Mass Flow Controller
あらゆる部分にお客様からのご提案を取り入れさせていただいております。
Thermal Series
FCS Flow Control System
AFZN A.Z CZC A-AF
CAT: No.751-01-P
TOTAL
SOLUTION COMPANY
マスフローコントローラは質量流量（ Mass Flow ）制御機器です。
従来より、流体の流量計測・制御では｢体積流量計｣が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・
制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計（ Mass Flow ）」が用いられています。
では、お客様のニーズに合わせた「質量流量計（ Mass Flow ）」を、各種 FCS
®-Thermal シリーズの中からご提案をさせていただいて おります。
マ ス フ ロ ー コ ン ト ロ ー ラ と は
熱式流量センサの温度一定
T A = T B
ガスが流れていない場合 の FCS
®シリーズは、あらゆる産業でご利用いただける「ガスの流量制御機器」です。
FCS
®シリーズでは、 FCS
®-Pressure （圧力制御方式）シリーズと、 FCS
®-Thermal （熱式流量センサ制御方式）シリーズの制御方法の異なる
2 種類の製品ラインアップを取り揃えております。
本カタログでは、一般にマスフローコントローラ（ MFC ）と呼ばれています FCS
®-Thermal シリーズについてご紹介します。
FCS ® （ Flow Control System ）シ リ ー ズ
動 作 原 理
マスフローコントローラは、外部からの設定入力信号と、熱式流量セン サから得られた流量出力信号を比較制御回路に取り込み、常にそれら が一致（設定＝出力）するよう流量制御バルブを駆動させます。
フジキンの FCS
®-Thermal シリーズは、アナログ制御（ 0-5VDC 、 4-20mA ）製品に加えて、各種デジタル制御（ RS485 、 DeviceNet
TM、 EtherCAT
®、 PROFIBUS ）等製品もラインアップしております。
熱 式 流 量 セ ン サ （ サ ー マ ル セ ン サ ）
流体を流した時、熱式流量センサの上流側（ A ）と下流側（ B ）の発熱抵
抗体で温度差（抵抗値の変化）が発生します。導入されるガス種に よって、発熱抵抗体の冷却される割合が異なり、その割合が質量流量 に関係する事を利用した原理を用いて質量流量を計測します。
熱式流量センサの温度が変化
T A ＜ T B
ガスが流れている場合
アメリカサービスセンター
万博記念
つくば先端事業所 韓国サービスセンター
流量制御バルブ 入出力コネクタ
（D-Sub9ピン）
RS485通信ポート
（アナログモデルを除く）
ブリッジ回路 流量出力 駆動電源 流量設定
比較制御回路 増幅回路
熱式流量センサ
メタルシール／ラバーシール
（ガス種により選択）
バイパス
流 量 精 度
一般的なマスフロー製品の流量精度は± 1 ％ F.S. （最大流量に対して± 1 ％以内）となっております。
ではさらなる高精度化のご要求に対して、± 1 ％ S.P. （設定値に対して± 1 ％以内）を保証する高精度製品もラインアップしております。
A B
ブリッジ回路
A B
ブリッジ回路 台湾サービスセンター
上海チャイナサービスセンター
± 1 ％ S.P. 以内
＋
1 0
－
1
設定値（％）
＋＋0.250.5
＋0.75
－－0.750.5
－0.25
精度（％
F.S.
）75 100
25 50
0
± 1 ％ F.S. 以内
＋
1 0
－
1
設定値（％） 精度（％
F.S.
）75 100
25
0 50
Global Support and Services
FCS ® サプライヤーから
ガス供給系の
トータルソリューションカンパニーへ！
の FCS ® （ Flow Control System） シリーズは ながれ（流体）制御技術 を 常にリードします
1 2
TOTAL
SOLUTION COMPANY
マスフローコントローラは質量流量（ Mass Flow ）制御機器です。
従来より、流体の流量計測・制御では｢体積流量計｣が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・
制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計（ Mass Flow ）」が用いられています。
では、お客様のニーズに合わせた「質量流量計（ Mass Flow ）」を、各種 FCS
®-Thermal シリーズの中からご提案をさせていただいて おります。
マ ス フ ロ ー コ ン ト ロ ー ラ と は
熱式流量センサの温度一定
T A = T B
ガスが流れていない場合 の FCS
®シリーズは、あらゆる産業でご利用いただける「ガスの流量制御機器」です。
FCS
®シリーズでは、 FCS
®-Pressure （圧力制御方式）シリーズと、 FCS
®-Thermal （熱式流量センサ制御方式）シリーズの制御方法の異なる
2 種類の製品ラインアップを取り揃えております。
本カタログでは、一般にマスフローコントローラ（ MFC ）と呼ばれています FCS
®-Thermal シリーズについてご紹介します。
FCS ® （ Flow Control System ）シ リ ー ズ
動 作 原 理
マスフローコントローラは、外部からの設定入力信号と、熱式流量セン サから得られた流量出力信号を比較制御回路に取り込み、常にそれら が一致（設定＝出力）するよう流量制御バルブを駆動させます。
フジキンの FCS
®-Thermal シリーズは、アナログ制御（ 0-5VDC 、 4-20mA ）製品に加えて、各種デジタル制御（ RS485 、 DeviceNet
TM、 EtherCAT
®、 PROFIBUS ）等製品もラインアップしております。
熱 式 流 量 セ ン サ （ サ ー マ ル セ ン サ ）
流体を流した時、熱式流量センサの上流側（ A ）と下流側（ B ）の発熱抵
抗体で温度差（抵抗値の変化）が発生します。導入されるガス種に よって、発熱抵抗体の冷却される割合が異なり、その割合が質量流量 に関係する事を利用した原理を用いて質量流量を計測します。
熱式流量センサの温度が変化
T A ＜ T B
ガスが流れている場合
アメリカサービスセンター
万博記念
つくば先端事業所 韓国サービスセンター
流量制御バルブ 入出力コネクタ
（D-Sub9ピン）
RS485通信ポート
（アナログモデルを除く）
ブリッジ回路 流量出力 駆動電源 流量設定
比較制御回路 増幅回路
熱式流量センサ
メタルシール／ラバーシール
（ガス種により選択）
バイパス
流 量 精 度
一般的なマスフロー製品の流量精度は± 1 ％ F.S. （最大流量に対して± 1 ％以内）となっております。
ではさらなる高精度化のご要求に対して、± 1 ％ S.P. （設定値に対して± 1 ％以内）を保証する高精度製品もラインアップしております。
A B
ブリッジ回路
A B
ブリッジ回路 台湾サービスセンター
上海チャイナサービスセンター
± 1 ％ S.P. 以内
＋
1 0
－
1
設定値（％）
＋＋0.250.5
＋0.75
－－0.750.5
－0.25
精度（％
F.S.
）75 100
25 50
0
± 1 ％ F.S. 以内
＋
1 0
－
1
設定値（％）
精度（％
F.S.
）75 100
25
0 50
Global Support and Services
FCS ® サプライヤーから
ガス供給系の
トータルソリューションカンパニーへ！
の FCS ® （ Flow Control System） シリーズは ながれ（流体）制御技術 を 常にリードします
1 2
製品ラインアップ
・圧力センサ内蔵
・急激な圧力変動による 影響を極限まで軽減
（Pressure Insensitive）
・MGMR機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・流量精度：±1％ S.P.
≦1sec
表面処理
PI
EP
P.5 ～ 6 P.7 ～ 8 P.9 ～ 10 P.11 P.12 P.13 P.14 P.15 ～ 16 P.14 P.17 P.18 P.19
PI機能搭載モデル
通 信 方 式 接 続 継 手
＋ 24V 駆動（ 4–20mA ）
PROFIBUS CC–Link
±15V駆動0-5VDC
RS485 DeviceNetTM
EtherCAT®
ユニオンガスケット式（ UJR Type ）
2 圧縮リング方式（ F900 Type ）
1.5 Wseal® 1.125 Wseal®
1.125 Cseal
1.5 Wseal® 1.125 Wseal®
1.125 Cseal
1.5 Wseal® 1.125 Wseal®
1.125 Cseal
1.5 Wseal® 1.125 Wseal®
1.125 Cseal
1.5 Wseal® 1.125 Wseal®
1.125 Cseal
1.5 Wseal® 1.125 Wseal®
1.125 Cseal 1.5 Wseal®
1.125 Wseal®
1.5 Wseal®
1.125 Wseal®
集積タイプ（ IGS
®Type ）
FCS ® - Thermal シリーズ
※1： MR仕様：ご指定のフルスケール流量の1/3までの流量変更が可能。MG仕様：4種類までのガステーブル（ガス種：流量）の登録が可能。
※2：アナログインターフェース： D-sub9ピン。ただし、TM39は、HRS製 HR10A-7R-6P UPC,UPCUSは、ハーフピッチ20P。
※3：デジタルインターフェース： RS485通信の場合、FCS-T1000シリーズはRJ11コネクタ。ただし、FCS-T2000シリーズはRJ45コネクタ。
注1：外部リーク：メタルシール：1×10－11Pa・m3/Sec He、ラバーシール：1×10-7Pa・m3/Sec He 注2：その他条件でご使用の場合、別途お問い合わせください。
注3： DeviceNetTMは、Open DeviceNet Vendor Association,Inc.の登録商品です。
注4： PROFIBUSは、プロフィバス協会の登録商標です。
注5： EtherCAT®は、ドイツBeckhoff Automation GmbHによりライセンスされた特許取得済み技術であり登録商品です。
EtherCAT
®DeviceNet
TMRS485
＋ 24V 駆動（ 0–5VDC ）
± 15V 駆動（ 0–5VDC ）
1/4 UJR
－
MGMR 機能 応答性 流量精度 シール部材質
シリーズ名 特長
マスフローメータ
RoHS 対応
ページ
流量制御機器 流量制御機器
シリーズ
PI 機能
デ ジ タ ル ア ナ ロ グ
※ 2
※ 3
10SCCM - 50SLM FCS-T1000MP
±1％ S.P. （25-100％）
±0.25％ F.S. （2-25％）
・耐食ハステロイセンサ搭載
≦4sec
EP ガス分配比率
制御モデル
±15V駆動0-5VDC
RS485 DeviceNetTM
－ 1/4 UJR
－ 10SCCM - 50SLM
FRC-T1000MF
－
・内部に搭載された 圧力センサによる、 上流側又は下流側の 圧力制御
・高温仕様
・マスフローメータ付 （オプション）
－ 自動圧力制御
コントローラ
±15V駆動0-5VDC
DeviceNetTM
1/4 UJR
－
－ UPC®
UPCUS®
－
・外部圧力センサからの 信号による、 上流側又は下流側の 圧力制御
・流量出力
－
EP 自動圧力制御
コントローラ
±15V駆動0-10VDC
RS485
1/4 UJR 1/4 F900 10SCCM - 50SLM
PCS-T1000F
±1％ F.S.
・流量精度：±1％ S.P.
・低温度熱式流量センサ
・微小流量対応
・SDS対応
・エコノミーモデル
≦1sec（代表値）
EP 高精度・ピエゾアクチュエータ
搭載モデル
±15V駆動0-5VDC
RS485 DeviceNetTM
1/4 UJR（T2000） 3/8 UJR（T2150）
－ 5SCCM - 150SLM
FCS-T2000
±1％ S.P.（25-100％）
±0.25％ F.S.（2-25％）
・流量精度：±1％ F.S.
・全流量域：応答性1sec以内
・24V駆動モデル、
・下記通信方式にも対応 PROFIBUS CC-Link
・特殊仕様対応
≦1sec
EP デジタルスタンダード
モデル
±15V駆動0-5VDC
PROFIBUS RS485 DeviceNetTM
EtherCAT®
1/4 UJR 1/4 F900 10SCCM - 50SLM
FCS-T1000F
±1％ F.S.
・MGMR（ガス種、
フルスケール流量の 変更可能）機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・流量精度：±1％ S.P.
≦1sec
EP MGMRモデル
±15V駆動0-5VDC
RS485 DeviceNetTM
EtherCAT®
1/4 UJR 1/4 F900
メタルのみ
オプション メタルのみ
オプション メタルのみ
10SCCM - 50SLM FCS-T1000Z
±1％ S.P. （25-100％）
±0.25％ F.S. （2-25％）
流量レンジ（ N
2換算）
ラバー
＋24V駆動4-20mA ＋24V駆動4-20mA
＋24V駆動0-5VDC ＋24V駆動0-5VDC
マスフローメータ マスフローメータ
・最大流量500SLM
・流量精度：±1％ F.S.
・応答速度：3sec以内
≦3sec
EP 大流量モデル
±15V駆動0-5VDC
RS485 DeviceNetTM
－ 3/8 UJR（T1200） 1/2 UJR（T1500） 3/8 F900（T1200） 1/2 F900（T1500） 51 - 500SLM FCS-T1200F FCS-T1500F
±1％ F.S.（T1200）
±2％ F.S.（T1500）
メタルのみ オプション
＋24V駆動4-20mA
＋24V駆動0-5VDC
マスフローメータ ラバーのみ ラバーのみ
・50～80℃
（80℃を超える温度で ご使用の場合は、
お問い合わせ下さい）
≦1sec（10SCCM - 50SLM）
≦3sec（51 - 150SLM）
EP 高温用モデル
±15V駆動0-5VDC
RS485
1/4 UJR（T1000M） 3/8 UJR（T1200MF） 1/4 F900（T1000M） 3/8 F900（T1200MF） 10SCCM - 150SLM FCS-T1000M（Z）F-HT
FCS-T1200MF-HT
±1％ S.P. （25-100％）
（T1000MZF）
±0.25％ F.S. （2-25％）
（T1000MZF）
±1％ F.S. （2-100％）
（T1000MF、T1200MF）
＋24V駆動4-20mA
＋24V駆動0-5VDC
マスフローメータ T1000のみ T1000のみ
・0-5V制御専用 エコノミーモデル
・流量精度：±1％ F.S.
・応答性：1sec以内
≦1sec（10SCCM - 30SLM）
≦2sec（31 - 50SLM）
EP 高速応答・アナログエコノミー
モデル
±15V駆動0-5VDC
1/4 UJR 1/4 F900 10SCCM - 50SLM
FCS-T1000L
±1％ F.S. （10SCCM-30SLM）
±2％ F.S. （31SLM-50SLM）
メタルのみ
オプション メタルのみ
オプション
マスフローメータ
・0-5V制御専用 エコノミーモデル
・ガス種限定
・制御電源一体型モデルも 対応
≦6sec（代表値） アナログエコノミー
モデル
±15V駆動0-5VDC
－ 1/4 UJR 1/4 F900 10SCCM - 5SLM
FCS-G200
±2％ F.S.
T1000のみ
・外部出力可能
・ニードルバルブ一体型 （オプション）
・流量積算 上下限警報出力
－ 表示器一体型 マスフローメータ
1/4 UJR 3/8 UJR 1/4 F900 3/8 F900 10SCCM - 100SLM
FCS-TM39
±2％ F.S. （10SCCM-20SLM）
±3％ F.S. （21-100SLM） ラバー
＋24V駆動1-5VDC
＋24V駆動4-20mA
＋24V駆動4-20mA
－
マスフローメータ マスフローメータ
流量計測機器 圧力制御機器 分配比率
制御機器
メタル メタル ラバー メタル ラバー メタル メタル ラバー ラバー メタル メタル ラバー
メタル メタル メタル
MR MG ※1
RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS
オプション オプション オプション
MGMR MGMR
＋24V駆動0-10VDC
CC-Link
DeviceNetTM T1000MF のみ
EtherCAT®
EtherCAT®
＋24V駆動0-5VDC
3 4
製品ラインアップ
・圧力センサ内蔵
・急激な圧力変動による 影響を極限まで軽減
（Pressure Insensitive）
・MGMR機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・流量精度：±1％ S.P.
≦1sec
表面処理
PI
EP
P.5 ～ 6 P.7 ～ 8 P.9 ～ 10 P.11 P.12 P.13 P.14 P.15 ～ 16 P.14 P.17 P.18 P.19
PI機能搭載モデル
通 信 方 式 接 続 継 手
＋ 24V 駆動（ 4–20mA ）
PROFIBUS CC–Link
±15V駆動0-5VDC
RS485 DeviceNetTM
EtherCAT®
ユニオンガスケット式（ UJR Type ）
2 圧縮リング方式（ F900 Type ）
1.5 Wseal® 1.125 Wseal®
1.125 Cseal
1.5 Wseal® 1.125 Wseal®
1.125 Cseal
1.5 Wseal® 1.125 Wseal®
1.125 Cseal
1.5 Wseal® 1.125 Wseal®
1.125 Cseal
1.5 Wseal® 1.125 Wseal®
1.125 Cseal
1.5 Wseal® 1.125 Wseal®
1.125 Cseal 1.5 Wseal®
1.125 Wseal®
1.5 Wseal®
1.125 Wseal®
集積タイプ（ IGS
®Type ）
FCS ® - Thermal シリーズ
※1： MR仕様：ご指定のフルスケール流量の1/3までの流量変更が可能。MG仕様：4種類までのガステーブル（ガス種：流量）の登録が可能。
※2：アナログインターフェース： D-sub9ピン。ただし、TM39は、HRS製 HR10A-7R-6P UPC,UPCUSは、ハーフピッチ20P。
※3：デジタルインターフェース： RS485通信の場合、FCS-T1000シリーズはRJ11コネクタ。ただし、FCS-T2000シリーズはRJ45コネクタ。
注1：外部リーク：メタルシール：1×10－11Pa・m3/Sec He、ラバーシール：1×10-7Pa・m3/Sec He 注2：その他条件でご使用の場合、別途お問い合わせください。
注3： DeviceNetTMは、Open DeviceNet Vendor Association,Inc.の登録商品です。
注4： PROFIBUSは、プロフィバス協会の登録商標です。
注5： EtherCAT®は、ドイツBeckhoff Automation GmbHによりライセンスされた特許取得済み技術であり登録商品です。
EtherCAT
®DeviceNet
TMRS485
＋ 24V 駆動（ 0–5VDC ）
± 15V 駆動（ 0–5VDC ）
1/4 UJR
－
MGMR 機能 応答性 流量精度 シール部材質
シリーズ名 特長
マスフローメータ
RoHS 対応
ページ
流量制御機器 流量制御機器
シリーズ
PI 機能
デ ジ タ ル ア ナ ロ グ
※ 2
※ 3
10SCCM - 50SLM FCS-T1000MP
±1％ S.P. （25-100％）
±0.25％ F.S. （2-25％）
・耐食ハステロイセンサ搭載
≦4sec
EP ガス分配比率
制御モデル
±15V駆動0-5VDC
RS485 DeviceNetTM
－ 1/4 UJR
－ 10SCCM - 50SLM
FRC-T1000MF
－
・内部に搭載された 圧力センサによる、
上流側又は下流側の 圧力制御
・高温仕様
・マスフローメータ付 （オプション）
－ 自動圧力制御
コントローラ
±15V駆動0-5VDC
DeviceNetTM
1/4 UJR
－
－ UPC®
UPCUS®
－
・外部圧力センサからの 信号による、
上流側又は下流側の 圧力制御
・流量出力
－
EP 自動圧力制御
コントローラ
±15V駆動0-10VDC
RS485
1/4 UJR 1/4 F900 10SCCM - 50SLM
PCS-T1000F
±1％ F.S.
・流量精度：±1％ S.P.
・低温度熱式流量センサ
・微小流量対応
・SDS対応
・エコノミーモデル
≦1sec（代表値）
EP 高精度・ピエゾアクチュエータ
搭載モデル
±15V駆動0-5VDC
RS485 DeviceNetTM
1/4 UJR（T2000） 3/8 UJR（T2150）
－ 5SCCM - 150SLM
FCS-T2000
±1％ S.P.（25-100％）
±0.25％ F.S.（2-25％）
・流量精度：±1％ F.S.
・全流量域：応答性1sec以内
・24V駆動モデル、
・下記通信方式にも対応 PROFIBUS CC-Link
・特殊仕様対応
≦1sec
EP デジタルスタンダード
モデル
±15V駆動0-5VDC
PROFIBUS RS485 DeviceNetTM
EtherCAT®
1/4 UJR 1/4 F900 10SCCM - 50SLM
FCS-T1000F
±1％ F.S.
・MGMR（ガス種、
フルスケール流量の 変更可能）機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・流量精度：±1％ S.P.
≦1sec
EP MGMRモデル
±15V駆動0-5VDC
RS485 DeviceNetTM
EtherCAT®
1/4 UJR 1/4 F900
メタルのみ
オプション メタルのみ
オプション メタルのみ
10SCCM - 50SLM FCS-T1000Z
±1％ S.P. （25-100％）
±0.25％ F.S. （2-25％）
流量レンジ（ N
2換算）
ラバー
＋24V駆動4-20mA ＋24V駆動4-20mA
＋24V駆動0-5VDC ＋24V駆動0-5VDC
マスフローメータ マスフローメータ
・最大流量500SLM
・流量精度：±1％ F.S.
・応答速度：3sec以内
≦3sec
EP 大流量モデル
±15V駆動0-5VDC
RS485 DeviceNetTM
－ 3/8 UJR（T1200） 1/2 UJR（T1500） 3/8 F900（T1200） 1/2 F900（T1500） 51 - 500SLM FCS-T1200F FCS-T1500F
±1％ F.S.（T1200）
±2％ F.S.（T1500）
メタルのみ オプション
＋24V駆動4-20mA
＋24V駆動0-5VDC
マスフローメータ ラバーのみ ラバーのみ
・50～80℃
（80℃を超える温度で ご使用の場合は、
お問い合わせ下さい）
≦1sec（10SCCM - 50SLM）
≦3sec（51 - 150SLM）
EP 高温用モデル
±15V駆動0-5VDC
RS485
1/4 UJR（T1000M） 3/8 UJR（T1200MF） 1/4 F900（T1000M） 3/8 F900（T1200MF） 10SCCM - 150SLM FCS-T1000M（Z）F-HT
FCS-T1200MF-HT
±1％ S.P. （25-100％）
（T1000MZF）
±0.25％ F.S. （2-25％）
（T1000MZF）
±1％ F.S. （2-100％）
（T1000MF、T1200MF）
＋24V駆動4-20mA
＋24V駆動0-5VDC
マスフローメータ T1000のみ T1000のみ
・0-5V制御専用 エコノミーモデル
・流量精度：±1％ F.S.
・応答性：1sec以内
≦1sec（10SCCM - 30SLM）
≦2sec（31 - 50SLM）
EP 高速応答・アナログエコノミー
モデル
±15V駆動0-5VDC
1/4 UJR 1/4 F900 10SCCM - 50SLM
FCS-T1000L
±1％ F.S. （10SCCM-30SLM）
±2％ F.S. （31SLM-50SLM）
メタルのみ
オプション メタルのみ
オプション
マスフローメータ
・0-5V制御専用 エコノミーモデル
・ガス種限定
・制御電源一体型モデルも 対応
≦6sec（代表値）
アナログエコノミー モデル
±15V駆動0-5VDC
－ 1/4 UJR 1/4 F900 10SCCM - 5SLM
FCS-G200
±2％ F.S.
T1000のみ
・外部出力可能
・ニードルバルブ一体型 （オプション）
・流量積算 上下限警報出力
－ 表示器一体型 マスフローメータ
1/4 UJR 3/8 UJR 1/4 F900 3/8 F900 10SCCM - 100SLM
FCS-TM39
±2％ F.S. （10SCCM-20SLM）
±3％ F.S. （21-100SLM） ラバー
＋24V駆動1-5VDC
＋24V駆動4-20mA
＋24V駆動4-20mA
－
マスフローメータ マスフローメータ
流量計測機器 圧力制御機器 分配比率
制御機器
メタル メタル ラバー メタル ラバー メタル メタル ラバー ラバー メタル メタル ラバー
メタル メタル メタル
MR MG ※1
RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS
オプション オプション オプション
MGMR MGMR
＋24V駆動0-10VDC
CC-Link
DeviceNetTM T1000MF のみ
EtherCAT®
EtherCAT®
＋24V駆動0-5VDC
3 4
● PI （ Pressure Insensitive ）機能搭載
型式
FCST 1005 MPF
（C
）FCST 1030 MPF
（C
）FCST 1050 MPF
（C
）流量レンジ
（
N
2換算流量）Bin 1
：10 - 30 SCCM Bin 2
：31 - 100 SCCM Bin 3
：101 - 300 SCCM Bin 4
：301 - 1 , 000 SCCM Bin 5
：1 , 001 - 3 , 000 SCCM
Bin 6
：3 , 001 - 10 , 000 SCCM Bin 7
：10 , 001 - 30 , 000 SCCM
メタルシール
Bin 8
：30 , 001 - 50 , 000 SCCM
50 - 300 kPa
（
Ar
：100 - 300 kPa
）N/O 100 - 300 kPa
（Bin 6
）150 - 300 kPa
（Bin 7
）N/C 100 - 300 kPa
（Bin 6
、7
） （Ar
：200 - 350 kPa
）200 - 300 kPa
（
Ar
：250 - 450 kPa
）本体に圧力センサを内蔵し、独自の制御アルゴリズムにより Actual Flow に対する急激な 1 次圧変動の影響を除去
● MGMR （マルチガス・マルチレンジ）機能
ガス種とフルスケール流量をお客様にて任意に変更可能
10 SCCM から 50 SLM まで、 8 種類の流量レンジ品で対応
● 耐食ハステロイセンサ搭載
ハロゲン系腐食性ガスに対する耐食性向上
● 高流量精度
■ 仕様
■ 主な機能・仕様
■ 特長
シール
400 kPaG
（Ar
：500 kPaG
） 最大動作圧力5 - 50
℃ 使用保証温度範囲アナログ：
0 - 5 VDC
（供給電源電圧：±15 VDC
） デジタル：RS 485
、DeviceNet
TM、EtherCAT
® 通信方式N/O
：ノーマルオープン、N/C
：ノーマルクローズ バルブタイプ2 - 100
％F.S.
流量制御範囲
±
1
％S.P.
（25 - 100
％）、±0 . 25
％F.S.
（2 - 25
％）（精度保証範囲：15 - 35
℃）流量精度
±
0 . 2
％F.S.
再現性
≦
1 sec
応答時間 ※必要差圧
※：応答性で示す時間は、最小制御流量値から目標流量値の±2％ F.S.に到達する時間です。
注1： では流量（SCCM、SLM）は0℃、101.3kPa abs.(1atm)に換算して校正しています。
PI MGMR
F.S.
S.P.
EP
（オプション）
±15V駆動 0-5VDC RS485 DeviceNetTM EtherCAT®
PROFIBUS
＋24V駆動 0-5VDC
＋24V駆動 4-20mA
メータ メタル
ラバー
■ 代表品番
①FCS®－Thermal ●FCST：マスフローコントローラ
②流量レンジ ●1005：10-3,000SCCM ●1030：3,001-30,000SCCM ●1050：30,001-50,000SCCM
③シール・機能 ●MP：メタルシール・PIタイプ
④制御方式 ●F：アナログ/デジタル ●D： DeviceNetTM ●E： EtherCAT®
⑤バルブモード ●なし：ノーマルオープン ●C：ノーマルクローズ
⑥接続方法（面間） ●4J2：1/4 UJR（124mm） ●4WS2：1.5 Wseal®（92mm）
●4CW2：1.125 Wseal®（92mm）●4CL2：1.125 Cseal（92mm）
FCST 1005 MP F C － 4 J 2 － F 10 － N 2 － R 1 － U *** － EP
① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫
⑦フルスケール ●F10：10SCCM ●F10L：10SLM
⑧ガス種 例： N2
⑨MGMR ●なし：シングルガス・シングルレンジ
●R1～R8：マルチガス・マルチレンジ
⑩D-sub9ピンコネクタねじ ●なし： M3 ●U：インチ
⑪お客様ご指定事項 例：00625℃1atm ●流量単位： CCM, LM
⑫表面処理 ●なし：機械加工仕上げ ●EP： EP処理 アナログ制御 デジタル制御
ダウンサイジング & コストダウン
ガスシステムから圧 力 系 機 器を省くことで、ガスシステムの 小型化とコストダウンを同時に達成可能。
デ ィ ス プ レ イ 搭 載
温 度
（°C、°F、 K）
圧 力
（kPaA、 psiA）
流 量
（設定出力（％）、流量出力（％））
2方弁
2方弁 3方弁 MFC 2方弁 3方弁 PI － MFC 2方弁
フィルター フィルター
圧力センサレギュレータ手動弁 手動弁
XXX
注： の仕様は対応しておりません
最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c75101よりダウンロードできます。
P I
（ P r e s s u r e I n s e n s i t i v e ）機 能 搭 載
PI 機能を搭載した MFC （ FCST1005MPFC ）と PI 機能を搭載していない MFC を並列に接続して、クロストークを再現。
PI 機能を搭載した MFC は、急激な 1 次圧変動の影響を除去することで安定した流量制御を実現。
RG
P1 / FlowOut / D.P
PG：レギュレータ P1：圧力センサ DP：差圧流量計 Vent to Atm. N2
P
1
PI－MFC 300SCCM50MFCSLM
D.P
Actual Flow Flow Out
P1 (200 150kPaG) 100% Control Cross talk
MFC(0 60%)
FCS-T1000MP シリーズ
PI機能搭載モデル
± 1 ％ S.P. （ 25 - 100 ％）
時間［sec］
流量﹇
%﹈ kPaG一次側圧力﹇﹈
PI-MFC Actual Flow PI-MFC Flow Out
5 6
流 量 制 御 機 器 流 量 計 測 機 器 圧 力 制 御 機 器 分 配 比 率 制 御 機 器 外 観 寸 法
アクセサリ・その他関連機器流 量 制 御 機 器 流 量 計 測 機 器 圧 力 制 御 機 器 分 配 比 率 制 御 機 器 外 観 寸 法
アクセサリ・その他関連機器● PI （ Pressure Insensitive ）機能搭載
型式
FCST 1005 MPF
（C
）FCST 1030 MPF
（C
）FCST 1050 MPF
（C
）流量レンジ
（
N
2換算流量）Bin 1
：10 - 30 SCCM Bin 2
：31 - 100 SCCM Bin 3
：101 - 300 SCCM Bin 4
：301 - 1 , 000 SCCM Bin 5
：1 , 001 - 3 , 000 SCCM
Bin 6
：3 , 001 - 10 , 000 SCCM Bin 7
：10 , 001 - 30 , 000 SCCM
メタルシール
Bin 8
：30 , 001 - 50 , 000 SCCM
50 - 300 kPa
（
Ar
：100 - 300 kPa
）N/O 100 - 300 kPa
（Bin 6
）150 - 300 kPa
（Bin 7
）N/C 100 - 300 kPa
（Bin 6
、7
） （Ar
：200 - 350 kPa
）200 - 300 kPa
（
Ar
：250 - 450 kPa
）本体に圧力センサを内蔵し、独自の制御アルゴリズムにより Actual Flow に対する急激な 1 次圧変動の影響を除去
● MGMR （マルチガス・マルチレンジ）機能
ガス種とフルスケール流量をお客様にて任意に変更可能
10 SCCM から 50 SLM まで、 8 種類の流量レンジ品で対応
● 耐食ハステロイセンサ搭載
ハロゲン系腐食性ガスに対する耐食性向上
● 高流量精度
■ 仕様
■ 主な機能・仕様
■ 特長
シール
400 kPaG
（Ar
：500 kPaG
） 最大動作圧力5 - 50
℃ 使用保証温度範囲アナログ：
0 - 5 VDC
（供給電源電圧：±15 VDC
） デジタル：RS 485
、DeviceNet
TM、EtherCAT
® 通信方式N/O
：ノーマルオープン、N/C
：ノーマルクローズ バルブタイプ2 - 100
％F.S.
流量制御範囲
±
1
％S.P.
（25 - 100
％）、±0 . 25
％F.S.
（2 - 25
％）（精度保証範囲：15 - 35
℃）流量精度
±
0 . 2
％F.S.
再現性
≦
1 sec
応答時間 ※必要差圧
※：応答性で示す時間は、最小制御流量値から目標流量値の±2％ F.S.に到達する時間です。
注1： では流量（SCCM、SLM）は0℃、101.3kPa abs.(1atm)に換算して校正しています。
PI MGMR
F.S.
S.P.
EP
（オプション）
±15V駆動 0-5VDC RS485 DeviceNetTM EtherCAT®
PROFIBUS
＋24V駆動 0-5VDC
＋24V駆動 4-20mA
メータ メタル
ラバー
■ 代表品番
①FCS®－Thermal ●FCST：マスフローコントローラ
②流量レンジ ●1005：10-3,000SCCM ●1030：3,001-30,000SCCM ●1050：30,001-50,000SCCM
③シール・機能 ●MP：メタルシール・PIタイプ
④制御方式 ●F：アナログ/デジタル ●D： DeviceNetTM ●E： EtherCAT®
⑤バルブモード ●なし：ノーマルオープン ●C：ノーマルクローズ
⑥接続方法（面間） ●4J2：1/4 UJR（124mm） ●4WS2：1.5 Wseal®（92mm）
●4CW2：1.125 Wseal®（92mm）●4CL2：1.125 Cseal（92mm）
FCST 1005 MP F C － 4 J 2 － F 10 － N 2 － R 1 － U *** － EP
① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫
⑦フルスケール ●F10：10SCCM ●F10L：10SLM
⑧ガス種 例： N2
⑨MGMR ●なし：シングルガス・シングルレンジ
●R1～R8：マルチガス・マルチレンジ
⑩D-sub9ピンコネクタねじ ●なし： M3 ●U：インチ
⑪お客様ご指定事項 例：00625℃1atm ●流量単位： CCM, LM
⑫表面処理 ●なし：機械加工仕上げ ●EP： EP処理 アナログ制御 デジタル制御
ダウンサイジング & コストダウン
ガスシステムから圧 力 系 機 器を省くことで、ガスシステムの 小型化とコストダウンを同時に達成可能。
デ ィ ス プ レ イ 搭 載
温 度
（°C、°F、 K）
圧 力
（kPaA、 psiA）
流 量
（設定出力（％）、流量出力（％））
2方弁
2方弁 3方弁 MFC 2方弁 3方弁 PI － MFC 2方弁
フィルター フィルター
圧力センサレギュレータ手動弁 手動弁
XXX
注： の仕様は対応しておりません
最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c75101よりダウンロードできます。
P I
（ P r e s s u r e I n s e n s i t i v e ）機 能 搭 載
PI 機能を搭載した MFC （ FCST1005MPFC ）と PI 機能を搭載していない MFC を並列に接続して、クロストークを再現。
PI 機能を搭載した MFC は、急激な 1 次圧変動の影響を除去することで安定した流量制御を実現。
RG
P1 / FlowOut / D.P
PG：レギュレータ P1：圧力センサ DP：差圧流量計 Vent to Atm.
N2
P
1
PI－MFC 300SCCM50MFCSLM
D.P
Actual Flow Flow Out
P1 (200 150kPaG) 100% Control Cross talk
MFC(0 60%)
FCS-T1000MP シリーズ
PI機能搭載モデル
± 1 ％ S.P. （ 25 - 100 ％）
時間［sec］
流量﹇
%﹈ kPaG一次側圧力﹇﹈
PI-MFC Actual Flow PI-MFC Flow Out
5 6
流 量 制 御 機 器 流 量 計 測 機 器 圧 力 制 御 機 器 分 配 比 率 制 御 機 器 外 観 寸 法
アクセサリ・その他関連機器流 量 制 御 機 器 流 量 計 測 機 器 圧 力 制 御 機 器 分 配 比 率 制 御 機 器 外 観 寸 法
アクセサリ・その他関連機器型式
FCST 1005
（M
）ZF
（C
）FCST 1030
（M
）ZF
（C
）FCST 1050
（M
）ZF
（C
）流量レンジ
（
N
2換算流量）Bin 1
：10 - 30 SCCM Bin 2
：31 - 100 SCCM Bin 3
：101 - 300 SCCM Bin 4
：301 - 1 , 000 SCCM Bin 5
：1 , 001 - 3 , 000 SCCM
Bin 6
：3 , 001 - 10 , 000 SCCM Bin 7
：10 , 001 - 30 , 000 SCCM
メタルシール、ラバーシール
Bin 8
：30 , 001 - 50 , 000 SCCM
50 - 300 kPa
（
Ar
：100 - 300 kPa
）N/O 100 - 300 kPa
（Bin 6
）150 - 300 kPa
（Bin 7
）N/C 100 - 300 kPa
（Bin 6
、7
）（
Ar
：200 - 350 kPa
）200 - 300 kPa
（
Ar
：250 - 450 kPa
）● MGMR （マルチガス・マルチレンジ）機能
ガス種とフルスケール流量をお客様にて任意に変更可能
10 SCCM から 50 SLM まで、 8 種類の流量レンジ品で対応
● 耐食ハステロイセンサ搭載
ハロゲン系腐食性ガスに対する耐食性向上
● 高流量精度
± 1 ％ S.P. （ 25 - 100 ％）
■ 仕様
FCS-T1000Z MGMRモデル シリーズ
シール
400 kPaG
（Ar
：500 kPaG
） 最大動作圧力5 - 50
℃ 使用保証温度範囲アナログ：
0 - 5 VDC
（供給電源電圧：±15 VDC
）、0 - 5 VDC
（供給電源電圧：＋24 VDC
）、4 - 20 mA
（供給電源電圧：＋24 VDC
） デジタル：RS 485
、DeviceNet
TM、EtherCAT
®（メタルシールのみ）通信方式
N/O
：ノーマルオープン、N/C
：ノーマルクローズ バルブタイプ2 - 100
％F.S.
流量制御範囲
±
1
％S.P.
（25 - 100
％）、±0 . 25
％F.S.
（2 - 25
％）（精度保証範囲：15 - 35
℃）流量精度
±
0 . 2
％F.S.
再現性
≦
1 sec
応答時間 ※必要差圧
Bin 番号表
■ 代表品番
①FCS®－Thermal ●FCST：マスフローコントローラ ●FCSTM：マスフローメータ
②流量レンジ ●1005：10-3,000SCCM ●1030：3,001-30,000SCCM ●1050：30,001-50,000SCCM
③シール材質 ●なし：ラバー ●M：メタル
④制御方式 ●ZF：アナログ/デジタル ●ZD： DeviceNetTM（横出し）
●ZDT： DeviceNetTM（上出し） ●ZE： EtherCAT®
⑤バルブモード ●なし：ノーマルオープン ●C：ノーマルクローズ
⑥接続方法（面間） ●4J2：1/4 UJR（124mm） ●4J1：1/4 UJR（106mm）
●4F2：1/4 F900（127mm） ●4CW1：1.125 Wseal®（79.8mm）
●4CW2：1.125 Wseal®（92mm）●4WS1：1.5 Wseal®（79.8mm）
●4WS2：1.5 Wseal®（92mm） ●4CL2：1.125 Cseal（92mm）
FCST 1005 M ZF C – 4 J 2 – F 10 – N 2 – R 1 – CR – U *** – EP
① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫ ⑬
⑦フルスケール ●F10：10SCCM ●F10L：10SLM
⑧ガス種 例： N2
⑨MGMR ●なし：シングルガス・シングルレンジ
●R1～R8：マルチガス・マルチレンジ
⑩O-リング材質 ●なし： FKM ●CR：クロロプレンゴム
⑪D-sub9ピンコネクタねじ ●なし： M3 ●U：インチ
⑫お客様ご指定事項 例：00625℃1atm ●流量単位： CCM, LM
⑬表面処理 ●なし：機械加工仕上げ ●EP： EP処理
※：応答性で示す時間は、最小制御流量値から目標流量値の±2％ F.S.に到達する時間です。
注1：マスフローコントローラのみの仕様となります。マスフローメータの仕様については にお問い合わせください。
注2： では流量（SCCM、SLM）は0℃、101.3kPa abs.(1atm)に換算して校正しています。
M G M R （ マ ル チ ガ ス ・ マ ル チ レ ン ジ ） 機 能
ご指定された Bin 番号に対応する流量レンジ内で、ガス種とフルスケール流量を任意に変更可能。
8 種類の Bin 番号の中から、ご使用流量レンジに合うものを選択してください。
N2
400SCCM H2
800SCCM Cl2
500SCCM
SiH4
300SCCM CH4
500SCCM SF6
200SCCM
（例） Bin番号： R4
コストダウン
緊急対応と予備在庫の低減！ ガス種・フルスケール流量を変更
仕 様 変 更 ソ フ ト
仕様変更ソフト（ Configuration Software ）で、ガス種とフルスケール流量を任意に変更可能。
FCST1005（M）Z
10 - 30SCCM 31 - 100SCCM 101 - 300SCCM 301 - 1,000SCCM 1,001 - 3,000SCCM 3,001 - 10,000SCCM 10,001 - 30,000SCCM 30,001 - 50,000SCCM R1
R2 R3 R4 R5 R6 R7 R8 FCST1030（M）Z
FCST1050（M）Z
型式
Bin
番号 流量レンジ（N
2換算）■ 特長
■ 主な機能・仕様
MGMR PI F.S.
S.P.
EP
±15V駆動 0-5VDC RS485 DeviceNetTM EtherCAT®
PROFIBUS
＋24V駆動 0-5VDC
＋24V駆動 4-20mA
メータ メタル
ラバー
アナログ制御 デジタル制御
PC
RS485 変換器
RS485
FCS-T1000Zシリーズ FCS-T1000MPシリーズ
供給電源電圧
※：●は、メタルシールのみ対応 注： の仕様は対応しておりませんXXX
最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c75101よりダウンロードできます。
メタルのみ オプション
（ ）
Bin 番号： R 4 接続画面
All in One
7 8
流 量 制 御 機 器 流 量 計 測 機 器 圧 力 制 御 機 器 分 配 比 率 制 御 機 器 外 観 寸 法
アクセサリ・その他関連機器流 量 制 御 機 器 流 量 計 測 機 器 圧 力 制 御 機 器 分 配 比 率 制 御 機 器 外 観 寸 法
アクセサリ・その他関連機器型式
FCST 1005
（M
）ZF
（C
）FCST 1030
（M
）ZF
（C
）FCST 1050
（M
）ZF
（C
）流量レンジ
（
N
2換算流量）Bin 1
：10 - 30 SCCM Bin 2
：31 - 100 SCCM Bin 3
：101 - 300 SCCM Bin 4
：301 - 1 , 000 SCCM Bin 5
：1 , 001 - 3 , 000 SCCM
Bin 6
：3 , 001 - 10 , 000 SCCM Bin 7
：10 , 001 - 30 , 000 SCCM
メタルシール、ラバーシール
Bin 8
：30 , 001 - 50 , 000 SCCM
50 - 300 kPa
（
Ar
：100 - 300 kPa
）N/O 100 - 300 kPa
（Bin 6
）150 - 300 kPa
（Bin 7
）N/C 100 - 300 kPa
（Bin 6
、7
）（
Ar
：200 - 350 kPa
）200 - 300 kPa
（
Ar
：250 - 450 kPa
）● MGMR （マルチガス・マルチレンジ）機能
ガス種とフルスケール流量をお客様にて任意に変更可能
10 SCCM から 50 SLM まで、 8 種類の流量レンジ品で対応
● 耐食ハステロイセンサ搭載
ハロゲン系腐食性ガスに対する耐食性向上
● 高流量精度
± 1 ％ S.P. （ 25 - 100 ％）
■ 仕様
FCS-T1000Z MGMRモデル シリーズ
シール
400 kPaG
（Ar
：500 kPaG
） 最大動作圧力5 - 50
℃ 使用保証温度範囲アナログ：
0 - 5 VDC
（供給電源電圧：±15 VDC
）、0 - 5 VDC
（供給電源電圧：＋24 VDC
）、4 - 20 mA
（供給電源電圧：＋24 VDC
） デジタル：RS 485
、DeviceNet
TM、EtherCAT
®（メタルシールのみ）通信方式
N/O
：ノーマルオープン、N/C
：ノーマルクローズ バルブタイプ2 - 100
％F.S.
流量制御範囲
±
1
％S.P.
（25 - 100
％）、±0 . 25
％F.S.
（2 - 25
％）（精度保証範囲：15 - 35
℃）流量精度
±
0 . 2
％F.S.
再現性
≦
1 sec
応答時間 ※必要差圧
Bin 番号表
■ 代表品番
①FCS®－Thermal ●FCST：マスフローコントローラ ●FCSTM：マスフローメータ
②流量レンジ ●1005：10-3,000SCCM ●1030：3,001-30,000SCCM ●1050：30,001-50,000SCCM
③シール材質 ●なし：ラバー ●M：メタル
④制御方式 ●ZF：アナログ/デジタル ●ZD： DeviceNetTM（横出し）
●ZDT： DeviceNetTM（上出し） ●ZE： EtherCAT®
⑤バルブモード ●なし：ノーマルオープン ●C：ノーマルクローズ
⑥接続方法（面間） ●4J2：1/4 UJR（124mm） ●4J1：1/4 UJR（106mm）
●4F2：1/4 F900（127mm） ●4CW1：1.125 Wseal®（79.8mm）
●4CW2：1.125 Wseal®（92mm）●4WS1：1.5 Wseal®（79.8mm）
●4WS2：1.5 Wseal®（92mm） ●4CL2：1.125 Cseal（92mm）
FCST 1005 M ZF C – 4 J 2 – F 10 – N 2 – R 1 – CR – U *** – EP
① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫ ⑬
⑦フルスケール ●F10：10SCCM ●F10L：10SLM
⑧ガス種 例： N2
⑨MGMR ●なし：シングルガス・シングルレンジ
●R1～R8：マルチガス・マルチレンジ
⑩O-リング材質 ●なし： FKM ●CR：クロロプレンゴム
⑪D-sub9ピンコネクタねじ ●なし： M3 ●U：インチ
⑫お客様ご指定事項 例：00625℃1atm ●流量単位： CCM, LM
⑬表面処理 ●なし：機械加工仕上げ ●EP： EP処理
※：応答性で示す時間は、最小制御流量値から目標流量値の±2％ F.S.に到達する時間です。
注1：マスフローコントローラのみの仕様となります。マスフローメータの仕様については にお問い合わせください。
注2： では流量（SCCM、SLM）は0℃、101.3kPa abs.(1atm)に換算して校正しています。
M G M R （ マ ル チ ガ ス ・ マ ル チ レ ン ジ ） 機 能
ご指定された Bin 番号に対応する流量レンジ内で、ガス種とフルスケール流量を任意に変更可能。
8 種類の Bin 番号の中から、ご使用流量レンジに合うものを選択してください。
N2
400SCCM H2
800SCCM Cl2
500SCCM
SiH4
300SCCM CH4
500SCCM SF6
200SCCM
（例） Bin番号： R4
コストダウン
緊急対応と予備在庫の低減！
ガス種・フルスケール流量を変更
仕 様 変 更 ソ フ ト
仕様変更ソフト（ Configuration Software ）で、ガス種とフルスケール流量を任意に変更可能。
FCST1005（M）Z
10 - 30SCCM 31 - 100SCCM 101 - 300SCCM 301 - 1,000SCCM 1,001 - 3,000SCCM 3,001 - 10,000SCCM 10,001 - 30,000SCCM 30,001 - 50,000SCCM R1
R2 R3 R4 R5 R6 R7 R8 FCST1030（M）Z
FCST1050（M）Z
型式
Bin
番号 流量レンジ（N
2換算）■ 特長
■ 主な機能・仕様
MGMR PI F.S.
S.P.
EP
±15V駆動 0-5VDC RS485 DeviceNetTM EtherCAT®
PROFIBUS
＋24V駆動 0-5VDC
＋24V駆動 4-20mA
メータ メタル
ラバー
アナログ制御 デジタル制御
PC
RS485 変換器
RS485
FCS-T1000Zシリーズ FCS-T1000MPシリーズ
供給電源電圧
※：●は、メタルシールのみ対応 注： の仕様は対応しておりませんXXX
最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c75101よりダウンロードできます。
メタルのみ オプション
（ ）
Bin 番号： R 4 接続画面
All in One
7 8
流 量 制 御 機 器 流 量 計 測 機 器 圧 力 制 御 機 器 分 配 比 率 制 御 機 器 外 観 寸 法
アクセサリ・その他関連機器流 量 制 御 機 器 流 量 計 測 機 器 圧 力 制 御 機 器 分 配 比 率 制 御 機 器 外 観 寸 法
アクセサリ・その他関連機器型式
FCST 1005
（M
）F
（C
）FCST 1030
（M
）F
（C
）FCST 1050
（M
）F
（C
） 流量レンジ（
N
2換算流量）10 SCCM - 5 SLM 6 - 30 SLM
メタルシール、ラバーシール31 - 50 SLM
50 - 300 kPa N/O 100 - 300 kPa
（6 - 10 SLM
）150 - 300 kPa
（11 - 30 SLM
）N/C 100 - 300 kPa
（6 - 30 SLM
）200 - 300 kPa
■ 仕様
シール
400 kPaG
最大動作圧力アナログ：
0 - 5 VDC
（供給電源電圧：±15 VDC
）、0 - 5 VDC
（供給電源電圧：＋24 VDC
）、4 - 20 mA
（供給電源電圧：＋24 VDC
） デジタル：RS 485
、DeviceNet
TM、EtherCAT
®、PROFIBUS
、CC - Link
通信方式
N/O
：ノーマルオープン、N/C
：ノーマルクローズ バルブタイプ2 - 100
％F.S.
流量制御範囲
±
1
％F.S.
（精度保証範囲：15 - 35
℃）流量精度
±
0 . 2
％F.S.
再現性
≦
1 sec
応答時間 ※必要差圧
高速応答 アプリケーション
■ 特長
シングル仕様、MR仕様、MG仕様対応
デジタル／アナログモデル
ご指定のガス種、流量で校正（固定）
ご指定のフルスケール流量の
1 / 3
までの流量変更が可能4
種類までのガステーブル（ガス種、流量）の登録が可能 シングル仕様MR
仕様MG
仕様制御 仕様 内容
多種通信方式に対応
応答速度： 1sec 以内（全流量域）、
Progressive PID 技術
PLC（プログラマブルロジックコントローラ）
DeviceNet
TMEtherCAT
®RS 485 PROFIBUS CC-Link
■ 主な機能・仕様
PI MGMR
F.S.
S.P.
EP
±15V駆動 0-5VDC RS485 DeviceNetTM EtherCAT®
PROFIBUS
＋24V駆動 0-5VDC
＋24V駆動 4-20mA
メータ メタル
ラバー
アナログ制御 デジタル制御
①FCS®－Thermal ●FCST：マスフローコントローラ ●FCSTM：マスフローメータ
②流量レンジ ●1005：10SCCM-5SLM ●1030：6SLM-30SLM ●1050：31SLM-50SLM
③シール材質 ●なし：ラバー ●M：メタル
④制御方式 ●F：アナログ/デジタル ●FD： DeviceNetTM（横出し） ●FDT： DeviceNetTM（上出し）
●E： EtherCAT® ●PB： PROFIBUS
⑤バルブモード ●なし：ノーマルオープン ●C：ノーマルクローズ
⑥接続方法（面間） ●4J2：1/4 UJR（124mm） ●4J1：1/4 UJR（106mm）
●4F2：1/4 F900（127mm） ●4CW1：1.125 Wseal®（79.8mm）
●4CW2：1.125 Wseal®（92mm） ●4WS1：1.5 Wseal®（79.8mm）
●4WS2：1.5 Wseal®（92mm） ●4CL2：1.125 Cseal（92mm）
FCST 1005 M F C － 4 J 2 － F 10 － N 2 － CR － U *** － EP
① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫
⑦フルスケール ●F10：10SCCM ●F10L：10SLM
⑧ガス種 例： N2
⑨O-リング材質 ●なし： FKM ●CR：クロロプレンゴム
⑩D-sub9ピンコネクタねじ ●なし： M3 ●U：インチ
⑪お客様ご指定事項 例：00625℃1atm ●流量単位： CCM, LM
⑫表面処理 ●なし：機械加工仕上げ ●EP： EP処理
■ 代表品番
1 ch モニターソフト DeviceNet
TM用 9 ch モニターソフト 波形グラフ
0 - 5 VDC ( 4 - 20 mA)
※：●は、メタルシールのみ対応
FCS-T1000F シリーズ
デジタルスタンダードモデル
※：応答性で示す時間は、最小制御流量値から目標流量値の±2％ F.S.に到達する時間です。
注1：マスフローコントローラのみの仕様となります。マスフローメータの仕様については にお問い合わせください。
注2： では流量（SCCM、SLM）は0℃、101.3kPa abs.(1atm)に換算して校正しています。
最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c75101よりダウンロードできます。
注： の仕様は対応しておりませんXXX
メタルのみ オプション
（ ）
● 多種通信方式に対応
● 高速応答
応答時間： 1 sec 以内（全流量域）
● 特殊仕様対応
（例）高圧仕様、低差圧仕様、高差圧仕様 etc.
● 流量制御、モニタリングソフト PC との接続により最大 9 台までのデジタル制御を 可能とするアプリケーションを準備
5 - 50
℃ 使用保証温度範囲時間［sec］
流量﹇
%﹈
1sec MFC Flow Out MFC SET
N21SLM 応答性（MFC SET：0→100→0%）
CC-Link
