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第 5 章 AlGaN の光学特性評価

B. MDF 解析

ウルツ鉱型の半導体の E0ギャップは 3DM0型の臨界点構造を持つ。Γ 点における価電子 帯と伝導帯を二次曲線で仮定し、KK変換を用いることで、このバンドギャップからの複素 誘電率ε(E)への寄与分が得られる29,31,44)

  

C B A

x f E A E

, ,

0 2 / 3 0

) 0

(

 (524)

そしてこの時、

2 0 2 / 3 0

0 2

3 3 4

P

A

 

  (525)

     

0

1/2

2 / 1 0 2

0

0 x 2 1 x 1 x

x

f     (526)

 

0 0

0 E i /E

x    (527) と書くことができる。式(524)(527)において、μは結合状態密度、P02 |c|p|v|2p-like な価電子帯(Γ9と Γ7)と s-like な伝導帯(Γ7)との間の運動量行列要素の二乗である。また、Γ0

はダンピングエネルギーで、α=A、B、C はそれぞれ Γ9(A)→Γ7、Γ7(B)→Γ7、Γ7(C)→Γ7の遷 移を表している(Fig. 5.2参照)。

最も低い直接バンド端近傍では励起子(exciton)の相互作用により、光学スペクトルが劇的 に変化することが知られている。E端の離散励起子は以下のように書ける。

 

 

   

C B

A n

x

E i E n

G n E

E A

,

, 0

0 2 2

2 0 0 3 e 0

2 )

/ ( ) 1

(

(528)

ここで、A0exは励起子強度パラメータであり、Gは3D励起子Rydbargエネルギーである。

連続励起子状態は水素原子におけるシュレーディンガー方程式の解の正のエネルギーに 対応している。この種類の励起子遷移のε(E)への寄与は以下のように書ける。

    

C B

A E E i

E i

E G

E E F

, ,

2 0 2

0 2 0 2

0 0

0 C 0

) ( ln ) ( )

(

(529)

C 0

F は連続励起子遷移の強度パラメータである。

次ページの Fig. 5.24 に式(524)、(528)、(529)を用いて、それぞれ計算された自由電 子ホール(eh)対、離散励起子、そして連続励起子からE0端でのε(E)のスペクトルを示す。

また、図に示した各スペクトルでのパラメータはAlxGa1-xNの組成比x=0.23の試料で行った 解析の値を用いた。

57

2 3 4 5 6

-1.0 -0.5 0 0.5 1.0 1.5

1

Discrete ex.

Continuum ex.

Free e h pair

E (eV)

2 3 4 5 6

0 0.5 1.0 1.5 2.0

2

E (eV)

Continuum ex.

Discrete ex.

AlxGa1xN x=0.23

Free e h pair

Fig. 5.24 AlxGa1-xNの組成比x=0.23でのE0端での各寄与

本来連続励起子では、水素原子におけるシュレーディンガー方程式の回転部分はクーロ ン相互作用エネルギーより大きい。そのため、連続励起子は有効質量μを持ったeh対のよ うなフリー粒子のようにふるまう。その結果、3D励起子のスペクトルは、K=0(励起子波数 ベクトル)でのE0以下の離散的なバンドで構成される。その際、より高エネルギー側で連続 的になる。このため連続励起子のε(E)への寄与は、自由eh対の遷移に類似している。(Fig.

5.24参照)

AlxGa1-xN における、E0以上のエネルギー域ではいくつかの構造を見ることができる。そ してそれらの構造を、それぞれ E(α=A、B、C)とした。ダイアモンド型や閃亜鉛鉱型の材 料の場合と同様に、ウルツ鉱構造の材料のE1構造は2D minima (M0)型として扱われる。こ の2D minima型からのε(E)への寄与分は29,31,44)

 

C B A

B E

, ,

2 1 2

1

1 ln1

) (

 (530) ここで、

1Ei1 /E1 (531) 式(530)のB1と1はそれぞれ、強度パラメータとダンピングエネルギーである。

2DM0励起子遷移によるε(E)への寄与分は以下のように書ける。

     

 

   

 

  

 

C B

A n

E i E n

G n E

E B

,

, 1

1 2

2 2 1

1 3 ex 1

2 1

2 /

1 1

2 )

(

(532)

ここで、B1exは2D励起子強度パラメータでGは2D励起子Rydbarg エネルギーである。

AlxGa1-xNでのF1E0‟遷移はE1ギャップより高エネルギー側に起きる。これらの遷移は 減衰調和振動子(DHO)により取り扱われる。

2 2

1 2

) (

i E C

 (533)

58 ここで、

) ' or (

/ 1 0

2E F E

 (534) ここで、Cとγはそれぞれ、強度パラメータとブロードニングパラメータである。

バンド間遷移のε(E)への最終的な寄与分は、式(524)、(528)、(529)、(530)、(532)、

(533)の合計により表される。一般的に IIVI 族半導体の励起子の効果はIIIV族半導体よ

りも強く表れることが知られている。ZnSeや ZnSの場合、1電子2DM0型からのε(E)への 寄与分は無視できるほど小さい37,47)。このことから、今回のAlxGa1-xNの解析においても同 様に無視することが可能だとわかる。

式(532)、(533)により計算されるスペクトルにおいて、E0端より低いエネルギーへと延 びる裾は物理的な意味を持たない。このため、これらの式において複素誘電関数虚部 ε2(E) のE=E0G0以下のエネルギーをカットした。さらに、実験的な複素誘電関数実部 ε1(E)の値 は、いずれもMDFにより求められて値よりも大きなものであった。したがって、よりよい フィットの結果を得るために、複素誘電関数実部ε1(E)に追加の項目ε1∞を足した(Tables I 及 びII参照)。この項は、AlxGa1xNのより高エネルギー側からのギャップ及び励起子遷移から 生じるもので、定数になると考えられる。

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[参考文献]

1) H. Morkoç, Handbook of Nitride Semiconductors and Device, Volume 3: GaN-Based Optical and Electronic Devices (Wiley-VCH, Weinheim, 2009).

2) S. Adachi, Properties of Semiconductor Alloys: Group-IV, IIIV and IIVI Semiconductors (Wiley, Chichester, 2009).

3) D. K. Wickenden, C. B. Bargeron, W. A. Bryden, J. Miragliotta, and T. J. Kistenmacher, Appl.

Phys. Lett. 65, 2024 (1994).

4) H. Angerer, D. Brunner, F. Freudenberg, O. Ambacher, M. Stutzmann, R. Höpler, T. Metzger, E.

Born, G. Dollinger, A. Bergmaier, S. Karsch, and H.-J. Körner, Appl. Phys. Lett. 71, 1504 (1997).

5) D. Brunner, H. Angerer, E. Bustarret, F. Freudenberg, R. Höpler, R. Dimitrov, O. Ambacher, and M. Stutzmann, J. Appl. Phys. 82, 5090 (1997).

6) T. Huang and J. S. Harris, Jr., Appl. Phys. Lett. 72, 1158 (1998).

7) W. Shan, J. W. Ager III, K. M. Yu, W. Walukiewicz, E. E. Haller, M. C. Martin, W. R. McKinney, and W. Yang, J. Appl. Phys. 85, 8505 (1999).

8) F. Omnès, N. Marenco, B. Beaumont, Ph. de Mierry, E. Monroy, F. Calle, and E. Muñoz, J. Appl.

Phys. 86, 5286 (1999).

9) J. F. Muth, J. D. Brown, M. A. L. Johnson, Z. Yu, R. M. Kolbas, J. W. Cook, Jr., and J. F.

Schetzina, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 537, G5.2 (1999).

10) G. Webb-Wood, Ü. Özgür, H. O. Everitt, F. Yun, and H. Morkoç, Phys. Status Solidi A 188, 793 (2001).

11) R. Hui, S. Taherion, Y. Wan, J. Li, S. X. Jin, J. Y. Lin, and H. X. Jiang, Appl. Phys. Lett. 82, 1326 (2003).

12) H. Jiang, G. Y. Zhao, H. Ishikawa, T. Egawa, T. Jimbo, and M. Umeno, J. Appl. Phys. 89, 1046 (2001).

13) G. Yu, H. Ishikawa, M. Umeno, T. Egawa, J. Watanabe, T. Jimbo, and T. Soga, Appl. Phys. Lett.

72, 2202 (1998).

14) J. Wagner, H. Obloh, M. Kunzer, M. Maier, K. Köhler, and B. Johs, J. Appl. Phys. 89, 2779 (2001).

15) T. Wethkamp, K. Wilmers, N. Esser, W. Richter, O. Ambacher, H. Angerer, G. Jungk, R. L.

Johnson, and M. Cardona, Thin Solid Films 313314, 745 (1998).

16) C. Buchheim, R. Goldhahn, M. Rakel, C. Cobet, N. Esser, U. Rossow, D. Fuhrmann, and A.

Hangleiter, Phys. Status Solidi B 242, 2610 (2005).

17) C. Cobet, N. Esser, J. T. Zettler, W. Richter, P. Waltereit, O. Brandt, K. H. Ploog, S. Peters, N. V.

Edwards, O. P. A. Lindquist, and M. Cardona, Phys. Rev. B 64, 165203 (2001).

18) R. Goldhahn, C. Buchheim, P. Schley, A. T. Winzer, and H. Wenzel, in Nitride Semiconductor Devices: Principles and Simulation, edited by J. Piprek (Wiley-VCH, Weinheim, 2007).

60

19) G. M. Laws, E. C. Larkins, I. Harrison, C. Molloy, and D. Somerford, J. Appl. Phys. 89, 1108 (2001).

20) S. Bloom, G. Harbeke, E. Meier, and I. B. Ortenburger, Phys. Status Solidi B 66, 161 (1974).

21) A. Kobayashi, O. F. Sankey, S. M. Volz, and J. D. Dow, Phys. Rev. B 28, 935 (1983).

22) S. Adachi, Optical Constants of Crystalline and Amorphous Semiconductors: Numerical Data and Graphical Information (Kluwer Academic, Boston, 1999).

23) W. R. L. Lambrecht and M. Prikhodko, Solid State Commun. 121, 549 (2002).

24) M. Cardona, Phys. Rev. 129, 1068 (1963).

25) A. J. Fischer, W. Shan, J. J. Song, Y. C. Chang, R. Horning, and B. Goldenberg, Appl. Phys.

Lett. 71, 1981 (1997).

26) O. Aoudé, P. Disseix, J. Leymarie, A. Vasson, M. Leroux, E. Aujol, B. Beaumont, A.

Trassoudaine, and Y. André, Phys. Rev. B 77, 045206 (2008).

27) S. Adachi, Properties of Group-IV, IIIV and IIVI Semiconductors (Wiley, Chichester, 2005).

28) M. Cardona and G. Harbeke, Phys. Rev. 137, Al467 (1964).

29) S. Ninomiya and S. Adachi, J. Appl. Phys. 78, 1183 (1995).

30) S. Logothetidis, M. Cardona, P. Lautenschlager, and M. Garriga, Phys. Rev. B 34, 2458 (1986).

31) S. Ninomiya and S. Adachi, J. Appl. Phys. 78, 4681 (1995).

32) J. I. Pankove, S. Bloom, and G. Harbeke, RCA Rev. 36, 163 (1975).

33) C. G. Olson, D. W. Lynch, and A. Zehe, Phys. Rev. B 24, 4629 (1981).

34) W. R. L. Lambrecht, B. Segall, J. Rife, W. R. Hunter, and D. K. Wickenden, Phys. Rev. B 51, 13516 (1995).

35) N. Esser, M. Rakel, C. Cobet, W. G. Schmidt, W. Braun, and M. Cardona, Phys. Status Solidi B 242, 2601 (2005).

36) K. Sato and S. Adachi, J. Appl. Phys. 73, 926 (1993).

37) S. Adachi and T. Taguchi, Phys. Rev. B 43, 9569 (1991).

38) P. Lautenschlager, M. Garriga, L. Viña, and M. Cardona, Phys. Rev. B 36, 4821(1987).

39) T. Kawashima, H. Yoshikawa, S. Adachi, S. Fuke, and K. Ohtsuka, J. Appl. Phys. 82, 3528 (1997).

40) A. B. Djurišić and E. H. Li, Appl. Phys. Lett. 73, 868 (1998).

41) D. G. Thomas and J. J. Hopfield, Phys. Rev. 116, 573 (1959).

42) J. J. Hopfield, J. Phys. Chem. Solids 15, 97 (1960).

43) E. Silveira, J. A. Freitas, Jr., O. J. Glembocki, G. A. Slack, and L. J. Schowalter, Phys. Rev. B 71, 041201 (2005).

44) S. Adachi, Optical Properties of Crystalline and Amorphous Semiconductors: Materials and Fundamental Principles (Kluwer Academic, Boston, 1999).

45) Z. G. Hu, M. Strassburg, N. Dietz, A. G. U. Perera, A. Asghar, and I. T. Ferguson, Phys. Rev. B

61 72, 245326 (2005).

46) G. Yu, H. Ishikawa, M. Umeno, T. Egawa, J. Watanabe, T. Soga, and T. Jimbo, Appl. Phys.

Lett. 73, 1472 (1998).

47) S. Ozaki and S. Adachi, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 5008 (1993).

48) A. T. Collins, E. C. Lightowlers, and P. J. Dean, Phys. Rev. 158, 833 (1967).

49) A. N. Pikhtin and A. D. Yas‟kov, Sov. Phys. Semicond. 15, 8 (1981).

50) M. F. MacMillan, R. P. Devaty, W. J. Choyke, M. Asif Khan, and J. Kuznia, J. Appl. Phys. 80, 2372 (1996).

51) P. Wisniewski, W Knap, J. P. Malzac, J. Camassei, M. D. Bremser, R. F. Davis, and T. Suski, Appl. Phys. Lett. 73, 1760 (1998).

52) W. J. Moore, J. A. Freitas, Jr., R. T. Holm, O. Kovalenkov, and V. Dmitriev, Appl. Phys. Lett.

86, 141912 (2005).

53) D. D. Manchon, Jr., A. S. Barker, Jr., P. J. Dean, and R. B. Zetterstrom, Solid State Commun. 8, 1227 (1970).

54) A. S. Barker and M. Ilegems, Phys. Rev. B 7, 743 (1973).

55) H. Sobotta, H. Neumann, R. Franzheld, and W. Seifert, Phys. Status Solidi B 174, K57 (1992).

56) T. Azuhata, T. Sota, K. Suzuki, and S. Nakamura, J. Phys.: Condens. Matter 7, L129 (1995).

57) G. Yu, H. Ishikawa, M. Umeno, T. Egawa, and J. Watanabe, Appl. Phys. Lett. 73, 1472 (1998).

58) T. Deguchi, D. Ichiryu, K. Toshikawa, K. Sekiguchi, T. Sota, R. Matsuo, and T. Azuhata, J. Appl.

Phys. 86, 1860 (1999).

59) A. Kasic, M. Schubert, S. Einfeldt, D. Hommel, and T. E. Tiwald, Phys. Rev. B 62, 7365 (2000).

60) N. Tomassini, D. Schiumarini, L. Pilozzi, and A. D„Andrea, Phys. Rev. B 75, 085317 (2007).

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