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精密切断 用薄刃 ダ イヤモ ン ド砥石 の機 械的性 質 *

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Academic year: 2022

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(1)1235 JSPE‑56‑07 '90‑07‑1235. 研究諭文. 精密切断 用薄刃 ダ イヤモ ン ド砥石 の機 械的性 質 * 佐. 藤. 彰* *. Mechanical. Thin diamond blade magnetic. head.. influence wear.ln. Properties. 次* * *. is widely. the precision. used for. characteristics. and. resistance. of bonding material. in the mechanical diamond. dynamic visco-elasticity,. 1. 緒. that. between. properties. of the tensile. differences. 崎. 憲. Hirosaki. slicing. of. of. thin. It is found. from. the. properties. of various. blade,. diamond grain,. of. blade and. diamond blade are. the dynamic. parts. of blade. experiments. that. the blade. the machining. investigated. visco-elasticity. such as. have a great. the work damage and. the properties. strength,. electronic. some properties ,i.e.. 一 †. Slicing. Kenichi. of workpiece. the relation. the mechanical. 広. of Thin Diamond Blade for Precision. is well known experientially. to understand. : thin. 利. Kurobe. the measurements. Key words. 部. Akira Sato , Toshiji. on the machining order. characteristics, through. It. 黒. in detail. and there. the wear. are. notable. blades. bonding material,. tensile. strength,. wear resistance. 言. (例 えば,メ タル ボ ン ド砥 石 と レジンポ ン ド砥 石), 結 合度 はそ れ らの間 では直 接的 な意 味 を持 たな くな る. この ため,砥 石選 定 に 当た っては,多 数 の砥 石の 中か. 電 子部品材 料 の精密切断 ・溝 加 工に おいて は,薄 刃 ダイヤモ ン ド砥石 が一般 に広 く使用 され て いる.し か. ら試行錯 誤 的に最 適 な砥石 を選 定 す るこ とにな り,多. し,砥 石材種 に よって加工 特性(加 工損傷 ・砥石 損耗) が著 しく影響 を受 け ることが経 験 的に よ く知 られ てい. 大 な労力 を費 や して い るの が現 状 であ る. これ まで に,砥 石 の性質 と加 工性 との関係 に ついて. る.. 報 告 され たもの と しては,WAビ. 電 子部品製 造の 工程設 計に際 しては,工 程仕 様(寸. トリフ ァ イ ド砥石 の金. 属 研削 につ いて砥 石寿 命の 観点 か ら調 べた もの1) 〜4),. 法,加 工損 傷の公 差)並 び に生 産性(加 工 ス ピー ド,. メ タル ボ ン ド ・レジ ンボ ン ド ・ビ トリフ ァイ ドボ ン ド. 砥 石寿命)の 両面 か ら,最 適の 砥 石を選 定す る必要 が. の 各ダ イヤ モ ン ド砥石 に ついて セ ラ ミック スの研 削面. ある.一 般 に,ダ イヤモ ン ド砥 石 の特性 は,(1)砥 粒 の. 性 状の 違 いを調 べ たもの5}6},等 い くつかの 研究 があ. 種 類,(1)砥粒 径,(3)ボ ン ド材 の材種,(4)集 中度,の 4. る.し か し,砥 石の選 定 を合理 的 に行 うため に は, ダ. 項 目で決定 され る.こ の うち,ボ ン ド材 につ いて見 て み ると,砥 石の選 定基 準 と しで,結 合度 が表示 さ れて. イヤ モ ン ド砥 石 の機械 的性 質 につ いて十 分検 討 してお く必要 が あ る.そ してその 上 で,砥 石 の機械 的性質 と. い るが,メ ーカ に よってそ の定義 の仕方 が異 な ってお. 加 工特 性 との関係 を明 らかにす る必 要 があ る. そ こで本 研究 で は,電 子 部品 材料 の精 密切 断 ・溝 加. り,ま た,違 う種 類 のボ ン ド材 の砥石 を比較 す る場 合. 工 に ついて検 討 す る第 一歩 と して,薄 刃 ダ イヤモ ン ド 砥 石 を取 り上げ,そ の機械 的性 質 を定量 的 に評価 す る こ とに主眼 を置 き,実 験的 検討 を行 った 。. * 原稿 受付. 平成元年8月23日.1989年 度 精密 工学 会春 季大会 学術講 演会(平 成元年3月23日)に て発 表. 2. 実. * * 正会 員. アルプ ス電 気(新 潟 県北魚 沼郡 小出 町小 出 島 日渡 1177). ***正 会 員. 金 沢 大 学 工 学 部(金. †学生会員. 験. 方. 法. 精密 切断 用薄 刃ダ イヤ モン ド砥 石 と して は,(1)板 厚. 沢 市 小 立 野 2 ‑40 ‑20 ). 精 度 が良 い こと(通 常,板 厚寸 法 の ±1%が. 金沢大学工学部 69. 寸法 公差.

(2) 1236. 精 密 工 学 会 誌 56 /7 / 1990. Table. 1. Specification. of. test. か な り大 き いこ とが わか る.(2)M用 の砥 粒入 り砥. pieces. 石 とB用 の砥粒 入 り砥石 を比較 す る と,後 者の方 が 少 し強 度が 高 くな ってい る.(3)ボ ン ド材 と砥石 を比較 す ると,前 者 に比 べ て後者 では強度 の低下 が 見 られ,特 に,Mボ ン ドで顕著 であ る.こ のこ とは,ボ ン ド。 単一材 の強 度 に比べ て,砥 粒/ボ ン ド材 の付 着強度 が低 い こと を意 味 して いる.ま た, ボ ン ド材 の材 種 によ ってボ ン ド材強 度 と砥 石強度 の 比 に差 が あ ることが わか る.こ れは,砥 石の破 断 の メカ ニズム に違 いがあ る ことを示唆 してい る. とな る),(2)十 分 な じん性 を持 ち割 れ に くい こ と,の 2つ の条 件 を備 えて いる必要 が あ る.一 般 に,ダ イヤ. SEM観. モ ン ド砥 石 には,メ タル ポ ン ド砥 石,レ ジ ンポ ン ド砥. 図3に,破. 石,レ ジン ・メ タルボ ン ド砥 石,ビ. 砥 石 破 断 の メ カ ニ ズ ム を 考 察 す るた め に,破 断 面 の 察 を 行 っ た.図2に,そ. 断 面のSEM写. の 結 果 を 示 す.ま た,. 真 か ら砥 粒数 を数 えた結果. トリフ ァイ ドボ ン. ド砥 石,電 着砥 石,の5種 類 の砥 石 が ある.こ の うち, ビ トリフ ァイ ドボ ン ド砥 石 は割 れや す いため薄 刃砥 石 と して は使用 され ず,ま た,電 着 砥 石 は板 厚精 度 を高 くで きない ため精密 切断 用砥 石 と して は採用 され て い な い. 表1に,実. 験 で使 用 した試 料 の材 種 を示す.ボ ン ド. 材 と しては,精 密切 断用 薄刃 ダ イヤモ ン ド砥 石で 一般 に使用 されて い るメ タル ボ ン ド(M),レ ジ ン ・メ タ ル ボ ン ド(MB),レ. ジ ンボ ン ド 〈B),の3種,. 砥. 粒 と して は,M用,B用 の2種 を取 り上 げ た.試 料 と しては,砥 石6種 とボ ン ド単一 材3種 の計9種 で 実験 を行 った. 溝 ・切 断加 工 を考 えた場合,加 工 現象 との 関連 が想 定 され る砥石 の特 性項 目を見 る と,a)砥 粒 の破砕性, b)砥 粒/ボ ン ド材 の付 着性,c)砥 石 の結 合度,d)ボ ン ド材 の耐 摩耗 性,e)砥 粒 のbacking性,f)砥. Fig.. 1. Tensile bonding. strength materials. of. blades. and. 石 の変 形能,. 等 が挙 げ られ る.実 験 で は,こ れ らの項 目に関 し て,引 張 破断 強度 の測 定(b,cに 対応),ボ ン ド材 の耐 摩耗 試験(dに. 対応),動. (e,fに 対 応),の3つ れ を評価 した.. 的粘 弾性測 定. の測 定 を行 って それぞ. 3. 引 張破断 強度 の測 定 とボ ン ド材 の. (a) Metal. bonding material. (b). Metal. blade. (H grain). 耐摩 耗試 験 砥 石 の結合 度,砥 粒 とボ ン ド材 との付 着強 度 を 評価 す る ために,砥 石 お よびボ ン ド材 の引張 試験 (ひ ずみ速度0.08mm/s)を. 行 っ た.そ の結果 を図. 1に 示 す. 図1か ら,以 下 の こと が指摘 で き る. (1)砥石の 引張破 断強 度(砥 石 結 合度 に対応)を 比較 す ると,M砥. 石の 値 がMB,B砥. (c). mesinoia. Fig.. 石 に比 べ て 70. oonding. 2. Fracture. material. (d). surfaces. Resnoid. by. blade. tensile. (M. grain). test.

(3) 佐 藤 ・黒 部 ・広 崎:精. 1237. 密 切 断用 薄 刃 ダ イヤ モ ソ ド砥 石 の 機 械 的 性 質. Fig. 4. Schematic. diagram. of. wear. test. す る耐 摩耗 性 を,両 測定 結果 か ら評価 した.実 験 は, ス ピン ドル 回転 数 を500s‑1と し,研 削液(水 道 水)を か けて行 った.1条. 件 で2回 の 実験 を し,そ の平均 値. をデ ー タと してプ ロ ッ トした. 図5に,法. 線 方 向抵抗 の測 定 結果 の 一例 を示す. A. 点 でボ ン ド材 と フェ ライ トの接触 が始 ま り,B点 Fig. 3. Number. を示 す.図2か. of. grains. on. fracture. で設. 定 切 込み 位置 まで ス ピン ドル が 降 りて い る.ボ ン ド材 が摩 耗 す るに したが い,抵 抗 値 は減 少 し,C領 域 で一. surface. ら,砥 石の破 断 面 には砥粒 と砥粒 の抜. 定値 に な る.図5で,抵 抗値 に 逆方 向の 成分 が現 れ て い るの は,ス ピン ドル/テ ーブ ル問 の相対 振動 によ る. け落ち た跡 が多数 見 られ,特 にM砥 石で その傾 向が強 い ことがわか る.ま た,図3か ら,M,MB,Bボ ン. も ので あ る.こ れ は,使 用 した加工機 の 剛性 が幾分 低. ドの順 に砥粒数 が少 な くな って い るこ とがわか る. Mボ ン ドで は,ボ ン ド材 強度 と砥 石強度 の差 が大 き. い こ とが原因 してい る.ま た,抵 抗値 が0に 収 束 しな. く,ボ ン ド材強度 に比 べ て砥 粒/ボ ン ド材 の付着 強度 がか な り小 さい.そ の ため,砥 粒/ボ ン ド材 の 界面 で. ん で流体圧 力 が生 じるため では な いか と推 察 され る. ボ ン ド材の 耐摩 耗性 を,次 式 の よ うに比摩 耗量K を. 破断 する傾向 が強 くな り,破 断 面の砥 粒数 が多 くな っ. 定 義 して評価 す る.. い のは,ボ ン ド材 とフ ェラ イ トの間 に研 削液 が入 り込. た もの と推察 され る.一 方,Bボ ン ドで は,ボ ン ド材 と砥石 の強度差 が小 さ く,ボ ン ド材強 度 と砥 粒/ボ ン. (1) 図6に,比. 摩 耗量 を各 ボ ン ド材 につ いて整 理 した結. ド材 の付着強度 が あま り違 わな い.そ の ため,砥 粒/ ポ ン ド材 の界面 で破断 す る割 合 が相対 的 に小 さ くな り,. 果 を示 す.図6か. 破断 面の砥粒数 が少 な くな ったもの と推量 され る.. ボ ン ドの 順 に大 き く,そ れ ぞれ 大略1け た ずつ増 加 し. 次 に,ボ ン ド材の耐 摩耗性 を調べ る ため,ボ ン ド単 一材 を用 いて摩 耗試験 を行 った .. て い る様 子が わか る.. フェラ イ トの溝加工 を念頭 に お き,実 際 の加工 に近 い条件 で摩耗特 性 を評 価 す るた めに,ボ ン ド単一 材 を. 流 量 の多 い場 合 と少な い場合 で,顕 著な 差 が見 られな. ら,比 摩耗 量 の値 は,M,. MB,. 実 験で は,研 削液 流量 の影 響 に つい ても調 べ たが,. 砥石 形状 に作 製 し,そ れ を加工 機(東 京精 密製 マ イク ロフォー ミングマ シンA‑WD‑2500B/C)に セ ッ トして, フェラ イ ト(Mn‑Zg多 結晶,HIP材.以 降 の実験 で も同 一組成 の フェラ イ トを使用)に 対 する耐摩 耗性 を調べ た.評 価方法 の概略 図 を図4に 示 す.ま ず,ス ピン ド ルのZ軸 を調整 して,ポ ン ド材 のZ位 置 を フェラ イ ト と接 触す る位 置 よ りも少 し上方 に初 期合 わせ す る. そ して,そ の位 置か ら所 定の切 込 み量(10μm)だ. B. けス. ピン ドル を下 降 させて実験 を行 う.そ の 際,摩 耗時 の 法線 方向抵抗 を圧電型 研削 動力 計で ピ ックア ップ し, また,摩 耗試 験前後 のポ ン ド材 の半 径減耗 量 を電気 マ. Fig. 5. イクロ メー タで測定 して,ボ ン ド材 の フェラ イ トに対 71. Typical data by grinding. of normal force force transducer.

(4) 精 密 工 学 会 誌 56 / 7 / 1990. 1238. Fig. 8. Fig.. 6. Relative. wear. rate. of. bonding. Schematic 6)を. materials. 用 い,ボ. 図4と か っ た,こ. れ は,ポ. ン ド材 と フ ェ ラ イ トと の 接 触 時 間. vibrating. reed. method. ン ド材 に よ る違 い を 調 べ た.溝 加 工 は,. 同 一 の 機 械 及 び 研 削 液 を 使 用 して 行 っ た.溝. 加. ーダ と短 いため. 熱 に よ る 昇 温 の 効 果 が ほ とん ど現 れ な か っ た た. 分 子 フ ィル ム を 押 し当 て て そ の レプ リカ を と り,そ れ. め と 思 わ れ る. 次 に,実. をSEM観. 際 に フ ェ ラ イ トに 溝 加 工(砥. s,加 工 物 速 度0.6mm/s,加 5mm)を 施 し,こ. 工 長 さ1500mm,切. ン ド材,集. か ら,M砥. 込 み 深 さ 0.7. こ で は粒 径40‑60μmの. 中 度 は 表1と. 同 一.寸. 察 して 行 っ た.そ. の 観 察 結 果 を 図7に. 示 す.. 引 張 破 断 強 度 の 測 定 と ボ ン ド材 の 耐 摩 耗 試 験 の 結 果. 石 周 速 84.8m /. の と きの 砥 石 外 周 面 の 様 子 を 観 察 した 。. 観 察 を容 易 に す る た め,こ 石(ボ. of. 工 に 際 して,砥 石 にGC320ボ ー ドで 実 機 上 の ツ ル ー イ ン グ を施 した.砥 石 外 周 面 の 観 察 は,砥 石 面 に 高. (摩 耗 が 進 行 し て い る時 間)が0.1sオ に,発. diagram. 石 とB砥. 石 を 比 較 す る と,前. 合 度 が 大 き く砥 粒 の 保 持 力 が 強 い.一. 砥. 石 の 結 合 度 が 小 さ く,ま 摩 耗 性 が 小 さ い.こ. 法 φ54 × t0.. た,ボ. 者 は砥 石の結. 方,後. 者 では砥. ン ド材 自 身 の 強 度 や 耐. の こ と と 図7の. 砥石 面の様 子 は定. 性 的 に 対 応 し て お り,M砥. 石で は加 工 に. 伴 う砥 粒 の 脱 落 が 少 な く 目 つ ぶ れ 的 な 砥 石 面 性 状 に な っ て い る.ま. た 逆 に,B. 砥. 石 で は加工 後 もツ ルー イング直 後 と砥石 面 の 様 子 に 大 き な 変 化 は み ら れ ず,目. こ. ほ れ や ボ ン ド材 の 摩 耗 が 激 し か っ た こ と (a) Mblade. (after. truing. ). (b) M1blade. (after. grinding. ). が 伺 え る.. 4,. 動的 粘弾 性 の測定. ボ ン ド材 の 砥 粒backing性,砥 能 を 評 価 す る た め に,振 行 い,ボ (c) Bblade. (after. truing ). (d) Bblade. (after. grinding. ). 石 の変形. 動 リー ド試 験 を. ン ド材 と 砥 石 の 動 的 粘 弾 性 を測. 定 した. 図8に,評. 価 装 置 の 概 略 図 を 示 す. 試. 料(1)の先 端 に 重 り(2)を取 り付 け,ス. ピー. カ(3)を通 し て 試 料 に 振 動 を 与 え る.試 料. Fig. 7. SEM micrographs of outer blade surfaces (replica method ) 72. の 共 振 特 性 を(4)の非 接 触 変 位 計 で ピ ッ ク ア ッ プ し,ア. ン プ を 通 して オ シ ロ ス コ ー.

(5) 佐 藤 ・黒 部 ・広 崎:精. Fig. 9. Typical. data. of. resonance. 密 切 断 用 薄 刃 ダ イ ヤ モ ン ド砥 石 の 機 械 的 性 質. curve Fig.. Fig. 10. Dynamic materials. elasticity of and blades. よび損失. な わ ち,tanδ が 大 き い 程,内. contact. pressure. 損 失 係 数tanδ は 次 式 の よ う に. (5) こ こ で,L:試. 料 の 長 さ,b:試. 実 験 で は,式(4),(5)を か ら,動 的 弾 性 係 数Eと. して い る)で. 料 の 幅,h:試. 料 の 厚 さ,. m:重 りの 重 量,門:試 料 の 重 量.. 図9に 共 振 特 性 の 測 定 例 を 示 す.横 軸 を周 波 数, 縦. amax=0.707と. between density. materials. (4). 虚 数 単 位 で あ る.. っ て い る.図9の. Relation and grain. bonding. 部発 熱 し. (3). 大 振 幅 を1と. of. 般 に,温 度. (2). 軸 を振 幅 の 相 対 比(最. 12. tangent. な る.. Tと 周 波 数 ω の 関 数 と な り,次 式 で 表 され る7).. ここ で,jは. Loss. と,動 的 弾 性 係 数E'と. 係 数tanδ(試 料 に入 力 さ れ る エ ネル ギ ー に 対 す る内 部. や す い 材 料 で あ る こ と を意 味 す る)は,一. 11. Fig.. bonding. ブ に て 読 み 取 る.試 料 の 動 的 粘 弾 性 係 数Eお. 損 失 を 示 す.す. 1239. 用 い て,試. 料 の共 振特 性. 損 失 係 数tanδ を 求 め た. 測. 定 に 際 し,評 価 装 置 を 恒 温 ボ ッ ク ス に 入 れ,温. 目盛. 定 を 行 い,重. よ う に,共 振 周 波 数 を ω0と し, a1 /. 周 波 数 ご設 定 した.実. な る よ う に 周 波 数 間 隔 △ ω1を 定 義 す る. 図10,11か 73. 度の 設. りの 重 量 と 長 さ を 調 整 す る こ と で,共. ら,ボ. 験 結 果 を 図10,11に. 振. 示 す.. ン ド材 と砥 石 の 動 的 粘 弾 性 に つ い.

(6) 1240. 精 密 工 学 会 誌 56 / 7 /1990. て,次 の ことがわ か る 。 (1)ボン ド材 につ いて比 較 す る と,B,MB,Mの. (1). 順. に弾 性係 数が 高 く,剛 い材料 とな って い る.ボ ン ド単 一 材 と砥 石 を比 較 す ると ,後 者 の方 が砥粒 の入 った こ. 数 が 小 さ くな り,Mに. た,砥. 比べて. 石 の強 度 はボ ン. 顕 著 で あ る. (2). 昇 温 に したが い若干弾 性係. ボ ン ド材 の 耐 摩 耗 性 に つ い て はB, Mの順. つ いては 変化 が見 られ な い. (3). 損 失係 数 の値 はM,MB,Bの. か な り大 き い.ま. ド単 一 材 の 強 度 に 比 べ て 低 く,特 にM砥 石 で. と に よ り剛 くな って いる.(2)温度 特 性 につ いては, 実 験 の 範囲 内 で,MB,Bは. 砥 石 の 結 合 度 に つ い て はMB,Bに Mが. (3). 順 で大 き くな り,ま た,. 高周 波数領 域 に行 くほ ど小 さ くな る.. に,そ. れ ぞ れ1け. MB,. た ず つ 高 くな る.. 砥 石表面 の様子 を観察 す ると,M砥 石 では目 つぶ れ的 にな るの に対 し,B砥 石 では凹凸の大 き い複 雑 な面性状 とな る.. 次 に,砥 石 の動 的粘弾 性が溝 加 工 に与 え る影 響 を考. (4). 動的 弾性 係数 はB,MB,Mの. 察 す るため に,砥 石表層 の作 用砥 粒密 度 につ いて調 べ. (5). 作用 砥粒密 度 は,M砥. た.実 験 は,図7の った.. 最後 に,本 研究 に関 して適切 なご助言 を頂 きま した. 溝加 工の後,こ れ に引 き続 いて行. 順 に高 くな る.. 石 に比べ てB砥 石 の方. が高 くな る.. 作用 砥粒 密度 は,加 工 時 に実 測 す る ことが簡 単で は. 富 山職業 訓練 短期大 学校 長今 中治先 生 に深 謝 申 し上げ. な いため,モ デ ル的 に,次 の 方法 で測 定 した.ま ず,. ます.ま た,実 験 に協力 頂 いた金沢 大学大 学院生滝沢. 砥 石 を フェ ライ トに静的 に押 付 け る、次 に,砥 石 の回. 俊太 郎君 に感 謝 します.さ らに,実 験用試 料 を提供 し. 転 を固定 した ま ま,砥 石 を砥 石軸 の方 向 に少 し動か し,. て頂 いた三菱 金属(株)に. 謝意 を表 します.. フ ェラ イ トに引 っか き痕 をつ け る.こ の引 っか き痕 の 数 と砥 石/フ ェラ イ トの接 触面 積 か ら作用 砥粒密 度 を 求 め た.ま た,こ の と きの押付 け力 を圧 電 型研削 動力. 参. 計 で測 定 した. 測定 結果 を図12に 示 す.図12か. ら,M砥. 砥 石表 面 に存在 す る砥 粒数 が多 い.そ れ にもか かわ ら ず,B砥 石 の方 が作用 砥粒 密度 が高 くな った理 由 と し て,ボ ン ド材 の弾 性係 数 が小 さ いため に,フ ェラ イ ト. 2). 小 川 昌平,岡 本 隆:砥 石結 合剤の組 成が研削 性 能 に及 ぼ す影響(第2報)‑結 合剤 の組成 と 砥 石寿命,精 密機械, 47, 9(1981) 1128. 小川 昌平,岡 本 隆:砥 石結 合剤の組 成が研削 性能 に及 ぼす 影響(第3報)一 抵抗力 と砥石寿 命,精 密 機械, 49,9 (1983) 1215. 小川 昌平,岡 本 隆:砥 石結 合剤の組 成が研削 性能 に及 ほす 影 響(第4報)‑砥 石作業 面性状 と砥 石寿命,精 密工学 会 誌, 52, 3(1986) 553. 渡邊 政嘉,張 壁,戸 倉 和,吉 川 昌範:ダ イ. 3). こ とが 挙げ られ る.す な わち,砥 粒 先端 が そ ろいやす 4). 作用 砥粒 密度 が上昇 す る と,砥 粒 切 れ刃1個 当た り の 加工物 除去 量 が低減 す る 。この ことは,砥 粒切 込み. 5). 深 さの 減少 を意 味す るの で,加 工物 が個 々の砥粒 切れ. 6). ヤ モ ン ド砥 石 の結合材 によ るセラ ミック スの研 削面 性状,昭 和63年 度 精密工 学会春季 大会学 術講 演会 講演論 文集 (1988) E09. 渡邊 政嘉,上 薗英之,戸 倉 和,吉 川 昌範: ダ イヤモ ン ド砥石 の結合 材 に よるセ ラ ミックスの 研 削面性 状‑乾 式研 削 と湿式研 削 によ る違い, 1989年度精 密工 学会春 季 大会学 術講演 会講演論. 7). 文集 (1989) K68. 岡 小天:レ オ ロジ ー入 門,工 業 調査会 (1970) 138.. 刃 か ら受 ける損傷(マ イクロ ク ラ ックな ど)が 低 下す るこ とにつ なが る. 5.. 結. 言. 精 密切 断用 薄刃 ダ イヤモ ン ド砥石 に つい て,特 にボ ン ド材 に着 目 して,主 と してそ の機 械的 性質 を調 べ, 以下 の結 論 を得 た.. 74. 献. 小 川 昌平,岡 本 隆:砥 石結 合剤 の組成が研削 性 能 に及 ぼ す影響(第1報)‑結 合剤 の組成 と 研 削砥 石の機 械的性 質,精 密機 械, 45,7(1979) 826.. に 押付 け られ たと きの砥粒 の弾 性 後退 が大 き くな った くな った こ とが考 え られ る.. 文. 1) 石 に比べ B. 砥 石の 方 が作用 砥粒密 度 が高 くな るこ とがわか る. 図 7の 結 果か ら,M砥 石の方 が 目 こぼれ しに くいので,. 考.

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