チャンバ側の継手
真空計側の継手
小型ベローズバルブ ＳＧシリーズ
真空計測定子の遮断バルブとして最適です。
真空計に合わせた５種類の継手を 選択できます。
弁パッキン以外はメタル製で高真空対応。
仕 様
品名 小型ベローズバルブ
継手の種類 NW16, NW25, CF34, Swagelok®1/2, VCR®8-Male
作動方法 エアー駆動（単動ノーマルクローズ）
リーク量 1×10-10 Pa・m3/s 以下
使用領域 105 ～ 10-7 Pa
接ガス部材質 SUS304 ＆ SUS316L
弁体シール フッ素ゴムＯリング
軸シール 成形ベローズ
作動空気圧 0.4 ～ 0.6 MPa G
耐熱温度 150℃以下
質量 0.5 kg（SG-N1N1）
※ 特殊仕様品も製作可能です。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
ＳＧシリーズ 寸法図
※真空計側とチャンバ側の取り付け方向は推奨です。どちらに取り付けても排気は可能です。
旧仕様カタログ
電磁駆動バルブ ＰＥＲ・ＰＥＶシリーズ（旧仕様）
ＰＥＲ：油回転ポンプのオイル逆流防止バルブです。
ＰＥＶ：コンプレッサを持たない電化システム
に最適です。
仕 様
品名 電磁駆動バルブ
型式 PER-P27 PER-F PER-N25 PEV-P27 PEV-F PEV-N25
口径(mm) φ25 φ25
作動方式 開：真空/大気圧差圧駆動 閉：バネ復帰
開放ｺﾝﾀﾞｸﾀﾝｽ（L/s） 7.3 1.2×10 1.2×10 7.3 1.2×10 1.2×10
リーク量（Pa・m3/s） 1×10-8 以下（バルブ本体部）
使用領域（Pa） 105 ～ 10-1 105 ～ 10-4
材 質
本体 SUS304
パッキン ニトリル O リング
軸シール ニトリル O リング
特徴 リークバルブ機能を内蔵し、電源の ON、
OFF で時間差をもってバルブが開閉し ます。
電源の ON、OFF のみでバルブが開閉しま す。リークバルブ機能がありませんから 大気圧がバルブ内に入ることがありませ ん。
取扱い留意点 油回転ポンプに直接取付けるか、油拡
散ポンプ及びターボ分子ポンプの背圧 側に直接又は配管途中に取付け電源は 油回転ポンプと連動させて下さい。バ ルブの取付け姿勢に制限はありません が、真空ポンプ側と被排気側の接続を 間違えないようにして下さい。
真空ポンプ接続穴をナイロンチューブな どで油回転ポンプと接続して真空に引 き、電源を ON にするとバルブは開放し、
OFF するとスプリング力により閉鎖しま す。真空に引いていないと開放しません。
※ 電磁弁の使用電圧はＡＣ１００Ｖ、又は２００Ｖ用を標準としていますが、ＤＣ２４Ｖ用も製作可能です。
※ バルブの片側は袋ナット方式で取付フランジなど付属品は各種取り揃えてありますからご利用下さい。
※ 設定時間差（油回転ポンプの排気速度：150 L/min 使用時）---- ＰＥＲ型のみ 電源 ON で（真空ポンプ始動）リークバルブ即時閉鎖・その後バルブ開。
電源 OFF で（真空ポンプ停止）バルブ即時閉鎖・リークバルブ約 2sec 後開放。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
ＰＥＲシリーズ寸法図（旧仕様）
単位: mm
A B PCD T t d
PER-F50 36 50 42 8 0.15 5
PER-F70 42 70 50 8 0.2 10
PER-F80 48 80 60 10 0.2 10
PER-F90 58 90 70 10 0.2 10
ＰＥＶシリーズ寸法図（旧仕様）
単位: mm
A B PCD T t d
PEV-F50 36 50 42 8 0.15 5
PEV-F70 42 70 50 8 0.2 10
PEV-F80 48 80 60 10 0.2 10
PEV-F90 58 90 70 10 0.2 10