同時発表: 筑波研究学園都市記者会（資料配布） 文部科学記者会（資料配付） 科学記者会（資料配付） 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト 平成１７年度 極微細加工・造形スクール 平成１７年 ７月 ６日 文部科学省 ナノテクノロジー総合支援プロジェクトセンター （運営：独立行政法人物質・材料研究機構） 概要 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクトでは、我が国におけるナノテク ノロジーを戦略的に推進することを目指し、最先端の施設・設備の外部研究者への利 用機会の拡大を図るため、様々な試みを行っております。このたび、その一環として、 それらの施設・設備を用いた人材育成スクールを平成１５年、１６年に引き続き平成 １７年度も開催することとなりました。 本年度の極微細加工・造形に関する人材育成スクールとして、平成１７年７月から ９月にかけて、東京工業大学と産業技術総合研究所における「東工大・産総研共同極 微細加工・造形スクール」と、産業技術総合研究所における「極微細加工・造形スク ール」を開催致します。これらのスクールでは、大学院生や産学官の研究者を対象に、 単に装置の原理の学習だけでなく、極微細加工・造形（ナノ・マイクロファブリケー ション）の基礎から最先端の技術までを、装置の操作、材料の加工およびその観察等 を実際に経験することによって習得する場を提供します。 「東工大・産総研共同極微細加工・造形スクール」は電子ビーム描画装置に関する スクールで、産総研で基礎的な実習を行い、東工大で実践的な最先端技術に関する実 習を行います。「極微細加工・造形スクール」は、集束イオンビーム加工観察装置、電 子ビーム描画装置、走査型プローブ顕微鏡、走査型電子顕微鏡、フォトリソグラフィ についてのスクールです。これらの装置やフォトリソグラフィに関する１日間の実習 や、オペレーターと１対１で実習を受ける 1on1、さらには参加者自身のテーマについ て最大４日間まで受けることが出来る実習など、バラエティーに富んだ実習を提供し ます。これらスクールの実習内容や応募者の選考等、スクールの詳細については以下 の通りです。また、さらに詳細な情報をホームページで提供します。
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「東工大・産総研共同極微細加工・造形スクール」
主催： 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト 極微細加工・造形グループ ・（独）産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門 「ナノプロセシング・パートナーシップ・プログラム（NPPP）」 ・東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター 「電子ビーム露光による 3 次元ナノ構造構築支援」 開催日程： 講義：８月４日（木）午前中（約２時間）産総研 産総研での実習：８月４（木）−５日（金）、２５（木）−２６日（金） 東工大での実習：９月１２（月）−１４日（水）、２０（火）−２２日（木） 開催場所： (独)産業技術総合研究所ナノプロセシング施設 （〒305-8568 茨城県つくば市梅園 1-1-1 つくば中央第 2） 東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター （〒152-8552 東京都目黒区大岡山 2-12-1） 実習概要： 産総研において、装置メーカーからの専門家による原理や最近の技術動向にかんす る講義とナノプロセシング施設に設置してある電子ビーム露光装置を用いた基礎的な 実習を実施する。産総研の講義と実習を受けた後、東工大の量子ナノエレクトロニク ス研究センターにおいて、センターに設置されてる電子ビーム露光装置を用いた実践 的な最先端技術に関する実習を受ける。 募集人員： 産総研での講義：３０名（講義のみの受講可） 産総研での実習：８名（講義の受講が必要、産総研の実習のみの選択も可） 東工大での実習：８名（産総研での実習を受けた方のみ＊） ＊ 昨年度の産総研での電子ビーム描画装置に関する実習を受けた方でも可参加費： 無料、ただし産総研までの交通費と宿泊代は参加者負担とする。 （テキスト代は NPPP 負担） 応募資格： 理工系大学修了または同等の知識が有ること。ただし、大学院生は指導教官の許可を 得ることを条件とする。実習期間中、産総研の安全ガイドラインと専任スタッフの指 示を守れる事。 募集期間： ２００５年７月１３日（水）∼２００５年７月２１日（木） 決定通知： ２００５年７月２１日頃電子メールにより結果を通知する。 申込方法： 本スクールに参加ご希望の方は下記 URL で登録。 http://www.nanoworld.jp/nppp/school/h17_1/
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「極微細加工・造形スクール」
主催： 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト 極微細加工・造形グループ （独）産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門 「ナノプロセシング・パートナーシップ・プログラム（NPPP）」 開催日程： 講義：７月２９日（金）９時̶１７時 実習：８月２３日（火）̶９月３０日（金） 開催場所： (独)産業技術総合研究所ナノプロセシング施設 （〒305-8568 茨城県つくば市梅園 1-1-1 つくば中央第 2） 実習概要： 参加者は、以下の装置とプロセスに関する実習のなかのいずれか 1 つ、あるいは 1on1、フリープランのどちらか１つのみ参加可能とする（複数参加は不可）。 ・装置とプロセスに関する実習：集束イオンビーム加工観察装置、電子ビーム描画 装置、走査型プローブ顕微鏡、走査型電子顕微鏡、フォトリソグラフィⅠおよび Ⅱに関する実習。これらは、応募者 2 名以上から実施し、定員は最大 4 名とする。 参加希望の多い実習は、可能であれば複数回行うことも検討する。 ・1on1：実習生１人にオペレーター1 人が対応。希望の装置について、アドバンス ド・トレーニングとして実施（操作トレーニング、ノウハウなどを学ぶ）。 ・ フリープラン：参加者が希望するスクール内容を自ら発案してもらう。 ＊実習は、装置スクールおよびプロセススクールに関しては 1 日で実施。1on1 は、最大 2 日までとする。 フリープランは最大 4 日までとし、連日で実施する必要はないものとする。 募集人数： 講義：５０名（講義のみの参加可） 実習：３０名（講義の受講が必要）参加費： 無料、ただし産総研までの交通費と宿泊代は参加者負担とする。 （テキスト代は NPPP 負担） 応募資格： 理工系大学修了または同等の知識が有ること。ただし、大学院生は指導教官の許可を 得ることを条件とする。実習期間中、産総研の安全ガイドラインと専任スタッフの指 示を守れる事。 募集期間： ２００５年７月１３日（水）∼２００５年７月２１日（木） 決定通知： ２００５年７月２１日頃電子メールにより結果を通知する。 申込方法： 本スクールに参加ご希望の方は下記 URL で登録。 http://www.nanoworld.jp/nppp/school/h17_2/
6 〒305-0047 茨城県つくば市千現１−２−１ 独立行政法人物質・材料研究機構 広報室 TEL 029-859-2026 FAX 029-859-2017 事業内容に関すること： 〒105-0001 東京都港区虎ノ門 3-2-2 虎ノ門 30 森ビル 2Ｆ 文部科学省 ナノテクノロジー総合支援プロジェクトセンター （運営：独立行政法人物質・材料研究機構） 鈴木 敦 電話 03-5404-3286 Fax 03-5404-3290 （東工大・産総研共同極微細加工・造形スクールに関すること） （独）産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門 「ナノプロセシング・パートナーシップ・プログラム（NPPP）」 TEL：029-861-3210 FAX：029-861-3211 E-mail：[email protected] 東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター 「電子ビーム露光による 3 次元ナノ構造構築支援」 TEL:03-5734-2572 FAX:03-5734-2907 E-mail: [email protected] （極微細加工・造形スクールに関すること） （独）産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門 「ナノプロセシング・パートナーシップ・プログラム（NPPP）」 TEL：029-861-3210 FAX：029-861-3211 E-mail：[email protected]
