GNDU/ADC

グランド・ユニット／ADコンバータ・モジュール。常時装着。

B. SPGUモジュール

SPGU（半導体テスト用パルス・ジェネレータ ユニット）にはOutput 1、

Output 2出力端子以外に、SPGU間または外部装置との動作の同期に使

用する端子（下記）があります。

Ref Out/Sync Out：スレーブとなるSPGUのRef In/Sync Inに接続します。

Ref In/Sync In：マスタとなるSPGUのRef Out/Sync Outに接続します。

Trig Out：SPGU出力に動作を同期させる外部機器のトリガ入力端子に

接続します。

CAUTION Ref Out/In、Sync Out/In、Trig Out端子は指定された端子に正しく接続してく ださい。指定外の端子への接続が故障の原因となる恐れがあります。

EasyEXPERT上でSPGUを指定するにはPG番号を使用します。PG1と PG2は最も低い位置のSPGUのOutput 1端子とOutput 2端子にそれぞれ 割り当てられます。続く番号は、上部のSPGUのOutput端子に順番に 割り当てられます。付属されているPGU番号ラベルまたは相当品を用 いてSPGUチャネル番号がわかるようにしておくことをお勧めします。

C. WGFMUモジュール

WGFMU（波形発生器・高速測定ユニット）にはCh 1、Ch 2端子以外

に、WGFMU間または外部装置との動作の同期に使用する端子（下記）

があります。

Sync Out：スレーブとなるWGFMUのSync Inに接続します。

Sync In：マスタとなるWGFMUのSync Outに接続します。

Trig Out：WGFMU出力に動作を同期させる外部機器のトリガ入力端子

に接続します。

CAUTION Sync Out/In、Trig Out端子は指定された端子に正しく接続してください。指 定外の端子への接続が故障の原因となる恐れがあります。

WGFMUとRSU（リモート・センス／スイッチ・ユニット）のケーブル接

続は本器の電源投入前に行ってください。電源投入状態での接続変更が故 障の原因となる恐れがあります。接続および使用についてはKeysight B1530A User’s Guideを参照してください。

D. SMUモジュール

SMU（ソース／モニタ・ユニット）には、ケルビン接続を可能にする ために2つのトライアキシャル・コネクタForceとSenseがあります。

リア・パネル

HRSMU（高分解能SMU）とMPSMU（B1511B中電力SMU）には

D-subコネクタ（To ASU端子）があります。ASU（アト・センス／ス

イッチ・ユニット）との接続に使用します。

EasyEXPERT上でSMUを指定するにはSMU番号を使用します。SMU1 は最も低い位置のSMUに割り当てられ、続く番号は、上部のSMUに 順番に割り当てられます。

付属されているSMU番号ラベルまたは相当品を用いてSMU番号がわ かるようにしておくことをお勧めします。

CAUTION SMUとASUのケーブル接続は本器の電源投入前に行ってください。電源投 入状態での接続変更が故障の原因となる恐れがあります。ASUの接続方法 については、「ASUの接続 (p. 3-17)」を参照してください。

E. CMUモジュール

MFCMU（マルチ周波数容量測定ユニット）には、4端子対接続用の4

つの同軸コネクタLcur、Lpot、Hpot、Hcurがあります。被測定デバイ ス（DUT）の一端子にHcurとHpotを、もう一方の端子にLcurとLpot を接続します。この時、4端子のガード・ラインを互いに接続する必要 があります。

CAUTION MFCMUの入力端子に± 25 Vを超える電圧を印加してはいけません。モ ジュールにダメージを与える可能性があります。

測定モジュール

Keysight B1500Aは次の測定モジュールを装着することが可能です。

• GNDU -グランド・ユニット

• HPSMU -高電力SMU

• MPSMU -中電力SMU

• MCSMU - 中電流SMU

• HRSMU -高分解能SMU

• MFCMU -マルチ周波数CMU

• HVSPGU -高電圧パルス・ジェネレータ・ユニット

• WGFMU -波形発生器／高速測定ユニット

Keysight EasyEXPERT使用時に有効な機能については、Keysight

EasyEXPERTユーザ・ガイドを参照してください。GPIBリモート・モード

において有効な機能については、プログラミング・ガイドを参照してくだ さい。WGFMUの使用方法についてはKeysight B1530A User’s Guideを参照 してください。

GNDU - グランド・ユニット

Keysight B1500Aはグランド・ユニット(GNDU)を内蔵しています。GNDU は0 V定電圧源であり、測定グランドの基準として使用します。また、最

大± 4.2 Aまでの電流を流せるので、HPSMU（高電力SMU）を使用する際

に有効です。GNDUの概略回路図をFigure 2-1に示します。

Figure 2-1 GNDU概略回路図

GNDU 0 V

Force

Common

測定モジュール

SMU について

ソース／モニタ・ユニット（SMU）は定電圧または定電流を出力し、DC 電圧または電流を測定することができます。

SMUの概略回路図をFigure 2-2に記します。 SMUは次の動作を行うこと ができます。

HPSMU、MPSMU、HRSMUは次の動作を行うことができます。

• 電圧印加、電流または電圧測定

• 電流印加、電流または電圧測定

MCSMUは次の動作を行うことができます。

• 電圧印加、電流および／または電圧測定

• 電流印加、電流および／または電圧測定

NOTE GPIBリモート状態でSMUの動作モードを選択するにはCMMコマンドを実 行します。

Figure 2-2 SMU概略回路図

コンプライアンス

デバイス保護のために、SMUの出力電圧／電流を制限するコンプライアン ス機能があります。 SMUを電圧源として使用する場合は電流コンプライア ンスを、電流源として使用する場合は電圧コンプライアンスを設定します。

詳細についてはKeysight EasyEXPERTユーザ・ガイドを参照してください。

SMU Force

Common

V A

+

-

+ -