測定工具、測定基準器、計測システム
Catalog No.4043
⑥
良い品質の商品は正確な基準から生まれます。
ミツトヨグラプレートは、数千万年前に生成された斑レイ岩を採用しており、
細粒で硬く、しかも均一組織の優れた天然石です。
大形研削盤による 三次元測定機用定盤の研削 精密石定盤のラップ作業三次元測定機 表面粗さ測定機 輪郭形状測定機
■特殊加工ベース
正確な基準は優れた技術と
長年の経験より生み出されます。
ミツトヨは 1958 年に斑レイ岩の優れた特性に着目し、
天然石をグラプレートとして生産開始以来、
三次元測定機、表面粗さ測定機や輪郭測定機等の様々な商品の
正確な基準として取り入れ、
より良い商品をお客様にお届けしています。
ハードディスク測定機ベース
半導体検査装置ベース
放電加工機ベース
750
×500mm
の グラプレートと 落下防止スタンド※2 キャスタ付スタンド(落下防止付)※2非磁性体
グラプレートは非磁性体のため、磁性のあ る器具でも簡単に使用できます。維持費が安価
グラプレートは錆ませんので寿命が長く、鋳 鉄定盤に比較して維持費も著しく安価にな ります。 * このようにグラプレートは数々の特長をもっ ています。一方、欠点といわれる剛性につい ては、各寸法の「厚み」を増すことによって、 充分補われています。また、ねじブッシュやT
溝などの特殊加工は、加工技術の大幅な 向上で可能となり、様々な機器のベースとし ても採用いただいております。 鋳鉄定盤の一例 グラプレートの一例きずがついてもかえりがでない
●鋳鉄定盤では、定盤面にきずができた場 合、材質的にねばりがあるため、かえりや盛 り上がりがでて、平面度が損なわれます。 従って、測定精度が悪くなったり、測定物 や測定器具を損なうことにもなります。 ●グラプレートの場合は組織が細粒でかた く、鋳鉄よりねばりが少ないので、かえりや 盛り上がりはありません。従って、平面度の 狂いがなく相手の器具も損ないません。経年変化がほとんどない
グラプレートは均一組織の優れた自然石 である斑レイ岩を採用しており、数千年も の昔から自然にシーズニングされているた め、経年変化がほとんどありません。これに 比べて鋳鉄製の定盤は、熱処理技術が著し く向上したとはいえ、絶対とはいえず経年変 化を避けられません。耐摩耗性が高い
かたさは、鋳鉄より2
倍以上かたく、耐摩耗 性が高い事がグラプレートの最も大きな特 長となっています。 (参考:ショア硬度) ●斑レイ岩————Hs73
~93
●花こう岩————Hs70
~80
●鋳 鉄————Hs32
~40
耐食性に優れる
錆びの発生がなく、また、酸に対しても減量が 少なく、鋳鉄に比べて耐食性に優れています。リンギングしにくい
鋳鉄定盤ではリンギングがおこり、作業が 中断される場合がありますが、グラプレート は、正常の状態ではリンギングしにくく、軽 快な作業ができます。特長
1500
×1000mm
の 大形グラプレートと 標準鋼製スタンド※2(支持脚用ブロック架台) (補助脚用ブロック架台)
仕様
コードNo. 等級(A:縦×B:横×サイズ(h:高さ)mm)K l (μ平面度m) (質量kg) 標準価格 標準鋼製スタンド 落下防止スタンド キャスタ付スタンド各種スタンド(オプション)のコードNo./標準価格 (mmH) 517-401 00 2 57,000円 - - - 517-301 0 300×300×100 240 240 3 27 45,000円 - 517-101 1 5 38,000円 517-411 00 2 82,000円 - - - 517-311 0 450×300×100 240 390 3 40 62,000円 - 517-111 1 6 53,000円 517-414 00 2.5 145,000円 517-203 58,000円 100,000517-203R円 517-203CR150,000円 755~775 517-314 0 600×450×100 370 500 4 80 110,000円 517-114 1 8 92,000円 517-403 00 2.5 190,000円 517-204 58,000円 103,000517-204R円 517-204CR155,000円 755~775 517-303 0 600×600×130 500 500 5 140 140,000円 517-103 1 8 118,000円 517-405 00 3 200,000円 517-205 65,000円 110,000517-205R円 517-205CR175,000円 755~775 517-305 0 750×500×130 420 630 5 146 153,000円 517-105 1 9 126,000円 517-407 00 3 400,000円 517-206 73,000円 125,000517-206R円 517-206CR185,000円 755~775 517-307 0 1000×750×150 630 700 6 337 314,000円 517-107 1 12 263,000円 517-409 00 3.5 580,000円 517-207 90,000円 160,000517-207R円 517-207CR270,000円 735~775 517-309 0 1000×1000×150 700 700 7 450 496,000円 517-109 1 13 416,000円 517-413 00 4 1,000,000円 517-208 130,000円 215,000517-208R円 517-208CR320,000円 735~775 517-313 0 1500×1000×200 700 1100 8 900 840,000円 517-113 1 16 705,000円 517-410 00 4.5 1,400,000円 517-209 160,000円 245,000517-209R円 517-209CR380,000円 735~775 517-310 0 2000×1000×250 700 1500 9.5 1500 1,200,000円 517-110 1 19 1,000,000円 517-416 00 5 2,350,000円 517-210 200,000円 285,000517-210R円 517-210CR550,000円 735~775 517-316 0 2000×1500×300 1100 1500 10 2700 1,750,000円 517-116 1 20 1,450,000円 ※1 00 5.5 ※1 06AAY174※2 550,000円 700~706※3 517-317 0 2000×2000×350 1500 1500 11 4200 3,000,000円 517-117 1 22 2,750,000円 ※1 00 6.5 ※1 06AAY175※2 550,000円 700~706※3 517-318 0 3000×1500×400 1100 2000 12.5 5400 4,200,000円 517-118 1 25 3,800,000円 ※1 00 7 ※1 06AAY176※2 550,000円 700~706※3 517-319 0 3000×2000×500 1500 2000 13.5 9000 6,500,000円 517-119 1 27 6,000,000円外観寸法図
大形グラプレート用ブロック架台の外観図
A h B K H グラプレート用標準鋼製スタンド (レベリングボルト付) l 単位:mm ●グラプレートクリーナー No.517-660 グラプレートのゴミやホコリ除去 し、グラプレート上で使用される ハイトゲージ等の移動がスムー ズに行えます。
アクセサリ
(オプション)仕様
※1:最寄りの営業課へお問い合わせください。 ※2:専用のブロック架台で支持します。(落下防止、キャスタ付きの設定はありま せん。)ブロック架台は、支持脚用と補助脚用の2種類があり、パーツNo.により 使用数量、高さ寸法が異なります。 ※3:大形グラプレート用ブロック架台の底面からグラプレート上面までの寸法です。 ●校正証明書付は3,000円アップになります。ご注文の際は、コードNoの末尾に 「K」を付けてご用命ください。(例:517-301K) ●穴あけ、ねじブッシュ加工等の他に、高精度、大形サイズ、特殊寸法のものも製 作致します。 詳細は最寄りの営業課へご相談ください。 ●標準価格は車上渡し、書類(校正証明書、トレーサビリティ体系図)なしの価格 です。 弊社での据付調整、書類添付の金額はお問い合わせください。定盤の剛性について
JIS B 7513
では、精密定盤の剛性を次のよう に規定しています。 「使用面の中央に荷重を加えたとき、負荷部 分のたわみが200N
につき1
μm
を超えないよ うな剛性をもつものでなければならない。」 このたわみ量は下記の式で求められ、グ ラプレートはこの規格値を十分に満足す るものになっています。(ex.1500
×1000
×200mm
の場合のたわみは0.09
μm)限界強度について
温度差による平面度誤差について
主要寸法図のように、a, b, c
の3
点で定盤を 支持し、d, e
の2
点を補助点とした場合に定 盤の中央にかけ得る最大許容荷重(Wmax) は次の式で求めることができます。 (ex.1500
×1000
×200mm
の場合の限界強 度は32000N
) 使用面と裏面に温度差が生じた場合の平 面度誤差は、次の式で簡易的に求めること ができます。但し、実際の結果とは異なる場 合があり、参考値としてご使用ください。 (ex. 1500
×1000
×200mm
、温度差0.2
℃の 場合の平面度誤差は2.2
μm
)精度について
●JIS B 7513
(精密定盤)では、全面の平面度 を次のように規定しています。 ●全面の平面度の計算式については、「参考1
平面度の公差の基礎」に記述してあります。 ●石定盤に物を載せたり移動したりする際、 ゴミや汚れが付着していると、表面に傷が 付いたり、磨耗を促進したりして、精度に影 響を及ぼす場合がありますので、良く拭き 取ってからご使用ください。 ここに 全面の平面度の公差(μm
) 最も近い上の100mm
に丸めた 定盤の対角線の呼び長さ(mm
) 定盤の等級に対する定数 t: l: C1, C2: t=C1 l+C2 V=α(L2+B2)ΔT/8h 荷重点 150 d a e b c 150 200 L=1500 h =1100 15 0 15 0 =10 00 B K7 00 荷 重 W 補助点 (2点) 主支持点(3点) c b a ●振動のない場所 定盤上では、テストインジケータ(てこ式ダイ ヤルゲージ)やミューチェッカ(電気マイクロメ ータ)などの検出器を利用して測定する場合 が多く、指針が振れて読みにくいことのないよ うに振動のない場所であることが必要です。 ●切粉、塵埃の影響が少ない場所 グラプレートは、精密測定室ばかりでな く、現場でも多量に使用されております が、切粉や砥石粉等の影響のある場所、 塵埃のひどい場所は避けてください。据付け場所
●温度変化の少ない場所 設置環境の温度変化が大きいと、使用面と 裏面に温度差が生じてしまい、平面度誤差 が生じてしまいます。直射日光が当たる場所 や、冷暖房装置の近くなど、グラプレートが 温度の影響を受ける場所に設置する事は避 け、温度差が極力生じないような安定した環 境下でご使用下さい。 ※推奨環境:温度20
±1
℃、湿度58
±2
%、使 用面と裏面の温度差0.2
℃以内 グラプレートは精密な基準面です。据付けが不適切ですと本来の精度を保つことができないこ とがありますのでご注意ください。つぎの事項に留意することが必要です。
●グラプレートは、最もたわみの少ない位支持点と据付台
置の3
点を選び支持足をつけてあります。 大形グラプレートについては、多点支持 を行うことが必要な場合があります。 ●スタンドについては、グラプレートが小・中 形であれば一体方式、大形であればブロ ック架台(三脚方式)のものなど、鋼製や、 鋳鉄製のものなどが用意されています。使用面の据付け高さ
使用面の高さは作業能率に関係するため、 事前に作業内容に応じて決定しておくこと が必要です。一般に使用面の高さは750mm
前後です。 Wl3 y=48EI 2σb・Bh2 Wmax= 3 l ●主要寸法図 ●諸元グラプレート
1500
×
1000
×
200
mm
の主要寸法と諸元
使用面の呼び寸法 (mm) 全面の平面度の公差値(μ0級 1級 2級m) 周辺部分の除外幅(mm)長さ(対角線のmm) 160× 100 3 6 12 2 188 250×160 3.5 7 14 3 296 400×250 4 8 16 5 471 630×400 5 10 20 8 745 1000×630 6 12 24 13 1180 1600×1000 8 16 33 20 1880 2000×1000 9.5 19 38 20 2236 2500×1600 11.5 23 46 20 2960 250×250 3.5 7 15 5 354 400×400 4.5 9 17 8 566 630×630 5 10 21 13 891 1000×1000 7 14 28 20 1414 数値 単位 備考 支点間の距離 l 1100 mm グラプレートのサイズにより異なる 断面B B 1000 mm 〃 厚さ(断面h) h 200 mm 〃 荷重 W 200 N JISの数値 ヤング率 E 9.3×104 N/mm2 ― 断面二次 モーメント I 1000×200 3 mm4 I= Bh3 12 12 抗折力(基準強さ)Pb 26.5 N/mm2 ― 安全率 S 20 ― ― 最大許容荷重σb 1.325 N/mm2 σb= Pb/S 断面係数 Z 1000×2002 mm3 Z =I =Bh2 6 h/2 6 長さ L 1500 mm グラプレートのサイズにより異なる 温度差 ΔT ― ℃ 設置環境により異なる 線膨張係数α 5.3×10-6 ― ― 平面度誤差 V ― mm 設置環境により異なる C1及びC2の値 定盤の等級 C1 C2 0 0.003 2.5 1 0.006 5 2 0.012 10技術解説
/
据付け
●特殊定盤のご要求に関しては、最寄りの営業課へお問い合わせください。 用途:半導体関連機器 加工機械 抜き穴加工 細溝加工
T
溝加工 (金属埋め込み) 貫通穴加工 小穴加工T
溝加工 掘り込み加工 ねじ穴加工 (金属埋め込み)特殊加工例
特殊定盤
特殊
XYZ
ステージ
特殊
XY
ステージ
弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本 政府の輸出許可の取得を必要とする場合があります。 製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は 最寄りの営業課へご相談ください。 お求めは当店で— 本社 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 ●外観・仕様などは商品改良のために、一部変更することがありますのでご了承ください。 お客様相談課 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 822-5151 ファクス (044) 813-1691 E-mail:sales2@mitutoyo.co.jp M3 Solution Center…商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業課にご連絡ください。 UTSUNOMIYA 宇都宮市下栗町 2200 〒321-0923 電話 (028) 660-6240 ファクス (028) 660-6248 TOKYO 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610 SUWA 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830 ANJO 安城市住吉町 5-19-5 〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761 OSAKA 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817 HIROSHIMA 呉市広古新開 6-8-20 〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163 FUKUOKA 福岡市博多区博多駅南 4-16-37 〒812-0016 電話 (092) 411-2911 ファクス (092) 473-1470 ※M3 Solution CenterのM(エムキューブ)は3 Mitutoyo, Measurement, Metrologyの3つのMを表しています。
計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。 詳細は弊社営業課にご連絡ください。 ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000 お問い合わせは 東北営業課 仙台市若林区卸町東 1-7-30 〒984-0002 電話 (022) 231-6881 ファクス (022) 231-6884 仙台オフィス 電話 (022) 231-6881 秋田オフィス 電話 (018) 887-3830 郡山オフィス 電話 (024) 931-4331 北関東営業課 宇都宮市平松本町 796-1 〒321-0932 電話 (028) 660-6240 ファクス (028) 660-6248 宇都宮オフィス電話 (028) 660-6240 つくばオフィス 電話 (029) 839-9139 伊勢崎オフィス電話 (0270) 21-5471 新潟オフィス 電話 (025) 281-4360 さいたまオフィス電話 (048) 667-1431 南関東営業課 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610 川崎オフィス 電話 (044) 813-1611 東京オフィス 電話 (03) 3452-0481 厚木オフィス 電話 (046) 226-1020 富士オフィス 電話 (0545) 65-7008 甲信営業課 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830 諏訪オフィス 電話 (0266) 53-6414 上田オフィス 電話 (0268) 26-4531 東海営業課 安城市住吉町 5-19-5 〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761 安城オフィス 電話 (0566) 98-7070 名古屋オフィス 電話 (052) 741-0382 小牧オフィス 電話 (0568) 74-7261 四日市オフィス電話 (059) 350-0361 浜松オフィス 電話 (053) 464-1451 関西営業課 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817 大阪オフィス 電話 (06) 6613-8801 金沢オフィス 電話 (076) 239-1807 栗東オフィス 電話 (077) 552-9408 神戸オフィス 電話 (078) 924-4560 中四国営業課 東広島市八本松東 2-15-20 〒739-0142 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163 東広島オフィス 電話 (082) 427-1161 岡山オフィス 電話 (086) 242-5625 西部営業課 福岡市博多区博多駅南 4-16-37 〒812-0016 電話 (092) 411-2911 ファクス (092) 473-1470 福岡オフィス 電話 (092) 411-2911 霧島オフィス 電話 (0995) 48-5842 ホームページ http://www.mitutoyo.co.jp