GPCS ターゲット材料：Ti.Cu.Zn.Sr

RS14-1118 スパッタリング装置 SRH-420MC ULVAC MA02-1038 ^{取説・図面あり}

RS15-1185 スパッタリング装置 SRH-420 ULVAC MA04-3426 2005 高年式で状態良好

RS15-2094 巻取スパッタ装置 SPW-030 ULVAC MF04-7002 2006

ターゲット材料：ITO、Cu、SiO2、フィルム幅：max 300mm、フィルムロール径：

max φ250、フィルム長：max550m(50470μn), カソード：弱磁場 AC magnaetron cathode*2、弱磁場(400G) DC magnetron cathode*1、弱磁場(250G) DC magnetron cathode*1、電源：SP11・12用AC10KW電源、13・

(4)

RS16-2214 巻取スパッタ装置 SPW-020 ULVAC MF56-0145 1982

前扉式バッチ型蒸着装置（スパッタリング装置を2000年に改造）フィルム幅：250mm

排気系：拡散ポンプ（ULK-14A）＋メカニカルブースターポンプ（PMB- 006A）+油回転真空ポンプ（PKS-030）

蒸発源：抵抗加熱（EB蒸発源・スパッタ電源取付け可能構造）ガス：

O2 N2 （窒化膜・酸化膜用）※年式古いが状態良好（定期メンテ実施履歴明確）取説有/図面有。

RS11-2043 スパッタリング装置 SMR-2110E ULVAC ME58-0161 1983 ※ピラニ真空計は付属なし（補填は可能）。

RS13-2208 スパッタリング装置 SME-200LDM(LCO) ULVAC MA08-3625 2010

中古スパッタ装置のご案内です。本装置は、薄膜電池製造用に設計された枚葉式スパッタ装置です。リチウム電池製造用スパッタ装置としてお勧めします。

RS13-2209 スパッタリング装置 SME-200（PME-

200LE;LPO） ULVAC MA08-3536 2010

中古複合成膜装置のご案内です。この装置はスパッタを中心とした複合成膜装置の中古機になります。基板をコーティング（カプセル化）するための装置です。蒸着重合・UV・スパッタの３室構造です。

RS16-1210 スパッタリング装置 SME-200 ULVAC MA02-1027 2003 カソードPZT改造済。仕様書有。

RS16-2035 スパッタリング装置 SIV-200S ULVAC MA08-3840 2009 インターバック式、LED製造ラインで使用

RS15-2116 スパッタリング装置 SIV-200S ULVAC MA09-3316 2010

ターゲットITOサイズ：300 X 375、カソード1式、電源：DC402B、異常放電防止：

A2KH-25、搬送キャリア6式、基板フォルダ：4インチ6枚セット、有効範囲：

H200mm x W300mm、MFC Ar200sccm、O2 2sccm、H2O 5sccm、排気系：クライオ U-8H、ドライポンプ：ER400、制御系：GPCS-2700

RS16-4604 スパッタリング装置 SIV-200 ULVAC MA10-3454 2012 現行機種

RS17-2004 L/UL式　スパッタ装置 SIH-350-T06/C08 ULVAC MA00-5031 2001

RS17-2002 スパッタ装置 SH-700M-C12 ULVAC MH94-5042 1995

RS15-2010 スパッタ装置 SH-450-T10 ULVAC MB03-5006 構成：CA3元

RS15-1060 スパッタ装置 SH-450-C12 ULVAC - O/H必須(チャンバーに水漏れ履歴あり)、φ6インチカソード3元、RF/DC、エッチ

ング機構付

RS16-2193 スパッタリング装置 SH-450-C10 ULVAC MH95-5005 1996

6インチ非磁性カソード2元/強磁性1元/コンべショナル1元 RF電源　HFS020　2KW（日本高周波）　（逆スパッタ兼用）

DCバイアス電源　300V－1.5A ターゲット切り替え　MEX2C クライオポンプ　U-10PU

クライオコンプレッサー　C2W-U　　積算26240h 油回転ポンプ　D-950DK

MFC　Ar　100sccm　O2　30sccm　N2　50SCCM ターゲット　SiO2その他不明

RS12-1405 スパッタリング装置 SH-450-C10 ULVAC MH61-

0502(NH8978) 1987

RS16-1218 スパッタリング装置 SH-450 ULVAC MH62-0042 1982 バッチ式。

RS13-2204 スパッタリング装置 SH-350-D06 ULVAC MH62-5073 1988 中古スパッタ装置です。生産機に近い条件での実験機としてお勧めです。※拡

散ポンプ（ULK-06A)は付属なし（補填は可能）。

RS16-1354 スパッタリング装置 SH-100B ULVAC MH61-0496 1987 2017年3月に装置通電及び、排気系のみ動作確認実施済。取説有

RS16-1228 超高真空チャンバー MUE-ECO ULVAC MB99-1033 2000 ヘリコンスパッタ1元、加熱機構。状態良好。仕様書有/取説有。

RS16-1065 ヘリコンスパッタ装置 MPS-3000 ULVAC MB96-1038 1997

RS15-2104 スパッタリング装置 MPS-2000-HC2 ULVAC MB97-5001 1997

カソード：ヘリコンカソード源 2元 / ECR源 1元、電源：RF電源　/ DC電源 / 加熱電源、排気系：ターボ分子ポンプ＋油回転真空ポンプ、付属品：取説、図面

RS15-1181 磁性薄膜成膜装置 MPS-2000-C8 ULVAC MB08-1002 2009 優良品、付属品：仕様書、取説、図面

RS16-1212 スパッタリング装置 MNS-2000S ULVAC ZB04-0046-0 2001 2016年12月迄稼働していた装置。装置一式あり、現状不具合なし。

RS12-1118 スパッタリング装置 MLX-3000N ULVAC ME00-5016 2000

RS13-1115 スパッタリング装置 MLX-3000N ULVAC ME96-1064 1997

RS13-3127 スパッタリング装置 MLX-3000N ULVAC ME99-1017 ※C1チャンバー付属なし（補填は可能）。基板: φ 5in, Etch : 2重極,　SP : Metal, 加熱系 : 赤外線ランプ,　カセット室 x 2, 排気系 : CRYO＋RP

RS12-1227 スパッタリング装置 IBS-6000 ULVAC MB04-1012 2004

RS16-2209 スパッタリング装置 ENTRON-EX W-200S ULVAC ME05-5010 2006

装置構成：オートローダー 200mmカセット2式仕込/スパッタ室 2室 RF方式/加熱室 1室

排気系統：SHIMAZU TMP-1003LM、403LM他/UCI CRYO-T8SN/EBARA AA30V1

搬送系統：オートローダー RORZE 31RR8151/真空ロボット ULVAC XU- MVS3122

成膜電源：SP-PS DC KYOSAN HPK15ZI/BIAS-PS RFS-1305A3/MBX-1305A 加熱電源：SHIMADEN PSH-1020-NF-E

ガス系統：HORIBA SEC-Z110(Ar/N2/O2) 取説有/図面有。

RS15-1190 スパッタリング装置 CS-200 ULVAC MA06-1047 2008 附属品：仕様書

RS13-3017 スパッタリング装置（ロードロック式） CS-200 ULVAC MA07-1009 2007

RS15-2077 スパッタリング装置 CERAUS ZX-1000 ULVAC ME02-5001 2002

基板：200mm、装置構成：オートローダー+搬送室+プロセス室*1、成膜室：RF- Bias式 DC-LTS スパッタ(ノーマルチャンバー残留)、排気系：QDP80+TMP- 203LM/TMP-1003LM、CRYO-T4X/TRYO-T8P/C30Z(30105hr)

RS15-1025 スパッタリング装置 CERAUS Z-1000 ULVAC ME95-1042（WT06-

10010A）

枚様式スパッタ装置、2C2Tノーマルカソード搭載、ランプ加熱仕様　※2007年にリニューアル済み

RS12-1062 スパッタリング装置 CERAUS　Z-1000 ULVAC ME93-5021 1994 Etchﾁｬﾝﾊﾟー搭載仕様　拡張性有り

RS16-2144 スパッタリング装置 BC6643 ULVAC ZB03-5028 2003

RS14-1242 MPS-2000 準備室 - ULVAC - 2000 付属品：取説　※装置本体部品は付属なし、準備室のみ（ﾀｰﾎﾞUTM-50付属）。

<スパッタ装置　ULVAC製以外>

RS16-4086 アルミナスパッタ装置 7600 JSW AFTY 008 1999

RS16-4081 アルミナスパッタ装置 AFTEX EC-7600L JSW AFTY 17 2004

RS16-4083 アルミナスパッタ装置 AFTEX-7600L JSW AFTY 020 2007

RS16-4080 スパッタ装置 C-7730FH アネルバ EVP-38386 2003

RS16-4079 スパッタ装置 C-7730FH アネルバ EVP-38385 2003

RS16-4082 スパッタ装置 C-7730-FH アネルバ EVP-40163 2005

RS16-4084 スパッタ装置 E-730S-FH アネルバ EVP-50263 2007

RS12-1228 スパッタリング装置 L-350S-C アネルバ EVP-30577 1996

RS16-4202 カルーセルスパッタ LLS-EVO Unaxis/Oerikon 90493Y001 2001

RS16-4201 カルーセルスパッタ LLS-EVO Unaxis/Oerikon 910247401 2000

RS16-1156 小型スパッタリング装置 SM-2110 三栄理研 -

RS15-1002 インターバック式スパッタ装置 SPH-2500-RF 昭和真空 00-4422 ^{附属品：ケーブル}

RS16-1157 小型スパッタリング装置不明日本電子 -

<蒸着装置>

RS14-2289 真空蒸着装置特殊蒸着装置EVP-34234 アネルバ EE995142 2001 中古蒸着装置のお知らせ。本機器は、研究向けに設計されたアネルバ社製の

蒸着装置です。

RS13-3016 蒸着重合装置 VEP-1000 ULVAC MF06-1008 2007 中古蒸着重合装置のご紹介です。本装置は蒸着重合の研究開発ができる装置

の中古品です。

RS16-1171 蒸着装置 SOLCIET ULVAC MF98-1018 1998 構成：L/UL-SP室-蒸着室。仕様書有/取説有/図面有。

RS15-1084 蒸着装置 SOLCIET ULVAC MH10-1019 2010 状態良好、付属品：仕様書、取説、図面、チャンバーが大きい為EB蒸着や抵抗

蒸着などの代替え装置(EBX-1000)として附属

RS14-2266 有機EL蒸着装置 SOLCIET ULVAC MF98-5013-0 1999 中古有機EL成膜装置のご紹介です。

RS11-3206 有機薄膜形成装置 SOLCIET ULVAC MF96-5002 有機EL研究用の成膜装置の中古装置です。

RS15-1085 蒸着装置 SKF-1300 昭和真空 07-4133 2008 ※整備必要（修理）

RS13-2200 蒸着装置 SGC-22SA-RF（ﾊﾞｯﾁ式）昭和真空 00-4561 2000

(5)

RS14-1226 蒸着装置 SGC-22SA-RF 昭和真空 97-4334

RS14-1227 蒸着装置 SGC-22SA-RF 昭和真空 94-4371

RS16-4603 蒸着装置 SEC-22WAC 昭和真空 10-4029 2011 現行機種

RS15-1193 蒸着装置 SEC-16C 昭和真空 02-4069 2002 附属品：取説

RS16-1164 蒸着装置 SEC-10D 昭和真空 11-4110 2011 使用していた期間が短く、状態良好。

RS17-1054 有機蒸着装置 SATELLA ULVAC MH04-0004-0 2005

RS16-1172 蒸着装置 Mini-Lab ULVAC MA04-1042 2005 装置構成：L/UL・測定室・蒸着室。仕様書有/取説有/図面有。

RS16-1184 蒸着装置 MCS-3000S ULVAC MB92-8002 1992 Kセル×4式、EBガン×2式、EB電源/RHEED搭載機。

RS14-2262 蒸着装置 IPM-100（Load　Lock式） ULVAC MF03-5104 2004

Main vaccum system: CRYO(U-10PUS)・・・H2 mater)+(C2W-U・・・99633hr), load lock chamber vaccum system: turbo-molecular pump(UTM-350FH/D1A), vacuum control system: mks TYPE 113, vacuum gauge: ion gauge(GI-T

RS16-1045 蒸着装置 EX-650-C16 ULVAC MH92-1065 1992

RS16-1020 蒸着装置 EX-650-C16 ULVAC MH94-1045 1995

RS11-1191 蒸着装置 EX-550-D10-B ULVAC MH90-1086 小量生産、研究用、真空槽：φ 650 x 800H、蒸発源：抵抗加熱式、排気系：

CRYO+RP

RS16-1046 高真空蒸着装置 EX-550-C10 ULVAC MH62-5010 1987 ★EB電源は付属していません★

RS15-2056 抵抗加熱蒸着装置 EX-400-D06(改C08) ULVAC MH92-5012 1992

抵抗加熱蒸着源 8元(電源系統2系統)、主排気系：CP化改造済、※CPは付属なし（補填は可能）+油回転真空ポンプD-650DK、制御系：成膜コントローラー、

CRTM8000付属

RS16-1219 蒸着装置 EX-400 ULVAC MH90-1015 1991 ^{バッチ式、図面有。}

RS14-1181 高真空蒸着装置 EROLA ULVAC - CRTM-9000、抵抗電源ソリッドタイプ

RS15-1186 蒸着装置 ei-7L ULVAC MA12-5005 2013 高年式で状態良好

RS16-4597 蒸着装置 ei-7 ULVAC MA09-3179 2011 現行機種

RS16-1173 蒸着装置 EBX-8C特 ULVAC MH61-0490 1986 搬送機構付、蒸発源：抵抗加熱蒸発源、特型仕様。仕様書有/図面有。

RS16-2173 蒸着装置 EBX-8C ULVAC MH60-5255 1986

基板：異形基板公転平板1面　

蒸発源：①EB蒸発源 EGK-3M ②R/H蒸発源 Wポート3元排気系：CP【U-6H+C10（53,500hr）】+ RP【VD-301】

電源：EB電源（HPS-510S） RH電源（サイリスタ）加熱電源（サイリスタ）

成膜コントローラー：CRTM-5000 取説有/図面有。

RS12-1233 高真空蒸着装置 EBX-8C ULVAC ME58-5039 1984 ★EB電源は付属していません★

RS14-2294 蒸着装置 EBX-8C ULVAC XC03-4012 1990 中古蒸着装置のお知らせ。本機器は、研究向けに設計された小型蒸着装置で

す。

RS15-2068 蒸着装置 EBX-16CF ULVAC ME59-1038 1985 インフィコンデュアルセンサーとCRTM-9000のセット、付属品：図面

RS15-2067 蒸着装置 EBX-16C ULVAC ME59-5018 1985 EBX-16とEBBは同時購入必須、インフィコンデュアルセンサーとCRTM-9000の

セット、付属品：図面

RS12-1214 蒸着装置 EBX-16C ULVAC MH89-7043 1989

RS11-3014 蒸着装置 EBX-10D ULVAC SE59-1362-4 1985 中古蒸着装置のお知らせ。本機器は、研究向けに設計された小型蒸着装置で

す。★EB電源は付属していません★

RS12-1419 蒸着装置(バッチ式） EBX-10D ULVAC SE56-1351-3 1981 ※EBガンは付属なし（補填は可能）

RS10-2175 蒸着装置 EBX-10C ULVAC SE58-1359-4

★部品貸出中★　中古真空装置です。蒸着装置の中古品のご案内となります。バッチ式蒸着装置で、実験用・生産用と用途多彩です。ベルジャ式チャンバーなので、作業性に優れています。ＰＶＤ装置の導入をお考えでしたら、是非ご検討下さい。★EB電源は付属していません★

RS17-1001 蒸着装置 EBX-1000T ULVAC SA99-1147-A 2000

RS16-2220 蒸着装置 EBX-1000T ULVAC MA01-5010 2002

【前扉式バッチ】

蒸発源系：低加熱式 2ボート×3式排気系統：SHIMAZU TMP-1500/D-950DK 蒸着電源：PSE-103C（SHIMADEN）/トランス RSTFBOX 成膜制御：CRTM-9000

RS16-4602 蒸着装置 EBX-1000 ULVAC MA02-7011 2003

RS15-2124 蒸着装置 EBX-1000 ULVAC MA06-5011 2007

【前扉式】蒸発源：EB蒸発源[EGO-40M]、電源：EB電源　HPS- 1000F[31807.9hr]、排気系：CRYO Pump[U-16]＋Rotary_Pump[VD-401]、成膜制御：CRTM-9000/CRTS-0[Dual Sensor]、取説あり

RS16-1202 蒸着装置 EBV-6DAE ULVAC 表示無《付属品》・油拡散ポンプ　ULK-06A　S/N：A43A-00852　・EB電源　HPS-510A

・膜厚計　CRTM-1A　・膜厚計　CRTM-5000。

RS13-1038 蒸着装置 EBS-10A特型 ULVAC XJ99-70010A 1999

状態：1999年改造再生販売実績あり（重量金型4～7kg　へ離型材料の成膜用途）※一般室にて稼動排気系：U-12HSP(C30MT予防保全済）+PMB- 003C+D-950DK　加熱源：赤外線ランプヒーター　ステージ回転：0～10ｒｐｍ蒸発源：抵抗蒸発源（Wフィラメントｘ4連ｘ6点切替方式）

RS13-2205 蒸着装置（バッチ式） EBS-10A ULVAC ME54-0003 1979 中古蒸着装置のご案内です。本装置はベルジャ式蒸着装置の中古品になりま

す。2005年リニューアル済です。

RS16-1201 蒸着装置 EBH-6 ULVAC SE53-1214-4 《付属品》・油回転真空ポンプ　PVD-360　・ベルジャー：石英及びカバー付

・上チャンバー　・下チャンバー。

RS16-2233 蒸着装置 EBH-6 ULVAC XS90-2114

装置概要　実験用抵抗加熱式蒸着装置硝子ベルジャ（昇降シリンダ付）

排気系 PVD-360+ULK06A 図面有

RS17-2001 蒸着装置 CME-70 キヤノン・トッキ CM290 1998

RS16-2008 蒸着装置 CM90 トッキ -（不明） 1995

バッチ式、φ495/R350 プラネタリードーム自公転、□51mm 42 x 3、蒸発源 E/B JEOL JEBG-203UB 12cc x 6 EB電源　JST-10F、排気系クライオポンプ U-20P＋C30MT サブEC403＋PMB-003CM、制御系、タッチパネル、加熱、赤外線ランプ、MAX300℃、常用 200℃ 750W x 2 x 4、電源　PSH-076 膜厚計 CRTM-9

RS14-2280 真空蒸着装置 BMC-700 シンクロン 900073 1990 中古蒸着装置のお知らせ。本機器は、光学膜向けに設計されたシンクロン社製

の蒸着装置です。

RS16-2143 イオンビーム表面改質装置 BB3376 ULVAC MB95-5019 1995

<CVD装置>

RS16-1188 プラズマCVD装置 CME-200 ULVAC MA01-1027 2001 取説有/図面有。

RS15-2118 CVD装置 CME-400Et ULVAC MA09-3487 ^{附属品：仕様書}

RS10-2769 プラズマCVD装置 DWNT成膜装置 ULVAC MB03-7002 2003

中古真空装置です。熱CVD装置の中古品のご案内となります。グラフェン層が２層からなるカーボンナノチューブ「二層ナノチューブ（ＤＷＮＴ）」の成長を行う熱ＣＶＤ装置です。

RS16-4570 プラズマCVD装置 PD-3800LT SAMCO 32S2725 2011

本装置は、プラズマＣＶＤによるシリコン酸化膜若しくは窒化膜の形成を目的としたカセット to カセット式の量産用装置です。ロードロック室と大型トレイによる搬送機構及びウェーハ移載部を搭載しています。2017年3月現在メーカー現行機種です。基板寸法 3”6”Wafer兼用です。

RS16-4571 プラズマCVD装置 PD-3800LT SAMCO 32A2797 2011

RS16-4572 プラズマCVD装置 PD-3800LT SAMCO 32A2798 2011

RS12-1318 CVD装置 PD-270STA SAMCO 2001 中古CVD装置のご紹介です。　本装置は、TEOS CVD の中古機になります。

RS16-2210 MO-CVD装置 BMC-606-M 大陽日酸 E-003-JAV-2 2012

・有機金属原料ガス TMGa 1系統ハイライド循環ガスメイン PH3 1系統ダミー 2 系統キャリアガス 3系統（H2及びN2）反応炉システム

・基板トレー 6インチ×6枚フェースダウン自公転方式

・カーボンヒーター常用100℃～850℃ 短時間（10分） 1100℃ 成長可能圧力範囲 67hPa～400hPa

・排気系荏原製ドライポンプ ESA70W ターボ分子ポンプ島津製作所 PT-150 油回転ポンプアルカテル 2015SD

・仕様書有。

(6)

<ALD装置>

^追加

RS16-4009 ALD Polygon8200(Pulser3000) ASM #0863400 2011

<分子線エピタキシー装置（MBE）>

RS13-1010 分子線エピキタシー装置 - Eico - 2009

<ステッパー・アライナー>

RS16-4593 ミニステッパー NES1-h4 NIKON 0900201 2010 ｈ線　現行人気機種

RS16-4594 ミニステッパー NES1-h4 NIKON 1100802 2011 ｈ線　現行人気機種

RS15-2078 マスクアライナー PLA-600F CANON 91120311 1991 ^{マスク：φ}7/□6In/□5In(SEMI規格)、基板：φ100mm～150mm、照明系：ウシオ 250W、超高圧水銀灯(ｇ線、ｈ線、I線の組合せ)、露光：繰返精度±3％

RS14-2296 マスクアライナー Q-4000 Quintel 114 2001 Quintel 社製マスクアライナーのお知らせ。　本機器は研究開発用に設計され

た小型マスクアライナーです。

RS14-2278 マスクアライナー ML-300LF ルミナス - 2007 中古マスクアライナーのお知らせです。本装置はミカサ製の小型マスクアライ

ナーです。

RS15-1131 ウエハ露光装置 PA-150MAD 清和光学 46102 2002 附属品：取説

RS13-3121 ボンドアライナー装置 EVG620 EVG S020115 2003 EVG 仕様書/取説あり

<コーター・デベロッパー>

RS16-4010 コーターデベロッパーコーターデベロッパー用

パーツ東京エレクトロン - 2011

RS15-1248 スピンデベロッパー AD-1200 清和光学 64531 状態良好、付属品：仕様書

RS15-1249 スピンデベロッパー AD-1200 清和光学 - 状態良好、付属品：仕様書

RS16-2034 フィルムUVコーター - 渕上ミクロ - 2004 フィルム幅：300mm、UV塗布コーター、PL1106、セン特殊光源、付属品：取説、

図面

RS16-4186 コーター Litho Spin Cup 200C Litho Tech Japan 0005-38 2015

RS13-3019 レジストコーター DELTA80T2 ズーズ・マイクロテック - 2005 中古のレジストコーターのご紹介です。本機は手動操作によるスピンコーター

<エッチング装置　ULVAC製>

RS16-1186 ドライエッチング装置 CSE-1000 ULVAC PV03-

1017(RA0306）

図面有。

RS16-4567 ドライエッチング装置 NE950EX ULVAC MA09-3469 2011

☆　2016年度現在 ULVAC 現行機種　☆

【概要】

本装置は、ＩＳＭ（Inductively Super Magnetron）方式のプラズマ源を搭載した高密度プラズマエッチング装置です。

【ISMの特徴】

①　10E-2台の低圧力下において Arプラズマで 10E11cm-3 以上の高密度プラズマの生成が可能

②　エッチングの均一性良好

③　アンテナ電力と基板電力を独立して制御可能

④　イオン性エッチング～ラジカル性エッチングまで幅広く制御できる。

【構成】

・大気搬送室

・ロードロック室

・搬送室

・プロセス室

☆　2016年現在 ULVAC 現行機種　☆

【概要】

【ISMの特徴】

【構成】

・大気搬送室

・搬送室

・プロセス室

☆　2016年度現在 ULVAC 現行機種　☆

【概要】

【ISMの特徴】

【構成】

・大気搬送室

・搬送室

・プロセス室

RS15-1265 ドライエッチング装置 NLD-6000 ULVAC MV05-1204 2005

RS16-4212 ドライエッチング装置 NE-7700 ULVAC MV00-1008 2011

RS16-1012 ドライエッチング装置 NE-550C ULVAC MV06-8003 2007 ※整備必要（修理・O/H）

RS15-1245 ドライエッチング装置 CR-500 ULVAC MA06-1046 2007

RS14-1231 ドライエッチング装置 NE-5000N ULVAC MV98-1002 2000 附属品：仕様書、取説、図面

RS12-2047 ドライエッチング装置 CSE-1000 ULVAC RE92-1023

RS10-2784 ドライエッチング装置 CSE-1110 ULVAC MH58-0012 1983 電源 500W 13.56MHz、排気系：メカニカルブースターポンプ+油回転真空ポン

プ、基板：φ200mm

<エッチング装置　ULVAC製以外>

RS16-4210 ドライエッチング装置 ICP101-LC SAMCO S9811267 1998

RS15-1021 ドライエッチング装置 RIE-200L SAMCO ENS990608 1999 附属品：取説、仕様書

RS16-4287 ドライエッチング装置 E-541AW 日立製作所 12WD05701 2013

RS16-4211 ドライエッチング装置 E-541AW 日立製作所 09MD03301 2010

RS16-4213 ドライエッチング装置 DEA-506T アネルバ EVP-24130 1992

RS11-2028 ドライエッチング装置 L-210H-WS アネルバ EVP-35058 2000 ANELVA、ロードロック式、研究用、基盤：φ4トレイ搬送、チェンバー2室

RS16-4209 ドライエッチング装置 E725SC パナソニック 076E10118 2007

(7)

RS16-4216 ドライエッチング装置 MUC-21-098 SPP 58743 2009

<イオンミリング装置>

RS16-4099 ミリング IM-5-9 日立製作所 765180-1 1999

RS16-1155 バッチ式イオンミリング装置 MPS-3000FC 三栄理研 AA00130

<イオンミリング装置　Grid(Veeco製) >

RS16-8058 グリッド RF-350/8 Zone VEECO A088408 製品No.0336-554-08　　付属品：通いケース付き。　状態：洗浄済み。

RS16-8059 グリッド RF-350/8 Zone VEECO A088396 製品No.0336-554-08　付属品：通いケース付き。　状態：洗浄済み。

RS16-8063 グリッド RF-350/8 Zone VEECO A088401 製品No.0336-554-08　状態：洗浄済み。　付属品：通いケース付き。

RS16-8068 グリッド RF-420/6

Spacer,EM,CT,Pat1 VEECO C270428 製品No.0386-554-27　状態：洗浄済み。　付属品：通いケース付き。

RS16-8069 グリッド RF-420/6

Spacer,EM,CT,Pat1 VEECO C270077 製品No.0386-54-27　状態：新古品。　付属品：通いケース付き。

RS16-8070 グリッド RF-420/6

RS16-8071 グリッド RF-420/6

RS16-8072 グリッド RF-420/6

RS16-8074 グリッド RF-420/6

Spacer,EM,CT,Pat1 VEECO C270441 製品No.0386-554-27　状態：洗浄済み。　付属品：通いケース付き。

RS16-8075 グリッド RF-350/6 Spacer VEECO C270094 製品No.0386-554-32　状態：洗浄済み。　付属品：通いケース付き。

RS16-8076 グリッド RF-350/6 Spacer VEECO C270095 製品No.0336-54-32　状態：新古品。　付属品：通いケース付き。

RS16-8077 グリッド RF-350/6 Spacer VEECO C270098 製品No.0336-554-32　状態：洗浄済み。　付属品：通いケース付き。

RS16-8079 グリッド 1-Q1/Nexus IBE VEECO C1192 製品No.0386-554-80　状態：洗浄済み。　付属品：通いケース付き。

RS16-8081 グリッド Aris 1-Q1/Nexus IBE VEECO A811014 製品No.0386-554-80　状態：洗浄済み。　付属品：通いケース付き。

RS16-8082 グリッド 1-Q1/Nexus IBE VEECO C810102 製品No.0386-554-80　状態：洗浄済み。　付属品：通いケース付き。

RS16-8083 グリッド 1-Q1/Nexus IBE VEECO A811018 製品No.0386-554-80　状態：洗浄済み。　付属品：通いケース付き。

<イオン注入装置>

RS07-2983 IMX-3500 コンポーネント一式 - ULVAC -

<拡散炉・LPCVD･RTP・加熱装置>

RS16-1194 オーブン DN-4101 ヤマト - 新古品

RS16-1239 ドライオーブン BSNH-111S いすゞ製作所 31050366 ^{本体のみ。}

RS16-1187 RTAアニール装置 RTA-85/85 ULVAC MR004005 2001 図面有。

RS15-3007 真空乾燥炉 QSAF-500 ULVAC -

RS15-1020 ゴールドイメージ炉 RHL-P1210CP ULVAC D87086

RS14-1228 枚葉式高速アニール装置 RTA-4000 ULVAC MR060013-0 付属品：図面、取説

RS16-2219 DNS製ランプアニールLA-820用部品 LA-820 DNS - 1995

RS16-4613 クリーンオーブン PVC211 M ESPEC 252003445 2008

RS16-4614 クリーンオーブン PVC211 M ESPEC 252003443 2008

RS16-4615 クリーンオーブン PVO211 M ESPEC 252003645 2009

RS16-4574 クリーンオーブン PVC-332 ESPEC 253000252 2011 清浄度クラス５のクリーン熱処理,コンタミネーションフリーの気密構造,高精度な

無酸化雰囲気熱処理を実現

RS16-4629 セラックホットプレート CHP-170D AS ONE 80500624-06

RS16-4599 高恒温炉 - 神港精機 11100039 2011 現行機種

RS16-4600 高恒温炉 - 神港精機 11100040 2011 現行機種

RS15-1252 横型炉 MT-8X 32-A KOYOサーモシステム 50767 状態良好、付属品：仕様書

RS12-1320 電気炉 VF-2000 KOYOサーモシステム縦型チューブ電気炉オートローダ　φ４X36枚　～1200℃

RS15-2079 電気炉 206M100M30X108H 光洋リンドバーグ HI-0714 1990 基板：φ100mm～150mm、加熱系：1500℃、搬送：手動、石英管：予備1式

RS16-2038 赤外線ランプ装置 RTA-0208S アドバンス理工 - 2009 LED製造ラインで使用

RS16-2007 拡散炉 YPS624F0102 015175 大倉電気 299717 2011

新品同様、状態良好、仕様：横型2段式、ワークベンチ付、基板(156 x 156)、410 枚(ポート実装数)、使用ガス：N2/O2、昇温 10℃/min、降温 3℃/min ヒーター3 ゾーン、φ350 最高温度---1000℃(常用600～900℃)、付属品：仕様書、取説、

図面

RS12-1044 真空アニール炉 TYPE　BH アユミ工業 VE-01-16 2002

RS12-1338 ベーク炉 LTI-601ED EYELA 10225465

RS14-1003 電気マッフル炉 KL-600 ADVANTEC 097210 2007 付属品：真空オーブン(本体のみ), 型式：DP-43/L/N:36800179, S/N:WA2433, メーカー：ヤマト科学

RS14-2269 遠紫外線応用装置 DUV-25ｘ4B　（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ

式）

日本電池 00　E 5L 中古遠紫外線応用装置（GS-YUASA）のご紹介です。

RS14-1229 オーミックアロイ炉 DSI-3500P ケミトロニクス - 附属品：図面、取説

<ＵＶキュア装置>

RS17-2006 UV照射装置 HS-6080 hugle Electronics - 2001

RS16-4575 エキシマUV照射装置 SCQ05 日立ハイテク/エンジニアリングシステム - 2010

本装置は、誘電体バリア放電を利用した紫外線発光ランプを内蔵した 172 nm 光照射器です。ランプハウスの照射窓ガラスを通じて 172 nm 光が照射されます。

RS16-4561 UV照射機 ISI1005 大宮工業 ISI1005-1 2011

本装置はダイシングフレームを自動でＵＶ照射するフルオートＵＶ照射装置です。カセット供給ユニット＋供給ユニット＋ローダー部＋ＵＶ照射部＋制御盤の構成です。

RS16-4596 UVキュア装置 TVC-8022 東京応化工業 V-1009132 2011

RS14-3026 UVキュア装置 UMA-1002-HC93SMV

（Casette to Casｓette）ウシオ電機 9701006 1998 ^{ウシオ電機}

(8)

<アッシング装置>

RS16-4573 アッシング装置 NA-8000 ULVAC MA09-3472 2011 本装置は、プラズマ化した反応性ガスにより、ウェーハ上のレジスト膜を除去す

ることができるドライアッシング装置です。Cassette to Cassette 方式の搬送機能を搭載しています。

RS13-3031 アッシング装置 VA-1000 ULVAC 2215 2001

RS16-1168 アッシング装置 TCA-7822S 東京応化工業 T-9804525 1998 不良部品及び不具合動作あり。仕様書・図面有。

RS16-4004 アッシング装置 TCA-7822N 東京応化工業 - 2005

RS16-4003 アッシング装置 TCA-7822N 東京応化工業 T-0409675 2004

RS13-3123 アッシング装置 1000P GLEN TECHNOLOGIES 10271 2000 GLEN TECHNOLOGIES製仕様書、取説有

<UV照射装置>

RS12-1379 UV照射装置 UV-1F SAMCO 24A1643 2003

RS14-8030 オゾンUV照射装置 UV-300 SAMCO 22A1336

<ＣＭＰ/ポリッシング/研磨>

RS16-4027 CMP/ポリッシング/研磨 AVANTI472 Novellus 282 1998

RS16-4018 CMP/ポリッシング/研磨 nTrepid 6EH Strasbaugh - 2010

RS12-1376 CMP/ポリッシング/研磨 SPP600S 岡本工作機械 7039 1999 中古CMPのご紹介です。　本装置はCMPの中古品になります。

RS16-2003 CMP/ポリッシング/研磨 MAT-BC15C MAT 14-0017 2014 新品同様、プラテン径---φ380/回転率---0～100rpm/基板---6in/最大加圧- --50kgf/リンス---1系統手動、付属品：仕様書

RS16-2004 CMP/ポリッシング/研磨 MAT-MGR-15F MAT 15-0030 1996

リニューアル中古品、研削装置、常磐部---φ380(回転数10～200rpm)/加工軸 ---2軸(使用修正リング径φ160～200mm)/フェーシング装置部---最大移動量 200mm/スラリー供給部---噴霧方式　オプション/マグネットスターラー水冷加温チラー装置　定寸　治具、付属品：仕様書、取説

<WETエッチング装置>

^新規カテ

RS14-4117 WETエッチング CVE-2014ACｓ1 クレセン CVE-2013ACｓ1 2006 附属品：仕様書

RS14-4015 自動WETエッチング - サンエイ - 2008 附属品：仕様書、取説、図面

<洗浄装置・スピンドライヤー>

RS14-3051 流水洗浄装置 YW-00S-RH サクラ精機 09020988 2009 マガジン内の部品等の純水流水洗浄を行う装置です。年式も新しく、使用頻度

も少なく程度が良い装置です。

RS14-3050 手動3槽式シャワー洗浄装置 WBTA03-W12 三社電機製作所 4H30004 2008 12インチウエハのフラックス除去を目的とした洗浄装置です。年式も新しく、使用

頻度も少なく程度が良い装置です。

RS16-4582 リフトオフ洗浄装置 TWPS-064-TJ 高田工業 10110140-1 2011

RS16-4584 マスク洗浄機 TW-200 テクノビジョン TW1007179 2011

RS14-4069 リンサードライヤー SRD-470S Semitool C175815 附属品：仕様書、取説、図面、1ドラムタイプのスピンドライヤー　※整備必要（修

理）

RS12-1310 スピンドライヤ SPD-160RN エアブラウン 9806090 3500rpm

RS16-4588 酸ウェットステーション SH303,BHF 東朋テクノロジー ME11051 2011

RS16-4234 スピンドライヤー SCC-830A オリエント技研 60619 2010

RS16-4239 スピンドライヤー SCC-830 オリエント技研 - 2010

RS14-8036 スピンドライヤー PSC-101 Semitool 10401,1

RS16-4590 酸ウェットステーション KS3030.HF-2%aq,dev 東朋テクノロジー ME11053 2011

RS16-4589 酸ウェットステーション IZ0エッチ東朋テクノロジー ME11052 2011

RS16-4591 酸ドラフト IZ0エッチ東朋テクノロジー ME11680 2012

RS14-4132 リンサードライヤー H1120RNN ミクロ技研 K0371 附属品：仕様書、取説、図面

RS12-1392 ウェハ洗浄装置 EVG301 EVG S050012 2005 中古洗浄装置のご紹介です。　本機は、フォーカシング洗浄装置の中古です。

RS16-4592 リンサードライヤー 180RN 東朋テクノロジー 1010207 2011

RS16-4583 有機ウェットステーション 106,IPA,ACT396. Dev 東朋テクノロジー ME11054 2011

RS16-4585 有機洗浄ドラフト - 東朋テクノロジー ME11151 2011

RS16-4586 酸洗浄ドラフト - 東朋テクノロジー ME11150 2011

<膜厚測定・エリプソメーター>

RS14-4102 光干渉式膜厚測定装置ﾗﾑﾀﾞｴｰｽVM-1000 DNS 60730-0304 2001 附属品：取説、図面　※整備必要

RS16-1052 段差計 V200-Si VEECO 16075 2001

RS16-4163 エリプソメーター UT-300 HORIBA STEC 4095822001 2000

NS-3014 分光エリプソメータ UNECS-2000 ULVAC

RS16-4579 接触式表面形状測定器 P-40H 東朋テクノロジ－/KLA 10100556 2011

RS17-2003 触針式段差計 P-15 KLA-Tencor 1003-1073-87 2004

RS16-4223 段差計 P-11 KLA-Tencor 09990311（P/N：

401226） 1999

RS16-4230 段差計 P-11 KLA-Tencor 05990299

（P/N:401226） 2004

RS16-4162 光干渉式膜厚測定装置 M6100UV Nanometrics 99120039 1999

RS13-3165 分光エリプソメーター GES5e Sopra(現日本セミラボ） 61H##3608 2008 本機器は日本セミラボ社製の分光エリプソメータです。本機は中古設備となりま

す。

RS16-4580 光干渉式膜厚測定装置 FE-3000 大塚電子 AV41-0629 2011

RS16-4601 透過率測定器 (分光光度計) FE-12 大塚電子 HH41-0628 2011 現行機種

RS16-4225 段差計 AS500 KLA-Tencor 0997-0430

<ウエハ表面検査・SEM・FIB装置・X線装置>

RS12-1087 ウエハ異物検査装置 WM-2500 トプコン 00110021 2001 中古ゴミ検査装置になります。８インチフォーカシングに対応した機種です。※

装置構成部品・・・要確認

RS16-4251 ウエハ異物検査装置 WM-3 トプコン 80993097

RS13-3130 ウエハ異物検査装置 WM-1700 トプコン 207013 本機は、フォーカシング表面上のパーティクルを高感度で検出することができる

装置です。 6インチ、8インチ対応

(9)

RS12-1422 ウエハ異物検査装置 WM-1500 トプコン 01250019 1997

中古フォーカシング表面検査装置のご案内です。本機は基板表面のパーティクルを高感度で検出することができるフォーカシング表面検査装置の中古機になります。　フォーカシングサイズ；6インチ、8インチ対応

RS12-1424 ウエハ異物検査装置 WM-1500 トプコン 000370032 1997 6インチ、8インチ対応

RS13-1040 飛行時間型二次イオン質量分析装置 TOF-SIMS TFS-2100 ULVAC - 1997 附属品：取説

RS14-2265 X線反射率・組織分析装置 S-MAT2000F テクノス 172R-046 2004 電気：AC200V 30A(本体)、15A(送水装置)、冷却水：25L/min、窒素：15NL/min、

真空：15L/min

RS12-2062 魔境検査装置 MIS-110 KOBELCO M-002 2003

RS14-3121 蛍光X線分析装置 EDX-720 島津製作所 Q23644602507AE

RS16-2195 共集点顕微鏡システム AX10　lmgaerA1/M1 カールツァイス 1020952192 2005 接眼×10　対物×100×50×20

RS14-2282 X線解析装置 ATX-E リガク WD2876N 2002 中古X線回折装置のお知らせです。　本装置は部品取り用でご検討下さい。リガ

ク製X線回折装置の中古になります。

RS14-2283 X線解析装置 ATX-E リガク UD2903N 2002 中古X線回折装置のお知らせです。　本装置は部品取り用でご検討下さい。リガ

ク製X線回折装置の中古になります。

RS14-2281 X線解析装置 ATX-E リガク YD2780N 2002 中古X線回折装置のお知らせです。　本装置はリガク製X線回折装置の中古に

なります。

RS16-4077 蛍光X線分析器 3640 リガク CR41004 2006

RS16-4074 蛍光X線分析器 3620 リガク IR-42018 1985

RS16-4075 蛍光X線分析器 3272 リガク WR18005 2000

RS16-4076 蛍光X線分析器 3272 リガク YR18005 2002

RS16-2196 微小穴自動ファイリングシステム - OLYMPUS -

接眼×10　対物×100×50×20　顕微鏡型式　BXFM XY軸ステージ　±75㎜0.002㎜

Z軸ステージ　　±120㎜±0.001㎜

17インチモニター制御：WindowsXP

RS13-3018 ウエハ異物検査装置 - タイヨー電機 - 2007 中古基板外観検査装置のご紹介です。本装置はガラスやフォーカシングの外

観や異物を検査する中古品です。をレーザー走査により行う装置となります。

<重ね合わせ測定装置（OverRay)>

RS16-4130 重ね合わせ装置 KLA-5107XP KLA-Tencor 1406 1998

<FT‐IR>

RS16-1204 FT-IR Spectrum100 パーキンエルマ 77039 2006

<外観検査装置・３次元測定器・その他>

RS07-8034 オシロスコープ SS-7804/02 IWATSU 02513445

RS16-2280 オシロスコープ SS-5711 IWATSU 91318468 ^本体のみ

RS16-4578 オプティカルサーフェスアナライザー Candela CS10 KLA-Tencor 3561010 2011

RS16-4609 カラー外観検査装置 Vi-SW200C トプコン 10712004 2011 現行機種

RS16-4611 カラー外観検査装置 Vi-SW200C トプコン 10912006 2012 ^現行機種

RS16-4562 外観検査装置 Vi-SW200C トプコン 10902001 2011 本装置は　高速高精度な画像処理技術によりウェーハの異物や欠陥を検査す

るシステムです。カセットからウェーハの供給を自動で行うフルオート式の外観検査装置です。

RS16-4563 外観検査装置 Vi-4202 トプコン 00274063 2007

本装置は　高速高精度な画像処理技術によりウェーハの異物や欠陥を検査するシステムです。カセットからウェーハの供給を自動で行うフルオート式の外観検査装置です。

RS16-4577 外観検査装置 Vi-4202 トプコン 10214108 2011

RS14-4120 パンプ高さ測定装置 SP-500BW300 東レ 01250002 2005 12インチまで対応、バンプ自動検査、ＯＫ／ＮＧ判定可能

RS14-4110 パンプ高さ測定装置 SP-500BW 東レ A1012762026 2005

RS14-4124 CNC画像測定システム VMR-6555 NIKON 1322183 ^{附属品：取説}

RS14-4101 CNC画像測定システム VMR-3020 NIKON 1302262 2001 附属品：仕様書、取説、図面

RS14-4100 CNC画像測定システム VM-250 NIKON -

RS14-4099 外観検査装置 OPTISTATION　V NIKON - 1997 附属品：仕様書、取説、目視外観装置機の高シェア商品　8インチまで使用

RS14-2347 オシロスコープ SS-7802A IWATSU 515625579 2000 附属品：電源ケーブル、スキャナーモニター付、IPZ-5001用部品

RS14-4098 ウエハー外観検査装置（部品取り機） WI-2000 ICOS H2.2-H005 2007

RS14-4094 外観検査装置 WI-2000 ICOS W2-2H019 2008 附属品：仕様書、取説、図面

RS14-4121 外観検査装置 VI-4302 トプコン 00264303

RS15-2098 電位計 PROGRAMMABLE

ELECTROMETER_6512 KEITHLEY 0647327 1995

RS15-2099 電位計 DIGITAL

ELECTROMETER_TR8652 ADVANTEST 04250092 1995

RS14-4103 非接触三次元測定装置 NH-4N ミタカ 7114 2003 8インチウェハ、リードフレームなど高密度化や大型化する半導体製品の品質管

理に最適な装置

RS12-1411 非接触三次元測定装置 NAFS3070P 日本技術センター 17591007 2007 中古三次元測定器のご紹介です。　非接触三次元測定器の中古品になりま

RS14-4187 ICP発光分光分析装置 Rigaku CIROS CCD リガク - す。^{附属品：仕様書、取説}

RS12-1030 蛍光温度計 FT1410GA Takaoka TA01140075/TA01

140076 2001 NE-5500付属。ケーブル無し。測定部無し。

RS15-1100 微小寸法測定器テレコパレータ WF-R30-H17 日立製作所 F61161 1998 Normal operation

RS14-4112 強度測定装置 DAGE5000 DAGE 2049294 ※故障個所有、メーカー保守終了機器。

RS14-4119 外観検査装置 Falcon300 Camtek 82004

RS16-8003 ポータブルph計 HM-30P 東亜ディーケーケー 691893 構成:一式。　付属品:無し。　状態：未使用。　動作確認：未実施。

<顕微鏡>

RS16-4606 実体顕微鏡 SMZ800 NIKON 1002460/1002391 2000 ハロゲンランプ（トランス無し）。ハロゲンランプが付属していない為、×1.5倍率

が悪くなります。

RS14-8051 実体顕微鏡汎用 OLYMPUS - ハロゲンランプ仕様ではありません。カメラ用アダプター付属無し。

RS14-4080 実体顕微鏡 SZ-STS OLYMPUS SZ1145 ハロゲンランプ仕様ではありません。カメラ用アダプター付属なし。

RS14-8048 金属顕微鏡 BH2-UMA OLYMPUS -

RS14-4169 ウエハーローダー AL110-L86 OLYMPUS A008010 8インチまで対応可能なウエハ搭載機。マクロ測定機能付き

RS14-8049 金属顕微鏡汎用 NIKON -

RS14-8047 金属顕微鏡 OPTIPHOT　150S NIKON 9102568

RS14-8045 金属顕微鏡 L-200 NIKON 610329

RS14-8050 実体顕微鏡汎用ミツトヨ - ハロゲンランプ仕様ではありません。カメラ用アダプター付属有り。

RS12-1341 汎用顕微鏡 AVT-45SC 明立精機 542261

<AFM（原子間力顕微鏡>

RS16-4008 AFM D3100S-1 Digital　Instruments MICRO-G 2005146 1998

(10)

<電子ビーム（EB）描画装置>

^新カテ

RS11-1245 電子ビーム描画装置 ELS7500EX ELIONIX H35-019 2008 中古EB描画装置のご案内です。　本装置はエリオニク製電子ビーム描画装置

RS15-1194 電子ビーム描画装置 ELS-7700 ELIONIX H31-001 2004 状態良好、付属品：取説

<リフロー炉>

RS16-2188 エコリフロー炉 TNR15-225LH タムラ製作所 - 2012 田村製作所現行機種。高年式にて装置美品。取説有/図面有。

RS15-3008 エコリフロー炉 SNR-615 千住金属工業 - 2007

<グラインダｰ・スクライバ―>

RS16-4554 ブレーキング装置 DBM-602R ダイトロンテクノロジー A097061 2009

本機は、チップ化のためのスクライブを施されたサファイヤ基板を分割する装置です。基板の平行出し・位置決めは、画像処理装置により自動で行われます。

年式も新しく、使用頻度も少ない良品です。

対象ウェーハ　材質　　：　サファイヤ基板　厚み　　：　80 ～ 500μm

　サイズ　：　φ１～６インチ　（チップサイズ： Min 200×200μm）

RS16-4555 ブレーキング装置 DBM-602R ダイトロンテクノロジー A103076-01 2011

RS16-4559 ブレーキング装置 DBM-602R ダイトロンテクノロジー A113330 2011

RS14-8038 グラインダー SW-07 SHUWA -

RS14-8039 グラインダー SW-07 SHUWA -

RS14-2279 ガラススクライバー SC-451CP　（ﾊﾞｯﾁ式）シチズン精密 - 2005 ワークケーブル：480mm、カッターユニット：スライドストローク　480mm、送り速

度：43～54mm/sec

RS14-4177 スクラバー SS-W80A-AV DNS -

RS16-1053 自動ウエハ劈開装置 MC-500 SELA 05-141 2001

<後工程・実装装置・ボンダー・印刷機>

RS16-4618 テープマウント機 FM2248 テクノビジョン FM1404507 2014

RS16-4605 チップカウンター Mp siries タカノ MP7211CC 2003

RS16-4553 テープリムーバ装置 ISI1004 大宮工業 ISI1004-1 2011 フルオートのテープリムーバです。年式も新しく、使用頻度も少ない良品です。

①キャリアステーション②アライナ③搬送ロボット④テープ剥し部　の構成となります。

RS16-4560 ウェーハマウンタ装置 ISI1002 大宮工業 ISI1002-1 2011 ウェーハ及びダイシングフレームをプリカットテープにより一体的に貼付るフル

オートタイプのテープ貼り装置です。

RS14-4136 印刷機 MK-838SV MINAMI - 視覚認識装置付全自動高速スクリーン印刷機半導体対応オーダーメイド汎用

機

RS14-3039 印刷機 LS-34TVA NEW　LONG 063-1612 2008

RS14-8037 ボンダ― SGM-6301 SHUWA -

RS14-3038 ボンダー FA1000 ADWELDS - 2009 ADWELDS製

RS15-2080 真空接合装置 - アユミ工業 - 2012 ^基板：φ100mm～150mm、排気系：EBARA VOS100、搬送：手動、直線導入、付

属品：仕様書、取説

RS16-2005 真空貼合装置 HTP200SV MAT -（銘板なし） 2013

真空貼合装置(新品同様)バッチ式、支持基板---φ230 x 20mm対応/ホットプレート---常温～200℃2kw シースヒーター/試料加圧---エア圧(ダイヤフラム式)/真空部---RP(E2M1.5 Edwards)、付属品：仕様書

RS16-2194 マニュアルプローバー

Α

200cs アポロウエーブ 09030 ステージ8インチ　電子冷却ユニット　DET-400 *サーモチャック　-55℃～

+300℃ チラー　EYELA　CCA-111

RS14-4192 テープマウンター DAM-812M タカトリ 78144 2003

RS14-8028 ALウェッジボンダー 4523-AD Kulicke&soffa -

RS14-8029 ITOオートプローバー - - -

目次1/2

分類名 ページ番号

<R&D(研究開発)向け推奨装置・測定器> 4

<スパッタ装置 ULVAC製> 5

<スパッタ装置 ULVAC製以外> 6

<蒸着装置> 6

<CVD装置> 7

<ALＤ装置> 7

<分子線エピタキシー装置（MBE）> 7

<ステッパー・アライナー> 7

<コーター・デベロッパー> 7

<エッチング装置 ULVAC製> 8

<エッチング装置 ULVAC製以外> 8

<イオンミリング装置> 8

<イオンミリング装置 Grid(Veeco製) > 8

<イオン注入装置> 9

<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置> 9

<ＵＶキュア装置> 9

<アッシング装置> 9

<UV照射装置> 9

<ＣＭＰ/ポリッシング/研磨> 9

<WETエッチング装置> 10

<洗浄装置・洗浄スピンドライヤー> 10

<膜厚測定・エリプソメーター> 10

<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置> 10

<重ね合わせ測定装置（ＯｖｅｒＲａｙ)> 10

<ＦＴ－ＩＲ> 11

<外観検査装置・３次元測定器・その他> 11

<顕微鏡> 11

<ＡＦＭ（原子間力顕微鏡> 11

<電子ビーム（ＥＢ）描画装置> 11

<リフロー炉> 11

<グラインダｰ・スクライバ―> 11

<後工程・実装装置・ボンダー・印刷機> 12

<めっき装置> 12

<ディスペンサー装置> 12

<凍結乾燥装置> 12

<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品> 12

<その他> 13

<油回転真空ポンプ> 14

<油回転真空ポンプ部品> 14

<油拡散ポンプ> 14

<メカニカルブースターポンプ> 14

<クライオポンプ ULVAC製> 14

<クライオポンプ ULVAC製以外> 15

<ターボ分子ポンプ ULVAC製> 16

<ターボ分子ポンプ ULVAC製以外> 16

<ドライポンプ> 16

<イオンポンプ> 18

<排気セット> 18

<真空バルブ ULVAC製> 18

<真空バルブ ULVAC製以外> 19

目次2/2 ページ番号

<超高真空部品> 20

<ピラニ真空計> 20

<電離真空計> 21

<バラトロン真空計> 22

<キャパシタンスマノメータ > 22

<ペニング真空計> 22

<サーモカップル真空計> 22

<広帯域真空計 > 22

<成膜コントローラー> 22

<ガス分析計> 22

<Heリークディテクタ> 22

<RF電源> 23

<DC電源> 24

<AC電源> 25

<アナライザーマグネット電源> 25

<マグネット電源> 25

<加熱電源> 26

<その他電源> 26

<マスフロ・除害設備、ガス設備> 26

<搬送ロボット> 27

<電気制御系> 27

<チラー・純水設備> 28

<スパッタ装置部品 ULVAC CERAUS> 28

<スパッタ装置部品> 28

<蒸着装置部品・EB電源・抵抗加熱電源> 28

<イオン注入装置部品> 29

<スパッタ装置部品 AMAT Endura，CenturaPVD> 29

分類名ページ番号

<スパッタ装置　ULVAC製> 5

<スパッタ装置　ULVAC製以外> 6

<エッチング装置　ULVAC製> 8

<エッチング装置　ULVAC製以外> 8

<イオンミリング装置　Grid(Veeco製) > 8

<クライオポンプ　ULVAC製> 14

<クライオポンプ　ULVAC製以外> 15

<ターボ分子ポンプ　ULVAC製> 16

<ターボ分子ポンプ　ULVAC製以外> 16

<真空バルブ　ULVAC製> 18

<真空バルブ　ULVAC製以外> 19

<スパッタ装置部品　ULVAC　CERAUS> 28

<スパッタ装置部品　AMAT　Endura，CenturaPVD> 29

<プラズマCVD装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Centura> 30

<プラズマCVD装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　P-5000> 30

<スパッタ装置　ULVAC製>

<スパッタ装置　ULVAC製以外>

<エッチング装置　ULVAC製>

<エッチング装置　ULVAC製以外>

<イオンミリング装置　Grid(Veeco製) >