最後 研究 経 実際 VSM 構築 際 最適 思わ 学素子 規格 調整方法 提案 最 要 Cal 関
幅 6mm 開 mm × mm Cal1 びCal2 使
用 幅 12mm 開 mm × mm Cal3
使用 表面 射 防 AR ン 施
AR ン 施 偏 余計 相差 恐 あ
回 実験 AR ン 施 G.T. HWP 使用 AR
ン 原因 思わ う 見え Cal 同様
措置 HWP 関 波長 使用
実際 調整 能 あ う 実験 確認 後 測定 際 動 い半 HWP1 HWP2 Cal1 HWP4 Cal2 一体
特別 素子 特注 自動回転 関 少 測定 使
用 HWP3 自動回転 現在使用 い 性能 良い
交換 い
調整 関 留意 Cal AR ン 施
厳密 透過 強度 測定 い ン 使用
ン 遮蔽 際 ン 検 器 距 20cm
う気 偏 準備 G.T. 測定 使用 Cal あ 微調
消 比 最大 う 調整 必要 あ Cal2 軸 Cal1
軸 合わ 際 初期偏 H 偏 準備 Cal2 通過後
合流 真 中 路 ニ 強度 最 角度 調節 Cal3 軸 Cal2 軸 合わ 際 同様 方法 調整 行う 後 各々
HWP 関 Cal同士 H 偏 V偏 直交関係 利用 軸調整 行
う 半 HWP1 HWP2 Cal1 一体 素子 使用 う 関わ 入射偏 P 偏 変換 角度 直接調整 う 実験的 検証 い 回 実験 い Cal1通過後 偏
変換 い ° 調整 後 . °手動 回転
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第 章 まとめ
々 研究室 子 偏 状態 連続測定 実験 行 い
研究 ニ 型 渉計 利用 ̂� VSM 設計 人 多層 膜 使用 学素子 系統誤差 測定結果 大 影響 え
人 多層膜 使用 学素子 全 排除 ̂� VSM 考案
VSM Cal 路 合流 用い 用意
幅 4mm Cal 使 本 プ 主要部 構築 学系 調整方法 確立 現段階 性能評価 行
回実際 学系 調整 行う 次 う
1 G.T. Cal 直交関係 素子 あ 変化
消 比 変化 う 高い消 比 得 あ 程度 あ 素子 加え 必要 あ
2 Cal 表面 射防 膜 張 い い ン 遮蔽
ン 用い 消 比 測定 あ ン 検
器 距 20cm程 望 い
3 Cal2 軸 Cal1 軸 一致 Cal2通過後 H偏
V偏 合流 路 強度 最 う Cal2 調節
漏 少 いH偏 初期偏 用意 あ
4 性能 あ 気 自動回転 回転
い 次第 理想 角度 い 従
学系調整 際 安易 自動回転 動 い
留意 実際 部 的 VSM 構築 ̂� 解能 測定
性能評価 行 G.T. Cal 消 比 考え 決 精度 良い測定 原因 HWP 系統的 や自動回転 性
能 考え 改善 必要 あ 測定 解能 初
期偏 依存 原因 関 原因 特定 必要 あ
回 実験 実際 VSM 構築 素子 規格や調整 際 気
い Cal 幅 4mm 必要
あ 開 関 あ 十 調整 程度大 必要 あ
HWP 使用 測定 際 動 いHWP
Cal 一体 特注 自動回転 現在使用
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い 性能 良い 取 替え 必要 あ
後 課題 半 HWP 直接所定 角度 調整 う 実験
的 検証 あ 測定 初期偏 依存 原因 究明
び Cal2 透過 強度 初期偏 依存 原因 Cal 間 射 う 検証 あ
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卒業論文