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(1)

光学顕微鏡

電子顕微鏡

測定機

試験・検査機

試料作製機

真空機器

光学実験

(2)
(3)

  

光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

光学顕微鏡

電子顕微鏡

測定機

試験・検査機

試料作製機

真空機器

光学実験

目 次

正立型顕微鏡… 3p 倒立型顕微鏡… 5p ズーム顕微鏡… 6p 実体顕微鏡… 7p 偏光顕微鏡… 9p デジタルマイクロスコープ… 10p 共焦点レーザ顕微鏡… 11p 表面形状解析システム… 12p 画像貼り合せシステム… 13p コンタミ解析システム… 14p 顕微鏡用デジタルカメラシステム… 15,17,19,21p 画像・計測処理ソフトウェア… 16,18,20,23p HD カメラ… 22p 電動スキャニングステージ… 25p 加熱冷却ステージ… 27p マイクロマニピュレーター… 28p 除振台… 29p フィールドエミッション走査電子顕微鏡… 31p 走査電子顕微鏡… 32p 卓上型走査電子顕微鏡… 34p 蒸着装置… 35p 凍結乾燥装置… 36p 磁場キャンセラー… 36p ナノマニピュレーター… 36p CNC 画像測定システム… 37p 測定顕微鏡… 39p 万能投影機… 40p 測定支援システム…41p オートコリメータ… 42p 三次元座標測定機… 43p 表面粗さ・輪郭形状測定機… 45p 真円度、円筒形状測定機… 46p 膜厚測定機… 47p 分光、測色、輝度測定… 48p X 線 /CT 検査機… 48p 蛍光 X 線分析装置… 51p 純水装置… 52p グローブボックス… 53p クリーンベンチ… 54p 硬度計… 55p ハイスピードカメラ… 56p 歯車試験… 56p 環境試験機… 56p 工業用内視鏡… 56p イオンミリング… 57p クロスセクションポリッシャー… 58p ターゲット断面試料作製システム… 58p ミクロトーム… 59p ビューラー製品… 60p 精密試料作製システム… 60p レーザーマーカー… 60p スパッタ装置… 61p 蒸着装置… 62p 真空計… 63p ヘリウムリークディテクター… 64p 四重極型質量分析計… 64p ロータリーポンプ… 65p ドライポンプ… 65p 排気ユニット… 66p 膜厚コントローラー… 66p 光学部品… 67p レンズ… 67p マイクロレンズ… 67p 光学定盤… 67p 照明装置… 68p 接眼ミクロメーター… 69p 対物ミクロメーター… 70p レンズペーパー… 70p 光学顕微鏡システム製品   周辺機器 周辺機器 三啓オリジナル製品 アフターメンテナンス… 71p 取扱メーカー一覧… 72p

(4)

ニコン FPD/LSI 検査顕微鏡

エクリプス L300

L300N ¥2,317,000 ∼ L300ND ¥2,540,000 ∼ カールツァイスマイクロスコピー ハイパフォーマンスコンポーネント顕微鏡

Axio Imager Vario

AxioImager.A2Vario ¥4,567,500 ∼ AxioImager.Z2Vario ¥6,074,250 ∼

フル電動制御対応のコンポーネント顕微鏡

▍専用スタンド使用時は最大被検物高さ 245mm、光軸からスタンドまでの 懐 385mm といった幅広いサンプル観察が可能です。 ▍カールツァイス独自の観察方法 C-DIC をフル電動でサポートします。 ▍最小駆動ステップ 10nm のフォーカス駆動、芯出し機構付の電動レボルバ、 独自ソフトからの制御が可能。装置組み込みにも対応します。

高いコントラストと分解能を可能にしたハイグレード正立顕微鏡

▍アポクロマート反射照明光路(投光管)を採用し、青色などの波長の短い 散乱光を捉えるアドバンストダークフィールドを実現しました。 ▍サンプル状の構造の向きに関わらず微細な構造を表現する C-DIC の画質を 向上。切れの良い明視野を実現しました。 ▍最大被検物高さは 63mm、光軸から本体までの懐は最大 136mm です。 正立型工業用顕微鏡

Axio Imager シリーズ

AxioImager.A2m(手動タイプ) ¥1,957,200 ∼ AxioImager.M2m(半電動タイプ) ¥2,633,400 ∼ AxioImager.Z2m(電動タイプ) ¥4,138,050 ∼ ライカ マイクロシステムズ 半導体検査顕微鏡

DM12000 M/DM8000 M

¥4,133,000 ∼ 8 インチ用 12 インチ用対応半導体検査顕 微鏡です。40mm 視野径のマクロレンズ にて高視野観察が可能です。光源に LED を本体に内蔵、省スペース・省電力に貢献 します。UV照明で 0.12μm の解像度が得れます。 インテリジェント工業顕微鏡

DM6000 M/DM4000 M

¥2,088,000 ∼

光学顕微鏡 

正立型顕微鏡

ニコンの光学技術を結集した CFI60 光学系が、これまでにない明るさ、 コントラスト、操作性を実現しました。大口径ウェハ、大型液晶基板等 の高度な検査をサポートします。 ▍最大サンプルサイズ:Φ 300mm(L300N)、17 型 FPD(L300ND) ▍ステージストローク:354×302mm(透過照明範囲:354×268mm) ▍観察倍率:10x ∼ 2250x (接眼および対物レンズの組み合せによる) 電動フォーカス、電動レボルバ、電 動ステージ※などの全てのモジュール を電動化しタッチスクリーンから迅 速操作が可能な最高級モデルです。 ※オプション

(5)

  

光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

スタンダードタイプのコンポーネント顕微鏡

C-DIC(円偏光微分干渉) 工業用顕微鏡

エクリプス LV150/150A/100D-U

LV150 ¥983,000 ∼ LV150A ¥1,295,000 ∼ LV100D-U ¥1,644,100 ∼ 工業用システム顕微鏡

Axio Scope

AxioScope  ¥1,001,700 ∼ ルーチン工業顕微鏡

DM2500 M

¥1,405,000 ∼ 通常の微分干渉では直線偏光 を使用しているため、キズや 微細な段差の方向によっては 見落としが発生する可能性が あります。 C-DIC ならば方向に関係なく、 全ての情報を網羅することが 可能です。重要な情報の見落 としを防止できます。 ルーチン工業顕微鏡

DM1750 M

¥803,000.‒ 高レベルの同焦点性を有する 産業用金属顕微鏡のスタンダード です。 落射光源にLEDを採用しランプ 交換の手間を軽減しました。 ライカ独自の斜め照明を採用し明るく シャープなコントラスト観察が可能な コストを抑えたエントリモデルです。 LSI 検査顕微鏡

エクリプス L200

L200N ¥1,866,000 ∼ L200ND ¥2,100,000 ∼ シャープでフレアーのないクリアー な高解像力により、産業分野におけ る開発、製造工程内検査、品質管理 などの広い範囲の観察に対応します。 明視野、暗視野、簡易偏光、微分 干渉観察、UV(365nm)励起を含 む落斜蛍光観察が可能です。 ウエハローダ NWL200 シリーズ と の 組 合 せ で、 超 薄 型 100μm ウエハの安定した搬送ができます。 −45° 0° 45° ▍5 種類の鏡基上部、3 種類の鏡基下部、2 種類の Vario スタンドと 組み合わせて、あらゆるサンプルに対応します。 ▍Vario スタンド使用時の最大被検物高さ 380mm です。 ▍カールツァイス独自の C-DIC、樹脂基板上のサンプルでも透過 DIC 観察が可能な PlasDIC をサポートします。

光学顕微鏡 

正立型顕微鏡

(6)

光学顕微鏡 

倒立型顕微鏡

カールツァイスマイクロスコピー 工業用倒立顕微鏡

AxioObserverMAT シリーズ

AxioObserber.A1m(手動タイプ) ¥3,734,850 ∼ AxioObserber.D1m(コーディックタイプ) ¥4,414,850 ∼ AxioObserver.Z1m(電動タイプ) ¥6,023,850 ∼ スタンダードマニュアル倒立顕微鏡

AxioVert.A1

¥1,764,000 ∼

アポクロマートで均一な照明を可能にしたハイエンド倒立顕微鏡

▍手動(A1m)、コーディック(D1m)、電動(Z1m)とラインナップを用意。 全ての機種においてアポクロマート光学系を採用しました。 ▍7インチパネル、LED ディスプレイで現在の観察情報を表示します。 ▍カールツァイス独自の C-DIC、樹脂基板上のサンプルデモ透過 DIC 観察が 可能な PlasDIC をサポート。

コンパクトなマニュアルスタンダード倒立顕微鏡

▍反射光の明視野、暗視野、DIC、C-DIC、蛍光、偏光の切換は一つの 動作で完了。 ▍対物レンズの切換に応じて光量も自動的に変わり、素材の属性、品質 検査などで構造の定量化が効率的です。 ▍粒界測定用のレチクルを用いると素早い測定が可能です。 ライカ マイクロシステムズ インテリジェント倒立金属顕微鏡

DMI 5000 M

¥3,254,000 ∼ ルーチン倒立金属顕微鏡

DMI 3000

¥2,207,000 ∼ ▍操作部を前面に配置したフロントオペレーション ▍従来機と比べて約 1/3 の省スペース ▍BOX 構造による堅牢性 ▍視野数φ25mm 超高視野接眼レンズと 1x 対物レンズの組み合わせで、直径 25mm のサンプル全域を観察可能。 ▍観察倍率:45x ∼ 4500x (接眼および対物レンズとアク セサリーの組み合せによる) ニコン 倒立金属顕微鏡

エクリプス MA200

¥1,807,000 ∼ ▍シンプルな操作、高コントラスト観察・画像取得が行えます。 ▍堅牢でコンパクトな設計 ▍観察倍率:10x ∼ 2250x (接眼および対物レンズとアク セサリーの組み合せによる) 倒立型金属顕微鏡

エクリプス MA100

¥628,000 ∼ ▍倍率変更や焦点合わせから、絞り・明るさ・ コントラストまで全ての観察をワンタッチ で自動調整する最高級の倒立顕微鏡です。 ▍快適な操作から想像を 超えた見えを実現。 ▍HC 光学系のリゾットな 鮮明像を実現。 ▍光路内の各光学コンポーネントを最高のアポクロマート補正技術 で設計したシンプルで高性能のルーチン倒立顕微鏡です。

(7)

  

光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

光学顕微鏡 

ズーム顕微鏡

ニコン ユニバーサルズーム顕微鏡

MULTI ZOOM AZ100

AZ100 ¥620,000 ∼ AZ100M ¥1,927,000 ∼ カールツァイスマイクロスコピー 高開口電動ズーム顕微鏡

AxioZoom.V16

¥1,969,000 ∼

最適な観察条件を簡単・正確に設定 “eZOOM”

電動ズームは電動開口絞りと連動できます。ズーム比に最適な絞り の設定がボタンを押すだけで実行されます。

16x ズーム、NA0.25 WD.60 mmを実現

Axio Zoom.V16 は、これまでの実体顕微鏡やズーム顕微鏡の中でも最高の性能 を誇る 16x ズーム比と NA 0.25 の高開口数を実現しています。中間のズーム比 において高い開口数を実現するため、広視野で、極めて明るい画像を提供します。 ライカ マイクロシステムズ マイクロスコープ

アポズーム Z16APO/Z6APO

¥1,221,000 ∼ 対物レンズ PlanApo Z 0.5x PlanApo Z 1.0x PlanApo Z 1.5x 作動距離 114mm 60mm 30mm 倍 率 3.5∼56x 7∼112x 10.5∼168x 実視野 66∼4.1mm 33∼2.0mm 22∼1.4mm 広視野・長作動距離を持つ実体顕微鏡と高分解能で、精細な観察画 像を持つ金属顕微鏡の特長を両立しています。 反射照明での微分干渉、蛍光観察、透過照明での微分干渉と蛍光を 同時装着が可能です。 ▍総合倍率:5 ∼ 400x (接眼レンズおよび対物レンズの組み合せによる) ▍ズーム範囲:1 ∼ 8x(ズーム比 8:1) 全てのズームレンジにおいて明るさを最優先するモード 接眼レンズからの観察に最適なモード 分解能と被写界深度の最適バランスを提供するカメラ記録に最適な設定

brightness モード

Eyepiece モード

Camera モード

▍ズーム比 16:1、0.57x ∼ 9.2x のズーム設定範囲を有し、アポクロ マートレンズを使用しています。 高精密検査器またはマシンビジョンとして組み込まれます。 ▍100%アクロマートの光学系 像のコントラス、シャープネス、色の 忠実性、寸法再現精度とも最高水準です。

(8)

光学顕微鏡 

システム実体顕微鏡

カールツァイスマイクロスコピー ▍高い解像度と長作動距離を重視して設計された 10 種類以上の大口径対物 レンズをラインナップ。 ▍ズームボディ本体はアポクロマート光学系を採用。ズーム比に応じて 3 種 類のボディの選択が可能です。 ▍任意ズーム倍率でスケール情報が画像に含まれる PC リンク機能で、撮影 後すぐにスケールバーの挿入や画面内計測が可能。 ▍環境に優しい LED 光源システムを各種ラインナップ。 ▍全域においてズーム倍率による焦点面差を改善。ナチュラルなズーミング が可能です。(.V20 .V12) ▍ズームノブでのクリックストップ機能の ON/OFF が可能です。(.V8) ズーム比 倍率 実視野 0.8∼10.0 8∼100x 28.8∼2.3mm 1.0∼8.0 10∼80x 23.0∼2.9mm ※対物レンズ 1.0x 接眼レンズ 10x/23 使用時 0.75∼15.0 7.5∼150x 30.7∼1.5mm

M205 A/M205 C

¥1,229,000 ∼

M165 C

¥1,056,000 ∼

M125

¥842,000 ∼ ライカ マイクロシステムズ

SteREO Discovery シリーズ

SteREO Discovery.V20 ¥1,900,500 ∼ SteREO Discovery.V12 ¥1,424,850 ∼ SteREO Discovery.V8 ¥698,000 ∼

SMZ1500

¥521,000 ∼

SMZ1000

¥366,000 ∼

SMZ800

¥238,000 ∼ ニコン

高い拡張性を持つモジュラー構造を採用した実体顕微鏡

最高の光学技術をベースに、ニコンが 打ち立てた実体顕微鏡の新世紀基準です。 ▍ズーム比: 15:1 ▍観察倍率:3.75x ∼ 540x (接眼および対物レンズの組み合わせによる) 傑出した光学性能、拡張性、エルゴノミ クスとコストパフォーマンスを高レベル で結合しました。 ▍ズーム比:10:1 ▍観察倍率:4x ∼ 480x (接眼および対物レンズの組み合わせによる) エルゴノミクスをテーマに開発しました。 上位機種の見え味と拡張性を継承しなが ら低価格を実現しています。 ▍ズーム比: 6.3:1 ▍観察倍率:5x ∼ 378x (接眼および対物レンズの組み合わせによる) FusionOptics を搭載。高い解像度と深 い焦点深度を両立し、ズーム比 20.5。 1x 対物レンズで 7.8 倍∼160 倍の観察 が可能です。 ズーム比 16.5、倍率範囲 7.3 倍∼120 倍 を実現。堅牢性の高いフォーカスコラム により高倍率でも安定した画像観察が可 能です。 ズーム比 12.5、倍率範囲 8 倍∼100 倍 で色収差を徹底的に排除したアポクロ マートを採用し色収差のない像が得られ てます。 .V20 .V12 .V8

(9)

  

光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

Stemi2000

Stemi2000 ¥410,550 ∼ Stemi2000C(カメラポート切り替え式) ¥474,600 ∼ Stemi2000CS(光路固定式) ¥570,150 ∼

コストパフォーマンスに優れたグリノー式実体顕微鏡

▍接眼レンズを使用することでデジタルカメラシステムに拡張が可能です。

S8 APO

¥266,000 ∼

A60 S/A60 F

¥222,000 ∼ クラス最高の 7.5 倍ズームおよび 115mm 作動距離で広範囲な観察が行 えます。三眼タイプ T では光路切り替 えがワンタッチで行え、モニタリング も可能です。 ▍ズーム比: 7.5:1 ▍観察倍率:3.35x ∼ 300x (接眼および補助対物レンズの組み合わせによる) ニコン実体顕微鏡シリーズのベーシック モデルです。 ▍ズーム比: 6.3:1 ▍観察倍率:4x ∼ 300x (接眼および補助対物レンズの組み合わせによる) 使いやすさと高い光学性能を集約した ズーム式実体顕微鏡です。 SMZ445(俯角 45°)と装置組み込み に適した SMZ460(俯角 60°)の 2 種 類があります。ESD 対策により静電気 による試料の損傷を防ぎます。 ▍観察倍率: SMZ445:4x ∼ 70x SMZ446:3.5x∼60x (接眼および補助対物レンズの組み合わせによる) ズーム対物レンズ系を組み込んだ 実体顕微鏡です。 ▍ズーム比: 5:1 ▍観察倍率:4x ∼ 120x  (接眼および補助対物レンズの組み合わ せによる)

StemiDV4/DV4Spot

StemiDV4 ¥207,900 ∼ StemiDV4Spot ¥510,300 ∼

SMZ745/745T

SMZ745T  ¥223,000 ∼ SMZ745   ¥155,000 ∼

SMZ660

¥155,000 ∼

SMZ

¥186,000 ∼

SMZ445/460

¥オープン価格

グリノー光学系を採用した明るくシャープな立体像を再現

▍常用域ズームの 7.7x ズームはクリック ストップ機能の ON/OFF が選択可能です。 ▍ナチュナルな立体像はサンプルプレパ レーションに最適です。 ▍環境に優しい LED 光源システムを各種 ラインナップ。 StemiDV4:反射・透過 LED 光源を内蔵。それぞれ独立して制御可能で、  同時照射にも対応します。 StemiDV4Spot:同軸ファイバ照明と 3 段式アームスタンドを採用しました。 グリノータイプでアポクロマート補正レンズ 光学系を採用しました。 圧倒的な見えを追求したハイパフォーマンス モデルです。 8x ズームでシャープなイメージを実現します。 FusionOptics 光学系を採用しました。 最大 13.6mm の焦点深度と高い解像度と 40mm の高視野観察 が可能です。 スタンド、LED照明が一体となった実体顕微鏡です。 スイングアームスタンドとフレックスアームスタンドの 2 種類 をご用意しています。

光学顕微鏡 

システム実体顕微鏡

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LV100POL LV50iPOL

光学顕微鏡 

偏光顕微鏡

ニコン 偏光顕微鏡

エクリプス LV100POL/50iPOL

LV100POL ¥1,308,000 ∼ LV50iPOL ¥862,000 ∼ エクリプス偏光顕微鏡シリーズが鏡基を一新しました。 定評ある光学系に磨きをかけ、操作性、耐久性も一段と 向上しました。 ▍観察倍率:40x ∼ 2000x (接眼および対物レンズの組み合せによる) カールツァイスマイクロスコピー 偏光顕微鏡

Axio Imager POL

¥2,306,850 ∼

偏光顕微鏡

Axio Scope POL

¥880,950 ∼

偏光顕微鏡

Axio Lab POL

¥1,048,950 ∼

透過・反射偏光対応のハイグレードタイプ

▍クロスライン/オルソスコピィ/コノスコピィ の切り替え可能です。 ▍リタデーション測定用に豊富なコンペンセータ をラインナップしました。 ▍干渉色を同時に観察できる円偏光をサポート。

透過・反射偏光対応のスタンダードタイプ

▍最大被検物高さ 110mm を実現しました。 ▍AxioImager2.POL と同様に偏光以外に暗視野、 微分干渉観察にも対応可能です。 ▍反射・透過とも円偏光に対応し、瞬時に直線偏 光と切り替えが可能です。

透過偏光専用モデル

▍アナライザの ON/OFF、コノスコピィに必須 なベルトランレンズの ON/OFF をレバーひと つで切り替え可能です。 ▍上位機種と同じコンペンセータが使用可能です。 ▍円偏光サポート。 ライカ マイクロシステムズ ルーチン偏光顕微鏡

DM2500 P

¥1,391,000 ∼ ▍スピーディな操作と高い再現性を図る ルーチン偏光顕微鏡です。 ▍焦点調節範囲の下限ストップ を設定することにより対物レ ンズのトップレンズと試料と の衝突を防ぎます。 小型偏光顕微鏡

DM750 P

¥635,000 ∼ ▍コンパクトで堅牢な実習、実験、検査に 最適な偏光顕微鏡です。 ▍標準ケーラー視野絞りとマグ ネット固着式のブルーフィル ターを備えており鮮明な像 を結びます。

(11)

  

光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

光学顕微鏡 

デジタルマイクロスコープ

ニコン デジタルマイクロスコープ

ShuttlePix P-400R

¥1,100,000 ∼ ライカ マイクロシステムズ デジタルマイクロスコープ

DVM5000HD

¥6,500,000 ∼ 観察から記録・計測・レポートまでを1台で実現するフルハイ ビジョンデジタルマイクロスコープです。 デジタルマイクロスコープ

DVM2500

¥3,500,000 ∼ ズームレンジ 35 ∼ 2500 倍までを実現したデジタルマイクロ スコープです。 シグマ光機 ズームマイクロスコープ

LWZ/LWZ-U

¥596,000 ∼ 高分解能対物レンズと 12×ズーム、 全体像の確認から拡大観察 組み込 み用として最適です。 超長作動ズームマイクロスコープ

ULWZ/ULWZ-M

¥2,470,000 ∼ モリテックス デジタルマイクロスコープ

MSX-500Di

¥398,000 ∼ 観察・計測・記録を 1 台に集約した デジタルマイクロスコープです。 デジタルマイクロスコープシステム

MS-900HD

¥オープン価格 フルハイビジョン対応のデジタル マイクロスコープです。 観察倍率 20x ∼ 400x(電動スタンド使用時、専用 モニター上の倍率)対応します。 レンズ交換の手間と費用をかけずに低倍から高倍まで をカバーします。ズームカメラヘッド・電動スタンド・ 専用計測ソフトウェアの 3 通りのスタイルで使用で きます。ズームカメラヘッドは単体でハンディ撮影が 行え、また電動スタンド使用時には専用のタッチパネ ルモニターで簡易計測・ワンアクションでの EDF 画 像の撮影ができます。更に PC と専用ソフトウェアで 3D 表示・高さ表示も行えます。 LWZ LWZ-M

(12)

光学顕微鏡システム製品 

共焦点レーザ顕微鏡

カールツァイスマイクロスコピー 工業用共焦点レーザースキャン顕微鏡

LSM700MAT

¥12,364,800 ∼ レーザーテック 3CCD リアルカラーコンフォーカル顕微鏡

OPTELICS H1200(WIDE)

¥価格はお問い合わせください。 白色光によるコンフォーカル光学系と最大 1200 万画素の RGB3CCD の 採用で高精細かつ、色分離能力の高い画像が得られます。 さらに Z セクショニングにより焦点深度の深いカラー画像を構築します。 半導体や液晶基板などのパターンの幅、高さ、粗さの自動測定が可能 用 途:各種半導体/ MEMS パターン、プローブカード、    インターポーザー、光導波路パターン、トレンチパターン

アプリケーション

▍SiC の欠陥測定 ▍太陽電池の品質管理 ▍MEMS の計測 ▍リチウムイオン電池の評価 ▍ナノインプリントの評価 ▍カラーフィルタの観察測定 ▍透明なフィルムの観察 ▍プリンターヘッドの観察・計測 ▍化粧品の観察 ▍フレキシブル基板 ▍材料の解析 ▍バンプの自動測定自動車部品の品質管理 ▍表面加工の評価 ▍歯科用セメントなどの観察・計測 ▍高温加熱しながらの観察 光学顕微鏡の多彩な観察モードを共焦点光学系で実現。 抜群のコントラストを誇るレーザ共焦点顕微鏡です。 反射明視野・偏光・微分干渉・落射蛍光 、透過明視野・微分干渉等のコン トラストモードを最大 4 波長のダイオードレーザ光源で実現しました。 光学顕微鏡の性能を限界まで引き出す可変ピンホールは、大気中で SEM のような画像の取得が可能です。 対応機種 検出器 分光機能 波長範囲 画像階調 スキャン解像度

レーザーモジュール

405nm または 445nm、488nm、555nm、639nm(最大 4 ライン) 半導体レーザ搭載

ソフトウェア

▍トポグラフィ:表面形状計測、表面粗さパラメータ

▍LSM Image VisArt plus : 高速、高機能の 3D、4D レンダリング

▍3D デコンボリューション:点像分布関数 PSF 計算によるボケ画像の除去 ▍StitchArt plus : 大きなサンプルを 2D、3D でつなぎ合わせる機能

アプリケーション

▍マイクロシステム部品のエッチングプロセス ▍成型プロセスの品質管理 ▍軟質プラスチックおよび軽量プラスチックの表面分析 ▍新素材の欠陥分析 ▍多層半透明材料における表面下構造解析 ▍不均一性、空孔、異物および界面などの分析

AxioImager Z2、AxioImager M2、AxioScope for LAM MAT 反射光/蛍光 1 チャンネル or 2 チャンネル PMT、透過光用 PMT VSD ビームスプリッタにより波長分離およびλスタック 419 ∼ 631nm/1nm ステップ可変 8、12bit および 16bit 選択 4×1∼ 2048×2048 ピクセル

自動測定システム

自動欠陥検査システム

半導体などの基板上の微小欠陥や異物などの自動全面検査が可能 用 途:LED用PSS 基板、各種ウェハ、ガラス基板 6 波長選択機能 干渉測定機能 コンフォーカル微分干渉観察機能 AFM 機能 膜厚測定機能 オプション オプション オプション オプション オプション

WIDE オプション

W

D

E

T

……対象サンプルに最適な測定波長を選択できます。 ……視野に捉われず、Z軸測定分解能 1nm を実現します。 ……ナノオーダーの微細な凹凸にコントラストをつけ、観察可能です。 ……顕微鏡像から AFM 領域までのシームレスな観察測定を実現します。 ……波長選択機能を駆使し、ナノオーダーの透明膜の厚みを高精度に測定します。

(13)

  

光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

光学顕微鏡システム製品 

表面形状解析システム

ニコン 超高分解能非接触三次元表面形状計測システム

BW-D/A シリーズ

BW-D シリーズ ¥11,999,000 ∼ BW-A シリーズ ¥10,408,000 ∼ パークシステムズ AFM

NX10

¥19,000,000 ∼

世界で最も正確な AFM XE10

ストローク除去(EX)による正確なAFMイメージング

・XY操作範囲全体で面外運動を業界最小の 1nm未満に抑御 ・Zスキャナの直線性は 0.015%未満 ▍

完全非接触モードによる正確なAFM走査

・9Khz を超えるZサーボバンド幅と 62mm/Sec 以上に高速走査を実現するZサーボ ・高速の非接触モードイメージング走査 ▍

真の試料トポグラフィーによる正確なAFM測定

・最高水準の低ノイズZ検出器で測定する試料トポグラフィー ・往復走査時の走査ギャップを最高水準の 0.15% 未満の抑御 ▍

NXユーザの効率性

・簡単にチックを交換、チップや試料を扱う為の空間を左右に確保 ・試料表面への簡単なチップの自動接触、10 秒以内での試料アプローチ ニコン独自の走査型光干渉技術により、サブナノからミリ までの高さレンジの表面形状を単一の測定モードで高精度 かつスピーディに測定できる計測システムです。 超高分解能と高速を兼ねた汎用性に優れた BW-D シリーズ と超高分解能と 140 万画素 CMOS カメラによる高ピクセ ル分解能を特徴とする高精細な計測に最適な BW-A シリー ズを用意しています。

用 途

▍ガラス、金属蒸着面 ▍シリコンウエハなど光沢面の測定 ▍レンズの表面形状 ▍レンズの金型表面形状 ▍リードフレームの表面形状 ▍印刷物の表面形状 ▍精密樹脂部品表面形状 ▍レーザーマーカー深さ ▍バンプ高さ ▍LD チップ反り ▍フィルムの表面形状 ▍薄膜段差 測定範囲:50 × 50μm(100×)高さレンジ:0.6nm 測定範囲:850 × 620μm(10×)高さレンジ:1nm ガラス 金属蒸着面

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光学顕微鏡システム製品 

画像貼り合せシステム

電動スキャニングステージを組み合わせて、フォーカスのズレ もなく高速に高精度の貼り合せ画像を作成します。 Z方向の合成も行い、傾きや厚みのあるサンプルにも対応しま す。貼り合せ時間の短縮、全体像と細部像の両立により品質管 理や欠陥検査作業の効率化に効果を発揮します。 ▍1分以内に最大 400 枚のスピードで画像取得、貼り合わせを 実行します。 ▍あらゆる観察方法、凹凸のあるサンプルに対応します。 三谷商事 画像連結ソフト

e-Tiling

¥300,000 ∼(windows 版) ピクセルラボ リアルタイムXYZ画像合成ソフト

XYZ-View

¥500,000.‒ 取得画面 貼り合わせ画像 拡大画像 サンプル:包埋 顕微鏡の観察範囲では収まりきらない対象物を、高倍率・広視 野・高解像で画像を生成します。縦横枚数の指定なく、斜めの 移動にも対応していますので手動 XY ステージで連結画像が生 成できます。光ムラをなくすシェーディング補正を使うことで、 レンズ・光量・のりしろの重なり量に依存のしない自然な連結 画像を作ることができます。 XYZview は手動 XY ステージだけでリアルタイムに広範囲な 合焦点画像をすばやく簡単に作成できる画期的なソフトウェア です。手動 XY ステージを手動で動かすだけで画像を自動連結 し、Z ステージを動かすだけで、全焦点画像を取得できます。 ・枚 数:1140 枚 ・サイズ:15.5×13.5mm ・観察方法:明視野観察 ・取得時間:5 分  ・観察倍率:200x ・画像容量:200MB ライカ マイクロシステムズ 画像貼り合せシステム

Power Mosaic

(パワーモザイク) ¥7,042,000 ∼

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光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

光学顕微鏡システム製品 

コンタミ解析システム

ライカ マイクロシステムズ

CleanLiness Expert

(クリーンリネスエキスパート) ¥8,953,000 ∼ カールツァイスマイクロスコピー 画像解析システム

Particle Analyzer

ISO16232、ドイツ自動車工業規格 VDA19 対応の微細機 械加工部品エンジン部品の洗浄液内のコンタミ測定システム です。 メンブレンフィルターで捉えた微粒子の分類、特定化を目的 とするアプリケーションに対応します。 薄膜上に残された微粒子で流体の洗浄度を自動計測します。 ISO4406、ISO16232、VDA19 を含む国内外の重要な 基準・規格を全てサポートし、また独自規格を設定するこ とも可能です。 クラス分けは自動的に設定され、適切な測定パラメータが 選択されます。ご要望により校正証明書を提供いたします。 また、オプションの標準試験サンプルも、透過光と反射光 でシステム検査に利用することができます。 粒形により二種類のシステムがあります。 1. 粒径≧ 2.5μm AxioImager ベース ¥6,668,550 ∼ 2. 粒径≧ 25μm SteREO Discovery ベース ¥5,194,350 ∼ ▍品質管理に最適化されたシステム

▍Leica Application Suite(LAS)ベースのすっきりしたユーザーインターフェース

▍メンブレンフィルターを任意の測定径に対して自動ステージを用いて自動測定

▍コンタミを反射/非反射で自動分類、顕微鏡の観察方法を自動切り替えでスキャンします。

▍分類結果、全体像、すべてのコンタミ情報を Microsoft. Word、 Excel に出力

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DS-L3 DS-U3 DS-Ri1 DS-Fi2 DS-Fi1c DS-Vi1 DS-Qi1Mc カメラヘッド コントロールユニット

USB メモリ

IEEE1394b

コントロールユニット

ラインナップ

カメラヘッド

ラインナップ

光学顕微鏡周辺機器 

顕微鏡用デジタルカメラシステム

ニコン 顕微鏡用デジタルカメラシステム 

Digital Sight シリーズ

スタンドアロンタイプ

DS-L3 

¥390,800.‒ 高精細カラーカメラヘッド

DS-Fi2

¥137,600.‒ 超高精細カラー冷却カメラヘッド

DS-Ri1

¥550,000.‒ 高精細カラー冷却カメラヘッド

DS-Fi1c

¥573,300.‒ 高速カラーカメラヘッド 

DS-Vi1

¥127,100.‒ 高感度モノクロ冷却カメラヘッド

DS-Qi1Mc

¥756,000.‒ パソコン制御タイプ

DS-U3 

¥792,800.‒※

5 種類のカメラヘッドと 2 種類のコントロールユニットを組み合せることで 10 種類の幅広いニーズに対応します。

500万画素カラーCCD に、周辺温度− 20℃ までの冷却が可能なペルチェ素子を搭載。 長時間の露光が必要な暗い標本でも、熱によ りノイズを抑えてクリアに撮影できます。 SXGA の動画を 15fps(最大 29fps)の高フ レームレートで表示する 200 万画素カラー CCD を搭載。スムーズな動きと高感度によ るクリアな撮影画像で、モニタリング用途に 活用できます。 高感度・低ノイズに加え、高い定量性を実現。 冷却 150 万画素 CCD を採用。 −10℃まで冷却しノイズを低減、微弱な蛍 光の変化を的確に捉えます。 新ピクセルシフト技術によって 1270 万画素 の出力画素と 2200TV 本の高解像度を実現。 優れた色再現性によりサンプルの色を忠実に 記録できます。スムーズな動画表示によって、 ピントあわせも容易です。 2560×1920 ピクセルの高解像度で撮影可 能。明視野、位相差、微分干渉などあらゆる 観察で高解像度の画像を取得。高機能と高い コストパフォーマンスを実現しています。 8.4 型モニターを内蔵。パソコンやモニター のない環境でも、簡単操作で手早く画像取得 ができます。また、豊富なツール機能により、 簡易測定や線・コメントなどの入力も行え、 パソコン用モニター・プロジェクターへ出力 し同時観察も行えます。 カメラの性能をフルに引き出すことができる 高速インターフェース IEEE1394b 接続。 カメラヘッドを 2 個接続でき、コントロール ソフト NIS-Elements 上で切り替えて観察・ 撮影が行えます。 ※制御 PC・ソフト NIS-Elements 含みます。

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光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

ニコン 画像統合ソフトウェア

NIS-Elements Documentation

¥115,500.‒(標準セット) 標準セットのドキュメンテーションパッケージでは、測定機能や レポート機能を装備。生物医療分野から工業分野まで広く一般的 な顕微鏡画像取得にお使いいただけます。オプション機能追加に よる拡張も可能です。

手動計測とイメージアノテーション

画像に直接、線や図を書き込んで長さや範囲を計測するインタラ クティブ計測が行えます。計測結果は画像に貼り付けたり、テキ ストやエクセルファイルなどで出力することができます。

ラージイメージ

複数視野の画像を撮影しながらつなぎ合わせて、広い視野の画像 を作成します。取得済みの画像を繋ぎ合わせることもできます。 NIS-Elements シリーズ は 3 種類のソフトウェアから選ぶことができ、さらに多彩 なオプションモジュールを追加することで、用途や観察対象に応じたシステムを構築 できます。 拡大/縮小、フルスクリーン、拡大鏡 キャプチャーサムネイル スケール、アノテーション、プロファイル グリッド LUT、ヒストグラム 3D サーフィスモデル(EDF) オートキャプチャー 多次元取得 タイムラプス Z シリーズ、マルチポイント ラージイメージ ライブコンペア RAM キャプチャー BMP、TIFF、JPEG、AVI、JPEG2000 GIF、PNG、ICS/IDS、Nd2 ホワイトバランス LUT、シェーディング補正 コントラスト、色相/彩度調整 エッジ強調、平均化、スムージング EDF、リアルタイム EDF HDR(High Dynamic Range) 2D/3D デコンボリューション クロップ 画像重ね合せ カット、コピー、ペースト、回転、反転、リサイズ 成分抽出 疑似カラー キャリブレーション(長さ) 手動計測(カウント、長さ、面積、角度、円、楕円) 自動計測(2 値化、オブジェクト抽出) 3D 計測(EDF) タイムメジャーメント 顕微鏡コントロール 他社デバイスコントロール 画像表示 画像取得 記録形式 画像処理 画像編集 画像解析 周辺機器制御 ○ ○ ○ ○ ○ ● ○ 3D 単一 ● ○ ● ー ○ ○ ○ ○ ○ ○ ● ● ー ○ 4(RGB+α) ○ ○ ○ ○ ○ ● ● ー ○ ● ○ ○ ○ ○ ○ ● ○ 4D 可変 ○ ○ ● ー ○ ○ ○ ○ ○ ○ ● ● ー ○ マルチチャンネル ○ ○ ○ ○ ○ ○ ● ● ○ ● ○ ○ ○ ○ ○ ● ○ 6D 可変 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ● ○ ● ○ マルチチャンネル ○ ○ ○ ○ ○ ○ ● ○ ○ ● 各パッケージの主な機能 D Br Ar

EDF(Extended Depth of Focus)

フォーカスの異なる画像を合成し、全てに焦点のあった一枚 の画像を作成します。また、画像データを元に 3D 画像を作 成することも可能です。擬似立体画像として様々な角度から 見ることもできます。

オブジェクトカウント

あらかじめ設定したしきい値を用いて画像を二値化し、抽出 されたオブジェクトの数や面積、輝度などを計測します。

結晶粒度測定

JIS および ASTM 規格に基づいて結晶粒度を測定し、結果を 表示します。

< JIS G0551/ASTM E112-96/E1382-97 >

黒鉛球状化率測定

JIS および ASTM 規格に基づいて、研磨した鋳鉄の黒鉛球状 化率を測定し、結果を表示します。

< JIS G0551/ASTM E112-96/E1382-97 >

オプションソフト

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光学顕微鏡周辺機器 

顕微鏡用デジタルカメラシステム

カールツァイスマイクロスコピー 顕微鏡用デジタルカメラシステム

AxioCam シリーズ

AxioCam HRc ¥2,306,850 ∼ AxioCam MRc5 ¥1,775,050 ∼ AxioCam MRc ¥1,555,050 ∼ AxioCam ERc5s ¥301,770 ∼ 構成(カメラヘッド、小型モニタ、付属品) ピエゾ機構が1画素単位でセンサを精密に動 かして画像を撮影します。各点は全ての色に ついて、最低1回はセンサに読み取られます。 RGB 全てのチャンネルがシャープな画像と して得られます。 高感度 CCD をマイクロスキャニングすることにより、 最高 1300 万画素の空間分解能を実現する高感度 カラー CCD カメラです。 276×208 か ら 1300 万 画 素 に 相 当 す る 4164× 3120 までアプリケーションに応じて異なる分解能を 選択できます。 2/3" 500 万画素の CCD は RGB の分解能 が 36bit あり、シャープなカラー画像を提供 します。ペルチェで冷却されており、ドキュ メンテーションや解析のあらゆるシーンでお 使いいただけます。 AxioCam MRc のライブ画像は 1 秒間に最 大 38 フレームですのでストレスがありませ ん。撮影に必要な設定はすべて、AxioVision の中でマウスをクリックするだけです。 カメラヘッドに SD カードスロット、ホワイ トバランスボタン、撮影ボタンを搭載。コン ピュータと接続せずに顕微鏡画像の撮影と保 存が可能です。また、オプションの専用タブ レット PC により簡単操作で、矢印・テキス ト・スケールバーなどの注釈を挿入できます。

AxioCam HRc

AxioCam HRc AxioCam MRc5 AxioCam MRc AxioCam ERc5

AxioCam MRc5

AxiCam MRc

AxioCam ERc5

有効画素数     H × V 画素サイズ センササイズ ダイナミックレンジ 取り込み画素数 AD変換 ライブ像(フルフレーム) 露光時間 冷却機構 光学接続 その他機能 140 万画素 1388×1040 6.45×6.45(μm) 2/3 インチ  1:2500 276×208 ∼ 4164×3120 14bit 最大 12fps 800μs ∼ 600s ペルチェ C マウント co-siteSampling マイクロスキャニング 500 万画素 2584×1936 3.4×3.4(μm) 2/3 インチ 1:1300 258×193 ∼ 2584×1936 12bit 最大 3fps 1ms ∼ 60s ペルチェ C マウント ー 140 万画素 1388×1040 6.45×6.45(μm) 2/3 インチ 1:2200 276×208 ∼ 1388×1040 12bit 最大 13fps 400μs ∼ 60s ペルチェ C マウント ー 500 万画素 2560×1920 2.2×2.2(μm) 1/2.5 インチ ー ー 8bit 最大 13fps ー ー C マウント SD カードスロット内蔵 PCレスでの撮影 三原色の co-site Sampling 構成 (カメラヘッド、AxioVision、1×Cマウント、PC、モニタ、付属品)

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光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

カールツァイスマイクロスコピー 顕微鏡用デジタルカメラシステム

AxioVision

¥275,000 ∼ 可能な限り高い性能、簡単な操作、究極の柔軟性、そしてカールツァイス の顕微鏡およびカメラシステムとのシームレスな統合。使い始めから効果 のある機能を発揮し、隙のないソリューションです。 AxioVision は高機能のモジュールを追加することでクオリティの高い画像の取得を可能にします。 用途に応じ様々なオプションモジュールを用意し、あらゆるニーズに対応します。 Z- スタック 焦点面を動かして連続撮影

効率的な顕微鏡制御

AxioVision はカールツァイスの電動顕微鏡の制 御およびマニュアル顕微鏡の観察情報を読み取 ることが可能です。

柔軟なカメラ操作

標準化されたインタフェースで AxioCam のみ ならず、様々なタイプのカメラを利用すること ができます。

高速画像処理

・ コントラスト、明るさ、色調 ・ ノイズ低減、スムージング、輪郭強調 ・ 先鋭化、細部の強調 ・ 照明条件の補正、ホワイトバランス

テキストやグラフィックの追加

スケールバーやカラーマーカー、テキストや図 形等、注釈をすべて同じプログラム内で画像に 追加します。

精密な画像計測

長さ、面積、角度などのデータはリスト化されて、 Microsoft Excel などのプログラムで簡単に開 けます。

レポート作成

レポートやプレゼンテーションを作成する機能 が豊富にあります。測定データ、解析結果、表、 グラフ、イメージなどのすべての情報は簡単に レポートレイアウトに配置できます。

オプションモジュール

拡張フォーカス 焦点深度を深くしてイメージ取得・合成 Panorama 画像のつなぎ合わせ Grains オーステナイト計測 トポグラフィ 表面形状計測 タイムラプス 時間軸での連続画像取得 マーク&ファインド 電動ステージ制御による多点観察 Auto Measure ウィザードによる画像計測

光学顕微鏡周辺機器 

顕微鏡用デジタルカメラシステム

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カラー CCD2/3" IEEE1394a 3264 × 2448 (800 万画素) 32 ∼ 1.4fps 1392 × 1040 (140 万画素) 60 ∼ 7.5fps 各色 12bit

光学顕微鏡周辺機器 

顕微鏡用デジタルカメラシステム

ライカ マイクロシステムズ 顕微鏡用デジタルカメラシステム

DFC シリーズ

¥787,000 ∼ Image【想像】以上の Image【映像】をあらゆる顕微鏡オペレーションの ニーズ最高のソリューションで応える、ライカ DFC シリーズ。 明視野観察用カラーカメラ、蛍光観察用モノクロカメラ、明視野・蛍光観察 用カラーカメラまで研究、検査、開発現場の様々な要望に対応可能な多彩な ラインナップを揃えました。 高度な解析、複雑な画像処理アプリケーションを簡単に実現します。

DFC シリーズ製品仕様

画素タイプ 撮像素子 画素数 フレームレート A/D 変換 インターフェース マウント OS 1360 × 1024 (140 万画素 最高 1250 万画素) 設定条件により異なる 各色 14bit CCD2/3" 1392 × 1040 (140 万画素) 109 ∼ 10fps 単色 12bit/8bit IEEE1394b CCD1/1.8" 1600 × 1200 (200 万画素) 40 ∼ 5fps 単色 12bit CCD1/1.8" 2592 × 1344 (500 万画素) 45 ∼ 2.5fps 各色 12bit IEEE1394a CMOS1/2" 2048 × 1536 (310 万画素) 30 ∼ 5fps 各色 10bit C マウント

Windows 7、Windows XP、Mac OS10.4 以上

DFC500 DFC490 DFC300FX DFC360FX DFC340FX DFC420 DFC290 カラー モノクロ 明視野・蛍光観察用カラーカメラ 蛍光観察用モノクロカメラ 明視野用カラーカメラ

製品マトリックス

画素数 高感度 感  度 DFC360FX DFC340FX DFC300FX DFC420 DFC290 DFC490 DFC500 高画質 1 3 3 3 3 3 3 3 3 10 11 12 13(M) 6 5 4 3 2 1 0

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光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

LAS 測定モジュール

INTERACTIVE MEASUREMENT

LAS ライブ測定モジュール

LIVE MEASUREMENT

校正する手間もなく取得画像の対象物の個数、距離、面積などが簡単に測定 できます。  ライカ マイクロシステムズ

Leica Application Suite (LAS)

様々なアプリケーションや解析に必要な機能をモジュール化。様々な 分野の研究、解析などの必要なイメージング機能を単体(モジュール) 化し、自由な組み合わせを可能にしたモジュール式アプリケーション です。

LAS 保存・呼びだしモジュール

STORE AND RECALL

任意に設定した観察・記録条件を画像とともに保存。保存画像を選択するこ とで観察条件を再現します。

LAS ライブXY連結モジュール

LIVE IMAGE BUILDER XY

LAS ライブ焦点合成モジュール

LIVE IMAGE BUILDER Z

ライブ上で手動、電動ステージを移動する だけで画像をリアルタイムに連結します。 高倍率の解像度を生かしたまま、最大 1.2万×1.2 万ピクセルの範囲ま で視野を拡張することが可 能です。 粗微動ダイヤルを回すだけでライブ上でリアルタイムに全焦点合成を作成し ます。全焦点画像プレビューを大きなキャンパス画面で確認しながら行え、 作業時間が大幅に短縮されます。 LAS モンタージュ/ 3D ビュアーモジュール

MONTAGE/3D VIEWER

LAS 拡張注釈モジュール

EXTENDED ANNOTATION

Z軸の異なる複数の画像から被写界深度の深い画像や 3D 画像の作成が可能。 被写界深度の大きな画像の取り込みにおける強力なソリューションです。 ファイル名、画像記録日時など簡単な注釈やライン、矢印、スケールなどの グラフィックデータを画像に重ね合わせます。

光学顕微鏡周辺機器 

顕微鏡用デジタルカメラシステム

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光学顕微鏡周辺機器 

顕微鏡用デジタルカメラ

浜松ホトニクス 顕微鏡用デジタルカメラ

ORCA-Flash4.0

¥2,295,000 ∼ フローベル 顕微鏡用 3CCD デジタルカメラ

AR-630

¥980,000.‒ 日本ローパー 顕微鏡用デジタルカメラ

QIClick

¥698,000.‒

用 途

▍PDP や LCD 等のフラットパネル点灯検査 ▍印刷やインク分野での色度画像検査システム ▍プリント基板・ハンダ検査装置での画像検査カメラ ▍電子部品分野での画像計測カメラ ▍コンフォーカルやレジスト検査等の半導体顕微鏡用途 リーズナブルな価格ながらサイエンティフィックグレード CCD を実装し、高感動・高速・低ノイズ読出しを実現しました。 コンパクトなボディに IEEE1394 FireWire インターフェイス を装備し、コンピュータとケーブル 1 本で接続できます。カラー モデル・モノクロモデルの 2 種類のラインナップを用意してい ます。 ▍有効画素数:201 万画素(1628H×1236V) ▍30fps /ミニカメラリンク出力 ▍プリズム分離による 3 板式 CCD 採用 ▍C マウント 科学計測用 CMOS イメージセンサ FL-400 を搭載した第 2 世 代の sCMOS カメラです。 一般的な EM-CCD カメラに比べ 2.5 倍以上の広い視野を実現。 更に蛍光観察においては、低ノイズ・高量子効率など EM-CCD カメラを凌駕するパフォーマンスを発揮し、微弱な蛍光から幅 広い領域の蛍光観察に対応します。 また、高速かつ長時間での記録を実現し、100 フレーム / 秒の 高速読み出しで 15 分を超える連続撮像が可能です。

用 途

▍超解像顕微鏡 ▍TIRF ▍リアルタイム共焦点顕微鏡 ▍電子部品分野での画像計測カメラ ▍微細形態観察

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光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

光学顕微鏡周辺機器 

HD カメラ

東芝テリー Full HD カメラ

CSDW2M60CM28

¥300,000 ∼ 東芝 Full HD カメラ

IK-HR シリーズ

¥オープン価格 ソニー 3CMOS HD カラービデオカメラ

PMW-10HD

¥1,680,000.‒

使用例

1/2.8 型単版 CMOS センサを採用した、一体型カメラです。 FULL HD 画像をプログレッシブで 60fps 出力できます。映像 出力に DVI-D を採用しており、モニタに直接接続するだけで映 像出力が得られます。原色モザイクフィルターの採用により色 再現性に優れて、またカメラ制御コネクタより PC からカメラ 制御を行うこともできます。 ラインナップには 1/3 型単版 CMOS センサを採用したカメラ もあり、こちらは最大で SXGA サイズの映像をプログレッシ ブで 60fps 出力できます。 1/2 型フルHD 3MOS イメージセンサーを搭載したコンパクトな カメラです。限定されたスペースでの利用に適しています。 SxS メモリーカードは高速転送速度、高信頼性、小型軽量で使い やすく、大容量が特長で、動画・静止画の長時間記録が可能です。 様々なシーンで活躍する超小型・最先端カメラです。使用シーン に応じて、ケーブル一本のみで離れた場所から操作可能な分離型、 カメラ機能の全てを一つの筺体に凝縮した一体型をご用意してい ます。1/3 型フル HD の CMOS センサーを搭載したカメラです。

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color-pick-L shading-L linwe-length-L filter-L

光学顕微鏡周辺機器 

画像処理・計測ソフトウェア

三谷商事 画像解析・計測システム

Win

ROOF

¥450,000 ∼ 三谷商事 画像寸法計測システム

Sensiv Measure

¥200,000 ∼ 画像処理・画像計測・データ処理を統合したソフトウェアです。 画像連結・フォーカス合成など高度な解析機能を標準装備し、計測結果の 転送、最新の外部機器への対応・連結など、パフォーマンス性に優れています。 金属組織などの面積や個数カウント、長さの自動計測が行え、複雑な円形 物の分離計測も可能です。 また、「金属粒界計測」や「針状粒子計測」など、 オプション機能も豊富で、様々な分野で求められる多彩なケースを想定し、 それぞれの現場からのニーズに対応した機能です。 image SensivEX01 画像計測・画像処理・データ処理を統合した 2 次元画像寸法計測 ソフトウェアです 。 画像の取り込みから画像上での寸法計測、データ処理までサポート。 作図中のスナップ機能もあり、作図されたデータは、図形保存、読 み込みが可能で、毎回同じようなサンプルを計測する場合に有効で す。計測結果を MS-Excel に転送して Excel 上でレポートを自動 生成できるなど、効率よくデータ処理を行うことができます。革新 的な GUI を導入しながらも価格を抑えた、ユーザーフレンドリー な製品です。

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光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

日本ローパー 世界のベストセラー画像解析・計測ソフト

Image-Pro Plus

¥¥660,000 ∼ フローベル 画像ファイリング・計測ソフト

FlvFs

ソフトウェアのみ ¥300,000.‒ オールインワンパッケージ ¥1,300,000.‒

簡単操作で、豊富な画像処理機能を搭載

FlvFs はカメラからの映像をPCに取り込み、ライブ表示や画像 ファイル保存をします。また、取り込んだ画像上で拡大表示や各種 計測(マニュアル)を行うことができます。簡単な操作でどなたでも 扱える高機能ファイリングソフトです。

多彩な機能

ライブ表示 部分拡大表示 画像ファイリング 画像計測

一般的な画像処理、解析の他、豊富な空間フィルタ、3 次元解析までサポートしています。

▍タイリング機能、動画解析機能等、新機能を搭載しています。 ▍60 以上の画像ボードに対応します。 ▍各種フィルターや FFT などの豊富な前処理機能。 ▍寸法・濃度の較正・測定機能。 ▍個数のカウント、面積など各種特徴量の測定ができます。 ▍強力なマクロ機能。高度なアプリケーション作製に備えて ダイアログ作製ツールも用意しています。

光学顕微鏡周辺機器 

画像処理・計測ソフトウェア

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光学顕微鏡周辺機器 

電動スキャニングステージ

シグマ光機 高剛性・精密型自動ステージ

SGSP シリーズ

¥83,000 ∼ 中央精機 高剛性、高精度型自動ステージ

ALS シリーズ

¥600,000 ∼ 機械精度を追求した超高精度の自動ステージです。 各種センサ、ワークの位置決め用途に使用できます。

仕 様

(例:ALS-105-H1S の場合) ▍移動量:±25mm ▍モーター:5 軸 ▍分解能:0.002mm ▍送りねじ:1mm ▍位置決め精度:0.003mm ▍繰り返し精度:±0.0005mm 精密級ガイドアクチュエーターを採用した計測・検査用の位置決め・姿勢 決めの自動ステージです。 精密な直動案内のガイドと精密ボールネジの機能を一体化した構造でかつ 直動案内のガイド、インナブロック(テーブル)、駆動ボールネジとが同位 置にガイドの剛性の高いU字形状アウターレールを採用して省スペースに 設計しています。 タイプはX軸,XY軸、Z軸とラインナップを揃えております。 また、SGSP シリーズ以外にもさまざまなステージをラインナップに揃え ています。 担当営業までお問い合わせ願います。

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光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

フォトニックインストゥルメンツ(メルツホイザー社) 顕微鏡用電動スキャニングステージ

EK75x50 Pilot

¥価格はお問い合わせください。 ▍マルチアダプタの採用でほとんどの正立顕微鏡に取付可能です。 ▍モーターコントローラを内蔵しています。 ▍内蔵同軸ノブによる手動操作、スピード 2 段切り替えできます。 ▍移動範囲:76×52mm ▍分解能:0.05μm ▍繰り返し精度:<1μm ▍位置決め精度:±3μm 顕微鏡用電動スキャニングステージ

SCAN plus 300x300

¥価格はお問い合わせください。 ▍高精度、高分解能。 ▍磁気式リニアスケールを内蔵しています。 ▍高精度のポジショニングが可能です。 ▍移動範囲:300×300mm ▍分解能:0.1μm ▍繰り返し精度:<1μm ▍位置決め精度:±1μm 日本ローパー(PRIOR Scientific 社) 顕微鏡用ステージ / フィルタ / シャッタ

ProScan/OptiScan

Z 制御のみ ¥369,000 ∼ XY 制御 ¥1,062,000 ∼ XYZ 制御 ¥1,201,000 ∼

ProScan/OptiScan は Image-Pro を 始 め、MetaMorph TM や IP Lab TM などの主要な画像解析ソフトで使用できます。 OptiScan は主要顕微鏡メーカーの標準的な顕微鏡に対応する電動 XY ステージと 2 台までのフィルタ・シャッタを制御できるコスト

OptiScan

ProScan は主要顕微鏡メーカーの様々なモデルに対応する電動 XY ステージと 3 台までフィルタ・シャッタを制御できる高速・高制度 の顕微鏡システムです。タッチスクリーンキーパッドを使用しての 登録位置への移動や、パソコンと接続し画像解析ソフトと組み合わ せての自動化が可能です。

ProScan

光学顕微鏡周辺機器 

電動スキャニングステージ

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光学顕微鏡周辺機器 

加熱冷却ステージ

ジャパンハイテック(リンカム社)

顕微鏡用冷却加熱ステージ

メトラー・トレド 顕微鏡加熱冷却ステージ

FP900 サーモシステム

¥1,656,000.‒ コレット工業

レーザー三次元測定装置用加熱/冷却ステージ

¥3,800,000 ∼  ご使用の温度範囲(−190∼1500℃)、サンプルサイズ、試料室雰囲気 から目的にあったステージをお選びいただくことができます。半導体、 セラミック、高分子、新素材、複合材、バイオ、医学等の熱的研究開発、 検査、品質管理に使用されています。 10002 10002L (室温∼ 600℃) (‒190 ∼ 600℃) ¥2,740,000.‒ ¥3,360,000.‒ 10021(‒20 ∼ 120℃) ¥1,580,000.‒ 10073A 10073B (室温∼ 350℃) (‒100 ∼ 350℃) ¥4,830,000.‒ ¥5,450,000.‒ ペルチェ式 延伸ステージ 顕微鏡ホットステージ(熱光学分析)

FP82HT/84HT

¥853,000.‒ 熱特性を迅速かつ高い信頼性を もって測定し、操作がシンプル な測定システムシリーズは幅広 いラインアップを提供します。 機器は光学的熱量測定方法に基 づき、物質の物理的特性と位相 の変化を測定します。さらに、 2 つの顕微鏡ホットステージ により、加熱と冷却の過程に おいてサンプリングをするこ とが可能です。 FP82HT 加熱ステージは、非常に使いやすく正確で、光学サ ンプルの検査に最適です。 FP84HT 加熱ステージは、光学観察と同時に簡易的な DSC 測 定が可能です。接続された顕微鏡とビデオカメラを使用するこ とでビデオ画像を記録することができ、またソフトウェア(他 社製)で、リアルタイムの温度、寸法、文字を画像に記録する ことも可能です。 100×100(試料サイズ)  チャンバ/温度コントローラ 1 式 特注対応いたしますので詳細仕様はお問い合せください。 ▍温度範囲:−50℃∼ 350℃

(29)

  

光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

光学顕微鏡周辺機器 

マイクロマニピュレーター

ナリシゲ 三次元電動マイクロマニュピレーター

EMM-3SV

¥1,000,000 ∼ ライカ マイクロシステムズ

微小異物ピックアップシステム M

¥価格はお問い合わせください。 微細作業を行なうマニピュレーターにオペレターの感覚をいかに 連動させるかを追及したマニピュレーターシステムです。 最小移動ステップ1μm。 ライカ実体顕微鏡との組合せで微少異物の検出からピックアップ が可能です。 マイクロサポート 異物分析前処理用マイクロマニピュレーター

Axis Pro

¥価格はお問い合わせください。 緻密なモーションコントロールにより、微細な対象物の採取 や狙った部位の精密加工が可能な、マイクロマニピュレーター システムです。 電子部品、液晶関連部品、半導体、製薬、機能材料、化成品 の分野において製造工程で混入する異物のマイクロ・サンプ リングに最適です。 半導体や FPD などの工業分野において、スループットの向上 と品質管理のために微小異物を取り出だすのに最適な様々な ツールを用意しています。 また、マイクロインジェクターを操作し、微小な液滴を目的の 位置に作ることもできます。 ▍対象サイズ:1μm ∼ ▍観察倍率:50x ∼ 2,500x ▍マニピュレータストローク:X:20 Y:20 Z:29mm ▍マウスオペレーション

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光学顕微鏡周辺機器 

除振台

特許機器 卓上型アクティブ除振台

CSMOS シリーズ

¥価格はお問い合わせください。 昭和サイエンス 高性能空気供給型

ND

¥500,000 ∼ 空気供給型

ID

¥350,000 ∼ 特殊防振ゴム型

SD

¥235,000 ∼ 高性能空気ばねにより、水平方向 0.5Hz の 低固有振動数が可能です。自動圧力調整器に より、定盤のレベルを一定に保持します。 空気ばね方式の除振デスクで、自動圧力調整 器を装備し、常に定盤のレベルを一定に保ち ます。 低固有振動数の特殊防振ゴムを採用した高性 能な除振台です。 明立精機 卓上/デスク型アクティブ除振システム

ME-40 シリーズ

¥999,000 ∼ コンパクトなボディに 6 自由度アクティブ除 振機構を集約、従来のパッシプタイプでは実 現できなかった振動環境を提供します。 薄型ダイヤフラム型空気ばねと、新採用の防 振ゴムにより垂直・水平両方向の除振性能を 強化したモデルです。 コイルばね式除振装置として最高水準の性能 を発揮。精密機器の特徴に応じて最適な除振 装置が選べます。 コンパクトなボディにアクティブ制御を搭載 パッシブ除振台ではなし得なかった低周波域 からの除振性能を実現しました。 従来のダイヤフラム型空気ばねに変わり、 SSR 新除振機構を採用し、搭載機器の重さ や重心位置に関係なく低固有振動数を実現す ることが可能となりました。 エアー供給自動レベリング、手押ポンプによ る手動レベリング、ゴム仕様の 3 通りを用意 しました。作業性向上のための各種オプショ ンも用意してあります。 デスク型空気ばね式除振装置

ADZ-A シリーズ

¥489,000 ∼ デスク型コイルばね式除振装置

FD/E200/B300 シリーズ

FD ¥270,000 ∼ E200D ¥295,000 ∼ B300N ¥190,000 ∼ デスク型除振台

EHS/DHS

EHS ¥450,000 ∼ DHS ¥530,000 ∼ デスク型除振台

SRD

¥250,000 ∼

アクティブ除振台

アクティブ除振台

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光学顕微鏡

  

電子顕微鏡

  

測定機

  

試験・検査機

  

試料作製機

  

真空機器

  

光学実験

卓上型除振台(ニューマボード)

PB-5AA

¥150,000 ∼ 卓上型除振台(ニューマボード)

PB-5AH

¥130,000 ∼ 卓上型除振台(ニューマボード)

PB-VSM

¥110,000 ∼ 小型の自動圧力調整器を内蔵しています。 空気源があれば、ばね上の荷重に対応し、 自動的に空気ばね圧力を調整して水平レベル を保ちます。 圧縮空気源の無い所でも、手押しポンプで 簡単に圧縮空気を封じ込める事ができ、 空気ばねで定盤を浮上させます。 コイルスプリングと、粘弾性体を組み合わせ た複合マウントを採用。メンテナンスフリー で、優れた防振性能と、高減衰特性を備えた 除振台です。 高性能な除振システムを集約した卓上型。 スチールハニカム定盤を組み合わせた AET シリーズは、 小さな面積の光学実験に最適な除振装置です。 卓上スチールハニカム定盤空気ばね式除振装置

AET シリーズ

¥202,000 ∼ 小型特殊空気ばねシステムを採用。 低周波から高周波まで幅広い帯域で、優れた除振性能 を発揮すると同時に、軽荷重や高重心の搭載機器にも 対応します。 卓上型空気ばね式除振装置

AVT/AVS シリーズ

AVT ¥108,000 ∼ 卓上型除振台 標準仕様エアー式 < 自動レベリング方式 >

TAP

¥150,000 ∼

外乱振動の絶縁と減衰をバランスよくセッティングした、使いやすい標準モデルです。

卓上型除振台 標準仕様エアー式 < 手押しポンプ供給式 >

TAPC

¥140,000 ∼

光学顕微鏡周辺機器 

除振台

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電子顕微鏡 

フィールドエミッション走査電子顕微鏡

JEOL サーマル電界放出形走査電子顕微鏡

JSM-7800F

¥75,000,000 ∼ JEOL サーマル電界放出形走査電子顕微鏡

JSM-7100F

¥52,000,000 ∼ 新開発のスーパーハイブリッド対物レンズにより、0.8nm(15kV)、 1.2nm(1kV)の高い分解能が得られます。 GentleBeam 搭載の高性能電子光学系が、試料表面の微細構 造を映しだします。組成の分析を、数100V の低い入射電子エ ネルギーで観察できます。スーパーハイブリッド対物レンズは、 分析位置での磁場がありません。磁性材料を高倍率で観察・分 析できます。非導電性試料の観察も容易です。

仕 様

二次電子像分解能 大電流時分解能 倍率 加速電圧 照射電流 電子銃 検出器 試料室 試料ステージ 排気系

アタッチメント

▍反射電子検出器(SRBE) ▍上方二次電子検出器 ▍走査型透過電子検出器(STEM) ▍エネルギー分散形 X 線分析装置(EDS) ▍波長分散形 X 線分析装置(WDS) ▍結晶方位解析装置(EBSD) ▍カソードルミネッセンス(CL) ▍電子ビーム露光装置 0.8nm(15kV)1.2nm(1kV) 3.0nm(5nA、15kV、WD10mm) 25x ∼ 1,000,000x 0.01 ∼ 30kV 数 pA ∼ 200nA インレンズ型ショットキー電界放出形電子銃 上方検出器、下方検出器 最大 200mm 径試料対応大型試料室 ユーセントリック 5 軸モーター駆動 SIPx2、TMP、RP 4 種類の検出器により、試料からの電子を選択して検出します。 開き角最適化レンズにより、電流を増やしたときでも、小さい 電子プローブ径が得られます。大電流を使うことで、分析精度 や元素マップの品質を落とさずに、短時間で分析ができます。 インレンズサーマル電界放出形電子銃により、 長時間安定な電 子プローブが得られ、いつでも高性能が得られます。プローブ 電流が安定するのを待つ必要がありません。 開き角最適化レンズは、対物レンズ の開き角を自動的に最適化します。 分析時など、大きい試料照射電流でも 小さい電子プローブ径が得られます。

仕 様

二次電子像分解能 大電流時分解能 倍率 加速電圧 照射電流 電子銃 検出器 試料室 試料ステージ 排気系

アタッチメント

▍反射電子検出器(RBEI、SRBE) ▍走査型透過電子検出器(STEM) ▍エネルギー分散形 X 線分析装置(EDS) ▍波長分散形 X 線分析装置(WDS) ▍結晶方位解析装置(EBSD) ▍カソードルミネッセンス(CL) ▍電子ビーム露光装置 1.2nm(30kV)3.0nm(1kV) 3.0nm(5nA、15kV、WD10mm) 10x ∼ 1,000,000x 0.2 ∼ 30kV 数 pA ∼ 200nA インレンズ型ショットキー電界放出形電子銃 二次電子検出器 最大 200mm 径試料対応大型試料室 ユーセントリック 5 軸モーター駆動 SIPx2、TMP、RP

究極の分解能

開き角最適化レンズ

参照

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