真空ゲートバルブ
エアー駆動ゲートバルブ Ｌシリーズ
コストパフォーマンスを追究した低価格で 汎用性の高いゲートバルブです。
面間寸法の薄さが配管のコンパクト化と 排気性能の向上に貢献します。
特 長
01 シール動作以外には、弁体がハウジングに接していませんので、パーティクルの発生量を低減できます。
02 弁体のシール機構は、等間隔のボール押付け方式により、逆圧でのシール性に優れ ています。
03 ステンレス製ハウジングは、研磨板材を真空ロー付けによって製作しているため、
内面のデッドスペースが無くなり、ガス放出を低減しています。
04 弁体の材質をアルミ合金にすることにより軽量化を図っています。
仕 様
フランジ形式 JIS・ISO呼び径 65A ～ 250A
リーク量
（ハウジング）
（バルブシート）
（軸部）
1×10-11 Pa・m3／s 以下 1×10-10 Pa・m3／s 以下 1×10-８ Pa・m3／s 以下 使用領域 105～10-5 Pa
接ガス部材質 SUS304、アルミ合金
軸シール フッ素ゴム O リング（直動式）
駆動方式 エアー駆動
作動空気圧 0.4～0.6 MPaG 弁開時の許容圧力差 3000Pa 以下
開閉表示 磁気近接スイッチ付き（開／閉 各位置検出用）
※ 特殊仕様品も製作可能です。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
Ｌシリーズ（ＪＩＳフランジ）寸法図
単位: mm
口径 65 80 100 150 200 250
型式 L-J65 L-J80 L-J100 L-J150 L-J200 L-J250
A 60 60 60 70 80 85
B 65 80 100 150 200 250
D 145 160 185 235 300 350
n—E 4-M10 4-M10 8-M10 8-M10 8-M12 12-M12
F 120 135 160 210 270 320
H 384 432 492 641 821 1001
J 214 246 286 383 501 606
K 170 186 206 258 320 395
L 60 60 60 70 80 85
T 115 145 175 230 300 360
U 100 128 158 210 272 336
V 60 60 60 70 80 85
W 60 69 79 99 135 165
重量 Kg 8 10 11 16 29 41
注１．上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ（附属書 保守用フランジ）に準拠したフランジです。
注２．本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
Ｌシリーズ（ＩＳＯフランジ）寸法図
単位: mm
口径 65 80 100 150 200 250
型式 L-I63 L-I80 L-I100 L-I160 L-I200 L-I250
A 60 60 60 70 80 85
B 65 80 100 150 200 250
C 70 83 102 153 213 261
D 130 145 165 225 285 335
n—E 4-M8 8-M8 8-M8 8-M10 12-M10 12-M10
F 110 125 145 200 260 310
H 384 432 492 641 821 1001
J 214 246 286 383 501 606
K 170 186 206 258 320 395
L 60 60 60 70 80 85
T 115 145 175 230 300 360
U 100 128 158 210 272 336
V 60 60 60 70 80 85
W 60 69 79 99 135 165
重量 Kg 7 9 10 16 28 39
注１．上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ（ISO 1609 Vacuum technology-Flange dimensions）に準拠したフランジです。
注２．本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
エアー駆動ゲートバルブ Ｇシリーズ
アクチュエータの配置場所を工夫し、
外形の短縮を実現しました。
逆圧に対するシール性能に優れています。
特 長
01 エアーシリンダーは、小型ながらクローズ時の推力倍増（確実なシール）と、ストロークエンドでのエアークッション効果（衝撃緩和）を実現しています。
02 弁体のシール機構は、等間隔のボール押付け方式により、逆圧での信頼性に優れて います。
03 ステンレス製ハウジングは、研磨板材を真空ロー付けによって製作しているため、
内面のデッドスペースが無くなり、ガス放出を低減しています。
04 クリーンルーム内で組立、検査しています。
仕 様
フランジ形式 JIS・ISO・CF・KF(NW)呼び径 40A ～ 500A
リーク量
（ハウジング）
（バルブシート）
1×10-11 Pa・m3／s 以下 1×10-10 Pa・m3／s 以下 使用領域 105～10-6 Pa
接ガス部材質 SUS304
軸シール フッ素ゴム O リング
駆動方式 エアー駆動
作動空気圧 0.4～0.6 MPaG
開閉表示 マイクロスイッチ付き（開／閉 各位置検出用）
※ 特殊仕様品も製作可能です。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
Ｇシリーズ（ＪＩＳフランジ）寸法図
単位: mm 口径 80 100 150 200 250 300 350 400 450 500 型式 G-J80 G-J100 G-J150 G-J200 G-J250 G-J300 G-J350 G-J400 G-J450 G-J500
A 70 70 80 80 85 85 100 100 150 150
B 80 100 150 200 250 300 350 400 450 500 D 160 185 235 300 350 400 450 520 575 625 n—E 4-M10 8-M10 8-M10 8-M12 12-M12 12-M12 12-M12 12-M16 16-M16 16-M16
F 135 160 210 270 320 370 420 480 535 585 H 311.5 311.5 398.5 541 654 752 916 1023 1170 1280 J 165.5 165.5 207.5 273 327 378 457 512 572.5 622.5 L 235 235 235 305 381 381 514 514 632 632 N 79 79 79 107.5 113.5 113.5 129.5 139.5 175 175 Q 98 98 98 126 130 131 138 159 211 211 T 180 180 235 308 380 430 512 560 620 680 U 158 158 210 284 348 402 480 528 582 642
V 60 60 60 60 72 72 80 82 120 120
W 79 79 99 135 165 190 231 255 290 315 重量 Kg 11 12 22 42 58 70 110 143 263 313
注１．上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ（附属書 保守用フランジ）に準拠したフランジです。
注２．本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
Ｇシリーズ（ＩＳＯフランジ）寸法図
単位: mm
口径 80 100 150 200 250 300 400 500
型式 G-I80 G-I100 G-I160 G-I200 G-I250 G-I320 G-I400 G-I500
A 70 70 80 80 85 85 100 150
B 80 100 150 200 250 300 400 501
C 83 102 153 213 261 318 400 501
D 145 165 225 285 335 425 510 610
n—E 8-M8 8-M8 8-M10 12-M10 12-M10 12-M12 16-M12 16-M12
F 125 145 200 260 310 395 480 580
H 311.5 311.5 398.5 541 654 752 1023 1280 J 165.5 165.5 207.5 273 327 378 512 622.5
L 235 235 235 305 381 381 514 632
N 79 79 79 107.5 113.5 113.5 139.5 175
Q 98 98 98 126 130 131 159 211
T 180 180 235 308 380 430 560 680
U 158 158 210 284 348 402 528 642
V 60 60 60 60 72 72 80 120
W 79 79 99 135 165 190 255 315
重量 Kg 11 12 22 40 56 74 140 305
注１．上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ（ISO 1609 Vacuum technology-Flange dimensions）に準拠したフランジです。
注２．本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
Ｇシリーズ（ＣＦフランジ）寸法図
単位: mm
口径 70 100 150 200 250
型式 G-C63 G-C100 G-C160 G-C200 G-C250
A 70 70 80 80 100
B 70 100 150 200 250
D 113.5 151.6 202.4 253.2 306
n—E 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 92.1 130.2 181 231.8 284
H 311.5 311.5 398.5 541 654
J 165.5 165.5 207.5 273 327
L 235 235 235 305 381
N 79 79 79 107.5 113.5
Q 98 98 98 126 130
T 180 180 235 308 380
U 158 158 210 284 348
V 60 60 60 60 72
W 79 79 99 135 165
重量 Kg 10 12 21 39 55
注１．上記は、ISO 3669 Vacuum technology-Bakable flanges-Dimensions に準拠したフランジです。
注２．本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
Ｇシリーズ（ＫＦフランジ）寸法図
単位: mm
口径 40 50 65
型式 G-N40 G-N50 G-N63
A 40 50 65
B 55 75 87
C 191 228 228
D 118 130.5 130.5
E 40 50 50
F 96 120 120
G 86 111 111
重量（kg） 3.4 4.2 4.5
注１．N50以上は、JIS B8365の規格外であるため一部のクランプ継手は取付かない場合があります。
注２．本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
Ｇシリーズ（ＣＦフランジ）寸法図
単位: mm
口径 40 65
型式 G-C40 G-C63
A 40 65
B 69.4 113.5
C 191 228
D 118 130.5
E 40 50
F 96 120
G 86 111
n-H 6-M6 8-M8
PCD.J 58.7 92.1
重量（kg） 3.8 6.5
（口径 ）
（口径65）6
注１．上記は、ISO 3669 Vacuum technology-Bakable flanges-Dimensions に準拠したフランジです。
注２．本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
エアー駆動ゲートバルブ ＧＨシリーズ
アクチュエータの配置場所を工夫し、
外形の短縮を実現しました。
逆圧に対するシール性能に優れています。
特 長
01１台のバルブでメイン排気と、流量調整が可能です。弁開度を任意に設定できるサブシリンダーが付いています。
02 エアーシリンダーは、小型ながらクローズ時の推力倍増（確実なシール）とストロ ークエンドでのエアークッション効果（衝撃緩和）を実現しています。
03 弁体のシール機構は、等間隔のボール押付け方式により、逆圧での信頼性に優れて います。
04 ステンレス製ハウジングは、研磨板材を真空ロー付けによって製作しているため、
内面のデッドスペースが無くなり、ガス放出を低減しています。
05 クリーンルーム内で組立、検査しています。
仕 様
フランジ形式 JIS・ISO・CF 呼び径 70A ～ 500A (mm) リーク量（ハウジング）
（バルブシート）
1×10-11 Pa・m3／s 以下 1×10-10 Pa・m3／s 以下 使用領域 105～10-6 Pa
接ガス部材質 SUS304
軸シール フッ素ゴム O リング
駆動方式 エアー駆動
作動空気圧 0.4～0.6 MPaG
開閉表示 マイクロスイッチ付き（開／閉 各位置検出用）
※ 特殊仕様品も製作可能です。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
ＧＨシリーズ（ＪＩＳフランジ）寸法図
単位: mm 口径 80 100 150 200 250 300 350 400 450 500 型式 GH-J80 GH-J100 GH-J150 GH-J200 GH-J250 GH-J300 GH-J350 GH-J400 GH-J450 GH-J500
A 70 70 80 80 85 85 100 100 150 150
B 80 100 150 200 250 300 350 400 450 500 D 160 185 235 300 350 400 450 520 575 625 n—E 4-M10 8-M10 8-M10 8-M12 12-M12 12-M12 12-M12 12-M16 16-M16 16-M16
F 135 160 210 270 320 370 420 480 535 585 H 311.5 311.5 398.5 541 654 752 916 1023 1170 1280 J 165.5 165.5 207.5 273 327 378 457 512 572.5 622.5 K 4.5 4.5 4.5 7.5 10.5 10.5 18.5 13 12.5 12.5 L 235 235 235 305 381 381 514 514 632 632 M 81 81 81 90 102 112 130 130 184 184 N 79 79 79 107.5 113.5 129.5 129.5 139.5 175 175
O 15 15 15 21 28 28 40 40 54.5 54.5
P 63 63 63 79.5 83.5 84.5 91.5 102.5 133.5 133.5 Q 98 98 98 126 130 131 138 159 211 211 R 88 88 88 145 145 145 155 180 230 230 T 180 180 235 308 380 430 512 560 620 680 U 158 158 210 284 348 402 480 528 582 642
V 60 60 60 60 72 72 80 82 120 120
W 79 79 99 135 165 190 231 255 290 315 重量 Kg 13 14 24 44 60 72 112 147 275 325
注１．上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ（附属書 保守用フランジ）に準拠したフランジです。
注２．本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
ＧＨシリーズ（ＩＳＯフランジ）寸法図
単位: mm
口径 80 100 150 200 250 300 400 500
型式 GH-I80 GH-I100 GH-I160 GH-I200 GH-I250 GH-I320 GH-I400 GH-I500
A 70 70 80 80 85 85 100 150
B 80 100 150 200 250 300 400 501
C 83 102 153 213 261 318 400 501
D 145 165 225 285 335 425 510 610
n—E 8-M8 8-M8 8-M10 12-M10 12-M10 12-M12 16-M12 16-M12
F 125 145 200 260 310 395 480 580
H 311.5 311.5 398.5 541 654 752 1023 1280 J 165.5 165.5 207.5 273 327 378 512 622.5
K 4.5 4.5 4.5 7.5 10.5 10.5 13 12.5
L 235 235 235 305 381 381 514 632
M 81 81 81 90 102 112 130 184
N 79 79 79 107.5 113.5 113.5 139.5 175
O 15 15 15 21 28 28 40 54.5
P 63 63 63 79.5 83.5 84.5 102.5 133.5
Q 98 98 98 126 130 131 159 211
R 88 88 88 145 145 145 180 230
T 180 180 235 308 380 430 560 680
U 158 158 210 284 348 402 528 642
V 60 60 60 60 72 72 82 120
W 79 79 99 135 165 190 255 315
重量 Kg 13 14 24 42 58 76 144 317
注１．上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ（ISO 1609 Vacuum technology-Flange dimensions）に準拠したフランジです。
注２．本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
ＧＨシリーズ（ＣＦフランジ）寸法図
単位: mm
口径 70 100 150 200 250
型式 GH-C63 GH-C100 GH-C160 GH-C200 GH-C250
A 70 70 80 80 100
B 70 100 150 200 250
D 113.5 151.6 202.4 253.2 306
n—E 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 92.1 130.2 181 231.8 284
H 311.5 311.5 398.5 541 654
J 165.5 165.5 207.5 273 327
K 4.5 4.5 4.5 7.5 10.5
L 235 235 235 305 381
M 81 81 81 90 102
N 79 79 79 107.5 113.5
O 15 15 15 21 28
P 63 63 63 79.5 83.5
Q 98 98 98 126 130
R 88 88 88 145 145
T 180 180 235 308 380
U 158 158 210 284 348
V 60 60 60 60 72
W 79 79 99 135 165
重量 Kg 12 14 23 41 57
注１．上記は、ISO 3669 Vacuum technology-Bakable flanges-Dimensions に準拠したフランジです。
注２．本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
ＧＨシリーズ
ＧＨシリーズの概要
エアー駆動ゲートバルブＧＨシリーズは、エアー駆動方式のゲートバルブ（Ｇシリーズ）
の全閉と全開の他に、オープン時の弁体位置を開口部全覆状態（シールはしていません）
から、開口面積約４５％までの範囲において任意の位置で中間停止できるようにしたバル ブです。
これにより、コンダクタンスを中間停止時と全覆時の二段階に変化させることができます。
また、全閉時には、O リングにより完全密閉します。
動作原理
ＧＨシリーズの基本型であるＧシリーズは、バルブ本体にエアーシリンダが組み込まれ ており、左右に２室を備えています。シリンダ内のピストンが圧縮空気の力により、直線 運動を起こします。それをラックと平歯車を用いて弁体の回転（開閉）運動に変換してい ます。
図－１をご覧下さい。この図は中間停止用エアーシリンダ部分の断面図です。
ＧＨシリーズは、弁体を中間停止させるためのエアーシリンダが既存のエアーシリンダに 組み込まれており、この部分はピストンのストロークが調整できるようになっています。
このストロークの調整によって弁体の中間停止位置を設定することができます。
エアー供給口ａからエアーを入れると弁体は全閉します。また、エアー供給口ｂから エアーを入れると弁体は全開します。弁体を中間停止させるときは、エアー供給口ｃ からエアーを入れます。このときピストン２がロッドを介して、ピストン１を押します。
ピストン２は調整フランジのストッパー部に当たり停止します。これと同時に弁体も 停止することになります。
図－１
ＧＨシリーズ
エアー配管接続方法
本バルブを動作させるには、エアー圧力 ０．４～０．６ＭＰａＧ を使用して下さい。
表－１にエアー供給口における ＩＮ、ＯＵＴ とバルブ動作の関係を示します。
エアー供給口の符号（ａ，ｂ，ｃ）は、図－１の通りです。
表－１
ａ ｂ ｃ
全閉 ＩＮ ＯＵＴ ＯＵＴ
全開 ＯＵＴ ＩＮ ＯＵＴ
中間停止 ＯＵＴ ＩＮ ＩＮ
弁体を中間停止位置で保持させる時、エアー供給口ｃ及びエアー供給口 b の両方に 同圧力のエアーを供給して下さい。こうすることによりバルブを垂直に立てた場合、
弁体が自重で落下動作するのを防ぐことができます。
電磁弁からのエアー配管接続例を図－２～図－３に示します。
図－２
図－３
ＧＨシリーズ
弁体開度調整方法
本製品は、出荷時の中間停止位置は開口部全覆状態に設定されています。これは、
調整フランジをまったく引き出さない状態です。開口面積をこれより大きく設定する には、調整フランジを左に回して引き出します。この引き出す量によって中間停止位置 が変わります。
調整フランジの引き出し量Ｙと中間停止位置の関係は表－２の通りです。Ｙは調整 フランジを引き出し後にロックナットを固定したときの寸法です。ロックナットは
緩まないように確実に絞めて下さい。また、弁体開度調整作業にあたっては、以下の ２点について注意して下さい。
注１．各エアー供給口からエアーを入れたままで調整フランジを回さないで下さい。
内部部品の故障や、事故につながる恐れがあります。
注２．調整フランジは、開口面積約４５％のときのＹ寸法以上引き出さないで下さい。
内部部品が落下する恐れがあります。また、正確な動作ができなくなります。
表－２
単位: mm
口径 ４５％ ３０％ ２０％ １０％ ５％ 全覆
８０Ａ １５ １２．６ １１．３ ９．６ ８．５ ０
１００Ａ １５ １２．０ １０．２ ８．１ ６．５ ０
１５０Ａ １５ １１．７ １０．０ ７．６ ５．９ ０
２００Ａ ２１ １７．２ １４．７ １１．７ ９．５ ０
２５０Ａ ２８ ２２．２ １９．０ １４．９ １１．８ ０
３００Ａ ２８ ２１．９ １８．５ １４．３ １１．２ ０
３５０Ａ ４０ ３２．７ ２７．７ ２１．６ １７．５ ０
４００Ａ ４０ ３１．８ ２６．９ ２０．９ １６．４ ０